KR20140020567A - 증착 장치 및 증착 물질의 잔여량 측정 방법 - Google Patents

증착 장치 및 증착 물질의 잔여량 측정 방법 Download PDF

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Abstract

증착 장치는 공정 챔버, 도가니, 디스크, 회전 유닛, 방착판, 및 측정 센서를 포함한다. 상기 공정 챔버의 상부 벽의 일부에는 견시창이 구비된다. 상기 디스크는 상기 견시창 및 상기 도가니 사이에 배치되고, 상기 견시창에 제1 방향으로 중첩하며, 상기 제1 방향을 회전축으로 하여 회전된다. 상기 방착판은 상기 디스크 및 상기 도가니 사이에 배치되고, 상기 견시창에 상기 제1 방향으로 중첩하는 개구를 구비한다. 상기 측정 센서는 상기 견시창, 상기 디스크, 상기 개구, 및 상기 도가니에 제1 방향으로 중첩하며, 상기 도가니 내의 증착 물질의 잔여량을 측정한다.

Description

증착 장치 및 증착 물질의 잔여량 측정 방법{DEPOSITION APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING RESIDUAL QUANTITY OF DEPOSITION MATERIAL}
본 발명은 증착 장치 및 증착 물질의 잔여량 측정 방법에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 레이저 센서에서 상기 증착 물질까지의 거리를 근거로 증착 물질의 잔여량을 측정하는 증착 장치 및 증착 물질의 잔여량 측정 방법에 관한 것이다.
표시 장치 등의 각종 디바이스를 제조하기 위해 증착 장치가 사용된다. 상기 증착 장치는 공정 챔버와 상기 공정 챔버 내부에 구비되고, 증착 물질을 수납하는 도가니(crucible)를 포함할 수 있다. 상기 도가니에서 증발된 상기 증착 물질은 상기 도가니 상부에 배치된 기판에 증착될 수 있다.
상기 증착 장치에서는 상기 도가니 내부에 상기 증착 물질을 보충할 타이밍을 파악하기 위해 상기 도가니 내에 남아있는 상기 증착 물질의 양을 아는 것이 필요하다.
종래의 증착 장치는 상기 도가니 내에 남아 있는 상기 증착 물질의 양을 파악하기 위해 상기 공정 챔버 내부에 크리스탈 센서를 구비하였다. 상기 크리스탈 센서는 상기 크리스탈 센서에 증착된 증착 물질의 두께에 따른 진동수 변화를 센싱하였다.
하지만, 상기 기판의 증착시 마다 상기 크리스탈 센서를 정비하는 과정에서 상기 크리스탈 센서의 방향이나 위치가 틀어져 상기 도가니 내부에 남아있는 상기 증착 물질의 정확한 양을 파악하기 어려운 문제가 있었다.
본 발명은 증착 물질의 잔여량을 측정할 수 있는 증착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 증착 물질의 잔여량 측정 방법을 개시한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 공정 챔버, 도가니, 디스크, 회전 유닛, 방착판, 및 측정 센서를 포함한다.
상기 공정 챔버의 상부 벽의 일부에는 견시창이 구비된다.
상기 도가니는 상기 공정 챔버의 하부 벽 상에 상기 견시창에 제1 방향으로 중첩하게 배치되고, 증착 물질을 수납한다.
상기 디스크는 상기 견시창 및 상기 도가니 사이에 배치되고, 상기 견시창에 상기 제1 방향으로 중첩하며, 상기 제1 방향을 회전축으로 하여 회전된다.
상기 회전 유닛은 상기 공정 챔버 및 상기 디스크에 결합되어 상기 디스크를 회전시킨다.
상기 방착판은 상기 디스크 및 상기 도가니 사이에 배치되고, 상기 견시창에 상기 제1 방향으로 중첩하는 개구를 구비한다.
상기 측정 센서는 상기 견시창, 상기 디스크, 상기 개구, 및 상기 도가니에 제1 방향으로 중첩하며, 상기 도가니 내의 상기 증착 물질까지의 거리를 센싱하여 상기 증착 물질의 잔여량을 측정한다.
