CN207276777U - 一种提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置，包括单晶炉、除尘过滤器、真空泵、压力变送器、放空管路和回收管路；所述放空管路上安装有放空管路手动阀和放空管路自动阀，回收管路上安装有两个回收管路手动阀和一个回收管路自动阀；所述单晶炉的另一端通过管路b分别连接至放空管路自动阀和回收管路自动阀，所述管路b上安装有状态指示器。本实用新型设计合理，结构紧凑，不需要对单晶炉或真空泵做任何改造，用简单和低成本的方法就可在新建厂施工，或者在老厂进行改造，极大地提高尾气氩气的纯度，提高后续氩气回收装置的回收效率，并降低能耗。

Description

一种提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置

技术领域

本实用新型涉及一种氩气回收技术领域，具体是一种提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置。

背景技术

直拉法(Czochralskimethod)是生产单晶硅的主要方法，全球70％～80％的单晶硅通过直拉法生产。最常用的直拉法生产单晶硅工艺是采用即像真空工艺又像流动气氛工艺的减压拉晶工艺；减压工艺是在硅单晶拉制过程中，连续等速地向单晶炉炉膛内通入高纯度氩气，同时真空泵不断地从炉膛向外抽送氩气，保持炉膛内真空度稳定在20托左右，这种工艺既有真空工艺的特点，又有流动气氛工艺的特点。减压拉晶工艺的真空泵一般采用滑阀泵或者干式泵。氩气携带单晶拉制过程中由于高温而产生的硅氧化物和杂质挥发物，并通过真空泵的抽送排放到下游的氩气回收装置中。

在单晶炉正常运转时，真空泵排出的尾气氩气纯度极高。但是，目前在单晶炉的投料和卸料阶段，大量空气会被真空泵吸入并排至回收管道，降低了尾气氩气纯度，导致下游氩气回收装置的回收效率下降，能耗上升。这是一种资源浪费现象，不符合当今社会可持续发展的生产理念。因此，本实用新型致力于开发一种提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置，包括单晶炉、除尘过滤器、真空泵、压力变送器、放空管路和回收管路；所述单晶炉一端连接至除尘过滤器，除尘过滤器的另一端连接至真空泵，真空泵的另一端通过管路a分别连接至放空管路和回收管路，且管路a上安装有压力变送器；所述放空管路上安装有放空管路手动阀和放空管路自动阀，回收管路上安装有两个回收管路手动阀和一个回收管路自动阀；所述单晶炉的另一端通过管路b分别连接至放空管路自动阀和回收管路自动阀，所述管路b上安装有状态指示器。

作为本实用新型进一步的方案：所述放空管路手动阀位于放空管路自动阀的左侧。

作为本实用新型进一步的方案：所述回收管路自动阀位于两个回收管路手动阀之间。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型设计合理，结构紧凑，不需要对单晶炉或真空泵做任何改造，用简单和低成本的方法就可在新建厂施工，或者在老厂进行改造，极大地提高尾气氩气的纯度，提高后续氩气回收装置的回收效率，并降低能耗。

附图说明

图1为提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置的结构示意图。

其中：1-单晶炉；2-除尘过滤器；3-真空泵；4-压力变送器；5-放空管路手动阀；6-放空管路自动阀；7-回收管路手动阀；8-回收管路自动阀；9-状态指示器；10-放空管路；11-回收管路。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

请参阅图1，一种提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置，包括单晶炉1、除尘过滤器2、真空泵3、压力变送器4、放空管路10和回收管路11；所述单晶炉1一端连接至除尘过滤器2，除尘过滤器2的另一端连接至真空泵3，真空泵3的另一端通过管路a分别连接至放空管路10和回收管路11，且管路a上安装有压力变送器4；所述放空管路10上安装有放空管路手动阀5和放空管路自动阀6，放空管路手动阀5位于放空管路自动阀6的左侧，回收管路11上安装有两个回收管路手动阀7和一个回收管路自动阀8，回收管路自动阀8位于两个回收管路手动阀7之间；所述单晶炉1的另一端通过管路b分别连接至放空管路自动阀6和回收管路自动阀8，所述管路b上安装有状态指示器9，状态指示器9为炉盖开关处于打开时的状态指示器。

一种提高单晶炉尾气氩气回收效率的方法，包括：

(1)当单晶炉1正常运行时，状态指示器9处于关闭状态，发出的信号使放空管路自动阀6关闭，并使回收管路自动阀8打开，使从单晶炉1中使用的尾气氩气，经过除尘过滤器2，被吸入真空泵3后，进入回收管路11；

(2)当单晶炉1处于投料或卸料阶段时，状态指示器9处于打开状态，发出的信号使放空管路自动阀6打开，并使回收管路自动阀8关闭，使从单晶炉1中使用的尾气氩气，经过除尘过滤器2，被吸入真空泵3后，进入放空管路；

(3)放空管路10中的放空管路手动阀5正常时处于开启状态，如果放空管路自动阀6需要检修时，可关闭放空管路手动阀5；

(4)回收管路中的回收管路手动阀7正常时处于开启状态，如果回收管路自动阀8需要检修时，可关闭回收管路手动阀7；

(5)当回收管路自动阀8处于故障状态为正常开启时，会导致真空泵3后压力升高，此时压力变送器4会发出指令使放空管路自动阀6打开，降低真空泵3后压力，保护单晶炉1。

本实用新型设计合理，结构紧凑，不需要对单晶炉或真空泵做任何改造，用简单和低成本的方法就可在新建厂施工，或者在老厂进行改造，极大地提高尾气氩气的纯度，提高后续氩气回收装置的回收效率，并降低能耗。

在本提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”及“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下做出各种变化。

Claims (3)

1.一种提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置，其特征在于，包括单晶炉(1)、除尘过滤器(2)、真空泵(3)、压力变送器(4)、放空管路(10)和回收管路(11)；所述单晶炉(1)一端连接至除尘过滤器(2)，除尘过滤器(2)的另一端连接至真空泵(3)，真空泵(3)的另一端通过管路a分别连接至放空管路(10)和回收管路(11)，且管路a上安装有压力变送器(4)；所述放空管路(10)上安装有放空管路手动阀(5)和放空管路自动阀(6)，回收管路(11)上安装有两个回收管路手动阀(7)和一个回收管路自动阀(8)；所述单晶炉(1)的另一端通过管路b分别连接至放空管路自动阀(6)和回收管路自动阀(8)，所述管路b上安装有状态指示器(9)。

2.根据权利要求1所述的提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置，其特征在于，所述放空管路手动阀(5)位于放空管路自动阀(6)的左侧。

3.根据权利要求1所述的提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置，其特征在于，所述回收管路自动阀(8)位于两个回收管路手动阀(7)之间。