CN114335253B - 一种硅片取放装置及取放方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种硅片取放装置及取放方法。装置包括安装支架、第一吸盘组件、第二吸盘组件、旋转驱动组件、直线移动模组和叠合驱动组件，第一吸盘组件上设有多个第一吸盘，第二吸盘组件上设有多个第二吸盘，旋转驱动组件用于驱动第二吸盘组件旋转以使第二吸盘吸取的硅片与第一吸盘吸取的硅片背对背布置，直线移动模组设于安装支架上并用于驱动第一吸盘组件和第二吸盘组件相向移动以使第一吸盘吸取的硅片和第二吸盘吸取的硅片相互交叉，叠合驱动组件用于驱动第一吸盘组件和/或第二吸盘组件移动以消除交叉后硅片间的间隙。该硅片取放装置及取放方法具有自动化程度高、适应场合多、取放效率高和节约生产成本的优点。

Description

一种硅片取放装置及取放方法

技术领域

本发明涉及太阳能电池片加工技术领域，具体涉及一种硅片取放装置及取放方法。

背景技术

在制造晶硅太阳能电池片时，通常需要采用扩散工艺进行硅片的PN结制备，采用热氧化工艺在硅片表面产生一层致密的二氧化硅薄膜。在进行扩散或者热氧化工艺前，需要将前道工序完成后的硅片从花篮盒中取出再装入石英舟的舟槽中，在装载硅片的过程中，需要将一片硅片旋转180度后再与另外一片硅片背靠背叠合，使每个舟槽中放置两片硅片，硅片放置完成后，将石英舟送入工艺设备的反应腔体内进行扩散或者热氧化工艺，工艺结束后送出石英舟，待石英舟冷却后再将扩散或者热氧化后的硅片从石英舟中卸载，在卸载硅片时，同样需要将一片硅片与另外一片硅片分离后旋转180度，再装入花篮盒中，送往下一道工序。

现有技术的缺点在于：

1、现有技术无法自动实现硅片的背靠背叠合放置，通常需要依靠人工或者机械手先将来料花篮盒一正一反放置，再通过取放片装置完成装片，卸片时同样需要人工或者机械手将花篮旋转，两组花篮朝向一致流入下道工序。整个过程自动化程度低，效率低，碎片率高，容易硅片污染。

2、现有技术在叠片时，叠片动作通常采用电机驱动同步带运动再带动丝杠机构运动的方法完成叠片，这种叠片的方法精度较低。

3、现有技术中吸盘的吸气孔通常设于吸盘的一边，单边吸气的方式形成真空时间较慢，吸取硅片的效率较低。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种自动化程度高、适应场合多、取放效率高的硅片取放装置及取放方法。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种硅片取放装置，包括安装支架、第一吸盘组件、第二吸盘组件、旋转驱动组件、直线移动模组和叠合驱动组件，所述第一吸盘组件上设有多个第一吸盘，所述第二吸盘组件上设有多个第二吸盘，所述旋转驱动组件用于驱动所述第二吸盘组件旋转以使所述第二吸盘吸取的硅片与所述第一吸盘吸取的硅片背对背布置，所述直线移动模组设于所述安装支架上，所述直线移动模组用于驱动所述第一吸盘组件和所述第二吸盘组件相向移动以使所述第一吸盘吸取的硅片和所述第二吸盘吸取的硅片相互交叉，所述叠合驱动组件用于驱动所述第一吸盘组件和/或所述第二吸盘组件移动以消除交叉后硅片间的间隙。

作为上述技术方案的进一步改进：所述安装支架上设有第一安装座和第二安装座，所述第一吸盘组件与所述第一安装座相连，所述第二吸盘组件与所述第二安装座相连，所述直线移动模组用于驱动所述第一安装座和所述第二安装座在所述安装支架上相向移动。

作为上述技术方案的进一步改进：所述直线移动模组包括主动轮、从动轮、皮带和用于驱动主动轮旋转的主动轮驱动电机，所述主动轮和所述从动轮均设于所述安装支架上，所述皮带设于所述主动轮和所述从动轮之间，所述第一安装座与所述皮带的下段相连，所述第二安装座与所述皮带的上段相连。

