CN113156771B - 一种自动进行双面曝光的曝光机机构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种自动进行双面曝光的曝光机机构，包括外壳、双间歇运动装置和吸尘装置，所述外壳的顶部安装有曝光机，且外壳的外壁的一侧安装有伺服电机，并且伺服电机的输出端安装有丝杆，所述外壳的内部的底部安装有滑杆，且滑杆的外壁安装有移动杆，并且移动杆的顶部的两侧均安装有旋转壳。该一种自动进行双面曝光的曝光机机构通过双间歇运动装置，微型电机通过带动双间歇运动机构，使第一机械手在夹紧或者松开过程中第二机械手保持不同，通过主轮齿带动第一机械手一侧的副轮齿旋转，副轮齿带动第一机械手进行运动，当需要第二机械手运行过程中，第一机械手的副齿轮与旋转盘的外壁贴合，对第一机械手进行锁死，防止第一机械手运行。

Description

一种自动进行双面曝光的曝光机机构
技术领域
本发明涉及光刻机曝光工艺过程中对硅片进行正面、背面双面曝光技术领域，具体为一种自动进行双面曝光的曝光机机构。
背景技术
光刻工艺是半导体生产过程中必不可少的步骤之一，光刻工艺主要包括涂胶、曝光和显影，其中曝光是紫外光通过掩膜版照射到附有一层光刻胶薄膜的基片表面，引起曝光区域的光刻胶发生化学反应。
其中在光刻机曝光工艺过程中，分为正面曝光和背面曝光，在各自的曝光过程中，上片、曝光、卸片均需要人工参与，同时曝光产生了等待时间，这个时间内，人员处于闲置，手动曝光机造成了人员的投入，并且生产效率不高，需要进行自动化生产，一方面节约劳动力，另一方面提高生产效率，因此，我们提供了一种自动进行双面曝光的曝光机机构。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种自动进行双面曝光的曝光机机构，解决了上述背景技术中提出上片、曝光、卸片均需要人工参与和手动曝光机造成了人员的投入生产效率不高的问题。
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种自动进行双面曝光的曝光机机构，包括外壳、双间歇运动装置和吸尘装置，所述外壳的顶部安装有曝光机，且外壳的外壁的一侧安装有伺服电机，并且伺服电机的输出端安装有丝杆，所述外壳的内部的底部安装有滑杆，且滑杆的外壁安装有移动杆，并且移动杆的顶部的两侧均安装有旋转壳，所述双间歇运动装置安装于旋转壳的内部，且旋转壳的一侧安装有第一机械手，并且旋转壳的另一侧安装有第二机械手，所述旋转壳的内部安装有第三机械手，所述外壳的内部安装有固定杆，且固定杆的两侧分别均安装有旋转壳，并且旋转壳的内部分别安装有第四机械手和第五机械手，所述外壳的内部的一侧安装有第一预对准台，且外壳的内部的另一侧安装有第二预对准台，并且第二预对准台和第一预对准台的顶部分别均安装有放置装置，所述吸尘装置安装于外壳的顶部，所述移动杆和固定杆的一侧分别均安装有马达，且马达的一侧安装有电动伸缩杆，所述马达的输出端安装有传动带，所述外壳内部的一侧安装有第一工作台，且外壳的另一侧安装有第二工作台，所述第一机械手和第二机械手的一侧分别均安装有副轮齿，且副轮齿的一侧安装有固定轴，所述第一机械手和第二机械手的一侧分别均安装有限位弹簧，且限位弹簧的底部安装有限位板。
优选的，所述外壳通过丝杆和滑杆与移动杆构成滑动结构，且滑杆外壁开设有长方形槽，并且滑杆的长方形槽的内壁与移动杆的内部的凸块的外壁贴合。
