KR101991620B1 - 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈 - Google Patents

캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈 Download PDF

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Abstract

본 발명은 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공증착기에서 QCM센서를 이용하여 증착막의 두께를 측정하는 증착막 두께 측정 모듈에 있어서, 방사상으로 QCM센서가 설치되는 캐로셀과, 상기 캐로셀의 하부에 설치되어 상기 캐로셀을 일정 반경으로 회전시키는 동력전달 샤프트와, 상기 캐로셀과 상기 동력전달 샤프트간에 축결합되어 상기 동력전달 샤프트의 회전력을 상기 캐로셀로 전달시키는 동력전달 커플러를 포함하되, 상기 동력전달 커플러의 상면에는 상기 동력전달 샤프트의 축방향과 대응되는 방향으로 돌출된 제1고정돌기이 적어도 하나 이상 형성되고, 상기 캐로셀에는 상기 제1고정돌기과 대응되는 위치에 상기 제1고정돌기이 삽입되는 제1고정홈이 형성된다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 캐로셀의 하부에 결합되는 동력전달 커플러의 상면에는 X,Z축 방향으로 동시에 지지되는 고정돌기가 형성되어, 양축방향으로 캐로셀을 지지하여 안정적으로 회전되도록 하며, 아울러, 동력전달 샤프트가 동력전달 커플러 내측으로 삽입되고, 상부에서 고정캡의 결합부가 캐로셀과 동력전달 커플러 내의 동력전달 샤프트 내측면으로 일체로 나사결합되도록 하여, 접촉불량 없이 캐로셀이 동력전달 샤프트의 회전반경과 대응되는 정확한 반경으로 이동됨에 의해 증착면 두께 측정값의 신뢰도를 높혀, 제품불량을 최소화시키고 생산성을 향상시키는 효과가 있다.

Description

캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈{Deposition film thickness measuring module with improved power transmission}
본 발명은 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 동력전달 샤프트의 회전력을 캐로셀로 전달시키는 동력전달 커플러와의 결합구조를 개선시켜 캐로셀이 보다 안정적으로 구동되도록 하는 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈에 관한 것이다.
반도체 공정에서 주로 사용되는 진공증착은 알루미늄과 같은 금속재료와, 산화물, 황화물, 질화물 같은 유전체와, 금, 은, 백금, 팔라듐과 같은 귀금속 또는 희토류 등의 소오스를 반도체 기판위에 도포하는데 사용된다.
이러한 소오스는 기재(substrate)에 증착될 때 최종적으로 필요로 하는 요구조건을 충족시키기 위해 증착되는 두께가 정확히 조절되어야만 한다. 따라서, 진공증착을 진행하는 동안에 증착되는 재료의 두께를 정확히 측정할 필요가 있다.
이와 같은 증착재료의 실시간 제어를 위해, 현재 통상적으로 QCM(Quarts Crystal Micorbalance) 센서를 사용하는 증착막 두께 측정 모듈을 사용하고 있다.
증착막 두께 측정 모듈에서 사용되는 석영(QC)은 고유한 공진주파수를 가지고 있고, 외부 요인에 의해 그 무게가 변하게 되면 공진주파수 또한 변하게 된다. 이와 같이 무게에 따라 변하는 공진주파수를 기반으로 증착되는 재료의 두께를 측정할 수 있게 된다.
증착막 두께 측정 모듈은 도 1에 도시된 바와 같이, 진공챔버(1) 내에서 타겟(기재) 근처에 위치하게 된다. 먼저 소오스(S)가 열에 의해 증발되면, 셔터(2)를 개방하고 그러면 증발된 소오스가 타겟(T)에 증착되는 한편 증착막 두께 측정 모듈에서 증착된다.
증착막 두께 측정 모듈에서 원하는 목표값, 즉 원하는 두께를 측정하게 되면 셔터를 폐쇄하여 증발된 소오스가 더 이상 타겟에 증착되지 않게 함으로써, 기재에 증착되는 소오스의 두께를 정확하게 제어할 수 있게 된다.
이러한 증착막 두께 측정 모듈은 방사상으로 QCM 센서가 다수개 설치되는 캐로셀과, 캐로셀의 하부에 설치되어 캐로셀을 일정 반경으로 회전시키는 동력전달 샤프트와, 캐로셀을 내측에 수용하고 상부에 윈도우가 형성된 상부커버를 포함하여 윈도우를 통해 QCM 센서가 진공챔버 내측으로 노출되도록 한다.