作为上述技术方案的进一步改进：所述安装支架上设有第一导轨，所述第一安装座和所述第二安装座均滑设于所述第一导轨上。

作为上述技术方案的进一步改进：所述叠合驱动组件包括丝杠和用于驱动所述丝杠旋转的丝杠驱动电机，所述丝杠上设有丝杠螺母座，所述丝杠设于所述第一安装座上，所述丝杠螺母座与所述第一吸盘组件相连。

作为上述技术方案的进一步改进：所述第一吸盘组件包括第一安装板，所述第一安装板设于所述第一安装座上并与所述丝杠螺母座相连，所述第一安装板的两端均设有第一端板，两个第一端板之间设有第一导柱，多个所述第一吸盘依次紧靠的穿设于所述第一导柱上，所述第一吸盘上设有第一主吸气孔，各所述第一端板上均设有第一气动接头，所述第一主吸气孔与所述第一气动接头连通。

作为上述技术方案的进一步改进：所述旋转驱动组件包括中空旋转平台和用于驱动中空旋转平台的旋转驱动电机，所述中空旋转平台设于所述第二安装座上，所述第二吸盘组件与所述中空旋转平台相连。

作为上述技术方案的进一步改进：所述第二吸盘组件包括第二安装板，所述第二安装板与所述中空旋转平台相连，所述第二安装板的两端均设有第二端板，两个第二端板之间设有第二导柱，多个所述第二吸盘依次紧靠的穿设于所述第二导柱上，所述第二吸盘上设有第二主吸气孔，各所述第二端板上均设有第二气动接头，所述第二主吸气孔与所述第二气动接头连通。

作为上述技术方案的进一步改进：所述第一吸盘和所述第二吸盘均为凹凸结构。

一种硅片取放方法，包括以下步骤：

S1、吸取硅片：移动安装支架至硅片的取料位置，第一吸盘和第二吸盘吸取硅片；

S2、移动并旋转硅片：旋转驱动组件驱动第二吸盘组件旋转180度，同时，直线移动模组驱动第一吸盘组件和第二吸盘组件相向移动，直至第一吸盘吸取的硅片与第二吸盘吸取的硅片背靠背交叉；

S3、消除硅片间的间隙：叠合驱动组件驱动第一吸盘组件和/或第二吸盘组件移动，直至第一吸盘吸取的硅片与第二吸盘吸取的硅片贴合，以消除交叉后硅片间的间隙；

S4、释放硅片：移动安装支架至硅片放料位置，第一吸盘和第二吸盘释放硅片。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

本发明公开的硅片取放装置，安装支架作为整套装置的骨架，起到安装和支撑的作用，优选将安装支架安装于机械手或者龙门架上，可实现大范围的转移硅片。当将硅片从花篮盒装载到石英舟时，取放过程具体为：移动安装支架至硅片的取料位置，第一吸盘和第二吸盘吸取硅片；旋转驱动组件驱动第二吸盘组件旋转180度，同时，直线移动模组驱动第一吸盘组件和第二吸盘组件相向移动，直至第一吸盘吸取的硅片与第二吸盘吸取的硅片背靠背交叉；叠合驱动组件驱动第一吸盘组件移动，直至第一吸盘吸取的硅片与第二吸盘吸取的硅片贴合，以消除交叉后硅片间的间隙；移动安装支架至硅片的放料位置，第一吸盘和第二吸盘释放硅片，实现每个舟槽中放置两片硅片。当将硅片从石英舟卸载到花篮盒时，卸载的取放过程与装载的取放过程相反。该硅片取放装置能够实现硅片的装载和卸载，不需要人工取放硅片，不需要人工或机械手将花篮盒一正一反放置，防止硅片损伤或破碎，能够实现自动取片、自动旋片、自动叠片和自动放片等功能，具有自动化程度高、适应场合多、取放效率高和节约生产成本的优点，大大提升了太阳能电池的产能。

本发明公开的硅片取放方法，能够实现硅片的装载和卸载，不需要人工取放硅片，不需要人工或机械手将花篮盒一正一反放置，防止硅片损伤或破碎，能够实现自动取片、自动旋片、自动叠片和自动放片等功能，具有自动化程度高、适应场合多、取放效率高和节约生产成本的优点，大大提升了太阳能电池的产能。

