JP2013242215A - 水晶発振式膜厚計 - Google Patents

Abstract

【課題】蒸発源装置や薄膜形成装置において、交換が必要なクリスタルだけを交換可能なカバーを備えた水晶発振式膜厚計を提供する。
【解決手段】少なくとも、複数の水晶振動子とその外周端に沿って保持する円筒状のクリスタルホルダと、前記クリスタルホルダの表面を覆いかつ当該クリスタルホルダに保持された複数の水晶振動子の１つに対応した位置に開口部を設けたカバーとを備えたリテーナ部とを備え、前記カバーは、前記複数の水晶振動子の１つとそれぞれ対応する開閉部を有し、該開閉部は、それぞれ独立に開閉可能な水晶発振式膜厚計である。
【選択図】図４

Description

本発明は、成膜中にリアルタイムに成膜速度を検出することができる水晶発振子式膜厚計に係わり、特に、複数の水晶発振子を架設できる水晶発振子式膜厚計に関する。

ガラスや半導体基板上に蒸着やスパッタなどで薄膜を形成する場合、膜厚を精密に制御することが求められる。成膜後に膜厚を測定することは電子顕微鏡観察や光学式膜厚計、表面粗さ計などを用いて比較的容易に測定することができる。一方で、成膜プロセス中に目的の膜厚になるように制御するための膜厚計としては、現状では、水晶発振子式膜厚計が最も一般的である。水晶発振子式膜厚計は、水晶振動子の表面に膜が形成されると、共振振動数が変化することを利用するものである。予め膜の厚さと共振周波数の変化を校正曲線として把握することで、成膜中にどれだけの厚さの膜が形成されたかを検出することができる。このような水晶振動子式膜厚計が特許文献１、２に記載されている。このような水晶振動子式膜厚計は、水晶振動子表面に一定以上の膜が形成されると膜の剥離や内部応力の蓄積などにより、共振振動が不安定になったり、周波数測定範囲から外れるようになったりする。このようになったときに、その水晶振動子は寿命と判断し、新しい水晶振動子に交換する必要がある。１つの水晶振動子のみを使った膜厚計では、寿命になる度に、水晶振動子を交換するためにプロセスを中断することになる。連続した成膜を行いたい場合は、これは不都合である。このため、複数の水晶振動子を架設し、１つの水晶振動子が寿命となった場合は、新しい水晶振動子に切り替えられるようにするのが一般的である。

特開２００３−１３９５０５号公報 特許第３２１３６１３号

複数の水晶振動子を架設した場合でも、すべての水晶振動子が寿命となった場合は、水晶振動子を交換することとなる。従来の水晶振動子式膜厚計は、測定を行う水晶振動子のみ、成膜雰囲気に曝されるような窓部を設けたカバーを設けていた。窓部の下の水晶振動子が寿命となったら、カバーを回転して新しい水晶振動子を成膜雰囲気に曝す、ことを繰り返し、すべての水晶振動子が寿命となった時点で、カバーをはずしてすべての水晶振動子を交換する。
このような構造では、例えば１つの水晶振動子に不具合が見つかってそれだけ交換したい場合でも、すべての水晶振動子を覆うカバーを取り外さなくてはならず、手間がかかっていた。また、カバーを外す際、交換する必要のないクリスタルの落下や位置ずれが発生する可能性がある。
即ち、１つのクリスタル（水晶振動子）を交換する場合であっても、他のクリスタルの落下、クリスタルの破損、クリスタルと接触しとの位置ずれ等を考慮しなければならず、位置ずれの修正等、余計な作業が必要であった。
本発明の目的は、上記の問題に鑑み、交換が必要なクリスタルだけを交換可能なカバーを備えた水晶発振式膜厚計を提供することにある。

上記の目的を達成するための、本発明の構成は以下の通りである。
複数の水晶振動子を保持するクリスタルホルダと、前記クリスタルホルダの上部に設けられ、該クリスタルホルダに保持された複数の水晶振動子の少なくとも１つに対応した位置に開口部を有し、かつ該開口部位置を水晶振動子の位置に対応して移動させる開口部位置移動機構と、を備えたカバーと、を備えた水晶発振式膜厚計において、前記カバーは、前記複数の水晶振動子の少なくとも１つに対応する、それぞれ独立に開閉可能な開閉部を備えた水晶発振式膜厚計。

