JP2013242215A - 水晶発振式膜厚計 - Google Patents
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Abstract
【課題】蒸発源装置や薄膜形成装置において、交換が必要なクリスタルだけを交換可能なカバーを備えた水晶発振式膜厚計を提供する。
【解決手段】少なくとも、複数の水晶振動子とその外周端に沿って保持する円筒状のクリスタルホルダと、前記クリスタルホルダの表面を覆いかつ当該クリスタルホルダに保持された複数の水晶振動子の1つに対応した位置に開口部を設けたカバーとを備えたリテーナ部とを備え、前記カバーは、前記複数の水晶振動子の1つとそれぞれ対応する開閉部を有し、該開閉部は、それぞれ独立に開閉可能な水晶発振式膜厚計である。
【選択図】図4
【解決手段】少なくとも、複数の水晶振動子とその外周端に沿って保持する円筒状のクリスタルホルダと、前記クリスタルホルダの表面を覆いかつ当該クリスタルホルダに保持された複数の水晶振動子の1つに対応した位置に開口部を設けたカバーとを備えたリテーナ部とを備え、前記カバーは、前記複数の水晶振動子の1つとそれぞれ対応する開閉部を有し、該開閉部は、それぞれ独立に開閉可能な水晶発振式膜厚計である。
【選択図】図4
Description
本発明は、成膜中にリアルタイムに成膜速度を検出することができる水晶発振子式膜厚計に係わり、特に、複数の水晶発振子を架設できる水晶発振子式膜厚計に関する。
ガラスや半導体基板上に蒸着やスパッタなどで薄膜を形成する場合、膜厚を精密に制御することが求められる。成膜後に膜厚を測定することは電子顕微鏡観察や光学式膜厚計、表面粗さ計などを用いて比較的容易に測定することができる。一方で、成膜プロセス中に目的の膜厚になるように制御するための膜厚計としては、現状では、水晶発振子式膜厚計が最も一般的である。水晶発振子式膜厚計は、水晶振動子の表面に膜が形成されると、共振振動数が変化することを利用するものである。予め膜の厚さと共振周波数の変化を校正曲線として把握することで、成膜中にどれだけの厚さの膜が形成されたかを検出することができる。このような水晶振動子式膜厚計が特許文献1、2に記載されている。このような水晶振動子式膜厚計は、水晶振動子表面に一定以上の膜が形成されると膜の剥離や内部応力の蓄積などにより、共振振動が不安定になったり、周波数測定範囲から外れるようになったりする。このようになったときに、その水晶振動子は寿命と判断し、新しい水晶振動子に交換する必要がある。1つの水晶振動子のみを使った膜厚計では、寿命になる度に、水晶振動子を交換するためにプロセスを中断することになる。連続した成膜を行いたい場合は、これは不都合である。このため、複数の水晶振動子を架設し、1つの水晶振動子が寿命となった場合は、新しい水晶振動子に切り替えられるようにするのが一般的である。
複数の水晶振動子を架設した場合でも、すべての水晶振動子が寿命となった場合は、水晶振動子を交換することとなる。従来の水晶振動子式膜厚計は、測定を行う水晶振動子のみ、成膜雰囲気に曝されるような窓部を設けたカバーを設けていた。窓部の下の水晶振動子が寿命となったら、カバーを回転して新しい水晶振動子を成膜雰囲気に曝す、ことを繰り返し、すべての水晶振動子が寿命となった時点で、カバーをはずしてすべての水晶振動子を交換する。
このような構造では、例えば1つの水晶振動子に不具合が見つかってそれだけ交換したい場合でも、すべての水晶振動子を覆うカバーを取り外さなくてはならず、手間がかかっていた。また、カバーを外す際、交換する必要のないクリスタルの落下や位置ずれが発生する可能性がある。
即ち、1つのクリスタル(水晶振動子)を交換する場合であっても、他のクリスタルの落下、クリスタルの破損、クリスタルと接触しとの位置ずれ等を考慮しなければならず、位置ずれの修正等、余計な作業が必要であった。
本発明の目的は、上記の問題に鑑み、交換が必要なクリスタルだけを交換可能なカバーを備えた水晶発振式膜厚計を提供することにある。
このような構造では、例えば1つの水晶振動子に不具合が見つかってそれだけ交換したい場合でも、すべての水晶振動子を覆うカバーを取り外さなくてはならず、手間がかかっていた。また、カバーを外す際、交換する必要のないクリスタルの落下や位置ずれが発生する可能性がある。
即ち、1つのクリスタル(水晶振動子)を交換する場合であっても、他のクリスタルの落下、クリスタルの破損、クリスタルと接触しとの位置ずれ等を考慮しなければならず、位置ずれの修正等、余計な作業が必要であった。