附图说明

图1为本发明硅片取放装置的结构示意图。

图2为本发明中第一安装座与叠合驱动组件第一视角的结构示意图。

图3为本发明中第一安装座与叠合驱动组件第二视角的结构示意图。

图4为本发明中第二安装座与旋转驱动组件的结构示意图。

图5为本发明中第一吸盘组件的结构示意图。

图6为本发明中第二吸盘组件的结构示意图。

图7为本发明中第一吸盘的结构示意图。

图8为本发明中第二吸盘的结构示意图。

图中各标号表示：1、安装支架；11、第一导轨；2、第一吸盘组件；21、第一吸盘；211、第一主吸气孔；212、第一连接部；213、第一吸取部；214、第一副吸气孔；22、第一安装板；23、第一端板；24、第一导柱；25、第一气动接头；3、第二吸盘组件；31、第二吸盘；311、第二主吸气孔；312、第二连接部；313、第二吸取部；314、第二副吸气孔；32、第二安装板；321、法兰连接部；33、第二端板；34、第二导柱；35、第二气动接头；4、旋转驱动组件；41、中空旋转平台；42、旋转轴；43、旋转驱动电机；5、直线移动模组；51、主动轮；52、从动轮；53、皮带；54、主动轮驱动电机；6、叠合驱动组件；61、丝杠；62、丝杠驱动电机；63、丝杠螺母座；7、第一安装座；71、第一滑块；72、第一连接板；73、第一压板；74、第三滑块；75、第二导轨；76、位置传感器；8、第二安装座；81、第二滑块；82、第二连接板；83、第二压板；9、硅片。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。

图1至图8示出了本发明的一种实施例，本实施例的硅片取放装置，包括安装支架1、第一吸盘组件2、第二吸盘组件3、旋转驱动组件4、直线移动模组5和叠合驱动组件6，第一吸盘组件2上设有多个第一吸盘21，第二吸盘组件3上设有多个第二吸盘31，旋转驱动组件4用于驱动第二吸盘组件3旋转以使第二吸盘31吸取的硅片9与第一吸盘21吸取的硅片9背对背布置，直线移动模组5设于安装支架1上，直线移动模组5用于驱动第一吸盘组件2和第二吸盘组件3相向移动以使第一吸盘21吸取的硅片9和第二吸盘31吸取的硅片9相互交叉，叠合驱动组件6用于驱动第一吸盘组件2移动以消除交叉后硅片9间的间隙。在其他实施例中，叠合驱动组件6可以同时驱动第一吸盘组件2和第二吸盘组件3移动以消除交叉后硅片9间的间隙，或者叠合驱动组件6驱动第二吸盘组件3移动以消除交叉后硅片9间的间隙。

该硅片取放装置，安装支架1作为整套装置的骨架，起到安装和支撑的作用，优选将安装支架1安装于机械手或者龙门架上，可实现大范围的转移硅片9。当将硅片9从花篮盒装载到石英舟时，取放过程具体为：移动安装支架1至硅片9的取料位置，第一吸盘21和第二吸盘31吸取硅片9；旋转驱动组件4驱动第二吸盘组件3旋转180度，同时，直线移动模组5驱动第一吸盘组件2和第二吸盘组件3相向移动，直至第一吸盘21吸取的硅片9与第二吸盘31吸取的硅片9背靠背交叉；叠合驱动组件6驱动第一吸盘组件2移动，直至第一吸盘21吸取的硅片9与第二吸盘31吸取的硅片9贴合，以消除交叉后硅片9间的间隙；移动安装支架1至硅片9的放料位置，第一吸盘21和第二吸盘31释放硅片9，实现每个舟槽中放置两片硅片9。当将硅片9从石英舟卸载到花篮盒时，卸载的取放过程与装载的取放过程相反。该硅片取放装置能够实现硅片的装载和卸载，不需要人工取放硅片9，不需要人工或机械手将花篮盒一正一反放置，防止硅片9损伤或破碎，能够实现自动取片、自动旋片、自动叠片和自动放片等功能，具有自动化程度高、适应场合多、取放效率高和节约生产成本的优点，大大提升了太阳能电池的产能。

