KR102081197B1 - 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조 - Google Patents

증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조 Download PDF

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Abstract

본 발명은 QCM센서 주변에 접지시트 또는 접지플레이트를 구비함으로써, 아킹 또는 정전기 등으로 인한 노이즈를 최소화 하여 QCM센서를 안전하게 보호하도록 하고, 이를 통하여 QCM센서의 안정성 및 신뢰성을 향상시키도록 하는 효과가 있다.

Description

증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조{Ground Structure of Deposition Film Thickness Measuring Module}
본 발명은 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 아킹 또는 정전기 등으로 인한 노이즈를 최소화 하여 QCM센서를 안전하게 보호하도록 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이는 컴퓨터 또는 TV 등에서 전기적인 정보를 시각정보로 변화시켜 전달하는 전기소자이다. 이러한 디스플레이를 형성하는 공정은 크게 전처리 공정，성막공정 및 봉지공정으로 나누어진다. 전처리 공정은 전극의 패턴 (Pattern)과 절연 막의 성막 및 패터닝(Patterning)을 하는 공정이다. 성막 공정은 유기막, 전극 등을 형성하는 공정이며, 봉지 공정은 완성된 소자의 유기물의 손상으로 인한 수명 단축 등을 막기 위한 방습과 보호막을 입히는 공정을 말한다. 그 중 성막공정에 속하는 증착 공정은 전극의 증착을 위하여 보트를 이용한 증발원에 펠릿 형태의 증발물질을 공급하고, 증발원에서 증발물질을 가열하여 증발물질을 기판에 증착하여 전극을 형성하게 된다. 이러한 증착 공정은 도가니 내부의 진공 상태에서 증발원으로부터 비행하는 기체 알갱이가 유리나 실리콘 기판표면에 도달하여 박막을 형성하는 것이다.
이러한 증착공정을 수행하는 증착장치는 기판에 증착되는 막 두께의 편차를 줄이기 위하여, 진공증착을 진행하는 동안에 증착되는 재료의 두께를 정확히 측정할 필요가 있다. 이와 같은 증착재료의 실시간 제어를 위해, 현재 통상적으로 QCM(Quarts Crystal Micorbalance) 센서를 사용하는 증착막 두께 측정 모듈을 사용하고 있다.
증착막 두께 측정 모듈에서 사용되는 석영(QC)은 고유한 공진주파수를 가지고 있고, 외부 요인에 의해 그 무게가 변하게 되면 공진주파수 또한 변하게 된다. 이와 같이 무게에 따라 변하는 공진주파수를 기반으로 증착되는 재료의 두께를 측정할 수 있게 된다.
증착막 두께 측정 모듈은 도 1에 도시된 바와 같이, 진공챔버(1) 내에서 타겟(기재) 근처에 위치하게 된다. 먼저 소스(S)가 열에 의해 증발되면, 셔터(2)를 개방하고 그러면 증발된 소스가 타겟(T)에 증착되는 한편 증착막 두께 측정 모듈에서 증착된다.
증착막 두께 측정 모듈에서 원하는 목표값, 즉 원하는 두께를 측정하게 되면 셔터를 폐쇄하여 증발된 소스가 더 이상 타겟에 증착되지 않게 함으로써, 기재에 증착되는 소스의 두께를 정확하게 제어할 수 있게 된다.
이러한 증착막 두께 측정 모듈은 방사상으로 QCM센서가 다수개 설치되는 캐로셀과, 캐로셀의 하부에 설치되어 캐로셀을 일정 반경으로 회전시키기 위해 하부에 결합되는 피드스루 커넥터(Feedthrough connector), 캐로셀을 내측에 수용하고 상부에 윈도우가 형성된 상부커버를 포함하여 윈도우를 통해 QCM센서가 진공챔버 내측으로 노출되도록 한다.