优选的，所述双间歇运动装置包括旋转盘、主轮齿、限位块和旋转板，且旋转盘安装于旋转壳的内部，所述旋转盘的外壁安装有主轮齿，且旋转盘的内部安装有限位块，并且旋转盘的内部安装有旋转板。
优选的，所述主轮齿为四分之一圆齿轮，且主轮齿的外壁与副轮齿的外壁贴合。
优选的，所述放置装置包括滑槽、固定弹簧、放置杆、放置块和滑块，且滑槽开设于第一工作台的顶部，所述滑槽的内部安装有固定弹簧，且固定弹簧的一侧安装有滑块，所述滑块的顶部安装有放置杆，且放置杆的一端安装有放置块。
优选的，所述滑槽关于第一预对准台的中心点呈环形分布有4分，且两两滑槽之间呈90°夹角，并且滑槽的内壁与滑块的外壁贴合。
优选的，所述吸尘装置包括吸尘口、吸尘管、吸尘壳、卡块、过滤层和抽风扇，且吸尘口开设于外壳的顶部，所述吸尘口的一端安装有吸尘管，且吸尘口通过吸尘管与吸尘壳连接，所述吸尘壳的内部安装有卡块，且吸尘壳通过卡块与过滤层连接，并且吸尘壳的顶部安装有抽风扇。
优选的，所述吸尘口关于吸尘壳的垂直中心线两侧对称分布，且吸尘壳倾斜开设有导向螺纹。
优选的，所述吸尘壳与过滤层通过卡块构成可拆卸结构，且过滤层沿着吸尘壳的垂直中心线等间距分布有2个。
本发明提供了一种自动进行双面曝光的曝光机机构，具备以下有益效果：
1.该一种自动进行双面曝光的曝光机机构通过丝杆，启动伺服电机，使伺服电机带动丝杆旋转，丝杆旋转带动移动杆带动第一机械手、第二机械手和第三机械手水平方向移动，同时移动杆底部与滑杆连接，防止第一机械手、第二机械手和第三机械手移动过程中发生震动，导致刻板掉落，使刻板损坏；
2.该一种自动进行双面曝光的曝光机机构通过双间歇运动装置，微型电机通过带动双间歇运动机构，使第一机械手在夹紧或者松开过程中第二机械手保持不同，通过主轮齿带动第一机械手一侧的副轮齿旋转，副轮齿带动第一机械手进行运动，当需要第二机械手运行过程中，第一机械手的副齿轮与旋转盘的外壁贴合，对第一机械手进行锁死，防止第一机械手运行；
3.该一种自动进行双面曝光的曝光机机构通过放置装置，通过第二机械手将刻板放置到第一预对准台，通过刻板的重量使用放置装置内部的滑块在滑槽内向内滑动，同时滑块对固定弹簧进行挤压，使固定弹簧对滑块施加反方向作用力，使刻板保持平衡，放置刻盘掉落；
4.该一种自动进行双面曝光的曝光机机构通过吸尘装置，刻板在曝光过需要无尘环境，同时启动吸尘装置内部的抽风扇对使抽风扇带动对内部的空气进行过滤，当空气通过多组吸尘口，使空气进入到吸尘壳内，同时吸尘壳内开设有导向螺纹，使空气经过导向螺纹可以快速通过过滤层，提高吸尘的效率；
5.该一种自动进行双面曝光的曝光机机构通过电动伸缩杆，通过启动电动伸缩杆，使电动伸缩杆推动马达移动，马达的输出端分别连接有两根传动带，根据传动带具有延伸性，使马达可以通过传动带带动单侧的机械手进行旋转，提高了曝光机的使用范围。
附图说明
图1为本发明立体结构示意图；
图2为本发明正剖结构示意图；
图3为本发明俯剖结构示意图；
图4为本发明图2中A处局部放大结构示意图；
图5为本发明双间歇运动装置正剖结构示意图；
图6为本发明双间歇运动装置俯剖结构示意图。
