KR101855159B1 - 광섬유 모재 증착 두께 측정용 센서의 고정장치 - Google Patents

광섬유 모재 증착 두께 측정용 센서의 고정장치 Download PDF

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홍승민
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Abstract

본 발명은 광섬유 모재 증착 두께 검출용 센서의 고정장치에 관한 것으로, 증착로 도어의 하부에 결합되며, 증착로의 전면 방향으로 돌출되는 연장축부를 제공하는 판상의 결합부와, 상기 연장축부의 끝단에 위치하여 설치면을 제공하는 고정블록과, 상기 고정블록에 결합된 제1이동블록과, 상기 제1이동블록의 전면에 결합되어 설치면을 제공하는 결합블록과, 상기 결합블록 및 제1이동블록에 회전 가능하게 결합되되, 회전정도를 제한하는 회동가이드홈과 가이드핀을 포함하여 정확한 각도 범위에서 회동하여, 상기 증착로 도어의 개폐시 간섭을 피할 수 있는 회동블록과, 센서를 고정한 상태에서 상기 회동블록의 회동과 함께 회동하며, 상기 증착로 도어에 위치하는 검출창의 정확한 위치에 상기 센서를 위치시키는 센서고정블록을 포함한다.

Description

광섬유 모재 증착 두께 측정용 센서의 고정장치{Fixing device for thickness sensor of optical fiber preform}
본 발명은 광섬유 모재 증착 두께 측정용 센서의 고정장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 증착로의 전면부 도어에 마련된 검출창을 통해 광섬유 모재의 증착 두께를 검출하는 증착 두께 측정용 센서의 고정장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조공정, 광섬유 제조공정 등에서 적외선, 레이저 등 광학 센서를 이용하여 증착 두께를 측정하는 방법이 보편적으로 사용되고 있다.
등록특허 10-0342593호(2002년 6월 18일 등록, 광섬유 모재 증착장치)에는 레이저 발생장치와 수신장치를 포함하는 감지수단을 이용하여 증착되는 광섬유 모재의 두께를 측정하고, 그에 따라 모재의 외면과 버너 사이의 거리를 일정하게 유지하는 증착장치의 구성에 대하여 기재하고 있다.
위의 등록특허의 도 3 등에는 레이저 발생장치와 수신장치가 증착로 내에 위치하는 것으로 기재되어 있으나, 증착로는 버너에 의해 고온으로 유지되어야 하는 환경이며, 증착 두께의 측정을 위한 수단은 열에 상대적으로 약하기 때문에 증착 두께 측정 수단의 수명이 단축되어 자주 교체를 해야 하는 문제점이 있었다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 종래 레이저를 이용하여 증착 두께를 검출하는 장치들은 레이저의 위치를 증착로의 외부에 위치시키도록 개량되었다.
특히 증착로의 도어에 투명한 검출창을 마련하여 광의 투과가 가능하게 하는 방식을 사용하고 있다. 이때 센서를 직접 검출창이 마련된 도어에 부착하는 경우에는 센서에 도어를 통해 열이 전달되기 때문에 증착로의 도어에 직접 설치하지 않고, 도어의 하부측 구조물 등에 고정되어 센서를 상기 검출창의 특정 위치에서 검출창과는 이격되는 위치에 고정하는 고정장치를 사용하고 있다.
종래의 고정장치는 단순히 증착물의 두께를 측정할 수 있는 광학적인 센서를 고정하는 역할을 하였으며, 도어를 열어 증착로 내부를 세정하는 등의 작업을 할 때 고정장치가 도어에 간섭되기 때문에 고정장치를 반드시 분리해야 한다.
증착로 내부의 세정이 완료된 후에 다시 고정장치를 결합하는 과정에서 상기 센서가 정위치에 위치하지 않을 수 있으며, 정확한 위치에 위치할 수 있도록 조정하는 과정이 반드시 필요하다.
따라서 종래에는 도어를 오픈하기 위하여 고정장치를 분해해야 하기 때문에 작업시간이 많이 소요되며, 세정 작업을 완료한 후 도어를 닫고 고정장치를 다시 결합할 때 결합 공차에 의해 미세하지만 센서의 위치가 변경될 수 있으며, 이러한 의도하지 않은 센서의 위치 변경은 두께 측정 오류를 유발하며, 수율이 저하되는 원인이된다.