이와 같이 형성된 증착막 두께 측정 모듈은 선택된 하나의 QCM센서가 윈도우를 통해 증발된 소스에 노출되며, 한 작업이 완료된 후 새로운 QCM센서를 사용할 필요가 있게 되면, 캐로셀을 일정 반경만큼 회전시켜 사용된 QCM센서의 인접한 다른 QCM센서가 윈도우를 통해 노출되도록 하여, 캐로셀을 회전시키면서 순차적으로 QCM센서를 사용하게 된다.
한편, 진공챔버 내부는 플라즈마 상태를 유지하기 위해 인가되는 고전압에 의해 순간적인 아킹(arcing)이 발생하기도 하고, 정전기를 발생하기도 한다. 이러한 아킹 또는 정전기는 QCM센서에 손상을 가하게 된다. 이에 따라 QCM센서 주변에 별도의 접지 구조가 구비되어야 하나, 종래 구조는 접지구조가 없어, QCM센서의 수명을 단축시키는 문제점이 있다.
한국공개특허 제 1996-0034977호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 아킹 또는 정전기 등으로 인한 노이즈를 최소화 하여 QCM센서를 안전하게 보호하도록 하는 하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 진공증착기에서 QCM센서를 이용하여 증착막의 두께를 측정하는 증착막 두께 측정 모듈에 있어서, 방사상으로 QCM센서가 설치되는 캐로셀; 상기 캐로셀의 하부에 설치되는 피드스루 커넥터; 상기 캐로셀과 상기 피드스루커넥터 간을 연결시키는 샤프트 커플링; 및 접지를 위하여 상기 캐로셀의 하면에 설치되는 접지시트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조를 제공한다.
상기 캐로셀의 하면 중앙에 상기 샤프트 커플링이 삽입되고, 상기 접지시트는 상기 캐로셀의 하면 중앙을 중심점으로 하여 상기 캐로셀의 하면에 복수 개가 방사상으로 배열되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조를 제공한다.
상기 접지시트는 상기 중심점과 상기 QCM센서 사이에 위치되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조를 제공한다.
상기 접지시트는 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조를 제공한다.
상기 중심점과 대향되는 상기 접지시트의 길이방향 일측은 울퉁불통하게 형성되고, 상기 중심점의 반대 방향과 대향되는 상기 접지시트의 길이방향 타측은 평평하게 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조를 제공한다.
상기 접지시트는 베릴룸-구리 합금 또는 금을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조를 제공한다.
진공증착기에서 QCM센서를 이용하여 증착막의 두께를 측정하는 증착막 두께 측정 모듈에 있어서, 방사상으로 QCM센서가 설치되는 캐로셀; 상기 캐로셀의 하부에 설치되는 피드스루 커넥터; 상기 캐로셀과 상기 피드스루커넥터 간을 연결시키는 샤프트 커플링; 및 상기 캐로셀과 이격되도록 상기 샤프트 커플링에 장착되는 접지플레이트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조를 제공한다.
상기 접지플레이트는 원판 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조를 제공한다.
상기 샤프트 커플링에 가이드판이 구비되고, 상기 접지플레이트는, 상기 가이드판의 일면에 장착되되 중앙에 상기 샤프트 커플링이 관통되는 접지판과, 상기 접지판의 테두리를 따라 상기 가이드판 방향으로 돌출되는 링 형상의 테두리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조를 제공한다.
상기 접지플레이트의 테두리를 따라 복수 개의 관통홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조를 제공한다.
상기 캐로셀은 원판 형상으로 상기 피드스루 커넥터에 연결되어 회전되는 상부 회전판과, 상기 상부 회전판의 하부에 결합되는 하부 고정판을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조를 제공한다.
상기 상부 회전판은 방사상으로 상기 QCM센서가 설치되는 설치공이 형성되며, 하부에는 상기 샤프트 커플링의 접촉면과 대응되는 밀착면이 돌출형성되고, 중심부에는 상기 샤프트 커플링의 돌출부가 밀착삽입되기 위한 밀착삽입홈부가 마련되고, 상기 밀착면 상에 하부 고정핀이 삽입되는 삽입공이 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조를 제공한다.