本発明の目的は、上記の問題に鑑み、交換が必要なクリスタルだけを交換可能なカバーを備えた水晶発振式膜厚計を提供することにある。
上記の目的を達成するための、本発明の構成は以下の通りである。
複数の水晶振動子を保持するクリスタルホルダと、前記クリスタルホルダの上部に設けられ、該クリスタルホルダに保持された複数の水晶振動子の少なくとも1つに対応した位置に開口部を有し、かつ該開口部位置を水晶振動子の位置に対応して移動させる開口部位置移動機構と、を備えたカバーと、を備えた水晶発振式膜厚計において、前記カバーは、前記複数の水晶振動子の少なくとも1つに対応する、それぞれ独立に開閉可能な開閉部を備えた水晶発振式膜厚計。
複数の水晶振動子を保持するクリスタルホルダと、前記クリスタルホルダの上部に設けられ、該クリスタルホルダに保持された複数の水晶振動子の少なくとも1つに対応した位置に開口部を有し、かつ該開口部位置を水晶振動子の位置に対応して移動させる開口部位置移動機構と、を備えたカバーと、を備えた水晶発振式膜厚計において、前記カバーは、前記複数の水晶振動子の少なくとも1つに対応する、それぞれ独立に開閉可能な開閉部を備えた水晶発振式膜厚計。
上記水晶発振式膜厚計において、前記カバーは、それぞれ、開閉可能なヒンジ部を有していても良い。
上記水晶発振式膜厚計において、前記ヒンジ部は、前記カバーの中心側に設けても良い。
上記水晶発振式膜厚計において、前記開閉部は、クリスタル交換時には解放され、非交換時には固定されるストッパを有していても良い。
本発明によれば、クリスタル交換時に他のクリスタルの落下や位置ずれがなく、メンテナンス時間が短縮できる。
図1〜図3によって、従来のクリスタルの交換の様子について説明する。図1は、従来の水晶発振式膜厚計の一実施例の側面の概略を示す断面図である。また、図2は、従来の水晶発振式膜厚計のリテーナ部を上から見た略平面図である。さらに、図3は、従来の水晶発振式膜厚計のクリスタルの交換作業について説明するための側面図である。100はリテーナ部、101と101’はクリスタル、102は接触子、103はクリスタルホルダ、104と104’はカバー、105は回転中心軸、131はクリスタルホルダ103の斜面、201は開口部、305はカバー104、104’の移動方向を示す矢印、141と141’はカバー104の庇部である。
図1のリテーナ部100において、クリスタルホルダ103は、回転中心軸105を中心としたほぼ円筒状の外形を有し、さらに、その外周部に所定の角度θを持たせた斜面131を有している。斜面131上には、クリスタル101それぞれと電気的に接続するための12個の接触子102が回転中心軸105を中心として同心円状に均等に配置される。また、カバー104は、接触子102を取り付けたクリスタルホルダ103の上面全体を覆うように形成され、もって、クリスタルホルダ103の上面を覆う。即ち、カバー104は、その外周部を下側に所定の角度θを持たせるように曲げた庇部141を有する。
図2にも示すように、カバー104は、クリスタル101に対応する開口部201がそれぞれの庇部141に設けられ、開口部201を通過するガス状(または、蒸気状)のEL材料がクリスタル101の表面に付着するようにしている。
クリスタル101は、開口部201に対応するカバー104の庇部141の内面側に設けられた窪み(図示しない)に嵌まるように、回転中心軸105を中心とする円周上に12個が配置可能に設けられる。
図1のリテーナ部100において、クリスタルホルダ103は、回転中心軸105を中心としたほぼ円筒状の外形を有し、さらに、その外周部に所定の角度θを持たせた斜面131を有している。斜面131上には、クリスタル101それぞれと電気的に接続するための12個の接触子102が回転中心軸105を中心として同心円状に均等に配置される。また、カバー104は、接触子102を取り付けたクリスタルホルダ103の上面全体を覆うように形成され、もって、クリスタルホルダ103の上面を覆う。即ち、カバー104は、その外周部を下側に所定の角度θを持たせるように曲げた庇部141を有する。
図2にも示すように、カバー104は、クリスタル101に対応する開口部201がそれぞれの庇部141に設けられ、開口部201を通過するガス状(または、蒸気状)のEL材料がクリスタル101の表面に付着するようにしている。
クリスタル101は、開口部201に対応するカバー104の庇部141の内面側に設けられた窪み(図示しない)に嵌まるように、回転中心軸105を中心とする円周上に12個が配置可能に設けられる。
