CN113277225B - 石英振荡器的收纳箱 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种在用取出工具取出石英振荡器时能尽量抑制划伤其主面，并且即使在将多个石英振荡器(Cy)安装在传感器头(Sh)的支架(5)上时也能提高其可操作性的石英振荡器的收纳箱。本发明的石英振荡器的收纳箱(SC)，其具有：箱主体(1)，在其上表面上，多个第一凹部(12)留出间隔地设置在第一虚拟圆周(Vc1)上，所述多个第一凹部可收纳在石英振荡器的主面朝上下方向的水平姿态下的石英振荡器；第一帽体(2)，其从箱主体上方装卸自如地安装在所述箱主体上；以及锁止装置(16、22)，其相对于箱主体锁止第一帽体；在将第一帽体锁止到箱主体上的状态下第一凹部中收纳的石英振荡器的脱出受到限制。

Description

石英振荡器的收纳箱
技术领域
本发明涉及一种用于通过在真空气氛下的成膜处理中测量共振频率来监控其表面形成的薄膜的厚度的石英振荡器的收纳箱，更具体而言，涉及一种易于将石英振荡器设置(移转)到石英振荡型薄膜厚度监控用传感器头的支架上的设备。
背景技术
例如当采用真空蒸镀法在作为成膜对象物的基板上形成规定薄膜时，为了监控附着在基板上的蒸镀材料的薄膜厚度，通常会使用石英振荡型薄膜厚度监控器。这种石英振荡型薄膜厚度监控器例如在专利文献1中已知。该石英振荡型薄膜厚度监控器具有传感器头，传感器头具有：传感器头主体，其具有步进电机(真空脉冲电机)等驱动装置；以及支架，其中在虚拟圆周上留出间隔地设置多个石英振荡器，且其所述支架通过驱动装置来旋转驱动。以从传感器头主体朝向支架的方向为上，在设置了各石英振荡器的支架的上表面上以将其覆盖的方式设置掩膜体，在掩膜体的规定位置上开设有成膜用窗口，其面对一个石英振荡器的主面(附着蒸镀材料的面)。
在真空气氛下的成膜处理时，通过测量石英振荡器的共振频率，对通过成膜用窗口在石英振荡器的主面上形成的薄膜的厚度进行监控。并且，当例如随着形成的薄膜的厚度增加，测量的共振频率超过规定范围而变化时，判断为到达使用寿命。当监控器中使用的石英振荡器到达使用寿命时，通过步进电机将支架旋转到下一个石英振荡器和成膜用窗口在上下方向上对中的相位。重复该操作，当传感器头的支架上设置的石英振荡器全都到达使用寿命时，更换各石英振荡器。这样的石英振荡器通常以收纳在专业的收纳箱中的状态来运送。
设置为可对多个石英振荡器进行收纳的石英振荡器的收纳箱例如在专利文献2中已知。该石英振荡器的收纳箱具有：圆筒状的箱主体(托盘部分)；以及帽体(盖子部分)，其从箱主体上方可自由旋转地安装到其上。在箱主体的上表面外周边部上，多个支撑槽(收纳部)以规定间隔凹陷设置在周边方向上。并且，在各支撑槽中收纳从其上方看具有圆形轮廓的石英振荡器，所述石英振荡器以其主面朝与上下方向正交的方向的垂直姿态被收纳，石英振荡器只在其外周边部受支撑。
在帽体上设置有槽开口，其与任意一个支撑槽在上下方向对中。并且，通过槽开口，可用镊子等取出工具取出支撑槽中收纳的一个石英振荡器。但是，在上述以往例子中，在作业人员用取出工具从支撑槽取出石英振荡器时，需要用取出工具夹持包括主面在内的石英振荡器的正反两面，存在取出工具容易划伤其表面的问题。再有，当在支架上装设多个(例如12个)石英振荡器时，由于是从各支撑槽取出各石英振荡器并逐个装设，因此很费功夫。
现有技术文献
专利文献
【专利文献1】日本专利第3953505号公报