아울러 센서 위치를 조정할 필요가 있을 때에는 새로운 고정장치의 제작이 필요한 문제점이 있었다.
상기와 같은 종래의 문제점들을 감안한 본 발명은, 분해작업을 하지 않고도 증착로의 도어를 열 수 있는 광섬유 모재 증착 두께 측정용 센서의 고정장치를 제공함에 있다.
또한 본 발명은 별도의 조정 과정 없이도 항상 설정된 위치에 센서를 위치시킬 수 있는 광섬유 모재 증착 두께 측정용 센서의 고정장치를 제공함에 있다.
아울러 센서의 위치를 조정할 필요가 있을 때, 간단한 조작으로 센서의 위치를 조정할 수 있는 광섬유 모재 증착 두께 측정용 센서의 고정장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 광섬유 모재 증착 두께 측정용 센서의 고정장치는, 증착로 도어의 하부에 결합되며, 증착로의 전면 방향으로 돌출되는 연장축부를 제공하는 판상의 결합부와, 상기 연장축부의 끝단에 위치하여 설치면을 제공하는 고정블록과, 상기 고정블록에 결합된 제1이동블록과, 상기 제1이동블록의 전면에 결합되어 설치면을 제공하는 결합블록과, 상기 결합블록 및 제1이동블록에 회전 가능하게 결합되되, 회전정도를 제한하는 회동가이드홈과 가이드핀을 포함하여 정확한 각도 범위에서 회동하여, 상기 증착로 도어의 개폐시 간섭을 피할 수 있는 회동블록과, 센서를 고정한 상태에서 상기 회동블록의 회동과 함께 회동하며, 상기 증착로 도어에 위치하는 검출창의 정확한 위치에 상기 센서를 위치시키는 센서고정블록을 포함한다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 회동블록과 상기 센서고정블록의 사이에 결합되는 제2이동블록을 더 포함하며, 상기 고정블록의 일부에 결합되어 상기 제1이동블록을 좌우로 이동시키는 제1위치조정부와, 상기 회동블록의 일부에 결합되어 상기 제2이동블록을 상하로 이동시키는 제2위치조정부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 제1이동블록과 제2이동블록 각각은 장공을 통해 상기 고정블록 또는 상기 회동블록에 결합되며, 상기 장공의 방향에 의해 이동 방향이 결정될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 제1위치조정부와 제2위치조정부 각각은, 상기 제1이동블록과 제2이동블록에 일부가 결합 되어 회전에 의해 위치를 조정할 수 있는 위치조정볼트를 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 제1이동블록은 상기 결합블록과 접하는 면의 중앙부에서 돌출되어, 베어링을 고정하는 중심축부를 포함하고, 상기 결합블록은 상기 중심축부가 관통되는 통공이 형성되어 있으며, 상기 회동블록은 상기 베어링이 결합된 중심축부가 삽입되는 삽입홈이 마련될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 중심축부의 중앙부에는 체결공이 마련되어 있으며, 상기 회동블록의 체결공을 통해 상기 중심축부의 체결공에 결합되는 노브볼트를 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 결합블록과 회동블록에 각각 마련되는 관통공에 삽입되어, 상기 회동블록의 회전을 방지하는 고정핀을 더 포함할 수 있다.
본 발명 광섬유 모재 증착 두께 측정용 센서의 고정장치는, 증착로의 도어 개폐 방향에 간섭되지 않도록 회동하는 구조를 적용함으로써, 도어를 열기 위하여 고정장치를 분해해야 하는 불편함을 해소하여 작업시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 도어를 닫은 상태에서 쉽게 센서를 정위치로 위치시킬 수 있어 위치의 조정을 위한 작업이 요구되지 않기 때문에 증착물의 두께 측정 오류를 방지할 수 있으며, 제품의 신뢰성과 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
아울러 본 발명은, 센서의 위치를 조정할 필요가 있을 때, 새로운 고정장치를 제작할 필요 없이 단순한 조작으로 센서의 위치를 조정할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 설치 상태도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 광섬유 모재 증착 두께 측정용 센서의 고정장치의 사시도이다.
도 3은 도 2의 측단면도이다.
도 4의 (a)는 제1이동블록의 정면도이고, (b)는 결합블록의 정면도이다.