リテーナ部100の中心軸105には、ロールベアリング(図示しない)が取り付けられており、当該ロールベアリングを介して、チョッパ板(図示しない)を回転駆動するための回転シャフト(図示しない)が、回転可能に設けられている。さらに、当該回転シャフトは、上記ロールベアリングを介して、カバー104に対しても回転可能に取り付けられている。
そして、当該回転シャフトの上記ロールベアリングから突出した先端部には、やはり外形が略円盤状であり、かつ、その外周部を円錐状に窪ませ、かつ、その一部に開口部(例えば、穴や切欠き:図示しない)を形成したチョッパ板が、その中心部において、例えば、ネジ(図示しない)により一体に回転可能に固定されている。
そして、当該回転シャフトの上記ロールベアリングから突出した先端部には、やはり外形が略円盤状であり、かつ、その外周部を円錐状に窪ませ、かつ、その一部に開口部(例えば、穴や切欠き:図示しない)を形成したチョッパ板が、その中心部において、例えば、ネジ(図示しない)により一体に回転可能に固定されている。
このような水晶発振式膜厚計に関する本発明の実施の形態について、以下、添付の図面を参照しながら、詳細に説明する。
なお、以下の説明は、本発明の一実施形態を説明するためのものであり、本願発明の範囲を制限するものではない。従って、当業者であればこれらの各要素若しくは全要素をこれと均等なものに置換した実施形態を採用することが可能であり、これらの実施形態も本願発明の範囲に含まれる。
なお、既に説明した図1〜図3を含め、各図の説明において、共通な機能を有する構成要素には同一の参照番号を付し、できるだけ説明の重複を避ける。
なお、以下の説明は、本発明の一実施形態を説明するためのものであり、本願発明の範囲を制限するものではない。従って、当業者であればこれらの各要素若しくは全要素をこれと均等なものに置換した実施形態を採用することが可能であり、これらの実施形態も本願発明の範囲に含まれる。
なお、既に説明した図1〜図3を含め、各図の説明において、共通な機能を有する構成要素には同一の参照番号を付し、できるだけ説明の重複を避ける。
まず、添付の図4〜図6によって、本発明の一実施の形態になる水晶発振式膜厚計のリテーナ部について説明する。図4は、本発明の水晶発振式膜厚計の一実施例の側面の概略を示す断面図である。また、図5は、本発明の水晶発振式膜厚計のリテーナ部を上から見た略平面図である。さらに、図6は、本発明の水晶発振式膜厚計のリテーナ部のカバーの一部を説明するための図である。図6において、(a)は、カバーのフレーム部を示す平面図であり、(b)は、フレーム部に庇部を組み付けたカバーの一部の側面の概略を示す平面図であり、(c)は、図6(b)の中心線での断面図である。400はリテーナ部、404はカバー、405はカバー404の一部644の移動方向を示す矢印、441と441’はカバー404の庇部、540は隣接するそれぞれの庇部404の分離線、442はヒンジ、603はフレーム、643と643’は止め具、644は止め具643のハンドル部である。
図4〜図6のリテーナ部400において、クリスタルホルダ103は、回転中心軸105を中心としたほぼ円筒状の外形を有し、さらに、その外周部に所定の角度θを持たせた斜面131を有している。斜面131上には、クリスタル101それぞれと電気的に接続するための12個の接触子102が回転中心軸105を中心として同心円状に均等に配置される。また、カバー404は、接触子102を取り付けたクリスタルホルダ103の上面全体を覆うように形成され、もって、クリスタルホルダ103の上面を覆う。即ち、カバー404は、その外周部を下側に所定の角度θを持たせるように曲げた庇部を有する。
庇部は、分離線540によって、12個の庇部441に分離している。それらの庇部441には、それぞれ、1個の開口部210が設けられ、開口部210には、それぞれ1個ずつのクリスタル101が配置可能である。また、庇部441の内周部(中心線105)側には、ヒンジ442を設けている。このヒンジ442によって、庇部441は、フレーム603に対して、あたかも扉のように、矢印405の方向に開閉可能である。この結果、クリスタルホルダ103を覆っているカバー404は、それぞれの庇部441が、単独に庇部441’のように開くことができるため、個々のクリスタル101をそれぞれ単独に交換することができる。
カバー404の複数(例えば、12個)の庇部441は、それぞれ1個のクリスタル101が配置可能である。例えば、カバー404は、開口部201に対応するカバー404の内側に、回転中心軸105を中心とする円周上に設けられた窪み(図示しない)に嵌まるように構成される。例えば、カバー404は、図2に示すように、回転中心軸105を中心とする円周上に12個設けられる。なお、庇部441は、それぞれ、図6(a)に示すような枠であるフレーム603が、隣接するフレーム同士を機械的に接続した一体構成となっている。