上記水晶発振式膜厚計において、前記カバーは、それぞれ、開閉可能なヒンジ部を有していても良い。

上記水晶発振式膜厚計において、前記ヒンジ部は、前記カバーの中心側に設けても良い。

上記水晶発振式膜厚計において、前記開閉部は、クリスタル交換時には解放され、非交換時には固定されるストッパを有していても良い。

本発明によれば、クリスタル交換時に他のクリスタルの落下や位置ずれがなく、メンテナンス時間が短縮できる。

従来の水晶発振式膜厚計の一実施例の側面の概略を示す断面図である。 従来の水晶発振式膜厚計のリテーナ部を上から見た略平面図である。 従来の水晶発振式膜厚計のクリスタルの交換作業について説明するための側面図である。 本発明の水晶発振式膜厚計の一実施例の側面の概略を示す断面図である。 本発明の晶発振式膜厚計のリテーナ部を上から見た略平面図である。 本発明の水晶発振式膜厚計のリテーナ部の一部を説明するための図である。 本発明の一実施の形態になる水晶発振式膜厚計、特に、そのヘッダ部の構造を説明するための、一部断面を含む展開斜視図である。 上記ヘッダ部、特に、そのクリスタルホルダの詳細を説明するための、一部断面を含む展開斜視図である。 水晶発振式膜厚計において、クリスタルホルダのクリスタルを含で形成される高周波共振回路の一例を示す回路図である。 本発明の水晶発振式膜厚計を備えた有機ＥＬ成膜装置の真空チャンバの一実施例の要部構成を示す図である。 本発明の水晶発振式膜厚計を、薄膜形成装置のリニアソースであるＥＬ材料の蒸発源装置に取り付けた構造を説明する図である。

図１〜図３によって、従来のクリスタルの交換の様子について説明する。図１は、従来の水晶発振式膜厚計の一実施例の側面の概略を示す断面図である。また、図２は、従来の水晶発振式膜厚計のリテーナ部を上から見た略平面図である。さらに、図３は、従来の水晶発振式膜厚計のクリスタルの交換作業について説明するための側面図である。１００はリテーナ部、１０１と１０１’はクリスタル、１０２は接触子、１０３はクリスタルホルダ、１０４と１０４’はカバー、１０５は回転中心軸、１３１はクリスタルホルダ１０３の斜面、２０１は開口部、３０５はカバー１０４、１０４’の移動方向を示す矢印、１４１と１４１’はカバー１０４の庇部である。
図１のリテーナ部１００において、クリスタルホルダ１０３は、回転中心軸１０５を中心としたほぼ円筒状の外形を有し、さらに、その外周部に所定の角度θを持たせた斜面１３１を有している。斜面１３１上には、クリスタル１０１それぞれと電気的に接続するための１２個の接触子１０２が回転中心軸１０５を中心として同心円状に均等に配置される。また、カバー１０４は、接触子１０２を取り付けたクリスタルホルダ１０３の上面全体を覆うように形成され、もって、クリスタルホルダ１０３の上面を覆う。即ち、カバー１０４は、その外周部を下側に所定の角度θを持たせるように曲げた庇部１４１を有する。
図２にも示すように、カバー１０４は、クリスタル１０１に対応する開口部２０１がそれぞれの庇部１４１に設けられ、開口部２０１を通過するガス状（または、蒸気状）のＥＬ材料がクリスタル１０１の表面に付着するようにしている。
クリスタル１０１は、開口部２０１に対応するカバー１０４の庇部１４１の内面側に設けられた窪み（図示しない）に嵌まるように、回転中心軸１０５を中心とする円周上に１２個が配置可能に設けられる。

リテーナ部１００の中心軸１０５には、ロールベアリング（図示しない）が取り付けられており、当該ロールベアリングを介して、チョッパ板（図示しない）を回転駆動するための回転シャフト（図示しない）が、回転可能に設けられている。さらに、当該回転シャフトは、上記ロールベアリングを介して、カバー１０４に対しても回転可能に取り付けられている。
そして、当該回転シャフトの上記ロールベアリングから突出した先端部には、やはり外形が略円盤状であり、かつ、その外周部を円錐状に窪ませ、かつ、その一部に開口部（例えば、穴や切欠き：図示しない）を形成したチョッパ板が、その中心部において、例えば、ネジ（図示しない）により一体に回転可能に固定されている。

