CN106967958A - 一种晶振探头用晶振盒 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种晶振探头用晶振盒，主要由盒体(1)，和设置在盒体(1)内的晶振台；其特征在于，所述晶振台为晶振台，该晶振台包括晶片承接台(2)，和与晶片承接台(2)相配合的三爪绝缘背板(3)。本发明的晶振台内设置了十二位晶片，通过转换位于检测孔的晶片便能对多种不同的靶材蒸发量进行检测，很好的解决了单片式晶片盒不能对多种靶材的蒸发量进行准确的检测的问题，从而有效的减小了操作者的工作量，很好的提高了晶振探头的工作效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种晶振探头用晶片盒，具体是指一种晶振探头用晶振盒。
背景技术
目前许多科研单位为了能准确的对基片的镀膜时间进行控制，便采用了晶振探头对靶材蒸发量进行检测，操作者通过对晶振探头所传输的晶片振荡频率的分析处理来对镀膜时间进行控制。然而，现有的晶振探头多采用单片式晶片盒，该单片式晶片盒只能对一种靶材蒸发量进行检测，对多种靶材蒸发量进行检测时则需更换晶片盒以确保检测的准确性，这极大的增加了操作者的工作量，严重的影响了晶振探头的工作效率。
发明内容
本发明的目的在于克服现有的晶振探头所采用的单片式晶片盒对多种靶材的蒸发量进行检测时需更换晶片盒的以确保检测的准确性的缺陷，提供一种晶振探头用晶振盒。
本发明的目的通过下述技术方案现实：一种晶振探头用晶振盒，主要由盒体，和设置在盒体内的晶振台组成；其特征在于，所述晶振台包括晶片承接台，和与晶片承接台相连接的三爪绝缘背板；所述晶片承接台上设置有多个的晶振片，所述三爪绝缘背板上设置有与晶振片相配合的信号传输组件。
所述信号传输组件包括设置在三爪绝缘背板上且与晶振片相配合的三爪片，和设置在三爪绝缘背板上且与三爪片相连接的三爪背板。
所述盒体上设置有贯穿其底部的检测孔。
所述晶片承接台上设置有用于安装晶振片的凹槽，且该凹槽底部设置有与检测孔相对应的通孔。
所述三爪绝缘背板上设置有与晶片承接台上的凹槽相对应的安装槽，且该安装槽上设置有贯穿其底部的安装孔。
所述三爪背板则设置在三爪绝缘背板的安装孔内，所述三爪片设置在三爪绝缘背板的安装槽内，且该三爪片通过螺钉与三爪背板相连接。
所述晶片承接台上设置有轴套，该轴套上设置有安装口，所述晶片承接台上还设置有多个螺纹孔。
所述三爪背板上设置有与晶片承接台上的螺纹孔相对应的穿心孔，所述三爪背板则通过与螺纹孔相匹配的螺栓连接在晶片承接台上。
所述轴套外侧设置有定位销，所述三爪绝缘背板上设置有与定位销相配合的卡槽。
本发明与现有技术相比具有以下优点及有益效果：
(1)本发明的晶片承接台上设置了多个晶片，通过转换位于检测孔的晶片便能对多种不同的靶材蒸发量进行检测，很好的解决了单片式晶片盒不能对多种靶材的蒸发量进行准确的检测的问题，从而有效的减小了操作者的工作量，很好的提高了晶振探头的工作效率。
(2)本发明中设置的三爪片能与晶振片紧密的接触，有效的提高了晶振频率传输的稳定性。
(3)本发明的具有结构简单、设计合理和生产成本低等优点。
附图说明
图1为本发明的整体示意图。
图2为本发明的俯视图。
图3为本发明的晶振台的结构示意图。
图4为本发明的整体剖面图。
图5为本发明的晶片承接台的结构示意图。
图6为本发明的三爪绝缘背板的结构示意图。
图7为本发明晶振台爆炸图。
上述附图中，附图标记对应的部件名称如下：
1—盒体，2—晶片承接台，3—三爪绝缘背板，4—晶振片，5—三爪片，6—三爪背板，7—轴套，8—定位销，9—检测孔，10—凹槽，11—通孔，12—安装槽，13—螺钉，14—安装孔，15—螺纹孔，16—螺栓，17—卡槽，18—安装口。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步地详细说明，但本发明的实施方式并不限于此。
实施例
如图1～6所示，本发明公开了一种晶振探头用晶振盒，主要由盒体1和晶振台组成。其中，晶振台如图3所示，其包括晶片承接台2和三爪绝缘背板3。其中，如图4、6所示，所述晶片承接台2上设置了晶振片4，轴套7，在轴套7上设置了定位销8。所述三爪绝缘背板3上设置的信号传输组件如图4、6所示，其包括三爪片5和三爪背板6。
实施时，所述盒体1作为本发明的主载体，该盒体1用于承载晶振台，该盒体1上设置了用于靶材的原子团或离子通过且贯穿盒体1底部的检测孔9，在具体的使用中该盒体1则是通过螺纹连接在晶振探头上。
所述晶片承接台2如图3～6所示，该晶片承接台2上优先设置了12个晶振片4，为了使该晶振片4的晶振频率更稳定，本发明的晶振片4优先采用了具有高传导性的镀金晶振片，该晶振片4则用于对靶材蒸发量的检测，即对基片的镀膜厚度的监测，本发明通过晶振片4在吸附靶材分子后的振荡频率来对基片的镀膜厚度进行监测。同时，本实用新的晶片承接台2上设置了用于安装晶振片4的凹槽10，该凹槽10设置有与检测孔9相对应且贯穿凹槽10底部的通孔11，凹槽10的设置数量与晶振片4的数量相同。具体使用时，晶片承接台2上设置了轴套7，轴套7上设置有安装口18，该安装口18用于安装外部电机转轴所设置的传动销。该晶片承接台2上还设置有多个螺纹孔15，通过轴套7连接到外部电机上，该轴套7上还设置有定位销8，且晶片承接台2与外部电机的转轴相连接并通过固定螺钉进行固定后与盒体1的内侧底部之间形成有一定的间隙，以确保晶振台能在外部电机的带动下进行转动。