そして、フレーム603と庇部441とをヒンジ(蝶番)442で結合し、庇部441は、ヒンジ442によって、個々に開閉可能である。
庇部441の外円側には、クリスタル101の交換作業時以外には、庇部441とフレーム603とを密着固定するための止め具643(643’)を設けている。止め具643(643’)は、庇部441と平行な面上を回転可能なハンドル部644を設けられている。このため、ハンドル部644の押圧力によって閉時には、フレーム603と庇部441とが開かないように抑え、かつ、接触子102とクリスタル101とが電気的に接続される。また、クリスタル101の交換時には、所望の庇部441のハンドル部644を回転して、庇部441を開いて(庇部441’)、クリスタルを交換する。交換後、再び庇部441’を閉じて(庇部441)、ハンドル部644で固定する。
そして、フレーム603と庇部441とをヒンジ(蝶番)442で結合し、庇部441は、ヒンジ442によって、個々に開閉可能である。
庇部441の外円側には、クリスタル101の交換作業時以外には、庇部441とフレーム603とを密着固定するための止め具643(643’)を設けている。止め具643(643’)は、庇部441と平行な面上を回転可能なハンドル部644を設けられている。このため、ハンドル部644の押圧力によって閉時には、フレーム603と庇部441とが開かないように抑え、かつ、接触子102とクリスタル101とが電気的に接続される。また、クリスタル101の交換時には、所望の庇部441のハンドル部644を回転して、庇部441を開いて(庇部441’)、クリスタルを交換する。交換後、再び庇部441’を閉じて(庇部441)、ハンドル部644で固定する。
上記実施例によれば、交換したい所望の箇所のクリスタルのみを交換することが可能となった。また、交換の際に、他のクリスタルの破損や位置ずれが発生しない。その結果、クリスタル交換作業時間の短縮ができ、他のクリスタルへの影響もなくなった。
さらに、従来と同様に、全てのクリスタルを交換したい場合には、カバー全体を従来通り外すことができ、クリスタルの全数交換や、全数配置も容易に実行できる。
さらに、従来と同様に、全てのクリスタルを交換したい場合には、カバー全体を従来通り外すことができ、クリスタルの全数交換や、全数配置も容易に実行できる。
次に、図7と図8は、本発明の他の実施例について説明する。
まず、図7によって、本発明の一実施の形態になる水晶発振式膜厚計の、特に、リテーナ部について説明する。
図7からも明らかなように、リテーナ部700は、外形が略円盤状であり、かつ、外周部(例えば、半径の略半分より外側)を、所定の角度(以下の図8のθを参照)だけ内側に、円錐状に窪ませてなるクリスタルホルダ10と、このクリスタルホルダ10の全体を覆うように形成され、もって、クリスタルホルダ10の表面を覆う(即ち、外周部を円錐状に窪ませる)と共に、その一部(後にも述べるが、その頂部)に円形の開口部21を形成した、所謂、カバー20とを備えている。また、カバー20は、複数の分離線24により、図4〜図6と同様に、開口部21毎に庇部を開閉可能に設けられ、クリスタル101を個々に交換可能となっている。詳細は、図4〜図6と同様であるので、説明を省略する。
まず、図7によって、本発明の一実施の形態になる水晶発振式膜厚計の、特に、リテーナ部について説明する。
図7からも明らかなように、リテーナ部700は、外形が略円盤状であり、かつ、外周部(例えば、半径の略半分より外側)を、所定の角度(以下の図8のθを参照)だけ内側に、円錐状に窪ませてなるクリスタルホルダ10と、このクリスタルホルダ10の全体を覆うように形成され、もって、クリスタルホルダ10の表面を覆う(即ち、外周部を円錐状に窪ませる)と共に、その一部(後にも述べるが、その頂部)に円形の開口部21を形成した、所謂、カバー20とを備えている。また、カバー20は、複数の分離線24により、図4〜図6と同様に、開口部21毎に庇部を開閉可能に設けられ、クリスタル101を個々に交換可能となっている。詳細は、図4〜図6と同様であるので、説明を省略する。
クリスタルホルダ10の中心部にはローラベアリング11が取り付けられている。そして、当該ローラベアリング11を介して、後にも述べるが、チョッパ板40を回転駆動するための回転シャフト30が、回転可能に植立されている。更に、当該回転シャフト30は、上記カバー20の中心部に取り付けられたローラベアリング22を介して、当該カバー20に対しても回転可能に取り付けられている。