图中：1、外壳；2、曝光机；3、伺服电机；4、丝杆；5、滑杆；6、移动杆；7、旋转壳；8、双间歇运动装置；801、旋转盘；802、主轮齿；803、限位块；804、旋转板；9、第一机械手；10、第二机械手；11、第三机械手；12、固定杆；13、第四机械手；14、第五机械手；15、第一预对准台；16、第二预对准台；17、放置装置；1701、滑槽；1702、固定弹簧；1703、放置杆；1704、放置块；1705、滑块；18、吸尘装置；1801、吸尘口；1802、吸尘管；1803、吸尘壳；1804、卡块；1805、过滤层；1806、抽风扇；19、马达；20、电动伸缩杆；21、传动带；22、第一工作台；23、第二工作台；24、副轮齿；25、固定轴；26、限位弹簧；27、限位板。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
请参阅图1至图6，本发明提供一种技术方案：一种自动进行双面曝光的曝光机机构，包括外壳1、曝光机2、伺服电机3、丝杆4、滑杆5、移动杆6、旋转壳7、双间歇运动装置8、旋转盘801、主轮齿802、限位块803、旋转板804、第一机械手9、第二机械手10、第三机械手11、固定杆12、第四机械手13、第五机械手14、第一预对准台15、第二预对准台16、放置装置17、滑槽1701、固定弹簧1702、放置杆1703、放置块1704、滑块1705、吸尘装置18、吸尘口1801、吸尘管1802、吸尘壳1803、卡块1804、过滤层1805、抽风扇1806、马达19、电动伸缩杆20、传动带21、第一工作台22、第二工作台23、副轮齿24、固定轴25、限位弹簧26和限位板27，外壳1的顶部安装有曝光机2，且外壳1的外壁的一侧安装有伺服电机3，并且伺服电机3的输出端安装有丝杆4，外壳1通过丝杆4和滑杆5与移动杆6构成滑动结构，且滑杆5外壁开设有长方形槽，并且滑杆5的长方形槽的内壁与移动杆6的内部的凸块的外壁贴合，通过伺服电机3带动丝杆4旋转，使丝杆4带动移动杆6移动，移动杆6与滑杆5贴合，使移动杆6在移动过程中可以保持稳定，外壳1的内部的底部安装有滑杆5，且滑杆5的外壁安装有移动杆6，并且移动杆6的顶部的两侧均安装有旋转壳7，双间歇运动装置8安装于旋转壳7的内部，且旋转壳7的一侧安装有第一机械手9，并且旋转壳7的另一侧安装有第二机械手10，双间歇运动装置8包括旋转盘801、主轮齿802、限位块803和旋转板804，且旋转盘801安装于旋转壳7的内部，旋转盘801的外壁安装有主轮齿802，且旋转盘801的内部安装有限位块803，并且旋转盘801的内部安装有旋转板804，通过双间歇运动装置8可以对旋转壳7两侧的第一机械手9和第二机械手10进行旋转，同时在第一机械手9旋转过程中保持第二机械手10不动，主轮齿802为四分之一圆齿轮，且主轮齿802的外壁与副轮齿24的外壁贴合，主轮齿802的宽度是副轮齿24宽度的三分之一，可以使副轮齿24在带动第一机械手9的过程中，使副轮齿24始终与主轮齿802贴合，旋转壳7的内部安装有第三机械手11，外壳1的内部安装有固定杆12，且固定杆12的两侧分别均安装有旋转壳7，并且旋转壳7的内部分别安装有第四机械手13和第五机械手14，外壳1的内部的一侧安装有第一预对准台15，且外壳1的内部的另一侧安装有第二预对准台16，并且第二预对准台16和第一预对准台15的顶部分别均安装有放置装置17，放置装置17包括滑槽1701、固定弹簧1702、放置杆1703、放置块1704和滑块1705，且滑槽1701开设于第一工作台22的顶部，滑槽1701的内部安装有固定弹簧1702，且固定弹簧1702的一侧安装有滑块1705，滑块1705的顶部安装有放置杆1703，且放置杆1703的一端安装有放置块1704，将刻板放在放置装置17