JP7211793B2 - 蒸発レート測定装置、蒸発レート測定装置の制御方法、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスを製造する方法 - Google Patents
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Description
判定する寿命判定部と、を含み、前記制御部は、前記複数の蒸発レートセンサーのうち、前記寿命判定部による寿命判定結果によって切り替え時期が一番先に到来する蒸発レートセンサーでの水晶振動子の切り替えタイミングに合わせて、前記複数の蒸発レートセンサーの水晶振動子を一括して切り替えるように制御することを特徴とする。
図1は、電子デバイスの製造装置の一例を示す模式図である。
図1の電子デバイスの製造装置は、例えば、スマートフォン用の有機EL表示装置の表示パネルの製造に用いられる。スマートフォン用の表示パネルの場合、例えば、フルサイズ(約1500mm×約1850mm)又はハーフカットサイズ(約1500mm×約925mm)の基板に有機EL素子の形成のための成膜を行った後、該基板を切り抜いて複数の小さなサイズのパネルを製作する。
マスクストックチャンバー12の他のカセットに収納された新しいマスクを成膜室11に搬送する。
<成膜装置>
図2は、成膜装置2の構成を概略的に示す断面図である。図2に示す例は、特に金属電極層を形成するのに使われる金属性蒸着材料の成膜装置2の構成を模式的に示したものであるが、本発明はこれに限らず、有機材料を蒸着するための成膜装置にも適用可能である。
前述のように、成膜装置2の真空チャンバー内の上部には、成膜時、回転シャフト27によって駆動されて回転する基板10が配置される。成膜装置2の真空チャンバー内の下部には、基板10と対向して、基板10の成膜面と対向する面内に複数の蒸発源23が配置される。本実施例では、成膜装置2の上面から見たとき(平面視で)、矩形状の成膜装置2の各コーナー部に対応して四つの蒸発源23が矩形状の四つの角部に対応する位置に配置される。また、これら四つの蒸発源23のうち矩形短辺側において隣接する二つの蒸発源23の間に上記コーナー部の蒸発源23よりも少ない数のるつぼを有する小径の蒸発源が一つずつ配置され、計6つの蒸発源が配置されている。
前述のように、各蒸発源23において複数のるつぼ231のうちの一つのるつぼ232は、成膜時、蒸着位置に位置する。蒸着位置とは、該位置に位置するるつぼ232が基板10に向かって蒸着材料を蒸発させて供給する位置をいう。つまり、各蒸発源23は、成膜時、蒸着位置に位置するるつぼ232(以下、「蒸着用るつぼ」ともいう)をヒータによって高温(例えば、1300℃)に加熱して該当るつぼ232内に収納された蒸着材料を蒸発させて基板10に堆積させる。
図2に示すように、本発明による蒸発レート測定装置は、各蒸発源23の蒸着用るつぼ232から蒸発される蒸着材料のレートをモニターするための蒸発レートセンサー26と、蒸発レートセンサー26からの測定結果を受信し基板10上の膜の厚さまたは成膜レートを算出するとともに、蒸発レートセンサー26の寿命を判定し、かつ蒸発レートセンサー26を駆動する蒸発レート算出及びセンサー駆動ユニット24とを含む。
図5(a)は、各水晶振動子30の断面形状を示す概略図であり、図5(b)は、複数の水晶振動子30を有する蒸発レートセンサー26の構成を図示した上面図である。図5(a)に示すように、各水晶振動子30は一定の結晶方向で切断された水晶板31の表面及び裏面に電極膜32,33を形成した構造を持つ。
て変わり、水晶振動子30の共振周波数の変動値と蒸着材料の質量の変動値との間には以下のような関係式(Sauerbrey式)が成立する。
以下、蒸発レート算出及びセンサー駆動ユニット24のセンサー寿命判定部24-2によって行われる水晶振動子30の寿命判定について説明する。
ため、堆積された蒸着膜は、水晶振動子30の共振振動に対して正確に追従することはできず、水晶振動子30のインピーダンス値における抵抗成分が増加する。つまり、水晶振動子30は電気的には直列等価RLC回路として表すことができるが、蒸着膜が厚くなって蒸着膜が水晶振動子30の共振振動に対して正確に追従することができなくなると、蒸着膜は水晶振動子30の振動に対してダンピング(damping)として作用することになる。これは水晶振動子30の等価回路の抵抗(R)成分の増加を招き、水晶振動子30の振動エネルギーの損失をもたらす。
各蒸発レートセンサー26の水晶振動子30の切り替えが行われる間には、成膜装置2内において基板10に対する実質的な成膜工程は一時中断される。つまり、水晶振動子30の切り替えが行われる間(及び切り替え完了後、新しい水晶振動子30の動作が安定するまでの間)には、当該蒸発レートセンサー26による蒸発レートのモニタリングが不可能であるため、当該蒸発レートセンサー26に対応して配置された蒸発源23に対しては蒸発源23上部の蒸発源シャッター25を閉じて蒸着材料が基板10へ飛散しないようにする。また、このように複数の蒸発源23のうちのいずれかの蒸発源23による成膜が実質的に行われない期間には、基板10全面に対する均一な成膜という観点から、通常、残りの蒸発源23に対しても同様に各蒸発源23上部の蒸発源シャッター25を閉じたり、または基板10の成膜面の下に配置される基板10に対する成膜を全体的に遮蔽制御する基板シャッターを閉じたりするように制御している。