図8には、上述したクリスタルホルダ10の詳細を示している。このクリスタルホルダ10は、上記カバー20やチョッパ板40と同様に、例えば、ステンレスやアルミニウムなどの金属により形成されている。そして、その外周部の窪んだ面(即ち、円錐面)には、複数(本例では、8箇所)の凹部12が円周上に均等な距離だけ離れて形成されている。これらの凹部12の内部には、外形円盤状のクリスタル101が、複数(本例では、8個)、それぞれ、挿入されると共に、その上部からは、リング状でかつ円錐状に窪んだ面に複数(本例では、8箇所)の開口部21を形成した押付け板14が取り付けられている。なお、ここでは図示しないが、これら水晶振動子ホルダ10の凹部11や押付け板14には、それぞれ、例えば、板バネなどからなる電極が取り付けられており、更に、上記クリスタルホルダ10の下部に設けられた一対の接触式電極板15を介してリテーナ部700の外部に電気的に導かれる。また、図中の符号51は、上記クリスタル101の表面に形成された電極を示している。
また、上記クリスタルホルダ10の円錐状に窪んだ面によれば、リテーナ部700を構成するクリスタルホルダ10の外周部の円錐状部に形成された凹部11内に保持されたクリスタル101は、その表面から延長した垂線が、当該円盤状のホルダを含むリテーナ部の回転軸に対し、所定の角度θだけ傾斜するように配置されることとなる。
図9は、水晶発振式膜厚計において、クリスタルホルダのクリスタルを含で形成される高周波共振回路の一例を示す回路図である。
上述の図7〜図8において、リテーナ部700を構成するカバー20の円形の開口部21を介して外部にその電極を露出したクリスタル101を挟んで(より具体的には、その両面に形成した電極を挟んで)、図9にも示すように、高周波の発信源(発信機)55からの高周波信号が印加されており、これによって、所謂、共振回路を形成している。即ち、クリスタル101の表面にEL材料の蒸気を含む物質が付着すると、その共振振動数が変化する現象を利用して、所謂、水晶発振式膜厚計が形成されている。そして、上記クリスタル101の表面に付着する物質が一定の膜厚(即ち、寿命)に達すると、クリスタルホルダ10を所定の角度(本実施例では、360/8=40度であり、図4〜図7の実施例では、360/12=30度である)だけ回転駆動し、もって、新たな水晶板クリスタル101と交換する。
上述の図7〜図8において、リテーナ部700を構成するカバー20の円形の開口部21を介して外部にその電極を露出したクリスタル101を挟んで(より具体的には、その両面に形成した電極を挟んで)、図9にも示すように、高周波の発信源(発信機)55からの高周波信号が印加されており、これによって、所謂、共振回路を形成している。即ち、クリスタル101の表面にEL材料の蒸気を含む物質が付着すると、その共振振動数が変化する現象を利用して、所謂、水晶発振式膜厚計が形成されている。そして、上記クリスタル101の表面に付着する物質が一定の膜厚(即ち、寿命)に達すると、クリスタルホルダ10を所定の角度(本実施例では、360/8=40度であり、図4〜図7の実施例では、360/12=30度である)だけ回転駆動し、もって、新たな水晶板クリスタル101と交換する。
次に、水晶発振式膜厚計一般において、回転シャフト30は、リテーナ部により構成される水晶発振式膜厚計が作動している期間は、常に回転しており、もって、チョッパ板40を所定の回転速度で回転駆動する(例えば、図7中の矢印45を参照)。即ち、このチョッパ板40の回転により、上記カバー20の開口部21を介してクリスタル101の電極を外部に露出する時間を一定の間隔にし、即ち、当該クリスタル101に向かって飛翔する蒸発材料を間欠的に遮蔽し、もって、クリスタル101の表面に付着する物質が一定膜厚に達する時間、即ち、その寿命を延長する。
上記実施例によれば、交換したい所望の箇所のクリスタルのみを交換することが可能となった。また、交換の際に、他のクリスタルの破損や位置ずれが発生しない。その結果、クリスタル交換作業時間の短縮ができ、他のクリスタルへの影響もない。
さらに、従来と同様に、全てのクリスタルを交換したい場合には、カバー全体を従来通り外すことができ、クリスタルの全数交換や、全数配置も容易に実行できる。
さらに、従来と同様に、全てのクリスタルを交換したい場合には、カバー全体を従来通り外すことができ、クリスタルの全数交換や、全数配置も容易に実行できる。