도 5는 본 발명의 주요부분 분해 사시도이다.
도 6은 증착로의 도어가 닫힌 상태에서의 본 발명의 정면도이다.
도 7은 증착로의 도어가 열린 상태에서의 본 발명의 정면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 광섬유 모재 증착 두께 측정용 센서의 고정장치에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명의 실시 예들은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하여 상세하게 설명한다. 그러나 이는 본 발명의 실시 예들을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 실시 예들의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 실시 예들의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
본 발명의 실시 예들에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명의 실시 예들을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 발명의 실시 예들에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명의 실시 예들이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명의 실시 예들에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 설치 상태도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 증착 두께 측정용 센서의 고정장치 사시도이며, 도 3은 도 2의 측단면도이다.
도 1 내지 도 3을 각각 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고정장치(100)는, 증착로(200)의 외부에 설치된다.
상기 증착로(200)는 도면상 정면을 향하여 오픈되는 도어(210)와, 상기 도어(210)에 마련되어 광의 투과가 가능한 측정창(230)을 포함하며, 증착로의 동작에 필요한 설비가 수용되며, 상기 도어(210)의 하부측에 위치하는 증착로하부(220)를포함한다.
증착로(200)는 증착공정(예를 들어 광섬유 모재의 증착) 중에는 내부 온도가 증착 온도로 상승하며, 이때 내부 온도에 의해 도어(210)에도 상당한 열이 전달되어 온도가 상승하게 된다.
상기 도어(210)에 비하여 상대적으로 증착로하부(220)는 온도가 낮으며, 센서에 전달되는 열을 최소화하기 위하여 고정장치(100)는 증착로하부(220)에 고정되어 센서를 상기 측정창(230)의 외측으로 이격된 곳에 위치시킨다.
구체적으로 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고정장치(100)는, 상기 증착로하부(220)에 고정되는 결합부(110)와, 상기 결합부(110)로부터 돌출되는 연장축부(111)와, 상기 연장축부(111)에 고정되어 설치면을 제공하는 고정블록(120)과, 상기 고정블록(120)에 결합되는 제1이동블록(130)과, 상기 제1이동블록(130)에 결합되어 설치면을 제공하는 결합블록(190)과, 상기 결합블록(190)에 회동가능하게 결합되어 상기 검출창(230)을 향해 연장되는 회동블록(150)과, 상기 회동블록(150)의 일부에 위치하여 이동이 가능하며, 일단에 센서를 고정하는 센서고정부(180)가 위치하는 제2이동블록(170)을 포함한다.
아래에서는 상기와 같은 구성의 본 발명 고정장치(100)의 구성과 작용에 대하여 보다 구체적으로 설명한다.
먼저, 판상의 결합부(110)가 증착로하부(220)에 고정되며, 그 결합부(110)에는 증착로(200)의 전면부에서 멀어지는 방향으로 돌출된 연장축부(111)가 마련되어 있다.
상기 연장축부(111)는 센서를 검출창(230)으로부터 이격시켜 고정할 수 있도록 하는 역할을 한다.
상기 연장축부(111)의 끝단에는 고정블록(120)이 결합되어 있다. 상기 고정블록(120)은 다른 구성요소들이 결합될 수 있는 면을 제공하는 판상 구조이다.
상기 고정블록(120)에는 제1이동블록(130)이 고정설치되어 있다.
도 4의 (a)는 제1이동블록(130)의 정면 구성도로서, 다수의 좌우장공(131)이 마련되어 있으며, 상기 좌우장공(131)을 통해 고정블록(120)에 체결되는 고정볼트(132)가 마련되어 있다.
또한 중앙부에는 중심축부(133)가 돌출되어 있다. 상기 중심축부(133)는 상기 제1이동블록(130)과 일체 또는 회전이 불가능하게 고정된 것일 수 있으며, 중심축부(133)의 중앙에는 체결공(134)이 마련되어 있다.
도 4의 (b)는 상기 제1이동블록(130)에 결합된 결합블록(190)의 평면도이다.
결합블록(190)은 상기 중심축부(133)가 관통되는 통공(191)이 마련되어 있으며, 그 통공(191)을 중앙에 두고 상하 방향으로 한 쌍의 체결공(192)이 마련되어 있다. 또한 중심축부(133)의 상부측 일부에 전후면을 관통하는 관통공(193)이 마련되어 있다.