【专利文献2】美国专利第6991110号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
鉴于上述内容，本发明的技术问题是提供一种在用取出工具取出石英振荡器时能尽量抑制划伤其主面，并且即使在将多个石英振荡器安装在传感器头的支架上时也能提高其可操作性的石英振荡器的收纳箱。
解决技术问题的手段
为解决上述技术问题，本发明的石英振荡器的收纳箱，其用于通过在真空气氛下的成膜处理中测量共振频率来监控其表面形成的薄膜的厚度，其特征在于，具有：箱主体，在其上表面上，多个第一凹部留出间隔地设置在第一虚拟圆周上，所述多个第一凹部可收纳在石英振荡器的主面朝上下方向的水平姿态下的石英振荡器；第一帽体，其从箱主体上方装卸自如地安装在所述箱主体上；以及锁止装置，其相对于箱主体锁止第一帽体；在通过该锁止装置将第一帽体锁止到箱主体上的状态下第一凹部中收纳的石英振荡器的脱出受到限制。
采用本发明，各石英振荡器以水平姿态分别收纳在箱主体的上表面上设置的各第一凹部中。因此，作业人员在卸下第一帽体并取出第一凹部中收纳的一个石英振荡器时，可用镊子等取出工具夹持石英振荡器的外边缘部，因此能尽量抑制划伤其主面。再有，运送时，通过锁止装置将第一帽体锁止在箱主体上，在该状态下，例如用与形成了多个第一凹部的箱主体的上表面相对的第一帽体的面来限制石英振荡器的脱出。因此，也不会发生石英振荡器由于运送时的振动等而破损的问题。此外，在本发明中，提到“石英振荡器以水平姿态收纳”时，除了在将箱主体设置在水平面上时石英振荡器严格地平行于水平面这样的情况外，也包括以相对于水平面倾斜的状态收纳石英振荡器的情况。
在本发明中，优选在所述第一凹部的周围与其连续地设置比该第一凹部面积小的第二凹部。由此，在作业人员用镊子等取出工具夹持石英振荡器的外周边部时第二凹部起到不与石英振荡器接触地接收取出工具的前端部分的作用，可进一步抑制划伤石英振荡器的主面。此外，虽然各第二凹部也可在第一凹部的周围对称地设置两个，但例如也可统一地在各第一凹部的径向内侧或者外侧分别设置一个第二凹部。此时，为实现收纳箱的小型化，优选只在各第一凹部的径向内侧设置各第二凹部。另一方面，例如也可将第二凹部设置在第一虚拟圆周上，此时，也可构成为彼此相邻的第一凹部通过第二凹部连通(换言之，第一凹部和第二凹部采用周向连通的环装沟槽)。此外，也可将第一凹部的直径设置为可接收取出工具的前端部分的尺寸，通过切割出后面提到的外边缘部来形成第二凹部。
再有，在本发明中，可采用在所述第一凹部中形成支撑片的结构，该支撑片以其外边缘部支撑从该第一凹部的上方落入其中的石英振荡器。由此，可抑制由于运送时的振动等而划伤石英振荡器的主面和其背面，是有利的。此时，既可以通过支撑片限制从第一凹部的上方落入其中的石英振荡器的水平方向的移动，另一方面，也可在从第一凹部的上方落入其中的石英振荡器的外边缘部受到支撑时，用第一凹部的立起壁部的内表面(并且，在该内表面上形成的其他元件)来限制石英振荡器的水平方向的移动。
再有，在本发明中，也可采用下述结构：具有第二帽体，其在将第一帽体装设到箱主体上之前，可从箱主体的上方装卸自如地装设在所述箱主体上，在与箱主体的上表面相对的第二帽体的面上，朝任意一个第一凹部，形成可取出第一凹部中收纳的石英振荡器的取出开口。由此，由于在取出第一凹部中收纳的一个石英振荡器时，可将除此之外的第一凹部中收纳的各石英振荡器维持在限制其脱出的状态下，因此，可避免在作业人员取出一个石英振荡器时，误将其他的石英振荡器损坏的问题。