本発明の水晶発振式膜厚計が適用できる成膜装置に関し、以下、有機EL蒸着装置を例にして説明する。有機ELデバイス製造装置は、基板上に単に発光材料層(EL層)を形成して電極で挟むだけではなく、陽極の上に正孔注入層や輸送層を形成し、更には、陰極の上に電子注入層や輸送層などを、様々な材料で薄膜として多層形成したり、基板を洗浄したりするものであり、一般に、大別して、処理対象の基板6を搬入するロードクラスタ、前記基板を処理する複数のクラスタ、各クラスタ間又はクラスタとロードクラスタ、或いは、次工程(封止工程)との間の設置された複数の受渡室などから構成されている。なお、本実施形態では、基板を、その蒸着面を上面にして搬送し、他方、蒸着するときには、当該基板を立てた状態で蒸着する。
そして、本発明になる薄膜形成装置の1つである有機EL成膜装置は、上述した有機ELデバイス製造装置において、真空雰囲気中で蒸着して基板上に成膜する真空蒸着チャンバとして機能するものであり、以下、この真空蒸着チャンバについて、搬送チャンバと共に、添付の図10に示す。図10において、搬送チャンバ内の搬送ロボット5は、全体を上下に移動可能(図10の矢印59を参照)で、左右に旋回可能なアーム57を有し、その先端には基板搬送用の櫛歯状ハンド58を有する。
一方、真空蒸着チャンバ1は、大別して、材料を気化させて、例えば、ガス状の有機EL材料73を基板170に蒸着する蒸着部71、76と、メタルマスクの位置合せを行って基板170上の必要な部分に材料を蒸着するアライメント部81と、そして、上記搬送ロボット5との間で基板170の受渡しを行い、当該基板170を蒸着部71、76へ移動させる受渡部91、93で構成される受渡部9からなる。アライメント部81と受渡部91、93は、右側Rラインと左側Lラインの2系統に分けられて設けられる。なお、基板170は、受渡部9に、固定手段(基板上部に設けた固定手段94u及び基板下部に設けた固定手段94d)で固定されている。
本発明の水晶振動式膜厚計は、蒸着部71、76から供給される蒸着材料73が付着する位置に設けられる。上記例では、蒸着部71、76は上下に移動しながら蒸着を行うので、蒸着中の成膜量を正確に測定するためには、蒸着部71、76と連動して移動する位置に本発明の水晶振動式膜厚計をもうけるのが好ましい。また、蒸着部71、76は、単位時間当たりの蒸着量が安定するまでは、待機位置に待機する制御とすることもできるが、その場合は、待機位置に正対する位置に本発明の水晶振動式膜厚計を設け、単位時間当たりの蒸着量が安定したかどうかをチェックできるようにしても良い。
加えて、本発明の水晶発振式膜厚計500では、そのモニタ動作に伴い、クリスタル101の表面に付着する物質が一定膜厚に達すると(即ち、寿命の経過)、上記クリスタルホルダ10を回転して新たな水晶板クリスタル101に交換する(即ち、上記カバー20の開口部21に移動する)必要がある。ところで、当該クリスタルホルダ10を回転するための回転機構として、この図11からも明らかなように、プーリ16が当該クリスタルホルダから伸びた筒部の端部に取り付けられ、また、上記チョッパ板40を回転駆動するための回転シャフト30の他端にも、同様に、プーリ31が取り付けられている。そして、駆動部550には、その回転軸の先端に、やはり、プーリ551、552がそれぞれ取り付けられた電動モータ553、554が設けられ、これら2組のプーリ16と551、31と552の間にはベルト555、556が掛け回され、もって、上記クリスタルホルダ10、そして、チョッパ板40を、それぞれ、回転駆動する。
即ち、図11において矢印や破線のブロックなどで示すように、ベルトや真空使用の電動モータなどを含む回転機構(上記の駆動部550を含む)は、前記クリスタルホルダ10の回転軸に対して垂直な方向に、即ち、リニアソースである蒸発源装置172の筐体176の両端の側面、または、上下の面上に沿った方向に設けられており、かかる回転機構の構成によれば、当該ヘッダ部の頂部(即ち、開口部21を含むカバー20)だけをその筐体176を構成するガス放出面171から僅かに突出されるだけで、当該蒸発源装置172に取り付けることが出来ることから、蒸発したガス状の有機EL材料を放出して表面に蒸着する対向基板170に対し、蒸発源装置172の位置、即ち、当該放出孔の形成面(ガス放出面)171を、極めて近接して配置することが可能となる。即ち、図11の距離Wを極めて小さく設定することができる。これにより、ガス状有機EL材料の基板170上への蒸着効率を向上することが可能となり、その製造速度(効率)を上昇させることが出来る。