このような水晶発振式膜厚計に関する本発明の実施の形態について、以下、添付の図面を参照しながら、詳細に説明する。
なお、以下の説明は、本発明の一実施形態を説明するためのものであり、本願発明の範囲を制限するものではない。従って、当業者であればこれらの各要素若しくは全要素をこれと均等なものに置換した実施形態を採用することが可能であり、これらの実施形態も本願発明の範囲に含まれる。
なお、既に説明した図１〜図３を含め、各図の説明において、共通な機能を有する構成要素には同一の参照番号を付し、できるだけ説明の重複を避ける。

まず、添付の図４〜図６によって、本発明の一実施の形態になる水晶発振式膜厚計のリテーナ部について説明する。図４は、本発明の水晶発振式膜厚計の一実施例の側面の概略を示す断面図である。また、図５は、本発明の水晶発振式膜厚計のリテーナ部を上から見た略平面図である。さらに、図６は、本発明の水晶発振式膜厚計のリテーナ部のカバーの一部を説明するための図である。図６において、（ａ）は、カバーのフレーム部を示す平面図であり、（ｂ）は、フレーム部に庇部を組み付けたカバーの一部の側面の概略を示す平面図であり、（ｃ）は、図６（ｂ）の中心線での断面図である。４００はリテーナ部、４０４はカバー、４０５はカバー４０４の一部６４４の移動方向を示す矢印、４４１と４４１’はカバー４０４の庇部、５４０は隣接するそれぞれの庇部４０４の分離線、４４２はヒンジ、６０３はフレーム、６４３と６４３’は止め具、６４４は止め具６４３のハンドル部である。

図４〜図６のリテーナ部４００において、クリスタルホルダ１０３は、回転中心軸１０５を中心としたほぼ円筒状の外形を有し、さらに、その外周部に所定の角度θを持たせた斜面１３１を有している。斜面１３１上には、クリスタル１０１それぞれと電気的に接続するための１２個の接触子１０２が回転中心軸１０５を中心として同心円状に均等に配置される。また、カバー４０４は、接触子１０２を取り付けたクリスタルホルダ１０３の上面全体を覆うように形成され、もって、クリスタルホルダ１０３の上面を覆う。即ち、カバー４０４は、その外周部を下側に所定の角度θを持たせるように曲げた庇部を有する。

庇部は、分離線５４０によって、１２個の庇部４４１に分離している。それらの庇部４４１には、それぞれ、１個の開口部２１０が設けられ、開口部２１０には、それぞれ１個ずつのクリスタル１０１が配置可能である。また、庇部４４１の内周部（中心線１０５）側には、ヒンジ４４２を設けている。このヒンジ４４２によって、庇部４４１は、フレーム６０３に対して、あたかも扉のように、矢印４０５の方向に開閉可能である。この結果、クリスタルホルダ１０３を覆っているカバー４０４は、それぞれの庇部４４１が、単独に庇部４４１’のように開くことができるため、個々のクリスタル１０１をそれぞれ単独に交換することができる。

カバー４０４の複数（例えば、１２個）の庇部４４１は、それぞれ１個のクリスタル１０１が配置可能である。例えば、カバー４０４は、開口部２０１に対応するカバー４０４の内側に、回転中心軸１０５を中心とする円周上に設けられた窪み（図示しない）に嵌まるように構成される。例えば、カバー４０４は、図２に示すように、回転中心軸１０５を中心とする円周上に１２個設けられる。なお、庇部４４１は、それぞれ、図６（ａ）に示すような枠であるフレーム６０３が、隣接するフレーム同士を機械的に接続した一体構成となっている。
そして、フレーム６０３と庇部４４１とをヒンジ（蝶番）４４２で結合し、庇部４４１は、ヒンジ４４２によって、個々に開閉可能である。
庇部４４１の外円側には、クリスタル１０１の交換作業時以外には、庇部４４１とフレーム６０３とを密着固定するための止め具６４３（６４３’）を設けている。止め具６４３（６４３’）は、庇部４４１と平行な面上を回転可能なハンドル部６４４を設けられている。このため、ハンドル部６４４の押圧力によって閉時には、フレーム６０３と庇部４４１とが開かないように抑え、かつ、接触子１０２とクリスタル１０１とが電気的に接続される。また、クリスタル１０１の交換時には、所望の庇部４４１のハンドル部６４４を回転して、庇部４４１を開いて（庇部４４１’）、クリスタルを交換する。交換後、再び庇部４４１’を閉じて（庇部４４１）、ハンドル部６４４で固定する。

