CN202297843U - Cz直拉单晶炉籽晶重锤装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种CZ直拉单晶炉籽晶重锤装置，包括不锈钢重锤和钼重锤，不锈钢重锤和钼重锤呈带有梯度的圆柱体，不锈钢重锤的下端小直径圆柱内设有更小直径的圆柱凹槽，钼重锤的上端小直径圆柱体与锥形体之间开有方形凹槽，不锈钢重锤的下端圆柱体内的凹槽与钼重锤的上端圆柱体紧密套接至钼重锤上端圆柱体与锥形体之间的方形凹槽位置且不遮盖凹槽。采用本实用新型,能够降低籽晶重锤的氧化物沉积数量，而且更方便清理籽晶重锤，提高了单晶生产的成品率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种能有效降低CZ直拉法单晶炉生产异常率的CZ直拉法单晶炉籽晶重锤装置。
背景技术
现有的CZ直拉法生长硅单晶工艺是在低压高温及惰性气体保护下进行生长的，因此对生长环境有较高的要求，当不纯杂质出现在生长界面时可能会造成生长失败。CZ直拉法在单晶生长过程中，石英坩埚SIO2在高温下溶解会释放部分O2原子，与石墨及各类不纯物反应形成各式氧化物，在惰性气体流与真空泵的作用下，大部分氧化物（一般在95%左右）被气体流带经真空泵排除炉体，这就形成惰性气体保护。但在气流在流经单晶炉及CZ热系统的设置过程中，仍然有部分区域存在一定的紊流区域，含氧化物气体流长时间在固定区域滞留，由于温趋的作用，氧化物在温度较低处进行沉淀结积。当氧化物结积处于石英坩埚液面上部区域时，就可能会造成氧化物掉落至晶体生长界面，致使单晶生长失败。因此，单晶炉体及热场的设计都是尽可能的减少界面上部的紊流出现区域。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种CZ直拉单晶炉籽晶重锤装置，以解决现有技术设备易产生紊流区域，进而造成氧化物沉淀结积影响晶体生长的问题。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：
一种CZ直拉单晶炉籽晶重锤装置，包括呈带有梯度的圆柱体形状的不锈钢重锤和呈带有梯度的圆柱体形状的钼重锤，其特征在于：所述不锈钢重锤上端和下端为小直径圆柱体，中部为大直径圆柱体，上端与中部为垂直过渡，下端与中部为锥形体过渡，所述不锈钢重锤的下端小直径圆柱体内设有圆柱凹槽；所述钼重锤包括上端的小直径圆柱体、下端的大直径圆柱体，小直径圆柱体通过梯形体与大直径圆柱体连接，所述钼重锤的上端小直径圆柱体与锥形体之间连接处开有环形槽；所述不锈钢重锤的下端圆柱体内的凹槽套接在所述钼重锤的上端圆柱体外，且不锈钢重锤的下端圆柱体内的凹槽不遮盖所述钼重锤上端圆柱体与钼重锤锥形体连接处的环形槽。
本实用新型的有益效果为：
采用CZ直拉单晶炉籽晶重锤装置,减少了重锤接缝区域，降低了籽晶重锤的氧化物沉积数量，而且更方便清理籽晶重锤。此装置无其他附加成本，提高了单晶生产的成品率。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型包括呈带有梯度的圆柱体形状的不锈钢重锤2和呈带有梯度的圆柱体形状的钼重锤5，其特征在于：所述不锈钢重锤2上端1和下端3为小直径圆柱体，中部为大直径圆柱体，上端1与中部为垂直过渡，下端3与中部为锥形体过渡，所述不锈钢重锤2的下端3小直径圆柱体内设有圆柱凹槽6；所述钼重锤5包括上端4的小直径圆柱体、下端的大直径圆柱体，小直径圆柱体通过梯形体与大直径圆柱体连接，所述钼重锤5的上端4小直径圆柱体与锥形体之间连接处开有环形槽7；所述不锈钢重锤2的下端3圆柱体内的凹槽6套接在所述钼重锤5的上端4圆柱体外，且不锈钢重锤2的下端3圆柱体内的凹槽6不遮盖所述钼重锤5上端4圆柱体与钼重锤5锥形体连接处的环形槽7。
在单晶生长过程中，石英坩埚SiO2在高温下溶解会释放部分O2原子，与石墨及各类不纯物反应形成各式氧化物，由于不锈钢重锤1与钼重锤2的接触面较小，很难形成紊流区域，所以氧化物很难在籽晶重锤上沉淀结积，在惰性气体流与真空泵的作用下，氧化物随着气体流被真空泵排除炉体，保证晶体正常生长。
Claims (1)
1.一种CZ直拉单晶炉籽晶重锤装置，包括呈带有梯度的圆柱体形状的不锈钢重锤和呈带有梯度的圆柱体形状的钼重锤，其特征在于：所述不锈钢重锤上端和下端为小直径圆柱体，中部为大直径圆柱体，上端与中部为垂直过渡，下端与中部为锥形体过渡，所述不锈钢重锤的下端小直径圆柱体内设有圆柱凹槽；所述钼重锤包括上端的小直径圆柱体、下端的大直径圆柱体，小直径圆柱体通过梯形体与大直径圆柱体连接，所述钼重锤的上端小直径圆柱体与锥形体之间连接处开有环形槽；所述不锈钢重锤的下端圆柱体内的凹槽套接在所述钼重锤的上端圆柱体外，且不锈钢重锤的下端圆柱体内的凹槽不遮盖所述钼重锤上端圆柱体与钼重锤锥形体连接处的环形槽。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105780128A (zh) * | 2014-12-23 | 2016-07-20 | 江苏拜尔特光电设备有限公司 | 一种改进的单晶炉用重锤 |
| CN107604427A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-01-19 | 扬中市惠丰包装有限公司 | 一种单晶炉用新型重锤 |
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2011
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