また、上記記実施例によれば、交換したい所望の箇所のクリスタルのみを交換することが可能となった。また、交換の際に、他のクリスタルの破損や位置ずれが発生しない。その結果、クリスタル交換作業時間の短縮ができ、他のクリスタルへの影響もない。
さらに、従来と同様に、全てのクリスタルを交換したい場合には、カバー全体を従来通り外すことができ、クリスタルの全数交換や、全数配置も容易に実行できる。
また、上記記実施例によれば、交換したい所望の箇所のクリスタルのみを交換することが可能となった。また、交換の際に、他のクリスタルの破損や位置ずれが発生しない。その結果、クリスタル交換作業時間の短縮ができ、他のクリスタルへの影響もない。
さらに、従来と同様に、全てのクリスタルを交換したい場合には、カバー全体を従来通り外すことができ、クリスタルの全数交換や、全数配置も容易に実行できる。
なお、上記の説明では、上記クリスタルホルダ10やチョッパ板40を回転駆動するための回転機構の一例として、上述したようにプーリとベルトや電動モータなどを含む機構について述べたが、しかしながら、本発明はこれに限定されることなく、例えば、傘歯歯車などを利用することによって、筐体の両端の側面、または、上下の面上に沿った方向に設けられる回転機構を実現することも可能である。
加えて、上記の説明では、本発明の水晶発振式膜厚計175は、リニアソースである蒸発源装置172を構成する横長の筐体の一部に固定して設置されるものとして説明したが、本発明はこれに限定されることない。例えば、横長の筐体176の上面または下面に、一対のレールのような誘導部材を設けておき、この誘導部材に水晶発振式膜厚計175を取り付けることも可能である。なお、この場合、例えば、電動モータやラックアンドピニオン機構などの移動機構を利用することによれば、誘導部材上に水晶発振式膜厚計175が自在に移動可能にすることが可能となる。このことによれば、横長な蒸発源装置172の放出孔形成面(ガス放出面)171からのガス状有機EL材料の放出を、当該計を移動させながら、または、所望の位置に移動して、適宜、必要な膜圧のモニタを行うことが可能となる。
そして、以上の種々述べた水晶発振式膜厚計により検知された検知信号(即ち、膜厚モニタ信号)は、上述した薄膜形成装置、特に、その蒸発源装置172を構成する要素である、例えば、CPU等により構成される制御装置へ転送される。そして、この制御装置の内部においては、メモリ内に予め格納したソフトウェアに従って演算処理が実行され、もって、その内部に収容されたEL材料を加熱及び蒸発するヒータへ供給する電流(電力)を制御する。このことによれば、ガス状有機EL材料の基板170上への蒸着量を、所望の値に、正確に制御することが可能となる。この結果、表示性能に優れた有機ELデバイスを、効率よく、製造することが可能となる。また、上記の移動機構を構成する電動モータの回転により、誘導部材上の水晶発振式膜厚計175の位置を制御することも可能である。なお、ここでは詳述はしないが、上記制御装置を構成するCPUにより、上記図3にも示したクリスタル101と高周波発信器55とを含む共振回路の共振数端数をモニタすることも可能であり、このことによれば、容易に、EL材料の蒸気が水晶板クリスタル101に付着した量を検出することが可能となる。
また、上記記実施例によれば、交換したい所望の箇所のクリスタルのみを交換することが可能となった。また、交換の際に、他のクリスタルの破損や位置ずれが発生しない。その結果、クリスタル交換作業時間の短縮ができ、他のクリスタルへの影響もない。
さらに、従来と同様に、全てのクリスタルを交換したい場合には、カバー全体を従来通り外すことができ、クリスタルの全数交換や、全数配置も容易に実行できる。
また、上記記実施例によれば、交換したい所望の箇所のクリスタルのみを交換することが可能となった。また、交換の際に、他のクリスタルの破損や位置ずれが発生しない。その結果、クリスタル交換作業時間の短縮ができ、他のクリスタルへの影響もない。
さらに、従来と同様に、全てのクリスタルを交換したい場合には、カバー全体を従来通り外すことができ、クリスタルの全数交換や、全数配置も容易に実行できる。