상기 제1 방향에서 바라볼 때, 상기 견시창은 상기 디스크의 가장자리 영역에 의해 커버될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 물질의 잔여량 측정 방법은 수평 방향으로 서로 소정 거리 이격된 제1 기판 및 제2 기판이 제공되는 단계; 상기 제1 기판 상에 증착 물질을 증착하는 단계; 상기 제1 기판이 도가니의 상부를 상기 수평 방향으로 통과한 후, 상기 제2 기판이 상기 도가니의 상부를 통과하기 전에, 상기 증착 물질의 잔여량을 측정하는 단계; 및 상기 제2 기판 상에 상기 증착 물질을 증착하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 레이저 광을 사용하는 측정 센서를 통해 실시간으로 상기 증착 물질의 잔여량을 파악할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 물질의 잔여량 측정 방법에 의하면, 증착 공정을 중지할 필요가 없어, 공정 수율이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 견시창 및 디스크를 제1 방향에서 바라본 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 측정 센서를 도시한 블록도이다.
도 4는 도 1에 도시된 견시창, 도가니, 디스크, 측정 센서, 및 방착판의 사시도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 도시한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 상기 증착 장치(1000)는 공정 챔버(100), 도가니(200), 디스크(300), 회전 유닛(400), 및 측정 센서(500)를 포함할 수 있다.
상기 공정 챔버(100)는 소정의 두께를 갖는 벽으로 둘러싸여 내부에 밀폐된 공간을 제공할 수 있다. 상기 공정 챔버(100)는 돔 형상, 육면체 형상 등 다양한 형상을 가질 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 상기 공정 챔버(100)는 육면체 형상인 것을 기준으로 설명한다.
도시하지는 않았으나, 상기 공정 챔버(100)의 일면에는 진공 펌프가 구비될 수 있다. 상기 진공 펌프는 상기 공정 챔버(100) 내부를 진공 상태로 만들 수 있다.
상기 공정 챔버(100)의 일부에는 견시창(10)이 구비될 수 있다. 도 1에서 상기 견시창(10)은 상기 공정 챔버(100)의 상부 벽(UW) 일부를 관통하여 구비된 것을 일 예로 도시하였다.
상기 견시창(10)은 석영(quartz)으로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니고, 레이저 광이 투과될 수 있는 다른 물질로 이루어질 수 있다.
상기 도가니(200)는 상기 공정 챔버(100)의 하부 벽(LW) 상에 구비되며, 내부에 증착 물질(20)을 수납할 수 있다. 상기 도가니(200)는 상기 증착 물질(20)을 증발 시키기 위한 용기이다.
상기 증착 물질(20)은 기판들(SB1, SB2) 상에 증착되는 물질로, 알루미늄일 수 있으나, 종류에 제한되지 않는다.
상기 도가니(200)는 가열 유닛(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 가열 유닛(미도시)은 상기 증착 물질(20)이 증발되기 위한 온도에 이를때까지 상기 도가니(200)를 가열할 수 있다.
상기 도가니(200)는 제1 방향(D1)으로 상기 견시창(10)에 중첩할 수 있다. 따라서, 상기 공정 챔버(100) 외부에서 상기 제1 방향(D1)으로 상기 견시창(10)을 통과한 레이저 광은 상기 도가니(200) 내의 상기 증착 물질(20)에 도달할 수 있다. 이에 관하여는 추후 상세히 서술된다.
도 2는 도 1에 도시된 상기 견시창(10) 및 상기 디스크(300)를 상기 제1 방향(D1)에서 바라본 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 디스크(300)는 상기 견시창(10) 및 상기 도가니(200) 사이에 배치되고, 상기 견시창(10)에 상기 제1 방향(D1)으로 중첩할 수 있다.
상기 제1 방향(D1)에서 바라볼 때, 상기 디스크(300)는 원형일 수 있다.
상기 제1 방향(D1)에서 바라볼 때, 상기 디스크(300)는 중심 영역(CA) 및 상기 중심 영역(CA)를 둘러싸는 가장자리 영역(EA)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 방향(D1)에서 바라볼 때, 상기 견시창(10)은 상기 디스크(300)의 상기 가장자리 영역(EA)에 의해 커버될 수 있다. 상기 제1 방향(D1)에서 바라볼 때, 상기 견시창(10)과 상기 디스크(300)의 중첩하는 위치가 상기 디스크(300)의 중심에서 가장자리로 갈수록 바람직하나, 적어도 상기 디스크(300)에 의해 커버되어야 한다.
상기 디스크(300)는 상기 제1 방향(D1)을 회전축(AX)으로 하여 회전될 수 있다. 상기 제1 방향(D1)에서 바라볼 때, 상기 회전축(AX)은 상기 견시창(10)과 이격될 수 있다.