同时，如图4、6所示，所述三爪绝缘背板3上设置了与晶片承接台2上的凹槽10相对应且数量相同的安装槽12，该安装槽12设置有贯穿其底部的安装孔14，三爪绝缘背板3还是设置有与晶片承接台2的螺纹孔15相对应的穿心孔。本发明的三爪绝缘背板优先采用了耐高温的陶瓷来作为绝缘背板，也可根据实际需要采用不同的绝缘材料来作为三爪绝缘背板3。在使用时，所述三爪绝缘背板3则是通过与晶片承接台2的螺纹孔15相匹配的螺栓16连接并固定在晶片承接台2上。设置在三爪绝缘背板3上的信号传输组件如图4、6所示，其包括设置在三爪绝缘背板3的安装槽12内其与晶振片4相配合的三爪片5，和设置在三爪绝缘背板3的安装孔14内且与三爪片5相连接的三爪背板6，所设的三爪片5和三爪背板6的数量与晶振片4的数量相同，该三爪背板6上设置有带丝孔的连接柱，三爪片5则通过与连接柱的丝孔相匹配的螺钉13连接在三爪背板6上。所述三爪片5具有良好的弹性，即三爪片5能与晶振片4紧密的接触，使三爪片5能将晶振片4晶振频率进行准确的传输给三爪背板6。所述三爪绝缘背板3上还设置有与定位销8相配合的卡槽17。
使用时，三爪绝缘背板3的卡槽17与晶片承接台2的定位销8相配合，能使三爪片5与晶振片4进行准确的对位，使三爪绝缘背板3的卡槽与晶片承接台2在安装时更方便。所述的盒体1上还设置了与晶片承接台2上凹槽的任意一个通孔相对应使用的检测孔9，检测时靶材的原或离子则通过该检测孔9吸附到检测晶振片4上，检测人员通过对晶振片4的振荡频率进行分析处理后便能得到基片镀膜的厚度，从而对基片镀膜的时间进行控制。
本发明具体运行时，工作人员可通过控制台输入相应的晶振片4的位数后，控制台则会输出电流给外部电机，外部电机则会带动晶片承接台2转动，使所选定位数的晶振片4位于盒体1的检测孔9处，以完成对靶材蒸发量的检测。当更换了蒸发的靶材后，工作人员只需通过控制台输入新的晶振片4位数，晶片承接台2则会在外部电机的带动下将选定位数的晶振片4转换到盒体1的检测孔9处，而不需要更换晶片盒，便能对新的靶材蒸发量进行准确的检测。从而本发明很好的解决了现有的采用单片式晶振盒的晶振探头对多种靶材的蒸发量进行检测时，需更换晶片盒的问题，这极大的减小了操作者的工作量，有效的提高了晶振探头的工作效率。
如上所述，便可很好的实现本发明。
Claims (9)
1.一种晶振探头用晶振盒，主要由盒体(1)，和设置在盒体(1)内的晶振台组成；其特征在于，所述晶振台包括晶片承接台(2)，和与晶片承接台(2)相连接的三爪绝缘背板(3)；所述晶片承接台(2)上设置有多个的晶振片(4)，所述三爪绝缘背板(3)上设置有与晶振片(4)相配合的信号传输组件。
2.根据权利要求1所述的一种晶振探头用晶振盒，其特征在于：所述信号传输组件包括设置在三爪绝缘背板(3)上且与晶振片(4)相配合的三爪片(5)，和设置在三爪绝缘背板(3)上且与三爪片(5)相连接的三爪背板(6)。
3.根据权利要求2所述的一种晶振探头用晶振盒，其特征在于：所述盒体(1)上设置有贯穿其底部的检测孔(9)。
4.根据权利要求3所述的一种晶振探头用晶振盒，其特征在于：所述晶片承接台(2)上设置有用于安装晶振片(4)的凹槽(10)，且该凹槽(10)底部设置有与检测孔(9)相对应的通孔(11)。
5.根据权利要求4所述的一种晶振探头用晶振盒，其特征在于：所述三爪绝缘背板(3)上设置有与晶片承接台(2)上的凹槽(10)相对应的安装槽(12)，且该安装槽上设置有贯穿其底部的安装孔(14)。
6.根据权利要求5所述的一种晶振探头用晶振盒，其特征在于：所述三爪背板(6)则设置在三爪绝缘背板(3)的安装孔(14)内，所述三爪片(5)设置在三爪绝缘背板(3)的安装槽(12)内，且该三爪片(5)通过螺钉(13)与三爪背板(6)相连接。
7.根据权利要求1～6任一项所述的一种晶振探头用晶振盒，其特征在于：所述晶片承接台(2)上设置有轴套(7)，该轴套(7)上设置有安装口(18)，所述晶片承接台(2)上还设置有多个螺纹孔(15)。
8.根据权利要求7所述的一种晶振探头用晶振盒，其特征在于：所述三爪背板(6)上设置有与晶片承接台(2)上的螺纹孔(15)相对应的穿心孔，所述三爪背板(6)则通过与螺纹孔(15)相匹配的螺栓(16)连接在晶片承接台(2)上。
9.根据权利要求8所述的一种晶振探头用晶振盒，其特征在于：所述轴套(7)外侧设置有定位销(8)，所述三爪绝缘背板(3)上设置有与定位销(8)相配合的卡槽(17)。
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