再有，当在具有设置凹部的石英振荡型薄膜厚度监控用传感器头的支架上安装未使用的石英振荡器，且在所述设置凹部中在以旋转中心为中心的第二虚拟圆周上留出间隔地设置多个石英振荡器时，优选支架设置为在该石英振荡器的设置面上形成凸台部，所述凸台部轴线通过旋转中心，在所述第一帽体的上表面上，设置对凸台部进行嵌合且使第一虚拟圆和第二虚拟圆同心且一致的嵌合凹部，并且设置相位确定装置，所述相位确定装置将第一帽部相对于支架的相位确定为第一凹部和设置凹部在上下方向上对中。
由此，当传感器头上设置的石英振荡器全都到达使用寿命时，作业人员从传感器头主体卸下支架，将用完的各石英振荡器从支架上拆除。并且，从箱主体拆除第一帽体(有第二帽体时，是第一帽体和第二帽体)后，将支架从其上方使其凸台部嵌合到嵌合凹部中并设置在箱主体上。此时，通过相位确定装置使第一凹部和设置凹部呈在上下方向上对中的姿态。接着，当使支架和箱主体整体上下翻转时，第一凹部中收纳的各石英振荡器被移转到设置凹部。最后，在将支架上的箱主体向上方抬起并分离后，将支架再次装设到传感器头主体上。像这样，在本发明中，无需特别用镊子等取出工具，通过一次的作业就可将箱主体中收纳的多个石英振荡器分别装设(移转)到支架的设置凹部。从而，与上述以往例子相比，可显著提高其操作性，并且不会产生划伤其主面的问题。
附图说明
图1是示出本发明的实施方式的石英振荡器的收纳箱的立体分解图。
图2是示出在收纳箱的第一凹部中的石英振荡器的支撑状态的局部放大立体图。
图3是以拆除第一帽体的状态来显示的收纳箱的立体图。
图4是石英振荡型薄膜厚度监控器的传感器头的局部剖视图。
图5(a)和(b)是说明从收纳箱向传感器头的支架移转石英振荡器的剖视图。
具体实施方式
下面参照附图，以适用于具有传感器头的石英振荡型薄膜厚度监控器的产品为例，说明本发明的石英振荡器的收纳箱的实施方式，其中，所述传感器头可在支架上设置有圆形轮廓的12个石英振荡器。以下表示上、下等的方向用语以图1的姿态为基准。此外，由于作为石英振荡器Cy和用于测量该石英振荡器Cy的共振频率的部件、元件，可使用公知的部件、元件，因此包括具体的薄膜厚度监控器的测量方法在内，省略更详细的说明。
参照图1-图3，SC是具有箱主体1、第一帽体2和第二帽体3的本实施方式的石英振荡器的收纳箱。箱主体1例如是合成树脂材质的，由具有大致正方形的轮廓的基座板部1a和设置在基座板部1a的上表面上的圆筒状的台座部1b构成。在台座部1b的上表面上设置有位于其中央部并具有圆形轮廓的嵌合凹部11，可嵌合后面提到的传感器头的凸台部和帽体的凸部。在台座部1b的上表面上还设置有第一凹部12，其具有与石英振荡器Cy同样的轮廓，能以石英振荡器Cy的主面朝上下方向的水平姿态来收纳石英振荡器Cy。第一凹部12与设置在传感器头上的石英振荡器Cy的数量一致并以规定间隔设置在以嵌合凹部11的孔轴为中心的第一虚拟圆周Vc1上。此时，第一虚拟圆周Vc1形成为与后面提到的支架的第二虚拟圆周Vc2一致。