的顶部，根据刻板的重量，使滑块1705对滑槽1701内的固定弹簧1702进行挤压，同时固定弹簧1702对滑块1705施加反方向作用力，使刻板可以保持平衡，滑槽1701关于第一预对准台15的中心点呈环形分布有4分，且两两滑槽1701之间呈90°夹角，并且滑槽1701的内壁与滑块1705的外壁贴合，通过多组放置块1704进行支撑，防止在刻板在防止过程中掉落，导致刻板损坏，吸尘装置18安装于外壳1的顶部，吸尘装置18包括吸尘口1801、吸尘管1802、吸尘壳1803、卡块1804、过滤层1805和抽风扇1806，且吸尘口1801开设于外壳1的顶部，吸尘口1801的一端安装有吸尘管1802，且吸尘口1801通过吸尘管1802与吸尘壳1803连接，吸尘壳1803的内部安装有卡块1804，且吸尘壳1803通过卡块1804与过滤层1805连接，并且吸尘壳1803的顶部安装有抽风扇1806，刻板在曝光过程需要保持无尘空间，通过吸尘装置18对装置内部的空气进行过滤，防止刻板曝光失败，吸尘口1801关于吸尘壳1803的垂直中心线两侧对称分布，且吸尘壳1803倾斜开设有导向螺纹，多组吸尘口1801可以对装置内部进行快速除尘，同时导向螺纹可以使空气快速向上移动，提高除尘的效率，吸尘壳1803与过滤层1805通过卡块1804构成可拆卸结构，且过滤层1805沿着吸尘壳1803的垂直中心线等间距分布有2个，当吸尘装置18长时间使用过程中，需要对过滤层1805进行更换，防止过滤性能变差，移动杆6和固定杆12的一侧分别均安装有马达19，且马达19的一侧安装有电动伸缩杆20，马达19的输出端安装有传动带21，外壳1内部的一侧安装有第一工作台22，且外壳1的另一侧安装有第二工作台23，第一机械手9和第二机械手10的一侧分别均安装有副轮齿24，且副轮齿24的一侧安装有固定轴25，第一机械手9和第二机械手10的一侧分别均安装有限位弹簧26，且限位弹簧26的底部安装有限位板27。
综上所述，该一种自动进行双面曝光的曝光机机构，当需要对刻板进行时，首先伺服电机3启动，使伺服电机3的输出端带动丝杆4旋转，同时通过丝杆4和滑杆5带动移动杆6水平方向移动，使第一机械手9贴近片盒，同时微型电机启动，使微型电机带动双间歇运动装置8内的旋转盘801旋转，同时旋转盘801带动主轮齿802与第一机械手9的副轮齿24旋转，使副轮齿24带动第一机械手9内的齿轮旋转，第一机械手9对刻板进行夹紧，当第一机械手9对刻板夹紧后伺服电机3反转，使丝杆4反转，带动移动杆6反方向移动，使移动杆6带动第一机械手9移动到第一预对准台15，同时电动伸缩杆20启动，推动马达19在移动杆6一侧移动，使马达19输出端的两根传动带21一根绷紧一根松开，启动马达19，使马达19的输出端带动绷紧的传动带21旋转，传动带21通过传动轴带动旋转壳7内的第一机械手9和第二机械手10旋转，使第一机械手9夹紧的刻板位于第一预对准台15的正上方，同时微型电机反转，双间歇运动装置8反转，使双间歇运动装置8带动第一机械手9松开，将刻板的底部与第一预对准台15上的放置装置17贴合，马达19和电动伸缩杆20反转，第一机械手9和第二机械手10回到原处，同时根据刻板的重量，使放置装置17内的放置块1704与刻板的底部贴合，通过放置杆1703使滑块1705在滑槽1701内滑动，同时滑块1705对固定弹簧1702进行挤压，使固定弹簧1702对滑块1705施加反方向作用力，使放置装置17保持稳定，防止刻板掉落，同时启动伺服电机3，使伺服电机3的输出端带动丝杆4旋转，丝杆4带动，使丝杆4带动移动杆6移动，同时移动杆6带动第二机械手10移动，当第二机械手10移动到第一预对准台15时，启动微型电机，使微型电机安装上述方法带动第二机械手10运动，同时第二机械手10对第一预对准台15上的刻板进行夹紧，同时通过第二机械手10将刻板移动到第一工作台22的上方，微型电机反转，使第二机械手10将刻板放下，启动曝光机2装刻板进行曝光，当曝光完成后；