上記実施例によれば、交換したい所望の箇所のクリスタルのみを交換することが可能となった。また、交換の際に、他のクリスタルの破損や位置ずれが発生しない。その結果、クリスタル交換作業時間の短縮ができ、他のクリスタルへの影響もなくなった。
さらに、従来と同様に、全てのクリスタルを交換したい場合には、カバー全体を従来通り外すことができ、クリスタルの全数交換や、全数配置も容易に実行できる。

次に、図７と図８は、本発明の他の実施例について説明する。
まず、図７によって、本発明の一実施の形態になる水晶発振式膜厚計の、特に、リテーナ部について説明する。
図７からも明らかなように、リテーナ部７００は、外形が略円盤状であり、かつ、外周部（例えば、半径の略半分より外側）を、所定の角度（以下の図８のθを参照）だけ内側に、円錐状に窪ませてなるクリスタルホルダ１０と、このクリスタルホルダ１０の全体を覆うように形成され、もって、クリスタルホルダ１０の表面を覆う（即ち、外周部を円錐状に窪ませる）と共に、その一部（後にも述べるが、その頂部）に円形の開口部２１を形成した、所謂、カバー２０とを備えている。また、カバー２０は、複数の分離線２４により、図４〜図６と同様に、開口部２１毎に庇部を開閉可能に設けられ、クリスタル１０１を個々に交換可能となっている。詳細は、図４〜図６と同様であるので、説明を省略する。

クリスタルホルダ１０の中心部にはローラベアリング１１が取り付けられている。そして、当該ローラベアリング１１を介して、後にも述べるが、チョッパ板４０を回転駆動するための回転シャフト３０が、回転可能に植立されている。更に、当該回転シャフト３０は、上記カバー２０の中心部に取り付けられたローラベアリング２２を介して、当該カバー２０に対しても回転可能に取り付けられている。

図８には、上述したクリスタルホルダ１０の詳細を示している。このクリスタルホルダ１０は、上記カバー２０やチョッパ板４０と同様に、例えば、ステンレスやアルミニウムなどの金属により形成されている。そして、その外周部の窪んだ面（即ち、円錐面）には、複数（本例では、８箇所）の凹部１２が円周上に均等な距離だけ離れて形成されている。これらの凹部１２の内部には、外形円盤状のクリスタル１０１が、複数（本例では、８個）、それぞれ、挿入されると共に、その上部からは、リング状でかつ円錐状に窪んだ面に複数（本例では、８箇所）の開口部２１を形成した押付け板１４が取り付けられている。なお、ここでは図示しないが、これら水晶振動子ホルダ１０の凹部１１や押付け板１４には、それぞれ、例えば、板バネなどからなる電極が取り付けられており、更に、上記クリスタルホルダ１０の下部に設けられた一対の接触式電極板１５を介してリテーナ部７００の外部に電気的に導かれる。また、図中の符号５１は、上記クリスタル１０１の表面に形成された電極を示している。

また、上記クリスタルホルダ１０の円錐状に窪んだ面によれば、リテーナ部７００を構成するクリスタルホルダ１０の外周部の円錐状部に形成された凹部１１内に保持されたクリスタル１０１は、その表面から延長した垂線が、当該円盤状のホルダを含むリテーナ部の回転軸に対し、所定の角度θだけ傾斜するように配置されることとなる。

図９は、水晶発振式膜厚計において、クリスタルホルダのクリスタルを含で形成される高周波共振回路の一例を示す回路図である。
上述の図７〜図８において、リテーナ部７００を構成するカバー２０の円形の開口部２１を介して外部にその電極を露出したクリスタル１０１を挟んで（より具体的には、その両面に形成した電極を挟んで）、図９にも示すように、高周波の発信源（発信機）５５からの高周波信号が印加されており、これによって、所謂、共振回路を形成している。即ち、クリスタル１０１の表面にＥＬ材料の蒸気を含む物質が付着すると、その共振振動数が変化する現象を利用して、所謂、水晶発振式膜厚計が形成されている。そして、上記クリスタル１０１の表面に付着する物質が一定の膜厚（即ち、寿命）に達すると、クリスタルホルダ１０を所定の角度（本実施例では、３６０／８＝４０度であり、図４〜図７の実施例では、３６０／１２＝３０度である）だけ回転駆動し、もって、新たな水晶板クリスタル１０１と交換する。