상기 중심축부(133)는 상기 통공(191)을 통해 회동블록(150)의 배면측에 마련된 삽입홈에 삽입되며, 노브 볼트(151)가 상기 중심축부(133)의 체결공(134)에 체결된다.
또한, 상기 한 쌍의 체결공(192)에는 가이드핀(153)이 결합되며, 관통공(193)에는 고정핀(155)이 삽입된다. 노브 볼트(151), 가이드핀(153) 및 고정핀(155)의 기능에 대해서는 이후에 좀 더 상세히 설명하기로 한다.
상기 제1이동블록(130)의 일측면에는 제1위치조정부(140)가 마련되어 있으며, 제1위치조정부(140)에 결합되는 제1조정볼트(141)의 단부가 상기 제1이동블록(130)의 측면에 마련되는 결합부(135)에 아이들 상태로 결합된다. 제1조정볼트(141)는 제1위치조정부(140)와 나사결합되어 있다.
따라서 제1조정볼트(141)를 회전하여 상기 제1이동블록(130)을 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다. 제1이동블록(130)의 이동은 상기 좌우장공(131)을 통해 고정블록(120)에 결합되는 고정볼트(132)를 느슨하게 풀어둔 상태에서 가능하며, 조정이 완료된 상태에서 고정볼트(132)를 견고하게 결합하여 제1이동블록(130)이 이동하는 것을 방지한다.
결합블록(190)의 전면에는 회동블록(150)이 결합된다.
도 5는 본 발명의 주요 부분의 분해 사시도이다.
도 5에 도시한 바와 같이 상기 회동블록(150)은 제1이동블록(130)이 위치하는 증착로하부(220)의 전면측에서 도어(210)에 마련된 검출창(230)의 방향으로 연장되는 바(bar) 형상이다.
회동블록(150)과 결합블록(190) 사이의 결합은 앞서 설명한 노브볼트(151) 및 고정핀(155)을 통해 이루어진다.
상기 회동블록(150)의 배면에는 제1이동블록(130)의 중심축부(133)가 삽입되는 삽입홈(부호 생략)이 마련되어 있으며, 전면측에서 상기 삽입홈에 연통되는 체결공(156)이 위치한다.
회동블록(150)과 결합블록(190) 및 제1이동블록(130)이 결합된 상태에서 상기 체결공(156)은 중심축부(133)의 중앙에 마련된 체결공(134)과 연통되며, 노브볼트(151)가 체결된다. 상기 노브볼트(151)는 작업자가 수작업으로 용이하게 체결할 수 있으며, 회동블록(150)을 회동시키기 위해서 노브볼트(151)를 풀어 회동블록(150)과 결합블록(190)간의 결합을 느슨하게 할 수 있다.
또한 회동블록(150)에 마련된 관통공(157)은 결합블록(190)의 관통공(193)과 연통되며, 고정핀(155)를 두 관통공(157,193)에 관통 삽입하여 회동블록(150)이 회전하지 않도록 고정한다. 상기 고정핀(155)은 이탈 방지를 위하여 상기 관통공(193)을 관통하여 노출되는 부분에 통공이 마련되고, 그 통공에 이탈방지핀(부호 생략)을 삽입하여 회동블록(150)과 결합블록(190)을 고정할 수 있다.
상기 회동블록(150) 배면의 삽입홈과 중심축부(133)의 사이에는 베어링(154)이 치합되어 있으며, 회동블록(150)이 원활하게 회전할 수 있도록 한다. 회동블록(150)을 회전시키기 위해서는 상기 고정핀(155)을 빼고, 노브볼트(151)를 풀어 회전시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 회동블록(150)의 회전을 제한하고, 원래의 위치로 정확하게 복귀할 수 있도록 회동가이드홈(152)과 그 회동가이드홈(152)을 통해 상기 결합블록(190)의 한 쌍의 체결공(192) 각각에 결합되는 가이드핀(153)을 포함한다.
상기 회동가이드홈(152)은 원호형이며, 회동블록(150)이 중심축부(133)를 중심으로 90도 회전할 수 있도록 한 쌍이 마련된다.