伺服电机3带动丝杆4旋转，使丝杆4带动移动杆6水平移动，使移动杆6带动第三机械手11移动到曝光完成的刻板一侧，启动微型电机，使微型电机带动第三机械手11对刻板进行夹紧，夹紧完成后，将刻板放入到第二预对准台16的顶部，使第二预对准台16顶部的放置装置17与刻板贴合，上述完成后，启动微型电机，使微型电机第四机械手13对刻板进行夹紧，同时启动固定杆12一侧的电动伸缩杆20，使电动伸缩杆20推动马达19移动，使马达19输出端的两根传动带21一根绷紧一根松开，启动马达19，使马达19的输出端带动绷紧的传动带21旋转，传动带21通过传动轴带动第四机械手13旋转，使第四机械手13带动刻板旋转，使刻板的正反转进行调转，当刻板调转完成后，将微型电机启动，使微型电机带动第四机械手13松开，将刻板放入到第二工作台23，使启动曝光机2对刻板的反面进行曝光，当个曝光完成后，同时启动固定杆12一侧的电动伸缩杆20，使电动伸缩杆20推动马达19移动，使马达19输出端的两根传动带21一根绷紧一根松开，启动马达19，使马达19的输出端带动绷紧的传动带21旋转，传动带21通过传动轴带动第五机械手14旋转，启动微型电机，使微型电机带动第五机械手14对刻板进行夹紧，同时马达19反转，带动第五机械手14反方向旋转，将曝光完成的刻板取出，在刻板曝光过程中，启动吸尘装置18，使吸尘装置18内的吸尘口1801对装置的内部进行吸尘，空气通过吸尘口1801和吸尘管1802进入到吸尘壳1803内部，吸尘壳1803内部的导向螺纹可以使空气快速移动，使空气快速经过过滤层1805对装置内部进行过滤。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种自动进行双面曝光的曝光机机构，包括外壳(1)、双间歇运动装置(8)和吸尘装置(18)，其特征在于：所述外壳(1)的顶部安装有曝光机(2)，且外壳(1)的外壁的一侧安装有伺服电机(3)，并且伺服电机(3)的输出端安装有丝杆(4)，所述外壳(1)的内部的底部安装有滑杆(5)，且滑杆(5)的外壁安装有移动杆(6)，并且移动杆(6)的顶部的两侧均安装有旋转壳(7)，所述双间歇运动装置(8)安装于旋转壳(7)的内部，且旋转壳(7)的一侧安装有第一机械手(9)，并且旋转壳(7)的另一侧安装有第二机械手(10)，所述旋转壳(7)的内部安装有第三机械手(11)，所述外壳(1)的内部安装有固定杆(12)，且固定杆(12)的两侧分别均安装有旋转壳(7)，并且旋转壳(7)的内部分别安装有第四机械手(13)和第五机械手(14)，所述外壳(1)的内部的一侧安装有第一预对准台(15)，且外壳(1)的内部的另一侧安装有第二预对准台(16)，并且第二预对准台(16)和第一预对准台(15)的顶部分别均安装有放置装置(17)，所述吸尘装置(18)安装于外壳(1)的顶部，所述移动杆(6)和固定杆(12)的一侧分别均安装有马达(19)，且马达(19)的一侧安装有电动伸缩杆(20)，所述马达(19)的输出端安装有传动带(21)，所述外壳(1)内部的一侧安装有第一工作台(22)，且外壳(1)的另一侧安装有第二工作台(23)，所述第一机械手(9)和第二机械手(10)的一侧分别均安装有副轮齿(24)，且副轮齿(24)的一侧安装有固定轴(25)，所述第一机械手(9)和第二机械手(10)的一侧分别均安装有限位弹簧(26)，且限位弹簧(26)的底部安装有限位板(27)。
