KR960034977A - 증착막 두께 측정장치 - Google Patents

증착막 두께 측정장치 Download PDF

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KR960034977A
KR960034977A KR1019950005360A KR19950005360A KR960034977A KR 960034977 A KR960034977 A KR 960034977A KR 1019950005360 A KR1019950005360 A KR 1019950005360A KR 19950005360 A KR19950005360 A KR 19950005360A KR 960034977 A KR960034977 A KR 960034977A
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sealing film
cylindrical case
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film thickness
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백기인
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김회수
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

본 발명은 케이스의 상측에 부착되는 밀봉막에 증착막을 형성함으로써 증착물의 교환이 용이한 증착막 두께 측정장치에 관한 것으로서, 원통케이스의 상측에 증착물이 형성된 밀봉막을 위치시키고 상기 밀봉막이 원통케이스와 접촉됨으로써 증착물의 측정시 밀봉막만 탈착하면 되므로 장치의 유지관리가 용이하며 밀봉막의 재질을 세라믹으로 형성하여 온도변화에도 강할 뿐만 아니라 내부에 질소를 충진하여 내부이슬을 방지하므로써 내부 부식을 방지할 수 있는 잇점이 있다

Description

증착막 두께 측정장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 증착막 두께 측정장치의 단면도.

Claims (3)

  1. 상,하면에 개구부가 형성된 원통케이스와, 상기 케이스의 하면 개구부에 연통되게 결착되는 동축케이블과, 상기 원통케이스의 하면에 적층되는 절연막과, 상기 절연막의 상측에 적층되는 평면단자와, 상기 평면단자에 적층되고 상,하면에 전극이 형성된 압전진동자와, 하면에 전극을 형성하고 상기 원통케이스의 상면에 부착되는 밀봉막으로 구성된 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 밀봉막은 폴리머 또는 얇은 플라스틱막이 사용되는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 원통케이스의 내부는 질소가스가 충진되어 급격한 온도강하로 인한 이슬발생을 방지하는 것을 특징으로 하는 증착막 두께 측정장치
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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