상기 디스크(300)는 상기 증착 물질(20)이 상기 견시창(10)에 증착되는 것을 방지하여 상기 견시창(10)으로 입사된 레이저 광의 투과율을 높이는 역할을 한다. 한편, 상기 디스크(300)로 입사된 레이저 광 역시 높은 투과율을 가져야 하는데, 이는 추후 서술될 방착판에 의해 달성될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 회전 유닛(400)은 상기 공정 챔버(100) 및 상기 디스크(300)에 결합되어 상기 디스크(300)를 회전시킬 수 있다.
상기 회전 유닛(400)은 회전 모터(410) 및 샤프트(420)를 포함할 수 있다.
상기 회전 모터(410)는 상기 공정 챔버(100)의 상기 상부 벽(UW)에 부착될 수 있다. 상기 회전 모터(410)는 상기 샤프트(420)에 연결되어 상기 샤프트(420)를 회전시킬 수 있다.
상기 샤프트(420)는 상기 제1 방향(D1)으로 연장된 형상을 가질 수 있다. 상기 샤프트(420)의 일단은 상기 공정 챔버(100)의 상기 상부 벽(UW)을 관통하여 상기 회전 모터(410)에 회전 결합될 수 있다. 상기 샤프트(420)의 타단은 상기 디스크(300)에 결합되어, 상기 샤프트(420)가 회전됨에 따라 상기 디스크(300)를 회전 시킬수 있다.
상기 샤프트(420)의 상기 타단은 상기 디스크(300)의 중심에 연결될 수 있다. 따라서, 상기 제1 방향(D1)에서 바라볼 때, 상기 샤프트(420)는 상기 견시창(10)과 이격될 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 상기 측정 센서(500)를 도시한 블록도이다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 상기 측정 센서(500)는 상기 공정 챔버(100) 외부에 배치되고, 상기 견시창(10), 상기 도가니(200), 및 상기 디스크(300)에 상기 제1 방향(D1)으로 중첩하게 배치될 수 있다. 도 1에서 상기 측정 센서(500)는 상기 공정 챔버(100)의 상기 상부 벽(UW) 상에 상기 견시창(10)에 대응하게 배치된 것으로 도시하였다.
상기 측정 센서(500)는 상기 측정 센서(500)부터 상기 도가니(200) 내의 상기 증착 물질(20)까지의 거리를 센싱할 수 있다.
상기 측정 센서(500)는 출광부(510) 및 수광부(520)를 포함할 수 있다.
상기 출광부(510)는 상기 공정 챔버(100)의 외부에서 상기 제1 방향(D1)으로 상기 견시창(10)을 향해 레이저 광을 출광한다. 상기 출광된 레이저 광은 상기 견시창(10) 및 상기 디스크(300)를 투과하여 상기 도가니(200) 내의 상기 증착 물질(20) 표면에 도달한다. 상기 출광된 레이저 광의 일부는 상기 증착 물질(20)의 표면에서 반사되고, 다시 상기 디스크(300) 및 상기 견시창(10)을 통과하여 상기 측정 센서(500)에 도달한다.
상기 수광부(520)는 상기 출광된 레이저 광의 상기 일부를 수광하여 상기 측정 센서(500)에서 상기 증착 물질(20)까지의 거리를 센싱한다.
상기 측정 센서(500)는 상기 센싱된 거리를 근거로 상기 증착 물질(20)의 잔려량을 측정한다. 이때, 상기 측정 센서(500)에는 상기 측정 센서(500)로부터 상기 증착 물질(20)까지의 거리와 상기 증착 물질(20)의 양 사이의 관계가 룩업테이블 형태로 저장되어 있고, 상기 측정 센서(500)는 상기 센싱된 거리에 해당하는 상기 증착 물질(20)의 양을 상기 룩업테이블로부터 독출하여 상기 증착 물질(20)의 잔려량을 측정할 수 있다.
상기 증착 장치(1000)는 방착판(600)을 더 포함할 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 상기 견시창(10), 상기 도가니(200), 상기 디스크(300), 상기 측정 센서(500), 및 상기 방착판(600)의 사시도이다.
도 1 및 도 4를 참조하면, 상기 방착판(600)은 상기 제1 방향(D1)으로 상기 디스크(300) 및 상기 도가니(200) 사이에 배치될 수 있다.
상기 방착판(600)은 상기 견시창(10)에 상기 제1 방향(D1)으로 중첩하는 개구(OP)를 구비한다. 이때, 상기 개구(OP)는 상기 견시창(10) 이외에, 상기 디스크(300)의 상기 가장자리 영역(EA) 및 상기 도가니(200)에 상기 제1 방향(D1)으로 중첩할 수 있다. 따라서, 상기 측정 센서(500)에서 출광된 레이저 광은 상기 개구(OP)를 통과할 수 있다.