이와 같이 형성된 증착막 두께 측정 모듈은 선택된 하나의 QCM 센서가 윈도우를 통해 증발된 소오스에 노출되며, 한 작업이 완료된 후 새로운 QCM 센서를 사용할 필요가 있게 되면, 캐로셀을 일정 반경만큼 회전시켜 사용된 QCM 센서의 인접한 다른 QCM 센서가 윈도우를 통해 노출되도록 하여, 캐로셀을 회전시키면서 순차적으로 QCM 센서를 사용하게 된다.
이러한 캐로셀은 동력전달 샤프트와 커플러에 의해 결합되어 회전되나, 샤프트와 커플러와의 결합불량 또는 제조공차 및 장기간 사용시 마모 등에 의해 동력전달 샤프트의 회전반경과 동일한 반경으로 캐로셀이 회전되지 않게 되어, QCM 센서가 윈도우상의 정위치에 노출되지 않고 일부분이 가려지는 경우가 발생된다. 이에 따라 QCM 센서가 윈도우상에 전체면으로 노출되지 않게 되어 소오스가 기재에 증착되는 두께와 상이하게 되어 증착면의 두께 측정이 정밀하게 이루어지지 않게 되는 문제점을 가지게 된다.
따라서, 이러한 종래 동력전달 결합부분의 결합불량으로 인해 캐로셀이 정밀한 이동제어가 불가능하여 증착면의 두께 측정이 불리한 점을 극복하고 캐로셀을 안정적으로 지지하여 정밀한 이동이 가능하도록 하는 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈에 대한 요구가 높아지고 있는 실정이다.
한국공개특허 제 1996-0034977호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 캐로셀을 회전시키는 동력전달 샤프트와 커플러와의 결합구조를 개선시켜, 동력전달 샤프트의 회전시 캐로셀을 안정적으로 지지하여 캐로셀이 정확한 반경으로 회전되도록 하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 진공증착기에서 QCM센서를 이용하여 증착막의 두께를 측정하는 증착막 두께 측정 모듈에 있어서, 방사상으로 QCM센서가 설치되는 캐로셀과, 상기 캐로셀의 하부에 설치되어 상기 캐로셀을 일정 반경으로 회전시키는 동력전달 샤프트와, 상기 캐로셀과 상기 동력전달 샤프트간에 축결합되어 상기 동력전달 샤프트의 회전력을 상기 캐로셀로 전달시키는 동력전달 커플러를 포함하되, 상기 동력전달 커플러의 상면에는 상기 동력전달 샤프트의 축방향과 대응되는 방향으로 돌출된 제1고정돌기이 적어도 하나 이상 형성되고, 상기 캐로셀에는 상기 제1고정돌기과 대응되는 위치에 상기 제1고정돌기이 삽입되는 제1고정홈이 형성된다.
여기서, 상기 동력전달 커플러는 원통형상으로 중심부에 상방으로 돌출형성되는 돌출부가 형성되고, 상기 돌출부의 중심에는 체결공이 형성된다.
아울러, 상기 동력전달 커플러의 돌출부 외연을 따라 단을 이루는 접촉면이 형성되고, 상기 접촉면 상에 상기 제1고정돌기이 복수개 형성된다.
또한, 상기 접촉면 상에 일정 간격으로 제1, 제2 제1고정돌기이 각각 형성되고, 상기 제1, 제2 제1고정돌기이 이루는 간격보다 더 먼 거리에서 제3 제1고정돌기이 형성된다.
더욱이, 상기 캐로셀은 하부에 상기 돌출부에 대응되는 홈부가 형성되어 상기 돌출부가 상기 홈부에 삽입되고, 상기 홈부상에는 상하로 관통된 체결공이 형성되어, 하단부에 결합부가 형성되는 고정캡이 상기 캐로셀의 체결공에서 상기 동력전달 커플러의 체결공으로 관통결합된다.
여기서, 상기 고정캡은 하방으로 연장되는 결합부가 형성되고, 상기 결합부의 상단부에는 원판 형상의 고정플레이트가 일체로 형성된다.