在第一凹部12的立起壁部12a，如图2所示地，设置有朝其内向突出的支撑片13，从各第一凹部12上方落入其中的石英振荡器Cy通过支撑片13受其外边缘部支撑。此时，在使石英振荡器Cy通过支撑片13受其外边缘部支撑的状态下，以立起壁部12a的内表面来限制石英振荡器Cy的水平方向的移动。再有，设置石英振荡器Cy高度位置，使得在支撑片13支撑石英振荡器Cy的状态下，石英振荡器Cy的上表面比箱主体1的上表面低一级。在台座部1b的上表面上还对称地设置有两个第二凹部14，其在第一凹部12的周围与之连续并且比第一凹部12直径小(面积小)。在本实施方式中，各第二凹部14配置为第一凹部12的径向内侧和径向外侧分别成对。此外，以设置两个第二凹部14为例进行了说明，但并不仅限于此，虽未特别图示，但也可在各第一凹部12的径向内侧或外侧统一地分别设置一个第二凹部14。此时，为了实现收纳箱SC的小型化，优选只在各第一凹部12的径向内侧设置各第二凹部14。另一方面，例如也可使第二凹部14位于第一虚拟圆周Vc1上，此时，也可构成为彼此相邻的第一凹部12经第二凹部14连通(换言之，采用第一凹部12和第二凹部14周向连通的环状的沟槽)。
在台座部1b的外周面上形成有朝径向内向凹陷的切槽15，当后面提到的传感器头上设置的销件啮合后，箱主体1相对于传感器头确定相位。在本实施方式中，通过这些切槽15和销件构成相位确定装置。作为内盖起作用的第二帽体3是合成树脂材质的，具有圆盘状的盖板部3a和从盖板部3a的外边缘部竖立设置的筒状的周壁部3b。在盖板部3a的中央部，如图3所示地，形成有可嵌合在箱主体1的嵌合凹部11中的凸部31，使盖板部3a在上侧，从箱主体1的台座部1b上方使凸部31嵌入嵌合凹部11中并可装卸自由地装设在台座部1b上。此时，设置第二帽体3的外形为在凸部31嵌合在嵌合凹部11中的状态下，不阻碍第二帽体3绕嵌合凹部11的孔轴的旋转。第二帽体3的盖板部3a上还开设有取出开口32，其具有将第一凹部12和第二凹部14相结合的轮廓，在装设到台座部1b的状态下，面对各第一凹部12中收纳的石英振荡器Cy。
作为外盖起作用的第一帽部2，与第二帽体3同样地，是合成树脂材质的，其具有圆盘状的盖板部2a和从盖板部2a的外边缘部竖立设置的筒状的周壁部2b。在盖板部2a的中央部形成有凸部21，其在存在第二帽体3时可嵌入凸部31的内向空间，在不存在第二帽体3时可嵌入箱主体1的嵌合凹部11。并且，使盖板部2a在上侧地从箱主体1的台座部1b上方使凸部21嵌入到嵌合凹部11、第二帽体3的凸部31的内向空间并装卸自如地装设在台座部1b上，覆盖台座部1b的上表面和周壁。
在周壁部2b的下端部设置有朝其外向突出的突条22，在基座板部1a的上表面上设置有锁止突条22的多个锁止突起16。并且，使盖板部2a在上侧地将第一帽体2从箱主体1的台座部1b上方装设到箱主体1的周壁部2b上，当朝下方按压第一帽体2时，突条22锁止到锁止突起16上。在该状态下，当存在第二帽体3时，通过第一帽体2的盖板部2a朝周壁部2b的上表面推压第二帽体3的盖板部3a而用该盖板部3a的内表面，或者当不存在第二帽体3时，通过与箱主体1的上表面相对的第一帽体2的盖板部2a的内表面，来限制第一凹部12中收纳的石英振荡器Cy的脱出。以下也参照图4和图5，说明收纳箱SC中收纳的各石英振荡器Cy的安装到石英振荡型薄膜厚度监控器的传感器头Sh的步骤。
如图4所示，石英振荡型薄膜厚度监控器的传感器头Sh具有：设置有电极41的传感器头主体4，其内部配置有步进电机Sm；支架5，其设置有多个石英振荡器Cy并由步进电机Sm旋转驱动；以及掩膜6，其安装在传感器头主体4上以覆盖设置有各石英振荡器Cy的支架5的上表面，并开设有与任意一个石英振荡器Cy相对的成膜用窗口61。