図8は、本発明による水晶振動子30の切り替えタイミング制御方式を説明するためのタイミング図である。
つまり、図7の従来方式は蒸発レートセンサー26の水晶振動子30の切り替えタイミングを水晶振動子30の実際の寿命周期(円形のマークで表示)に合わせて蒸発レートセンサー26ごとに独立的に制御するのに対して、本発明では複数の蒸発源23のそれぞれに対応して設置された複数の蒸発レートセンサー26の水晶振動子30の切り替えタイミ
ング(三角形のマークで表示)を一致させるように制御する。
次に、前述した実施例に係る成膜装置を用いた電子デバイスの製造方法の一例を説明する。以下、電子デバイスの例として有機EL表示装置の構成及び製造方法を例示する。まず、製造する有機EL表示装置について説明する。図9(a)は有機EL表示装置50の全体図、図9(b)は1画素の断面構造を示している。
。さらに、有機EL層は水分や酸素によって劣化するため、水分や酸素から有機EL素子を保護するための保護層60が設けられている。
まず、有機EL表示装置を駆動するための回路(不図示)及び第1電極54が形成された基板53を準備する。
23:蒸発源
24:蒸発レート算出及びセンサー駆動ユニット
24-1:蒸発レート算出部
24-2:センサー寿命判定部
24-3:センサー駆動部
25:蒸発源シャッター
26:蒸発レートセンサー
29:水晶振動子切り替え制御部
30:水晶振動子
Claims (6)
- 複数の蒸発源から蒸着材料を蒸発させて基板の成膜面に蒸着する成膜装置に用いられる蒸発レート測定装置であって、
前記複数の蒸発源のそれぞれに対応して設置される複数の蒸発レートセンサーであって、それぞれ、対応する前記蒸発源から蒸発する前記蒸着材料の蒸発レートをモニタリングするための複数の水晶振動子を含む複数の蒸発レートセンサーと、
前記各蒸発レートセンサーに対応して設置され、前記各蒸発レートセンサーによる前記モニタリングの結果に基づいて前記各蒸発源からの前記蒸着材料の蒸発レートを算出する蒸発レート算出部と、
前記各蒸発レートセンサーにおける前記複数の水晶振動子の切り替えタイミングを制御する制御部と、
前記各蒸発レートセンサーに対応して設置され、前記各蒸発レートセンサー内の水晶振動子の寿命を判定する寿命判定部と、を含み、
前記制御部は、前記複数の蒸発レートセンサーのうち、前記寿命判定部による寿命判定結果によって切り替え時期が一番先に到来する蒸発レートセンサーでの水晶振動子の切り替えタイミングに合わせて、前記複数の蒸発レートセンサーの水晶振動子を一括して切り替えるように制御することを特徴とする蒸発レート測定装置。 - 複数の蒸発源から蒸着材料を蒸発させて基板の成膜面に蒸着する成膜装置に用いられる蒸発レート測定装置の制御方法であって、
前記蒸発レート測定装置は、前記複数の蒸発源のそれぞれに対応して設置される複数の蒸発レートセンサーであって、それぞれ、対応する前記蒸発源から蒸発する前記蒸着材料の蒸発レートをモニタリングするための複数の水晶振動子を含む複数の蒸発レートセンサーを有し、
蒸発レート測定装置の制御方法は、
前記各蒸発レートセンサーによる前記モニタリングの結果に基づいて前記各蒸発源からの前記蒸着材料の蒸発レートを算出する蒸発レート算出ステップと、
前記各蒸発レートセンサーにおける前記複数の水晶振動子の切り替えタイミングを制御する制御ステップと、
前記各蒸発レートセンサー内の水晶振動子の寿命を判定する寿命判定ステップと、を含み、
前記制御ステップにおいて、前記複数の蒸発レートセンサーのうち、前記寿命判定ステップによる寿命判定結果によって切り替え時期が一番先に到来する蒸発レートセンサーでの水晶振動子の切り替えタイミングに合わせて、前記複数の蒸発レートセンサーの水晶振動子を一括して切り替えるように制御することを特徴とする蒸発レート測定装置の制御方法。 - 基板の成膜面に蒸着材料を蒸発させて蒸着する成膜装置であって、
前記基板を保持する基板保持ユニットと、
前記基板の成膜面と対向して配置される複数の蒸発源と、
前記複数の蒸発源のそれぞれに対応して設置される複数の蒸発レートセンサーであって、それぞれ、対応する前記蒸発源から蒸発する前記蒸着材料の蒸発レートをモニタリングするための複数の水晶振動子を含む複数の蒸発レートセンサーと、
前記各蒸発レートセンサーに対応して設置され、前記各蒸発レートセンサーによる前記モニタリングの結果に基づいて前記各蒸発源からの前記蒸着材料の蒸発レートを算出する蒸発レート算出部と、
前記各蒸発レートセンサーにおける前記複数の水晶振動子の切り替えタイミングを制御する制御部と、
前記各蒸発レートセンサーに対応して設置され、前記各蒸発レートセンサー内の水晶振動子の寿命を判定する寿命判定部と、を含み、
前記制御部は、前記複数の蒸発レートセンサーのうち、前記寿命判定部による寿命判定結果によって切り替え時期が一番先に到来する蒸発レートセンサーでの水晶振動子の切り替えタイミングに合わせて、前記複数の蒸発レートセンサーの水晶振動子を一括して切り替えるように制御することを特徴とする成膜装置。 - 前記複数の蒸発源のそれぞれは、回転軸を中心とする円の円周上に配置された複数のるつぼを有し、前記回転軸を回転中心として回転可能な回転型多点蒸発源であることを特徴とする請求項3に記載の成膜装置。
- 請求項3または4に記載の成膜装置を使用して、有機EL表示素子の電極層を形成する成膜方法。
- 請求項5の成膜方法を使用して、電子デバイスを製造する方法。
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