상기 하부 고정판은 원판 형상으로 표면에는 상기 각 설치공에 각각 대응되는 볼트체결공이 형성되며, 중심부에는 상기 샤프트 커플링이 삽입되기 위한 관통공이 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조를 제공한다.
상기 캐로셀의 상부를 커버하도록 내측 수용공간이 형성되는 상부커버를 더 포함하되, 상기 상부커버는 상기 증착막 두께 측정 모듈의 일측에 고정결합되며, 상부 일측에는 상기 QCM센서와 대응되는 크기의 윈도우가 상기 QCM센서가 설치되는 원호상에 형성되어, 상기 피드스루 커넥터를 일정 반경으로 회전시키면서 상기 캐로셀에 설치된 QCM센서가 상기 윈도우를 통해 순차적으로 노출되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조를 제공한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, QCM센서 주변에 접지시트 또는 접지플레이트를 구비함으로써, 아킹 또는 정전기 등으로 인한 노이즈를 최소화 하여 QCM센서를 안전하게 보호하도록 하고, 이를 통하여 QCM센서의 안정성 및 신뢰성을 향상시키도록 하는 효과가 있다.
도 1은 종래 증착막 두께 측정 모듈의 구성을 간단하게 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈을 나타낸 분해사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈을 나타낸 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 캐로셀 상부에 QCM센서가 안착되는 상태를 나타낸 분해사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈에서의 샤프트 커플링의 결합구조를 나타낸 측단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조의 캐로셀에 설치되는 접지시트를 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조에 구비되는 접지플레이트를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 접지플레이트를 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조의 접지시트 및 접지플레이트의 노이즈 레벨을 나타낸 도면이다.
도 10은 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조의 접지시트 및 접지플레이트의 액티비티 변화량을 나타낸 도면이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈을 나타낸 분해사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈을 나타낸 평면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 캐로셀 상부에 QCM센서가 안착되는 상태를 나타낸 분해사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈에서의 샤프트 커플링의 결합구조를 나타낸 측단면도이다.
도면을 참조하면, 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈은 내측에 캐로셀(200)이 수납되며 상부면에 윈도우(110)가 형성되는 상부커버(100)와, 상부커버(100) 내측에 수납되며 방사상으로 QCM센서(240)가 설치되는 캐로셀(200)과, 캐로셀(200)의 하부에 설치되어 캐로셀(200)을 일정 반경으로 회전시키는 피드스루 커넥터(400)와, 캐로셀(200)과 피드스루 커넥터(400) 간에 축결합되어 피드스루 커넥터(400)의 회전력을 캐로셀(200)로 전달시키는 샤프트 커플링(300)를 포함하여 구성된다.
상부커버(100)는 캐로셀(200)의 상부를 커버하도록 내측 수용공간이 형성되어 증착막 두께 측정 모듈의 일측에 고정결합되며, 상부 일측면에는 QCM센서(240)와 대응되는 크기의 윈도우(110)가 형성된다. 여기서 상부커버(100)에 형성되는 윈도우(110)는 캐로셀(200)에 방사상으로 설치되는 QCM센서(240)와 동일한 원호상에 형성되어, 캐로셀(200)이 피드스루 커넥터(400)의 회전에 의해 일정 반경으로 회전되면 윈도우(110)를 통해 QCM센서(240)가 순차적으로 노출된다.
캐로셀(200)은 원판 형상으로 하부에 후술될 샤프트 커플링(300)의 돌출부(301)에 대응되는 홈부(201)가 형성되어 돌출부(301)가 홈부(201)로 삽입되고, 홈부(201)상에는 상하로 관통된 체결공(202)이 형성되어, 하단부에 결합부(211)가 형성되는 고정캡(210)이 캐로셀(200)의 체결공(202)에서 샤프트 커플링(300)의 체결공(302)으로 관통결합된다. 여기서 고정캡(210)은 하방으로 연장되는 결합부(211)가 형성되고, 결합부(211)의 상단부에는 원판 형상의 고정플레이트(212)가 일체로 형성된다.