本实施例中，安装支架1上设有第一安装座7和第二安装座8，第一吸盘组件2与第一安装座7相连，方便第一吸盘组件2的安装，第二吸盘组件3与第二安装座8相连，方便第二吸盘组件3的安装，直线移动模组5用于驱动第一安装座7和第二安装座8在安装支架1上相向或背向移动，实现第一吸盘组件2和第二吸盘组件3相向或背向移动，可方便两组硅片9交叉或分离。在其他实施例中，直线移动模组5可以设置两个，一个直线移动模组5与第一安装座7相连，另一个直线移动模组5与第二安装座8相连，以实现第一安装座7和第二安装座8的相向或背向移动。

本实施例中，直线移动模组5包括主动轮51、从动轮52、皮带53和用于驱动主动轮51旋转的主动轮驱动电机54，主动轮51和从动轮52均设于安装支架1上，皮带53设于主动轮51和从动轮52之间，第一安装座7与皮带53的下段相连，第二安装座8与皮带53的上段相连。具体地，第一安装座7优选与下段的皮带53相连，第二安装座8优选与上段的皮带53相连，主动轮驱动电机54驱动主动轮51旋转，使皮带53在主动轮51和从动轮52之间往复运动，通过皮带53带动第一安装座7和第二安装座8在安装支架1上相向或背向滑动，从而实现两组硅片9交叉或分离。

本实施例中，安装支架1上优选设有两根第一导轨11，两根第一导轨11间隔布置，第一安装座7和第二安装座8均滑设于第一导轨11上。具体地，第一安装座7上设有可与第一导轨11配合的第一滑块71，方便第一安装座7安装和移动，第一安装座7的一侧设有第一连接板72和第一压板73，通过第一压板73与第一连接板72配合以夹紧皮带53。第二安装座8上设有可与第一导轨11配合的第二滑块81，方便第二安装座8安装和移动。第二安装座8的一侧设有第二连接板82和第二压板83，通过第二压板83与第二连接板82配合以夹紧皮带53。

本实施例中，叠合驱动组件6包括丝杠61和用于驱动丝杠61旋转的丝杠驱动电机62，丝杠61上设有丝杠螺母座63，丝杠61设于第一安装座7上，丝杠螺母座63与第一吸盘组件2相连。具体地，第一安装座7的底部设有第三滑块74和与第三滑块74配合的第二导轨75，通过第三滑块74和第二导轨75的配合方便第一吸盘组件2滑动，丝杠驱动电机62驱动丝杠61旋转，使丝杠螺母座63带动第一吸盘组件2滑动，进一步方便消除交叉后硅片9的间隙。第一安装座7上还设有用于检测丝杠螺母座63位置的位置传感器76。通过位置传感器76检测丝杠螺母座63的位置，从而得到第一吸盘组件2的位移量，避免第一吸盘组件2移动过程中使两组硅片9挤压而导致硅片9破碎。

本实施例中，第一吸盘组件2包括第一安装板22，第一安装板22与第二导轨75相连并与丝杠螺母座63相连，第一安装板22的两端均设有第一端板23，两个第一端板23之间优选设有四根第一导柱24，多个第一吸盘21依次紧靠的穿设于第一导柱24上，第一吸盘21上设有第一主吸气孔211，各第一端板23上均设有第一气动接头25，第一主吸气孔211与第一气动接头25连通。具体地，第一吸盘21优选为陶瓷吸盘并设有50片，第一吸盘21包括第一连接部212和第一吸取部213，第一主吸气孔211设于第一连接部212上，第一吸盘21的第一连接部212穿过第一导柱24后，通过两个第一端板23将第一连接部212夹紧固定，第一吸取部213上优选设有四个第一副吸气孔214，四个第一副吸气孔214均与第一主吸气孔211连通，四个第一副吸气孔214呈四边形结构并布置于第一吸取部213上，真空气管通过第一气动接头25与第一吸盘21连通，通过真空吸附的方式吸取硅片9，可靠性高，避免人工取放导致硅片9损伤或破碎。

本实施例中，旋转驱动组件4包括中空旋转平台41和用于驱动中空旋转平台41旋转的旋转驱动电机43，中空旋转平台41设于第二安装座8上，第二吸盘组件3与中空旋转平台41相连。具体地，中空旋转平台41设于第二安装座8的底部，旋转驱动电机43优选为伺服电机，通过伺服电机驱动中空旋转平台41旋转，进而带动第二吸盘组件3旋转，结构合理，可靠性高。