그리고 상기 제1고정홈의 직경이 상기 제1고정돌기의 외경보다 더 크게 형성되어 상기 제1고정돌기을 상기 제1고정홈으로 삽입시킬 경우, 상기 제1고정홈과 상기 제1고정돌기 사이에는 이격공간이 형성되며, 상기 이격공간 내측으로는 유동방지캡이 끼움결합된다.
여기서 상기 유동방지캡의 외형은 일정 원호를 가지는 원통 형상으로 형성되고, 내측에는 상기 제1고정돌기이 삽입되는 원통형의 수용공이 형성되어 상기 이격공간 내로 끼워지는 밀착벽면이 원호를 따라 연속적으로 형성된다.
더욱이, 상기 수용공의 중심이 상기 유동방지캡의 외형 중심부에서 어긋난 위치에 형성되어 상기 밀착벽면의 두께가 원호를 따라 상이하게 형성된다.
또한, 상기 유동방지캡의 상단부에는 상기 수용공과 대응되는 형상으로 상면에는 나사체결홈이 가공된 결합몸체가 돌출형성된다.
또한, 상기 결합몸체는 상기 수용공과 대응되는 직경으로 상기 수용공의 중심축과 연장선상에 형성된다.
아울러, 상기 나사체결홈은 상기 유동방지캡의 외연의 중심축선상에 형성된다.
아울러, 상기 제1고정돌기 중 적어도 하나 이상의 제1고정돌기은 상기 동력전달 커플러의 중심축과의 간격이 서로 상이하게 배치된다.
여기서, 상기 제1, 제2 제1고정돌기은 상기 동력전달 커플러의 중심축에서 동일 원호상으로 형성되고, 상기 제3 제1고정돌기은 상기 제1, 제2 제1고정돌기과 상기 동력전달 커플러의 중심축과의 거리보다 원거리에서 형성된다.
아울러, 상기 캐로셀은 원판 형상으로 상기 동력전달 샤프트에 연결되어 회전되는 상부 회전판과, 상기 상부 회전판의 하부에 결합되는 하부 고정판을 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 상부 회전판은 방사상으로 상기 QCM센서가 설치되는 설치공이 형성되며, 하부에는 상기 동력전달 커플러의 접촉면과 대응되는 밀착면이 돌출형성되고, 중심부에는 상기 동력전달 커플러의 돌출부가 밀착삽입되기 위한 밀착삽입홈부가 마련되고, 상기 밀착면 상에 상기 제1고정돌기이 삽입되는 제1고정홈이 형성된다.
아울러, 상기 하부 고정판은 원판 형상으로 표면에는 상기 각 설치공에 각각 대응되는 볼트체결공이 형성되며, 중심부에는 상기 동력전달 커플러가 삽입되기 위한 관통공이 형성된다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 캐로셀의 하부에 결합되는 동력전달 커플러의 상면에는 X,Z축 방향으로 동시에 지지되는 고정돌기가 형성되어, 양축방향으로 캐로셀을 지지하여 안정적으로 회전되도록 하며, 아울러, 동력전달 샤프트가 동력전달 커플러 내측으로 삽입되고, 상부에서 고정캡의 결합부가 캐로셀과 동력전달 커플러 내의 동력전달 샤프트 내측면으로 일체로 나사결합되도록 하여, 접촉불량 없이 캐로셀이 동력전달 샤프트의 회전반경과 대응되는 정확한 반경으로 이동됨에 의해 증착면 두께 측정값의 신뢰도를 높혀, 제품불량을 최소화시키고 생산성을 향상시키는 효과가 있다.
도 1은 종래 증착막 두께 측정 모듈의 구성을 간단하게 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈을 나타낸 분해사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈을 나타낸 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 캐로셀 상부에 QCM 센서가 안착되는 상태를 나타낸 분해사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 결합구조를 나타낸 측단면도이다.
도 6은 도 5의 A부분 상세도이다.
도 7은 본 발명에 따른 동력전달 커플러의 상하부 결합관계를 나타낸 분해사시도이다.