次に、水晶発振式膜厚計一般において、回転シャフト３０は、リテーナ部により構成される水晶発振式膜厚計が作動している期間は、常に回転しており、もって、チョッパ板４０を所定の回転速度で回転駆動する（例えば、図７中の矢印４５を参照）。即ち、このチョッパ板４０の回転により、上記カバー２０の開口部２１を介してクリスタル１０１の電極を外部に露出する時間を一定の間隔にし、即ち、当該クリスタル１０１に向かって飛翔する蒸発材料を間欠的に遮蔽し、もって、クリスタル１０１の表面に付着する物質が一定膜厚に達する時間、即ち、その寿命を延長する。

上記実施例によれば、交換したい所望の箇所のクリスタルのみを交換することが可能となった。また、交換の際に、他のクリスタルの破損や位置ずれが発生しない。その結果、クリスタル交換作業時間の短縮ができ、他のクリスタルへの影響もない。
さらに、従来と同様に、全てのクリスタルを交換したい場合には、カバー全体を従来通り外すことができ、クリスタルの全数交換や、全数配置も容易に実行できる。

本発明の水晶発振式膜厚計が適用できる成膜装置に関し、以下、有機ＥＬ蒸着装置を例にして説明する。有機ＥＬデバイス製造装置は、基板上に単に発光材料層（ＥＬ層）を形成して電極で挟むだけではなく、陽極の上に正孔注入層や輸送層を形成し、更には、陰極の上に電子注入層や輸送層などを、様々な材料で薄膜として多層形成したり、基板を洗浄したりするものであり、一般に、大別して、処理対象の基板６を搬入するロードクラスタ、前記基板を処理する複数のクラスタ、各クラスタ間又はクラスタとロードクラスタ、或いは、次工程（封止工程）との間の設置された複数の受渡室などから構成されている。なお、本実施形態では、基板を、その蒸着面を上面にして搬送し、他方、蒸着するときには、当該基板を立てた状態で蒸着する。

そして、本発明になる薄膜形成装置の１つである有機ＥＬ成膜装置は、上述した有機ＥＬデバイス製造装置において、真空雰囲気中で蒸着して基板上に成膜する真空蒸着チャンバとして機能するものであり、以下、この真空蒸着チャンバについて、搬送チャンバと共に、添付の図１０に示す。図１０において、搬送チャンバ内の搬送ロボット５は、全体を上下に移動可能（図１０の矢印５９を参照）で、左右に旋回可能なアーム５７を有し、その先端には基板搬送用の櫛歯状ハンド５８を有する。

一方、真空蒸着チャンバ１は、大別して、材料を気化させて、例えば、ガス状の有機ＥＬ材料７３を基板１７０に蒸着する蒸着部７１、７６と、メタルマスクの位置合せを行って基板１７０上の必要な部分に材料を蒸着するアライメント部８１と、そして、上記搬送ロボット５との間で基板１７０の受渡しを行い、当該基板１７０を蒸着部７１、７６へ移動させる受渡部９１、９３で構成される受渡部９からなる。アライメント部８１と受渡部９１、９３は、右側Ｒラインと左側Ｌラインの２系統に分けられて設けられる。なお、基板１７０は、受渡部９に、固定手段（基板上部に設けた固定手段９４ｕ及び基板下部に設けた固定手段９４ｄ）で固定されている。

本発明の水晶振動式膜厚計は、蒸着部７１、７６から供給される蒸着材料７３が付着する位置に設けられる。上記例では、蒸着部７１、７６は上下に移動しながら蒸着を行うので、蒸着中の成膜量を正確に測定するためには、蒸着部７１、７６と連動して移動する位置に本発明の水晶振動式膜厚計をもうけるのが好ましい。また、蒸着部７１、７６は、単位時間当たりの蒸着量が安定するまでは、待機位置に待機する制御とすることもできるが、その場合は、待機位置に正対する位置に本発明の水晶振動式膜厚計を設け、単位時間当たりの蒸着量が安定したかどうかをチェックできるようにしても良い。