支架5具有：不锈钢材质的保持板部5a，其包括设置凹部51，所述设置凹部51在以步进电机Sm的旋转轴Ar(旋转中心)为中心的第二虚拟圆周Vc2上以规定间隔设置12个石英振荡器Cy；以及氟树脂材质的环板部5b，其一体固定在保持板部5a的下表面上；支架5装卸自如地设置在传感器头主体4的规定位置。再有，在保持板部21的上表面(石英振荡器Cy的设置面)上还形成有轴线通过旋转中心的凸台部52，并且在其周围的规定位置上竖立设置有销件53。再有，在保持板部5a上保持羽型电极23，其与分别收纳在设置凹部51中的石英振荡器Cy导通，羽型电极23与电极41抵接并导通。此外，此处说明的，传感器头Sh只是一个例子，由于可使用包括在第二虚拟圆周Vc2上以规定间隔设置石英振荡器Cy的多个设置凹部51的公知产品，故省略更多的说明。
收纳箱SC呈下述状态，即呈在其各第一凹部12中分别收纳了主面设置在上方(或下方)的未使用的石英振荡器Cy的状态下，在使盖板部3a的凸部31嵌合到箱主体1的嵌合凹部11内并装设了第二帽体3之后，使盖板部2a的凸部21嵌合到第二帽体3的凸部31的内向空间中并使突条22锁止到锁止突起16而装设上第一帽体2的状态，在该状态下运送收纳箱SC。作业人员更换支架5上设置的石英振荡器Cy时，从传感器头主体4卸下支架5，从支架拆除使用完的各石英振荡器Cy。在收纳箱SC中，在从箱主体1按第一帽体2、第二帽体3的顺序将它们卸下后，以收纳石英振荡器Cy的第一凹部12朝竖直方向上方的姿态将箱主体1例如设置在水平台(未图示)上。具体而言，在从箱主体1卸下第一帽体2时，作业人员用手指按压周壁部2b的外表面，使第一帽体2的周壁部2b以突条22朝比与锁止突起16的锁止位置更靠其内向(第一虚拟圆周Vc1的中心方向)地变形到不能锁止的相对位置，而且进一步向上方(在箱主体1和第一帽体2的相对位置上向分离方向)变形，在使突条22移动到锁止突起16的上方位置后，慢慢解除作业人员的手指对周壁部2b的变形力。
假设只对多个锁止突起16中的一个进行上述操作的话，则由于已解锁的锁止突起16的两侧的突条22和锁止突起16仍被锁止，因此手指慢慢解除变形力时对应的该突条22的位置在锁止突起16的外周面上、上方附近稳定。重复该操作，通过使突条22全都从与各锁止突起16的锁止位置向另一位置动作，可使第一帽体2相对于箱主体1可从锁止位置脱离。此外，由于作业人员的手指使第一帽体2变形并解锁两者的锁止，因此有时变形力的解除会进行得有冲击性。这种冲击从箱主体1传递给第一凹部12中收纳的石英振荡器Cy并脱离，成为石英振荡器Cy从第一凹部12脱落的原因，但由于是第二帽体3被第一帽体2锁止在了正规的位置上的情况，因此防止了脱落。
另一方面，第一帽体2相对于箱主体1的锁止方法可如下述来进行。即虽然没有特别图示说明，但例如通过在第一帽体2的周壁部2b内表面和箱主体1的台座部1b的外表面中的任意一个上形成螺旋槽并在另一个上形成与螺旋槽螺合的突起(或突条)，或者通过使第一帽体2的周壁部2b内表面和箱主体1的台座部1b的外周这双方在从上方看时呈椭圆形，可设置成使用楔的物理定律的锁止方法。由此，通过箱主体1和第一帽体2的相对旋转可用楔实现固定和脱离。虽然从楔的固定进行脱离时预期会产生一些冲击，但是各突条22和各锁止突起16的脱离方向相对石英振荡器Cy是上下方向，与之相比旋转导致的脱离所带来的冲击是虚拟圆周方向，第一凹部12的立起壁部12a呈阻止该冲击的结构，因此可无需第二帽体3。并且，将拆除了使用完的各石英振荡器Cy的支架5配置在箱主体1上并使凸台部52从箱主体1上方嵌合到嵌合凹部11内(参照图5(a))。此时，通过使销件53穿通箱主体1的切槽15而使支架5相对于箱主体1确定相位，使第一虚拟圆和第二虚拟圆同心且一致的各第一凹部12和各设置凹部51在上下方向上呈对中的姿态。