상기 방착판(600)은 상기 도가니(200)에서 증발된 상기 증착 물질(20)이 상기 디스크(300) 하면의 중심 영역(CA)에 증착되는 것을 방지하는 역할을 한다. 상기 증착 물질(20)은 상기 디스크(300) 하면의 가장자리 영역(EA)에 증착될 수 있다. 이때, 상기 디스크(300)는 상기 샤프트(320)를 회전축으로 하여 회전되므로 상기 증착 물질(20)은 상기 디스크(300) 하면의 상기 가장자리 영역(EA)에 균일하게 증착된다. 따라서, 특정 순간에 상기 견시창(10)에 상기 제1 방향(D1)으로 중첩하는 상기 디스크(300) 하면의 상기 가장자리 영역(EA)의 일부 영역(TA)에는 매우 소량의 상기 증착 물질(20)만이 증착되므로, 상기 측정 센서(500)에서 출광된 레이저 광이 상기 디스크(300)를 투과하는데 실질적으로 영향을 미치지 않는다.
상기 방착판(600)은 상기 제1 방향(D1)에서 바라볼 때, 상기 디스크(300)를 커버한다면 형상에 제한되지 않는다. 도 4에서, 상기 방착판(600)은 상기 제1 방향(D1)에서 바라볼 때, 상기 디스크(300) 보다 큰 지름을 갖는 원형인 것을 일 예로 도시하였다.
도시하지는 않았으나, 상기 방착판(600)은 상기 공정 챔버(100)와 연결되어 고정될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 공정 챔버(100) 내부에는 적어도 하나의 기판(SB1, SB2)이 배치될 수 있다. 도 1에는 순차적으로 상기 증착 물질(20)이 증착되는 제1 기판(SB1) 및 제2 기판(SB2)을 일 예로 도시하였다.
상기 제1 기판(SB1) 및 상기 제2 기판(SB2)은 상기 제1 방향(D1)으로 상기 도가니(200) 및 상기 방착판(600) 사이를 상기 제1 방향(D1)에 수직한 제2 방향(D2)으로 통과할 수 있다.
도시하지는 않았으나, 상기 제1 기판(SB1) 및 상기 제2 기판(SB2)은 상기 공정 챔버(100) 내에 구비된 컨베이어 벨트에 안착되어 상기 제2 방향(D2)으로 이동될 수 있다. 이때, 상기 제1 기판(SB1) 및 상기 제2 기판(SB2)은 서로 상기 제2 방향(D2)으로 소정 거리 이격되어 이동될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치(1000)에 의하면, 상기 측정 센서(500)에서 출광된 레이저 광의 일부는 상기 제1 기판(SB1) 및 상기 제2 기판(SB2) 사이의 상기 제2 방향(D2) 거리를 상기 제1 방향(D1)으로 가로질러 상기 측정 센서(500)에 입광될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치(1000)는 상기 측정 센서(500)를 통해 실시간으로 상기 증착 물질(20)의 잔여량을 파악할 수 있다. 또한, 상기 견시창(10)은 상기 디스크(300)에 의해, 상기 디스크(300)는 상기 방착판(600)에 의해 상기 증착 물질(20)이 증착되는 것이 실질적으로 방지되므로, 상기 측정 센서(500)에서 출광된 레이저 광은 상기 견시창(10), 상기 디스크(300), 및 상기 개구(OP)를 통과할 수 있다.
이하, 도 1을 참조하여, 상기 증착 물질(20)의 잔여량 측정 방법을 설명한다.
먼저, 상기 공정 챔버(100) 내부에 상기 제2 방향(D2)으로 서로 소정 거리 이격된 상기 제1 기판(SB1) 및 상기 제2 기판(SB2)이 제공된다.
상기 제1 기판(SB1)이 상기 도가니(200)의 상부를 상기 제2 방향(D2)으로 통과할 때, 상기 제1 기판(SB1)에 상기 증착 물질(20)이 증착된다.
상기 제1 기판(SB1)이 상기 도가니(200)의 상부를 상기 제2 방향(D2)으로 통과한 후, 상기 제2 기판(SB2)이 상기 도가니(200)의 상부를 통과하기 전에, 상기 측정 센서(500)는 상기 증착 물질(20)의 잔여량을 측정한다. 이때, 상기 측정 센서(500), 상기 견시창(10), 상기 디스크(300), 개구(OP), 및 도가니(200)는 순서대로 상기 제1 방향(D1)으로 중첩하게 배열된다. 상기 증착 물질(20)의 잔여량은 상기 측정 센서(500)에서 상기 도가니(200) 내의 상기 증착 물질(20)까지의 거리를 근거로 측정된다.