도 8은 본 발명에 따른 동력전달 커플러의 평면구조를 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명에 따른 동력전달 커플러의 측면구조를 나타낸 도면이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈을 나타낸 분해사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈을 나타낸 평면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 캐로셀 상부에 QCM 센서가 안착되는 상태를 나타낸 분해사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈에서 캐로셀의 결합구조를 나타낸 측단면도이고, 도 6은 도 5의 A부분 상세도이고, 도 7은 본 발명에 따른 동력전달 커플러의 상하부 결합관계를 나타낸 분해사시도이고, 도 8은 본 발명에 따른 동력전달 커플러의 평면구조를 나타낸 도면이고, 도 9는 본 발명에 따른 동력전달 커플러의 측면구조를 나타낸 도면이다.
도면을 참조하면, 본 발명에 따른 증착막 두께 측정 모듈은 내측에 캐로셀(200)이 수납되며 상부면에 윈도우(110)가 형성되는 상부커버(100)와, 상부커버(100) 내측에 수납되며 방사상으로 QCM센서(240)가 설치되는 캐로셀(200)과, 캐로셀(200)의 하부에 설치되어 캐로셀(200)을 일정 반경으로 회전시키는 동력전달 샤프트(400)와, 캐로셀(200)과 동력전달 샤프트(400)간에 축결합되어 동력전달 샤프트(400)의 회전력을 캐로셀(200)로 전달시키는 동력전달 커플러(300)를 포함하여 구성된다.
상부커버(100)는 캐로셀(200)의 상부를 커버하도록 내측 수용공간이 형성되어 증착막 두께 측정 모듈의 일측에 고정결합되며, 상부 일측면에는 QCM센서(240)와 대응되는 크기의 윈도우(110)가 형성된다. 여기서 상부커버(100)에 형성되는 윈도우(110)는 캐로셀(200)에 방사상으로 설치되는 QCM센서(240)와 동일한 원호상에 형성되어, 캐로셀(200)이 동력전달 샤프트(400)의 회전에 의해 일정 반경으로 회전되면 윈도우(110)를 통해 QCM센서(240)가 순차적으로 노출된다.
캐로셀(200)은 원판 형상으로 하부에 후술될 동력전달 커플러(300)의 돌출부(301)에 대응되는 홈부(201)가 형성되어 돌출부(301)가 홈부(201)로 삽입되고, 홈부(201)상에는 상하로 관통된 체결공(202)이 형성되어, 고정캡(210)이 체결공(202)상으로 나사결합된다.
이러한 고정캡(210)은 하방으로 연장되어 외연에 나사산이 형성되는 결합부(211)와, 결합부(211)의 상단부에 형성되는 원판형상의 고정플레이트(212)를 포함한다.
아울러, 상기와 같은 캐로셀(200)에 대해 더욱 자세히 설명하자면, 캐로셀(200)은 동력전달 샤프트(400)에 연결되어 회전되는 상부 회전판(220)과, 상부 회전판(220)의 하부에 결합되는 하부 고정판(230)을 포함하여 구성된다.
상부 회전판(220)은 방사상으로 QCM센서(240)가 설치되는 설치공(221)이 형성되며, 하부에는 후술될 동력전달 커플러(300)의 접촉면(303)과 대응되는 밀착면(222)이 돌출형성되고, 중심부에는 동력전달 커플러(300)의 돌출부(301)가 밀착삽입되기 위한 밀착삽입홈부(223)가 마련되고, 밀착삽입홈부(223)에서 상기 밀착면(222)으로 연장되어 제1고정홈(224) 방사상으로 형성된다.
하부 고정판(230)은 원판 형상으로 표면에는 각 설치공(221)에 각각 대응되는 볼트체결공(231)이 형성되며, 중심부에는 동력전달 커플러(300)가 삽입되기 위한 관통공(232)이 형성된다.
아울러, QCM센서(240)는 상면에 설치되는 수정 발진자(241)와, 수정 발진자(241)의 하부에 배치되는 핑거스프링(242)과, 핑거스프링(242)과 수정발진자를 고정시키는 고정블럭(243)을 포함하여, 하부 고정판(230)의 하부 볼트체결공(231)으로 고정블럭(243)이 삽입된다.