상기와 같은 캐로셀(200)에 대해 더욱 자세히 설명하자면, 캐로셀(200)은 피드스루 커넥터(400)에 연결되어 회전되는 상부 회전판(220)과, 상부 회전판(220)의 하부에 결합되는 하부 고정판(230)을 포함하여 구성된다.
상부 회전판(220)은 방사상으로 QCM센서(240)가 설치되는 설치공(221)이 형성되며, 하부에는 후술될 샤프트 커플링(300)의 접촉면(303)과 대응되는 밀착면(222)이 돌출형성되고, 중심부에는 샤프트 커플링(300)의 돌출부(301)가 밀착삽입되기 위한 밀착삽입홈부(223)가 마련되고, 밀착면(222) 상에 고정핀(310)이 삽입되는 삽입공(224)이 형성된다.
하부 고정판(230)은 원판 형상으로 표면에는 각 설치공(221)에 각각 대응되는 볼트체결공(231)이 형성되며, 중심부에는 샤프트 커플링(300)가 삽입되기 위한 관통공(232)이 형성된다.
아울러, QCM센서(240)는 상면에 설치되는 수정 발진자(241)와, 수정 발진자(241)의 하부에 배치되는 핑거스프링(242)과, 핑거스프링(242)과 수정 발진자(241)를 고정시키는 고정블럭(243)을 포함하여, 하부 고정판(230)의 하부 볼트체결공(231)으로 고정블럭(243)이 삽입된다.
샤프트 커플링(300)은 하단부에 외부로 돌출된 삽입돌기(320)가 형성되고, 피드스루 커넥터(400)의 상단부에는 삽입돌기(320)가 삽입되는 고정안내부(410)가 형성되어, 샤프트 커플링(300)의 삽입돌기(320)가 피드스루 커넥터(400)의 고정안내부(410)에 직결된다.
도 6은 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조의 캐로셀에 설치되는 접지시트를 나타낸 도면이다.
도 6을 참조하면, 접지시트(250)는 캐로셀(200)의 하부고정판(230)에 설치된다. 이러한 접지시트(250)는 진공챔버 내부에 형성되는 아킹 또는 정전기로부터 QCM센서(240)를 보호하기 위한 것이다. 이를 위하여 캐로셀(200)의 하부고정판(230) 중앙에 샤프트 커플링(300)이 삽입되고, 접지시트(250)는 하부고정판(230)의 하면 중앙을 중심점으로 하여 하부고정판(230)의 하면에 복수 개가 방사상으로 배열된다. 이에 따라, 접지시트(250)는 상기 중심점과 상기 QCM센서(240) 사이에 위치되어, 진공챔버 내부에 형성되는 아킹 또는 정전기를 접지시트(250)로 유도하여, 아킹 또는 정전기가 QCM센서(240)에 영향을 끼치지 않도록 한다.
이러한 접지시트(250)는 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성되되 복수 개로 구성되어, 복수 개의 상기 접지시트(250)는 상기 중심점을 중심으로 하여 다각형 형태로 배열된다. 이때, 접지시트(250)의 길이방향 단부는 첨예하도록 첨예부(252)가 돌출되도록 형성된다. 그리고 상기 중심점과 대향되는 상기 접지시트(250)의 길이방향 일측부(254)는 울퉁불통하게 형성되고, 상기 중심점의 반대 방향과 대향되는 상기 접지시트(250)의 길이방향 타측부(256)는 평평하게 형성된다.
그리고 접지시트(250)는 스파크 및 불꽃이 발생하지 않는 베릴룸-구리(Be-Cu) 합금으로 구성될 수 있다. 또는 접지시트(250)는 열 및 전기 전도성, 내마모성, 내부식성이 좋은 금(Au) 합금으로 구성될 수 있다.