도 5에서는 생략되었으나, 회동블록(150)에는 제2위치조정부(160)와 제2이동블록(170)이 결합된다. 제2이동블록(170)의 끝단에는 센서(도면 미도시)를 고정하는 센서고정블록(180)이 결합되어 있다.
제2이동블록(170)에는 상기 회동블록(150)이 수직방향으로 위치하여 상기 센서고정블록(180)이 검출창(230)의 전방에 위치하는 상태에서 상하방향으로 긴 상하장공(171)이 다수로 마련되어 있으며, 상하장공(171)을 통해 상기 회동블록(150)에 결합되는 고정볼트(172)가 마련되어 있다.
앞서 설명한 제1이동블록(130)이 상기 센서고정블록(180)의 좌우방향을 조정할 수 있는 것이고, 제2이동블록(170)은 센서고정블록(180)의 상하방향을 조정할 수 있는 것이다.
상기 제2위치조정부(160)는 제2이동블록(170)의 일부에 관통체결되는 제2조정볼트(161)를 포함하며, 제2조정볼트(161)를 회전시켜 제2이동블록(170)의 상하 방향을 조정할 수 있다. 이와 같은 동작이 가능하도록 제2조정볼트(161)는 제2위치조정부(160)에 아이들 상태로 회전할 수 있도록 관통 삽입된다.
이와 같은 구조에 의하여 본 발명은 센서의 위치를 조정할 필요가 있을 때 고정볼트(132,172)를 느슨하게 풀고, 제1조정볼트(141)와 제2조정볼트(161)를 조작하여 쉽게 센서고정블록(180)의 위치를 조정할 수 있다.
도 6과 도 7은 각각 본 발명의 사용상태도이다.
도 6은 도 1에서 도어(210)가 닫힌 상태에서 센서고정블록(180)이 검출창(230)의 앞에 소정 거리 이격되어 위치하는 상태를 나타낸 것이다. 이때 센서고정블록(180)에 장착된 센서는 증착로(200)를 이용한 증착 공정에서 증착대상물의 증착 두께를 검출할 수 있으며, 정확한 위치에 센서를 위치시켜 두께 검출 오류를 방지할 수 있다.
증착로(200)는 주기적으로 내부 세정이 필요하며, 이를 위해 도어(210)를 오픈해야 한다. 도면에는 생략되었으나 도어(210)는 한쪽 측면이 힌지로 결합되어 있으며, 반대쪽 측면부를 앞으로 당겨 열도록 되어 있다.
상기 회동블록(150) 등의 도어(210) 전면에 위치하는 구성요소들이 간섭되어 도어(210)를 열 수 없기 때문에 상기 회동블록(150)을 도면에서 시계 반대방향으로 회전시킨다.
이때의 회전은 앞서 설명한 바와 같이 회동가이드홈(152)과 가이드핀(153)의 작용으로 90도로 제한되며, 이처럼 회동블록(150)이 도 6의 상태에서 시계 반대방향으로 90도 회전된 상태를 도 7에 도시하였다.
도 7의 상태에서는 간섭물이 없기 때문에 도어(210)를 안전하게 열 수 있으며, 이 상태에서 증착로(200)의 내부를 세정한다. 세정작업이 완료되면 도어(210)를 닫는다.
그 다음, 상기 회동블록(150)을 다시 원래의 위치로 위치시킨다. 즉 시계방향으로 90도 회전시켜 상기 센서고정블록(180)을 원래의 위치로 위치시킨 후, 노브볼트(151)를 조여 회동블록(150)의 이동을 방지하고, 고정핀(155)을 관통공(157, 136)에 삽입하여 고정하게 된다.