加えて、本発明の水晶発振式膜厚計５００では、そのモニタ動作に伴い、クリスタル１０１の表面に付着する物質が一定膜厚に達すると（即ち、寿命の経過）、上記クリスタルホルダ１０を回転して新たな水晶板クリスタル１０１に交換する（即ち、上記カバー２０の開口部２１に移動する）必要がある。ところで、当該クリスタルホルダ１０を回転するための回転機構として、この図１１からも明らかなように、プーリ１６が当該クリスタルホルダから伸びた筒部の端部に取り付けられ、また、上記チョッパ板４０を回転駆動するための回転シャフト３０の他端にも、同様に、プーリ３１が取り付けられている。そして、駆動部５５０には、その回転軸の先端に、やはり、プーリ５５１、５５２がそれぞれ取り付けられた電動モータ５５３、５５４が設けられ、これら２組のプーリ１６と５５１、３１と５５２の間にはベルト５５５、５５６が掛け回され、もって、上記クリスタルホルダ１０、そして、チョッパ板４０を、それぞれ、回転駆動する。

即ち、図１１において矢印や破線のブロックなどで示すように、ベルトや真空使用の電動モータなどを含む回転機構（上記の駆動部５５０を含む）は、前記クリスタルホルダ１０の回転軸に対して垂直な方向に、即ち、リニアソースである蒸発源装置１７２の筐体１７６の両端の側面、または、上下の面上に沿った方向に設けられており、かかる回転機構の構成によれば、当該ヘッダ部の頂部（即ち、開口部２１を含むカバー２０）だけをその筐体１７６を構成するガス放出面１７１から僅かに突出されるだけで、当該蒸発源装置１７２に取り付けることが出来ることから、蒸発したガス状の有機ＥＬ材料を放出して表面に蒸着する対向基板１７０に対し、蒸発源装置１７２の位置、即ち、当該放出孔の形成面（ガス放出面）１７１を、極めて近接して配置することが可能となる。即ち、図１１の距離Ｗを極めて小さく設定することができる。これにより、ガス状有機ＥＬ材料の基板１７０上への蒸着効率を向上することが可能となり、その製造速度（効率）を上昇させることが出来る。
また、上記記実施例によれば、交換したい所望の箇所のクリスタルのみを交換することが可能となった。また、交換の際に、他のクリスタルの破損や位置ずれが発生しない。その結果、クリスタル交換作業時間の短縮ができ、他のクリスタルへの影響もない。
さらに、従来と同様に、全てのクリスタルを交換したい場合には、カバー全体を従来通り外すことができ、クリスタルの全数交換や、全数配置も容易に実行できる。

なお、上記の説明では、上記クリスタルホルダ１０やチョッパ板４０を回転駆動するための回転機構の一例として、上述したようにプーリとベルトや電動モータなどを含む機構について述べたが、しかしながら、本発明はこれに限定されることなく、例えば、傘歯歯車などを利用することによって、筐体の両端の側面、または、上下の面上に沿った方向に設けられる回転機構を実現することも可能である。

加えて、上記の説明では、本発明の水晶発振式膜厚計１７５は、リニアソースである蒸発源装置１７２を構成する横長の筐体の一部に固定して設置されるものとして説明したが、本発明はこれに限定されることない。例えば、横長の筐体１７６の上面または下面に、一対のレールのような誘導部材を設けておき、この誘導部材に水晶発振式膜厚計１７５を取り付けることも可能である。なお、この場合、例えば、電動モータやラックアンドピニオン機構などの移動機構を利用することによれば、誘導部材上に水晶発振式膜厚計１７５が自在に移動可能にすることが可能となる。このことによれば、横長な蒸発源装置１７２の放出孔形成面（ガス放出面）１７１からのガス状有機ＥＬ材料の放出を、当該計を移動させながら、または、所望の位置に移動して、適宜、必要な膜圧のモニタを行うことが可能となる。