도 7은 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조에 구비되는 접지플레이트를 나타낸 도면이고, 도 8은 본 발명에 따른 접지플레이트를 나타낸 도면이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 접지플레이트(510)는 도 6에서 설명한 접지시트(250)와 동일한 접지 역할을 하는 것으로, 캐로셀(200)과 이격되도록 샤프트 커플링(300)에 장착된다. 이를 위하여 샤프트 커플링(300)에 캐로셀(200)과 마주보도록 가이드판(500)이 장착되고, 접지플레이트(510)는 캐로셀(200)과 마주보는 가이드판(500)의 일면에 장착된다. 이러한 접지플레이트(510)는 원판 형상으로 형성되되 가이드판(500)의 일면에 장착되는 접지판(512)과, 상기 접지판(512)의 테두리를 따라 상기 가이드판(500) 방향으로 돌출되는 링 형상의 테두리부(514)를 포함한다. 그리고 접지판(512)의 중앙에 샤프트 커플링(300)이 관통되고, 접지판(512)의 테두리를 따라 복수 개의 관통홀(513)이 형성된다.
도 9는 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조의 접지시트 및 접지플레이트의 노이즈 레벨을 나타낸 도면이다.
도 6 내지 도 9를 참조하면, 도 9에 도시된 표의 1번은 접지시트(250)와 접지플레이트(510)가 모두 없는 상태, 2번은 접지시트(250)만 장착한 상태, 3번은 접지플레이트(510)만 장착한 상태, 4번은 접지시트(250)와 접지플레이트(510)를 모두 장착한 상태이다.
상기 표에 나타난 바와 같이, 1번에 비하여 2번 내지 4번이 현저하게 낮은 Standard deviation Rate를 보여주고 있음을 알 수 있으며, 특히 접지시트(250)와 접지플레이트(510)를 모두 장착한 4번의 경우, 가장 낮은 Standard deviation Rate를 보여주고 있음을 알 수 있다. 이를 통하여, 접지시트(250) 및 접지플레이트(510)의 경우, 노이즈를 현저하게 줄일 수 있음을 확인할 수 있어, 본 발명의 접지시트(250) 및 접지플레이트(510)는 접지 효과가 뛰어남을 알 수 있다.
도 10은 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조의 접지시트 및 접지플레이트의 액티비티 변화량을 나타낸 도면이다.
도 6 내지 도 8 및 도 10을 참조하면, 도 10에 도시된 표의 1번은 접지시트(250)와 접지플레이트(510)가 모두 없는 상태, 2번은 접지시트(250)만 장착한 상태, 3번은 접지플레이트(510)만 장착한 상태, 4번은 접지시트(250)와 접지플레이트(510)를 모두 장착한 상태이다.
상기 표에 나타난 바와 같이, 1번에 비하여 2번 내지 4번이 현저하게 낮은 Standard deviation Activity를 보여주고 있음을 알 수 있으며, 특히 접지시트(250)와 접지플레이트(510)를 모두 장착한 4번의 경우, 가장 낮은 Standard deviation Activity를 보여주고 있음을 알 수 있다. 이를 통하여, 접지시트(250) 및 접지플레이트(510)의 경우, 노이즈를 현저하게 줄일 수 있음을 확인할 수 있어, 본 발명의 접지시트(250) 및 접지플레이트(510)는 접지 효과가 뛰어남을 알 수 있다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 청구범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
100 : 상부커버 110 : 윈도우
200 : 캐로셀 201 : 홈부
202 : 체결공 210 : 고정캡
211 : 결합부 212 : 고정플레이트
220 : 상부 회전판 221 : 설치공
222 : 밀착면 223 : 밀착삽입홈부
224 : 삽입공 230 : 하부 고정판
231 : 볼트체결공 232 : 관통공
240 : QCM센서 241 : 수정 발진자
242 : 핑거스프링 243 : 고정블럭
250 : 접지시트 252 : 첨예부
254 : 일측부 256 : 타측부
300 : 샤프트 커플링 310 : 고정핀
301 : 돌출부 302 : 체결공
303 : 접촉면 320 : 삽입돌기
400 : 피드스루 커넥터 410 : 고정안내부