이때 상기 회동가이드홈(152)과 가이드핀(153)에 의해 센서고정블록(180)은 정확하게 원래의 위치로 복귀될 수 있으며, 따라서 센서의 위치를 조정하는 작업을 생략할 수 있다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정, 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
100:고정장치 110:결합부
111:연장축부 120:고정블록
130:제1이동블록 131:좌우장공
132:고정볼트 140:제1위치조정부
150:회동블록 151:노브볼트
152:회동가이드 153:가이드핀
154:베어링 155:고정핀
160:제2위치조정부 161:제2조정볼트
170:제2이동블록 171:상하장공
172:고정볼트 180:센서고정블록
190:결합블록 191:통공
192:체결공 193:관통공
200:증착로 210:도어
220:증착로하부 230:검출창

Claims (7)

  1. 증착로 도어의 하부에 결합되며, 증착로의 전면 방향으로 돌출되는 연장축부를 제공하는 판상의 결합부;
    상기 연장축부의 끝단에 위치하여 설치면을 제공하는 고정블록;
    상기 고정블록에 결합된 제1이동블록;
    상기 제1이동블록의 전면에 결합되어 설치면을 제공하는 결합블록;
    상기 결합블록 및 제1이동블록에 회전 가능하게 결합되되, 회전정도를 제한하는 회동가이드홈과 가이드핀을 포함하여 정확한 각도 범위에서 회동하여, 상기 증착로 도어의 개폐시 간섭을 피할 수 있는 회동블록;
    센서를 고정한 상태에서 상기 회동블록의 회동과 함께 회동하며, 상기 증착로 도어에 위치하는 검출창의 정확한 위치에 상기 센서를 위치시키는 센서고정블록; 및
    상기 회동블록과 상기 센서고정블록의 사이에 결합되는 제2이동블록을 포함하며,
    상기 고정블록의 일부에 결합되어 상기 제1이동블록을 좌우로 이동시키는 제1위치조정부와, 상기 회동블록의 일부에 결합되어 상기 제2이동블록을 상하로 이동시키는 제2위치조정부를 더 포함하되,
    상기 제1이동블록과 제2이동블록 각각은 장공을 통해 상기 고정블록 또는 상기 회동블록에 결합되며, 상기 장공의 방향에 의해 이동 방향이 결정되는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재 증착 두께 검출용 센서의 고정장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1위치조정부와 제2위치조정부 각각은,
    상기 제1이동블록과 제2이동블록에 일부가 결합 되어 회전에 의해 위치를 조정할 수 있는 위치조정볼트를 포함하는 광섬유 모재 증착 두께 검출용 센서의 고정장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1이동블록은 상기 결합블록과 접하는 면의 중앙부에서 돌출되어, 베어링을 고정하는 중심축부를 포함하고,
    상기 결합블록은 상기 중심축부가 관통되는 통공이 형성되어 있으며,
    상기 회동블록은 상기 베어링이 결합된 중심축부가 삽입되는 삽입홈이 마련된 것을 특징으로 하는 광섬유 모재 증착 두께 검출용 센서의 고정장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 중심축부의 중앙부에는 체결공이 마련되어 있으며,
    상기 회동블록의 체결공을 통해 상기 중심축부의 체결공에 결합되는 노브볼트를 포함하는 광섬유 모재 증착 두께 검출용 센서의 고정장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 결합블록과 회동블록에 각각 마련되는 관통공에 삽입되어,
    상기 회동블록의 회전을 방지하는 고정핀을 더 포함하는 광섬유 모재 증착 두께 검출용 센서의 고정장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109405862A (zh) * 2018-10-24 2019-03-01 宜科(天津)电子有限公司 快速转换夹钳传感器固定方向的结构以及夹钳传感器
KR20220078880A (ko) 2020-12-04 2022-06-13 주식회사 위드위즈 2차 전지 분리막 권취용 코어 외주 연마장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100800677B1 (ko) 2006-09-07 2008-02-01 삼성전자주식회사 휴대 단말기의 다축 힌지 장치 및 이를 구비한 연결 부재
JP2011148698A (ja) 2011-04-18 2011-08-04 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバ多孔質母材の製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100800677B1 (ko) 2006-09-07 2008-02-01 삼성전자주식회사 휴대 단말기의 다축 힌지 장치 및 이를 구비한 연결 부재
JP2011148698A (ja) 2011-04-18 2011-08-04 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバ多孔質母材の製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109405862A (zh) * 2018-10-24 2019-03-01 宜科(天津)电子有限公司 快速转换夹钳传感器固定方向的结构以及夹钳传感器
CN109405862B (zh) * 2018-10-24 2023-11-17 宜科(天津)电子有限公司 快速转换夹钳传感器固定方向的结构以及夹钳传感器
KR20220078880A (ko) 2020-12-04 2022-06-13 주식회사 위드위즈 2차 전지 분리막 권취용 코어 외주 연마장치

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