接着，作业人员将支架5和箱主体1从台上拿起后，一体地上下翻转。由此，第一凹部12中收纳的各石英振荡器Cy被移转到支架5的设置凹部51。此时，设置凹部51和立起壁部12a对石英振荡器Cy的限制范围大致一致，且以多个立起壁部12a所对应的设置凹部51壁面部的间隙呈在石英振荡器Cy的厚度以下的尺寸公差来制作箱主体1(不以上述尺寸公差来制作箱主体1，石英振荡器Cy可能会无法嵌入并移转到该间隙中)。再有，立起壁部12a进行的限制，在限制圆形的石英振荡器Cy的位置范围的意义上，只要在三个点(三个立起壁面)以上就可进行限制，因此第一凹部12的剖面形状不需要是圆形。虽未特别图示说明，但例如也可将多个第一凹部12全都设置成彼此连通的环状的沟槽，通过第一凹部12中的其外边缘部的支撑片只限制石英振荡器Cy在第一虚拟圆周Vc1上的移动方向的结构来实现。此时，由于条件(仿形动作许可条件)是构成环状沟槽的内外圆同心，因此支撑片进行的限制必须构成为这两个方向受限制。再有，作为另一结构，也可根据将构成环形的沟槽的外圆和内圆设置在其上的石英振荡器Cy的数量以等角度分割(所谓的切蛋糕)的形状设置成为多个第一凹部12(此时，也可以是中心侧放开，只对外圆进行规定的甜甜圈等角度分割)。此时，作为三个点进行的位置限制的、与石英振荡器Cy的圆不重叠的第一凹部12的剩余部分仍可作为第二凹部使用。
最后，从支架5向上方拿起箱主体1后，保持该姿态地将支架5再次装设到传感器头主体4上。像这样，在本实施方式中，无需特别使用镊子等取出工具(未图示)，通过一次操作就可将箱主体1中收纳的12个石英振荡器Cy分别安装到支架5的设置凹部51内。从而，与上述以往例子相比，可显著提高其可操作性，且不会产生划伤其主面的问题。另一方面，作业人员在只更换收纳箱SC的一个石英振荡器Cy时，从箱主体1卸下第一帽体2。并且，使第二帽体3绕嵌合凹部11的孔轴适当旋转，使收纳了未使用的石英振荡器Cy的第一凹部12和取出开口32在上下方向上对中。在该状态下，将镊子等取出工具的前端部分插入第二凹部14后，夹持石英振荡器Cy的外周边部从第一凹部12中取出。并且，在用取出工具夹持的状态下，安装到支架5的设置凹部51等中。
采用以上的实施方式，由于各石英振荡器Cy分别以水平姿态收纳在箱主体1上表面上设置的各第一凹部12中，因此在作业人员卸下第一帽体2，通过第二帽体3的取出开口32取出第一凹部12中收纳的一个石英振荡器Cy这样的情况下，由于第二凹部14起到以不接触石英振荡器Cy的方式接收取出工具的前端部分的作用，并且可用取出工具夹持石英振荡器Cy的外周边部，因此可尽量抑制划伤其主面。再有，运送时，第一帽体2锁止在箱主体1上，在该状态下，以与箱主体1的上表面相对的第一帽体2和第二帽体3的面限制石英振荡器Cy的脱出。因此，不会产生石英振荡器Cy因运送时的振动等而破损的问题。并且，由于从第一凹部12的上方落入其中的石英振荡器Cy通过支撑片13受其外边缘部支撑，因此可抑制石英振荡器Cy的主面和其背面因运送时的振动等而被划伤。此外，通过具有第二帽体3，由于在取出第一凹部12中收纳的一个石英振荡器Cy时，可以维持此外的第一凹部12中收纳的各石英振荡器Cy的脱出受到限制的状态，因此可避免作业人员在取出一个石英振荡器Cy时，错误地损坏其他石英振荡器Cy这类问题。