이때, 상기 측정 센서(500)에서 출광된 레이저 광의 일부는 상기 견시창(10), 상기 디스크(300), 및 상기 개구(OP)를 통과하여 상기 측정 센서(500)에 입광된다.
이후, 상기 제2 기판(SB2)이 상기 도가니(200)의 상부를 상기 제2 방향(D2)으로 통과할 때, 상기 제2 기판(SB2)에 상기 증착 물질(20)이 증착된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 물질의 잔여량 측정 방법에 의하면, 상기 제1 기판(SB1) 및 상기 제2 기판(SB2) 사이의 거리를 통하여 상기 증착 물질의 잔여량을 측정하므로, 증착 공정을 중지할 필요가 없어, 공정 수율이 향상될 수 있다.
한편 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.
10: 견시창 20: 증착 물질
100: 공정 챔버 200: 도가니
300: 디스크 400: 회전 유닛
500: 측정 센서 600: 방착판
OP: 개구

Claims (14)

  1. 적어도 일부에 견시창이 구비된 공정 챔버;
    상기 공정 챔버의 하부 벽 상에 상기 견시창에 제1 방향으로 중첩하게 배치되고, 증착 물질을 수납하는 도가니;
    상기 견시창 및 상기 도가니 사이에 배치되고, 상기 견시창에 상기 제1 방향으로 중첩하며, 상기 제1 방향을 회전축으로 하여 회전되는 디스크;
    상기 공정 챔버 및 상기 디스크에 결합되어 상기 디스크를 회전시키는 회전 유닛; 및
    상기 공정 챔버 외부에 배치되고, 상기 견시창, 상기 디스크, 및 상기 도가니에 상기 제1 방향으로 중첩하며, 상기 도가니 내의 상기 증착 물질까지의 거리를 센싱하여 상기 증착 물질의 잔여량을 측정하는 측정 센서를 포함하는 증착 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 측정 센서는,
    상기 제1 방향으로 상기 견시창을 향해 레이저 광을 출광하는 출광부; 및
    상기 레이저 광의 일부를 수광하는 수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 측정 센서는 상기 공정 챔버 외부에 배치된 것을 특징으로 하는 증착 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 디스크 및 상기 도가니 사이에 배치되고, 상기 견시창에 상기 제1 방향으로 중첩하는 개구를 구비한 방착판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 방향에서 바라볼 때, 상기 견시창은 상기 디스크의 가장자리 영역에 의해 커버되는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 공정 챔버 내에 상기 제1 방향으로 상기 방착판 및 상기 도가니 사이를 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 통과하고, 상기 증착 물질이 증착되는 적어도 하나의 기판을 더 포함하는 증착 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 견시창 및 상기 디스크는 석영으로 이루어진 것을 특징으로 하는 증착 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1 방향에서 바라볼 때, 상기 디스크는 원형인 것을 특징으로 하는 증착 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 회전 유닛은,
    상기 공정 챔버 상부 벽에 부착된 회전 모터;
    상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 회전 모터와 회전 결합되고, 상기 디스크에 결합된 샤프트를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 샤프트는 상기 디스크의 중심에 연결된 것을 특징으로 하는 증착 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 방향에서 바라볼 때, 상기 샤프트는 상기 견시창과 이격된 것을 특징으로 하는 증착 장치.
  12. 수평 방향으로 서로 소정 거리 이격된 제1 기판 및 제2 기판이 제공되는 단계;
    상기 제1 기판 상에 증착 물질을 증착하는 단계;
    상기 제1 기판이 도가니의 상부를 상기 수평 방향으로 통과한 후, 상기 제2 기판이 상기 도가니의 상부를 통과하기 전에, 상기 증착 물질의 잔여량을 측정하는 단계; 및
    상기 제2 기판 상에 상기 증착 물질을 증착하는 단계를 포함하는 증착 물질의 잔여량 측정 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 증착 물질의 잔여량을 측정하는 단계는,
    측정 센서, 견시창, 디스크, 및 내부에 상기 증착 물질을 수납하는 도가니를 수직 방향으로 중첩하게 배치하는 단계; 및
    상기 측정 센서에서 상기 도가니 내의 상기 증착 물질까지의 거리를 센싱하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 물질의 잔여량 측정 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 측정 센서에서 출광된 레이저 광의 일부는 상기 견시창 및 상기 디스크를 통과하여 상기 측정 센서에 입광되는 것을 특징으로 하는 증착 물질의 잔여량 측정 방법.
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