そして、以上の種々述べた水晶発振式膜厚計により検知された検知信号（即ち、膜厚モニタ信号）は、上述した薄膜形成装置、特に、その蒸発源装置１７２を構成する要素である、例えば、ＣＰＵ等により構成される制御装置へ転送される。そして、この制御装置の内部においては、メモリ内に予め格納したソフトウェアに従って演算処理が実行され、もって、その内部に収容されたＥＬ材料を加熱及び蒸発するヒータへ供給する電流（電力）を制御する。このことによれば、ガス状有機ＥＬ材料の基板１７０上への蒸着量を、所望の値に、正確に制御することが可能となる。この結果、表示性能に優れた有機ＥＬデバイスを、効率よく、製造することが可能となる。また、上記の移動機構を構成する電動モータの回転により、誘導部材上の水晶発振式膜厚計１７５の位置を制御することも可能である。なお、ここでは詳述はしないが、上記制御装置を構成するＣＰＵにより、上記図３にも示したクリスタル１０１と高周波発信器５５とを含む共振回路の共振数端数をモニタすることも可能であり、このことによれば、容易に、ＥＬ材料の蒸気が水晶板クリスタル１０１に付着した量を検出することが可能となる。
また、上記記実施例によれば、交換したい所望の箇所のクリスタルのみを交換することが可能となった。また、交換の際に、他のクリスタルの破損や位置ずれが発生しない。その結果、クリスタル交換作業時間の短縮ができ、他のクリスタルへの影響もない。
さらに、従来と同様に、全てのクリスタルを交換したい場合には、カバー全体を従来通り外すことができ、クリスタルの全数交換や、全数配置も容易に実行できる。

１：真空蒸着チャンバ、 ５：搬送ロボット、 ９：受渡部、 １０：クリスタルホルダ、 １１：ローラベアリング、 １２：凹部、 １４：押付け板、 １５：接触式電極板、 ２０：カバー、 ２１：開口部、 ２２：ローラベアリング、 ２４：分離線、 ３０：回転シャフト、 ４０：チョッパ板、 ４１：開口部、 ４２：ネジ、 ５５：発信源、 １００：リテーナ部、 １０１と１０１’：クリスタル、 １０２：接触子、 ５７：アーム、 ５８：櫛歯状ハンド、 ５９：矢印、 １０３：クリスタルホルダ、 ７１、７６：蒸着部、 ７３：ガス状のＥＬ材料、 ８１：アライメント部、 ９１、９３：受渡部、 ９４：固定手段、 ９４ｄ：基板下部に設けた固定手段、 ９４ｕ：基板上部に設けた固定手段、 １０４、１０４’：カバー、 １０５：回転中心軸、 １３１：ホルダの斜面、 ２０１：開口部、 １４１、１４１：庇部、 ３０５：移動方向を示す矢印、 ４００：リテーナ部、 ４０４：カバー、 ４０５：移動方向を示す矢印、 ４４１、４４１’：庇部、 ４４２：ヒンジ、 ５４０：分離線、 ６０３：フレーム、 ６４３、６４３’：止め具、 ６４４：ハンドル部、 ７００：リテーナ部、 １０００：真空室、 １６０：ＥＬ材料、 １６３：坩堝、 １７０：被蒸着基板、 １７１：ガス放出面、 １７２：蒸発源装置、 １７３：放出孔、 １７５：水晶発振式膜厚計。

Claims (4)

1. 複数の水晶振動子を保持するクリスタルホルダと、前記クリスタルホルダの上部に設けられ、該クリスタルホルダに保持された複数の水晶振動子の少なくとも１つに対応した位置に開口部を有し、かつ該開口部位置を水晶振動子の位置に対応して移動させる開口部位置移動機構と、を備えたカバーと、を備えた水晶発振式膜厚計において、
   前記カバーは、前記複数の水晶振動子の少なくとも１つに対応する、それぞれ独立に開閉可能な開閉部を備えたことを特徴とする水晶発振式膜厚計。
2. 請求項１記載の水晶発振式膜厚計において、
   前記開閉部は、それぞれ、開閉可能なヒンジ部を前記カバーの一部に備えたことを特徴とする水晶発振式膜厚計。
3. 請求項２記載の水晶発振式膜厚計において、
   前記開口部位置移動機構は、前記カバーを中心軸まわりに回転させる機構であり、かつ前記ヒンジ部は、対応する水晶振動子の位置に対し、該中心軸側に設けたことを特徴とする水晶発振式膜厚計。
4. 請求項１または２に記載の水晶発振式膜厚計において、
   前記開閉部は、クリスタル交換時には解放され、膜厚測定時には前記カバーに対し固定するためのストッパを備えたことを特徴とする水晶発振式膜厚計。

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