동력전달 커플러(300)는 상면에 제1고정홈(224)에 삽입되는 제1고정돌기(310)가 형성되는데, 이러한 동력전달 커플러(300)는 원통형상으로 중심부에 상방으로 돌출형성되는 돌출부(301)가 형성되고, 돌출부(301)의 중심에는 체결공(302)이 형성되며, 돌출부(301)의 외연을 따라 단을 이루는 접촉면(303)이 형성되고, 돌출부(301)의 외연과 접촉면(303) 상으로 연속되어 제1고정돌기(310)가 방사상으로 복수개 형성된다. 즉, 도 7에서와 같이 측면형상이 L자형으로 이루어진 제1고정돌기(310)가 제1고정홈(224)상에 삽입되도록 하여, X,Z축방향으로 함께 지지되도록 하여 동력전달이 매우 유리하게 된다. 이러한 제1고정돌기(310)는 돌출부(301)의 외연을 따라 복수개로 형성되는데, 캐로셀(200)이 회전되는 일방향으로 단부가 경사지도록 형성되어 캐로셀(200)의 회전시, 제1고정돌기(310)의 경사진 단부에 의해 제1고정홈(224)과의 결합력이 더욱 향상되도록 할 수 있다.
그리고 동력전달 커플러(300)의 체결공(302)에는 상하 길이방향을 따라 제2고정홈(302a)이 적어도 하나 이상 형성되어, 동력전달 샤프트(400)의 선단부가 제2고정홈(302a)에 결합되도록 한다.
아울러, 동력전달 커플러(300)의 하부에는 체결공(302)보다 더 큰 직경으로 체결공(302)과 연통되는 삽입홈(304)이 형성되어, 삽입홈(304)상으로 동력전달 샤프트(400)가 삽입된다.
동력전달 샤프트(400)는 삽입몸체(410)와 상부로 연장된 연장몸체(420)를 포함하여 구성된다.
삽입몸체(410)는 동력전달 커플퍼(300)의 하부 삽입홈(304)의 크기와 대응되는 직경으로 형성되어, 삽입홈(304) 내로 삽입된다.
연장몸체(420)는 삽입몸체(410)의 상단부에 상방으로 연장형성되어, 체결공(302)으로 삽입된다. 이러한 연장몸체(420)의 외연에는 상하길이방향으로 적어도 하나 이상의 제2고정돌기(421)가 형성되어, 제2고정돌기(421)가 제2고정홈(302a)에 결합되도록 한다. 아울러, 연장몸체(420)의 내측에는 상하 길이방향으로 탭나사부(422)가 형성되고, 연장몸체(420)의 외연에는 상하길이방향으로 절개된 절개부가 적어도 하나 이상 형성될 수 있다.
상기와 같은 구성에 의해, 동력전달 커플러(300)의 하부에 동력전달 샤프트(400)를 고정시키게 되면, 체결공(302) 내측으로 연장몸체(420)의 제2고정돌기(421)가 삽입되어 제2고정홈(302a)상에 고정되며, 동력전달 샤프트(400)의 삽입몸체(410)가 삽입홈(304)상에 고정된다.
그리고, 동력전달 커플러(300)의 상부면에 형성된 제1고정돌기(310)는 상부 회전판(220)의 하부 제1고정홈(224) 상으로 고정되는데, 본 발명에서는 제1고정돌기(310)가 X,Z축상으로 지지되도록 하여 축회전시 접촉력을 강화시키도록 한다.