413 : 고정홈부 500 : 가이드판
510 : 접지플레이트 512 : 접지판
513 : 관통홀 514 : 테두리부

Claims (14)

  1. 진공증착기에서 QCM센서를 이용하여 증착막의 두께를 측정하는 증착막 두께 측정 모듈에 있어서,
    방사상으로 QCM센서가 설치되는 캐로셀;
    상기 캐로셀의 하부에 설치되는 피드스루 커넥터;
    상기 캐로셀과 상기 피드스루커넥터 간을 연결시키는 샤프트 커플링; 및
    접지를 위하여 상기 캐로셀의 하면에 설치되는 접지시트를 포함하여 구성되며,
    상기 캐로셀의 하면 중앙에 상기 샤프트 커플링이 삽입되고,
    상기 접지시트는 상기 캐로셀의 하면 중앙을 중심점으로 하여 상기 캐로셀의 하면에 복수 개가 방사상으로 배열되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 접지시트는 상기 중심점과 상기 QCM센서 사이에 위치되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 접지시트는 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 접지시트의 길이방향 일측은 울퉁불통하게 형성되고,
    상기 접지시트의 길이방향 타측은 평평하게 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 접지시트는 베릴룸-구리 합금 또는 금을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조.
  7. 진공증착기에서 QCM센서를 이용하여 증착막의 두께를 측정하는 증착막 두께 측정 모듈에 있어서,
    방사상으로 QCM센서가 설치되는 캐로셀;
    상기 캐로셀의 하부에 설치되는 피드스루 커넥터;
    상기 캐로셀과 상기 피드스루커넥터 간을 연결시키는 샤프트 커플링;
    상기 캐로셀과 이격되도록 상기 샤프트 커플링에 장착되는 접지플레이트를 포함하여 구성되며,
    상기 샤프트 커플링에 가이드판이 구비되고,
    상기 접지플레이트는, 상기 가이드판의 일면에 장착되되 중앙에 상기 샤프트 커플링이 관통되는 접지판과, 상기 접지판의 테두리를 따라 상기 가이드판 방향으로 돌출되는 링 형상의 테두리부를 더 포함하고,
    상기 접지플레이트는 원판 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 접지플레이트의 테두리를 따라 복수 개의 관통홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조.
  11. 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 캐로셀은 원판 형상으로 상기 피드스루 커넥터에 연결되어 회전되는 상부 회전판과, 상기 상부 회전판의 하부에 결합되는 하부 고정판을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 상부 회전판은
    방사상으로 상기 QCM센서가 설치되는 설치공이 형성되며, 하부에는 상기 샤프트 커플링의 접촉면과 대응되는 밀착면이 돌출형성되고, 중심부에는 상기 샤프트 커플링의 돌출부가 밀착삽입되기 위한 밀착삽입홈부가 마련되고, 상기 밀착면 상에 하부 고정핀이 삽입되는 삽입공이 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 하부 고정판은
    원판 형상으로 표면에는 상기 각 설치공에 각각 대응되는 볼트체결공이 형성되며, 중심부에는 상기 샤프트 커플링이 삽입되기 위한 관통공이 형성되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 캐로셀의 상부를 커버하도록 내측 수용공간이 형성되는 상부커버를 더 포함하되,
    상기 상부커버는 상기 증착막 두께 측정 모듈의 일측에 고정결합되며, 상부 일측에는 상기 QCM센서와 대응되는 크기의 윈도우가 상기 QCM센서가 설치되는 원호상에 형성되어, 상기 피드스루 커넥터를 일정 반경으로 회전시키면서 상기 캐로셀에 설치된 QCM센서가 상기 윈도우를 통해 순차적으로 노출되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 모듈의 접지 구조.
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