以上说明了本发明的实施方式，但只要是不脱离本发明的技术思想的范围，可进行各种变形。在上述实施方式中，假定逐个取出石英振荡器Cy的情况，并以具有第二帽体3的装置为例进行了说明，但是当收纳箱SC设置成特定的石英振荡型薄膜厚度监控器的传感器头的支架专用时，也可省略第二帽体3。再有，在上述实施方式中，以使用突条22和锁止突起16构成锁止装置的装置为例进行了说明，但并不仅限于此，只要是可在将第一帽体2装设到箱主体1上时，维持第一凹部12中收纳的石英振荡器Cy的脱出受到限制的状态的装置即可。进而，上述实施方式中，以使用支架5上具有的凸台部52和销件53，使箱主体1相对于支架5位置确定并且相位确定的装置为例进行了说明，但并不仅限于此，也可使用其他的公知的位置确定和相位确定装置。
附图标记说明
Cy.石英振荡器、SC.石英振荡器的收纳箱、Sh.传感器头、Vc1.第一虚拟圆周、Vc2.第二虚拟圆周、1.箱主体、11.嵌合凹部、12.第一凹部、13.支撑片、14.第二凹部、15.切槽(相位确定装置)、16.锁止突起(锁止装置)、2.第一帽体、22.突条(锁止装置)、3.第二帽体、32.取出开口、5.支架、51.设置凹部、52.凸台部、53.销件(相位确定装置)。

Claims (5)

1.一种石英振荡器的收纳箱，其用于通过在真空气氛下的成膜处理中测量共振频率来监控其表面形成的薄膜的厚度，其特征在于，具有：
箱主体，在其上表面上，多个第一凹部留出间隔地设置在第一虚拟圆周上，所述第一凹部可收纳在石英振荡器的主面朝上下方向的水平姿态下的石英振荡器；第一帽体，其从箱主体上方装卸自如地安装在所述箱主体上；以及锁止装置，其相对于箱主体锁止第一帽体；在通过该锁止装置将第一帽体锁止到箱主体上的状态下第一凹部中收纳的石英振荡器的脱出受到限制；
锁止装置具有设置在第一帽体和箱主体任意一方上的突条，以及在第一帽体和箱主体任意另一方上的多个锁止突起。
2.根据权利要求1所述的石英振荡器的收纳箱，其特征在于：
在所述第一凹部的周围与其连续地设置比该第一凹部面积小的第二凹部。
3.根据权利要求1或2所述的石英振荡器的收纳箱，其特征在于：
在所述第一凹部中形成支撑片，该支撑片以其外边缘部支撑从该第一凹部的上方落入其中的石英振荡器。
4.根据权利要求1-3中任意一项所述的石英振荡器的收纳箱，其特征在于：
具有第二帽体，其在将第一帽体装设到箱主体上之前，可从箱主体的上方装卸自如地装设在所述箱主体上，在与箱主体的上表面相对的第二帽体的面上，朝任意一个第一凹部，形成可取出第一凹部中收纳的石英振荡器的取出开口。
5.据权利要求1-3中任意一项所述的石英振荡器的收纳箱，其特征在于：
可在具有设置凹部的石英振荡型薄膜厚度监控用传感器头的支架上安装未使用的石英振荡器，且所述设置凹部中在以旋转中心为中心的第二虚拟圆周上留出间隔地设置多个石英振荡器；
支架设置为在该石英振荡器的设置面上形成凸台部，所述凸台部轴线通过旋转中心，在所述第一帽体的上表面上，设置对凸台部进行嵌合且使第一虚拟圆和第二虚拟圆同心且一致的嵌合凹部，并且设置相位确定装置，所述相位确定装置将第一帽部相对于支架的相位确定为第一凹部和设置凹部在上下方向上对中。
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