더욱이, 상부캡(210)의 결합부(211)가 상부 회전판(220)으로 나사결합됨과 함께, 결합부(211)가 상부 회전판(220)의 결합공(202)을 지나 동력전달 커플러(300)의 체결공(302) 내측으로 삽입되되, 결합부(211)는 체결공(302)으로 이미 삽입된 동력전달 샤프트(400)의 연장몸체(420) 내측 탭나사부(422)로 나사결합되도록 하여, 이러한 상부캡(210)에 의해 상부 회전판(220)과 동력전달 커플러(300)와 동력전달 샤프트(400)를 일체화시켜 동력전달 샤프트(400) 회전시 캐로셀(200)이 안정적으로 지지되도록 한다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허등록청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
100 : 상부커버 110 : 윈도우
200 : 캐로셀 201 : 홈부
202 : 결합공 210 : 고정캡
211 : 결합부 212 : 고정플레이트
220 : 상부 회전판 221 : 설치공
222 : 밀착면 223 : 밀착삽입홈부
224 : 제1고정홈
230 : 하부 고정판 231 : 볼트체결공
232 : 관통공
240 : QCM센서 241 : 수정 발진자
242 : 핑거스프링 243 : 고정블럭
300 : 동력전달 커플러 310 : 제1고정돌기
301 : 돌출부 302 : 체결공
302a : 제2고정홈
303 : 접촉면 304 : 삽입홈
400 : 동력전달 샤프트 410 : 삽입몸체
420 : 연장몸체 421 : 제2고정돌기
422 : 탭나사부

Claims (16)

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  2. 방사상으로 QCM센서가 설치되는 캐로셀과, 상기 캐로셀의 하부에 축결합되어 상기 캐로셀을 일정 반경으로 회전시키는 동력전달 샤프트와, 상기 캐로셀과 상기 동력전달 샤프트간에 개재되어 상기 동력전달 샤프트의 회전력을 상기 캐로셀로 전달시키는 동력전달 커플러를 포함하는 증착막 두께 측정 모듈에 있어서,
    상기 동력전달 커플러의 상부면에는 제1고정돌기가 형성되고, 상기 캐로셀의 하부면에는 상기 제1고정돌기와 대응되는 위치에 제1고정홈이 형성되며,
    상기 캐로셀의 상부에서 상기 캐로셀을 관통하여 상기 동력전달 샤프트에 고정되는 고정캡을 포함하는 것을 특징으로 하고,
    상기 동력전달 커플러는
    원통형상으로 중심부에 상방으로 돌출형성되는 돌출부가 형성되고, 상기 돌출부의 중심에는 체결공이 형성되는 것을 특징으로 하는 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 동력전달 커플러의 돌출부 외연을 따라 단을 이루는 접촉면이 형성되고, 상기 돌출부의 외연과 상기 접촉면 상으로 연속되어 제1고정돌기가 형성되는 것을 특징으로 하는 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제1고정돌기는 상기 돌출부의 외연을 따라 복수개로 형성되는 것을 특징으로 하는 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제1고정돌기는 상기 캐로셀이 회전되는 일방향으로 경사지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 체결공에는 상하 길이방향을 따라 제2고정홈이 적어도 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 동력전달 커플러의 하부에는 상기 체결공보다 더 큰 직경으로 상기 체결공과 연통되는 삽입홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 동력전달 샤프트는
    상기 삽입홈과 대응되는 직경으로 형성되어 상기 삽입홈으로 삽입되는 삽입몸체와,
    상기 삽입몸체의 상단부에 상방으로 연장 형성되어 상기 체결공으로 삽입되는 연장몸체를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 연장몸체의 외연에는 상하길이방향으로 적어도 하나 이상의 제2고정돌기가 형성되어, 상기 제2고정돌기가 제2고정홈에 결합되는 것을 특징으로 하는 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 연장몸체의 내측에는 상하 길이방향으로 탭나사부가 형성되는 것을 특징으로 하는 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 고정캡은
    하방으로 연장되어 외연에 나사산이 형성되는 결합부와, 상기 결합부의 상단부에 형성되는 원판형상의 고정플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 고정캡의 결합부는 상기 캐로셀 내측에 나사결합되어 하방으로 상기 동력전달 샤프트의 연장몸체 내측 탭나사부에 체결되는 것을 특징으로 하는 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 연장몸체의 외연에는 상하길이방향으로 절개된 절개부가 적어도 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 캐로셀은 원판 형상으로 상기 동력전달 샤프트에 연결되어 회전되는 상부 회전판과, 상기 상부 회전판의 하부에 결합되는 하부 고정판을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 상부 회전판은
    방사상으로 상기 QCM센서가 설치되는 설치공이 형성되며, 하부에는 상기 동력전달 커플러의 접촉면과 대응되는 밀착면이 돌출형성되고, 중심부에는 상기 동력전달 커플러의 돌출부가 밀착삽입되기 위한 밀착삽입홈부가 마련되며,
    상기 밀착삽입홈부에서 상기 밀착면으로 연장되는 제1고정홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 하부 고정판은
    원판 형상으로 표면에는 상기 각 설치공에 각각 대응되는 볼트체결공이 형성되며, 중심부에는 상기 동력전달 커플러가 삽입되기 위한 관통공이 형성되는 것을 특징으로 하는 캐로셀 회전을 위한 동력전달이 개선된 증착막 두께 측정 모듈.
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