2.根据权利要求1所述的一种自动进行双面曝光的曝光机机构，其特征在于：所述外壳(1)通过丝杆(4)和滑杆(5)与移动杆(6)构成滑动结构，且滑杆(5)外壁开设有长方形槽，并且滑杆(5)的长方形槽的内壁与移动杆(6)的内部的凸块的外壁贴合。
3.根据权利要求1所述的一种自动进行双面曝光的曝光机机构，其特征在于：所述双间歇运动装置(8)包括旋转盘(801)、主轮齿(802)、限位块(803)和旋转板(804)，且旋转盘(801)安装于旋转壳(7)的内部，所述旋转盘(801)的外壁安装有主轮齿(802)，且旋转盘(801)的内部安装有限位块(803)，并且旋转盘(801)的内部安装有旋转板(804)。
4.根据权利要求3所述的一种自动进行双面曝光的曝光机机构，其特征在于：所述主轮齿(802)为四分之一圆齿轮，且主轮齿(802)的外壁与副轮齿(24)的外壁贴合。
5.根据权利要求1所述的一种自动进行双面曝光的曝光机机构，其特征在于：所述放置装置(17)包括滑槽(1701)、固定弹簧(1702)、放置杆(1703)、放置块(1704)和滑块(1705)，且滑槽(1701)开设于第一工作台(22)的顶部，所述滑槽(1701)的内部安装有固定弹簧(1702)，且固定弹簧(1702)的一侧安装有滑块(1705)，所述滑块(1705)的顶部安装有放置杆(1703)，且放置杆(1703)的一端安装有放置块(1704)。
6.根据权利要求5所述的一种自动进行双面曝光的曝光机机构，其特征在于：所述滑槽(1701)关于第一预对准台(15)的中心点呈环形分布有4分，且两两滑槽(1701)之间呈90°夹角，并且滑槽(1701)的内壁与滑块(1705)的外壁贴合。
7.根据权利要求1所述的一种自动进行双面曝光的曝光机机构，其特征在于：所述吸尘装置(18)包括吸尘口(1801)、吸尘管(1802)、吸尘壳(1803)、卡块(1804)、过滤层(1805)和抽风扇(1806)，且吸尘口(1801)开设于外壳(1)的顶部，所述吸尘口(1801)的一端安装有吸尘管(1802)，且吸尘口(1801)通过吸尘管(1802)与吸尘壳(1803)连接，所述吸尘壳(1803)的内部安装有卡块(1804)，且吸尘壳(1803)通过卡块(1804)与过滤层(1805)连接，并且吸尘壳(1803)的顶部安装有抽风扇(1806)。
8.根据权利要求7所述的一种自动进行双面曝光的曝光机机构，其特征在于：所述吸尘口(1801)关于吸尘壳(1803)的垂直中心线两侧对称分布，且吸尘壳(1803)倾斜开设有导向螺纹。
9.根据权利要求7所述的一种自动进行双面曝光的曝光机机构，其特征在于：所述吸尘壳(1803)与过滤层(1805)通过卡块(1804)构成可拆卸结构，且过滤层(1805)沿着吸尘壳(1803)的垂直中心线等间距分布有2个。
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