本实施例中，第二吸盘组件3包括第二安装板32，第二安装板32与中空旋转平台41相连，第二安装板32的两端均设有第二端板33，两个第二端板33之间优选设有四根第二导柱34，多个第二吸盘31依次紧靠的穿设于第二导柱34上，第二吸盘31上设有第二主吸气孔311，各第二端板33上均设有第二气动接头35，第二主吸气孔311与第二气动接头35连通。具体地，第二安装板32上设有法兰连接部321，第二安装板32通过法兰连接部321与中空旋转平台41相连，第二吸盘31优选为陶瓷吸盘并设有50片，第二吸盘31包括第二连接部312和第二吸取部313，第二主吸气孔311设于第二连接部312上，第二吸盘31的第二连接部312穿过第二导柱34后，通过两个第二端板33将第二连接部312夹紧固定，第二吸取部313上优选设有四个第二副吸气孔314，四个第二副吸气孔314均与第二主吸气孔311连通，四个第二副吸气孔314呈四边形结构并布置于第二吸取部313上，真空气管通过第二气动接头35与第二吸盘31连通，通过真空吸附的方式吸取硅片9，可靠性高，避免人工取放导致硅片9损伤或破碎。

本实施例中，第一吸盘21和第二吸盘31均为凹凸结构。具体地，第一吸盘21的凹凸结构和第二吸盘31的凹凸结构是错位的，在两组硅片9交叉时，由于吸盘之间的间隙很小，第一吸取部213的凸起伸入第二吸取部313的凹槽中，使第一吸盘21和第二吸盘31之间不会发生碰撞，避免吸盘损坏，方便两组硅片9进行叠合。

本实施例的硅片取放方法，采用上述实施例的硅片取放装置，该取放方法包括以下步骤：

S1、吸取硅片9：移动安装支架1至硅片9的取料位置，第一吸盘21的第一吸取部213和第二吸盘31的第二吸取部313吸取硅片9；

S2、移动并旋转硅片9：旋转驱动电机43驱动旋转轴42旋转180度，进而带动第二安装板32旋转180度，同时，主动轮驱动电机54驱动主动轮51旋转，通过皮带53带动第一安装座7和第二安装座8在安装支架1上相向滑动，直至第一吸盘21吸取的硅片9与第二吸盘31吸取的硅片9背靠背交叉；

S3、消除硅片9间的间隙：丝杠驱动电机62驱动丝杠61旋转，使丝杠螺母座63带动第一安装板22滑动，直至第一吸盘21吸取的硅片9与第二吸盘31吸取的硅片9贴合，以消除交叉后硅片9间的间隙；

S4、释放硅片9：移动安装支架1至硅片9放料位置，第一吸盘21的第一吸取部213和第二吸盘31的第二吸取部313释放硅片9，实现硅片9的装载。

该硅片取放方法，能够实现硅片9的装载和卸载，不需要人工取放硅片9，不需要人工或机械手将花篮盒一正一反放置，防止硅片9损伤或破碎，能够实现自动取片、自动旋片、自动叠片和自动放片等功能，具有自动化程度高、适应场合多、取放效率高和节约生产成本的优点，大大提升了太阳能电池的产能。

虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。

Claims (7)