1:真空蒸着チャンバ、 5:搬送ロボット、 9:受渡部、 10:クリスタルホルダ、 11:ローラベアリング、 12:凹部、 14:押付け板、 15:接触式電極板、 20:カバー、 21:開口部、 22:ローラベアリング、 24:分離線、 30:回転シャフト、 40:チョッパ板、 41:開口部、 42:ネジ、 55:発信源、 100:リテーナ部、 101と101’:クリスタル、 102:接触子、 57:アーム、 58:櫛歯状ハンド、 59:矢印、 103:クリスタルホルダ、 71、76:蒸着部、 73:ガス状のEL材料、 81:アライメント部、 91、93:受渡部、 94:固定手段、 94d:基板下部に設けた固定手段、 94u:基板上部に設けた固定手段、 104、104’:カバー、 105:回転中心軸、 131:ホルダの斜面、 201:開口部、 141、141:庇部、 305:移動方向を示す矢印、 400:リテーナ部、 404:カバー、 405:移動方向を示す矢印、 441、441’:庇部、 442:ヒンジ、 540:分離線、 603:フレーム、 643、643’:止め具、 644:ハンドル部、 700:リテーナ部、 1000:真空室、 160:EL材料、 163:坩堝、 170:被蒸着基板、 171:ガス放出面、 172:蒸発源装置、 173:放出孔、 175:水晶発振式膜厚計。
Claims (4)
- 複数の水晶振動子を保持するクリスタルホルダと、前記クリスタルホルダの上部に設けられ、該クリスタルホルダに保持された複数の水晶振動子の少なくとも1つに対応した位置に開口部を有し、かつ該開口部位置を水晶振動子の位置に対応して移動させる開口部位置移動機構と、を備えたカバーと、を備えた水晶発振式膜厚計において、
前記カバーは、前記複数の水晶振動子の少なくとも1つに対応する、それぞれ独立に開閉可能な開閉部を備えたことを特徴とする水晶発振式膜厚計。 - 請求項1記載の水晶発振式膜厚計において、
前記開閉部は、それぞれ、開閉可能なヒンジ部を前記カバーの一部に備えたことを特徴とする水晶発振式膜厚計。 - 請求項2記載の水晶発振式膜厚計において、
前記開口部位置移動機構は、前記カバーを中心軸まわりに回転させる機構であり、かつ前記ヒンジ部は、対応する水晶振動子の位置に対し、該中心軸側に設けたことを特徴とする水晶発振式膜厚計。 - 請求項1または2に記載の水晶発振式膜厚計において、
前記開閉部は、クリスタル交換時には解放され、膜厚測定時には前記カバーに対し固定するためのストッパを備えたことを特徴とする水晶発振式膜厚計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012115292A JP2013242215A (ja) | 2012-05-21 | 2012-05-21 | 水晶発振式膜厚計 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2012115292A JP2013242215A (ja) | 2012-05-21 | 2012-05-21 | 水晶発振式膜厚計 |
Publications (1)
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JP2013242215A true JP2013242215A (ja) | 2013-12-05 |
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ID=49843232
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Country Status (1)
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106967958A (zh) * | 2017-05-15 | 2017-07-21 | 成都西沃克真空科技有限公司 | 一种晶振探头用晶振盒 |
CN106990209A (zh) * | 2017-05-15 | 2017-07-28 | 成都西沃克真空科技有限公司 | 一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头 |
CN111270216A (zh) * | 2020-03-30 | 2020-06-12 | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 | 一种晶振片更换模块及更换方法 |
JP2021132288A (ja) * | 2020-02-19 | 2021-09-09 | 株式会社アルバック | 水晶振動子の収容ケース |
-
2012
- 2012-05-21 JP JP2012115292A patent/JP2013242215A/ja active Pending
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