1.一种硅片取放装置，其特征在于：包括安装支架（1）、第一吸盘组件（2）、第二吸盘组件（3）、旋转驱动组件（4）、直线移动模组（5）和叠合驱动组件（6），所述第一吸盘组件（2）上设有多个第一吸盘（21），所述第二吸盘组件（3）上设有多个第二吸盘（31），所述旋转驱动组件（4）用于驱动所述第二吸盘组件（3）旋转以使所述第二吸盘（31）吸取的硅片（9）与所述第一吸盘（21）吸取的硅片（9）背对背布置，所述直线移动模组（5）设于所述安装支架（1）上，所述直线移动模组（5）用于驱动所述第一吸盘组件（2）和所述第二吸盘组件（3）相向移动以使所述第一吸盘（21）吸取的硅片（9）和所述第二吸盘（31）吸取的硅片（9）相互交叉，所述叠合驱动组件（6）用于驱动所述第一吸盘组件（2）和/或所述第二吸盘组件（3）移动以消除交叉后硅片（9）间的间隙；所述安装支架（1）上设有第一安装座（7）和第二安装座（8），所述第一吸盘组件（2）与所述第一安装座（7）相连，所述第二吸盘组件（3）与所述第二安装座（8）相连，所述直线移动模组（5）用于驱动所述第一安装座（7）和所述第二安装座（8）在所述安装支架（1）上相向移动；所述叠合驱动组件（6）包括丝杠（61）和用于驱动所述丝杠（61）旋转的丝杠驱动电机（62），所述丝杠（61）上设有丝杠螺母座（63），所述丝杠（61）设于所述第一安装座（7）上，所述丝杠螺母座（63）与所述第一吸盘组件（2）相连；所述第一吸盘组件（2）包括第一安装板（22），所述第一安装板（22）设于所述第一安装座（7）上并与所述丝杠螺母座（63）相连，所述第一安装板（22）的两端均设有第一端板（23），两个第一端板（23）之间设有第一导柱（24），多个所述第一吸盘（21）依次紧靠的穿设于所述第一导柱（24）上，所述第一吸盘（21）上设有第一主吸气孔（211），各所述第一端板（23）上均设有第一气动接头（25），所述第一主吸气孔（211）与所述第一气动接头（25）连通。

2.根据权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于：所述直线移动模组（5）包括主动轮（51）、从动轮（52）、皮带（53）和用于驱动主动轮（51）旋转的主动轮驱动电机（54），所述主动轮（51）和所述从动轮（52）均设于所述安装支架（1）上，所述皮带（53）设于所述主动轮（51）和所述从动轮（52）之间，所述第一安装座（7）与所述皮带（53）的下段相连，所述第二安装座（8）与所述皮带（53）的上段相连。

3.根据权利要求2所述的硅片取放装置，其特征在于：所述安装支架（1）上设有第一导轨（11），所述第一安装座（7）和所述第二安装座（8）均滑设于所述第一导轨（11）上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的硅片取放装置，其特征在于：所述旋转驱动组件（4）包括中空旋转平台（41）和用于驱动中空旋转平台（41）旋转的旋转驱动电机（43），所述中空旋转平台（41）设于所述第二安装座（8）上，所述第二吸盘组件（3）与所述中空旋转平台（41）相连。

5.根据权利要求4所述的硅片取放装置，其特征在于：所述第二吸盘组件（3）包括第二安装板（32），所述第二安装板（32）与所述中空旋转平台（41）相连，所述第二安装板（32）的两端均设有第二端板（33），两个第二端板（33）之间设有第二导柱（34），多个所述第二吸盘（31）依次紧靠的穿设于所述第二导柱（34）上，所述第二吸盘（31）上设有第二主吸气孔（311），各所述第二端板（33）上均设有第二气动接头（35），所述第二主吸气孔（311）与所述第二气动接头（35）连通。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的硅片取放装置，其特征在于：所述第一吸盘（21）和所述第二吸盘（31）均为凹凸结构。

7.一种硅片取放方法，其特征在于：采用权利要求1至6中任一项所述的硅片取放装置，所述方法包括以下步骤：

S1、吸取硅片（9）：移动安装支架（1）至硅片（9）的取料位置，第一吸盘（21）和第二吸盘（31）吸取硅片（9）；

S2、移动并旋转硅片（9）：旋转驱动组件（4）驱动第二吸盘组件（3）旋转180度，同时，直线移动模组（5）驱动第一吸盘组件（2）和第二吸盘组件（3）相向移动，直至第一吸盘（21）吸取的硅片（9）与第二吸盘（31）吸取的硅片（9）背靠背交叉；

S3、消除硅片（9）间的间隙：叠合驱动组件（6）驱动第一吸盘组件（2）和/或第二吸盘组件（3）移动，直至第一吸盘（21）吸取的硅片（9）与第二吸盘（31）吸取的硅片（9）贴合，以消除交叉后硅片（9）间的间隙；

S4、释放硅片（9）：移动安装支架（1）至硅片（9）放料位置，第一吸盘（21）和第二吸盘（31）释放硅片（9）。