CN216980522U - 一种多层多向传片传输装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种多层多向传片传输装置，包括上层传输单元，包括至少一个单段传输机构和至少一个倒吸皮带传输机构，倒吸皮带传输机构设置在单段传输机构之上；下层传输单元，包括至少一个单段传输机构和至少一个倒吸皮带传输机构，倒吸皮带传输机构设置在单段传输机构之上；提升机构，设置在上层传输单元和下层传输单元之间，下层传输单元的单段传输机构将光伏硅片传输至提升机构，提升机构按节距运行将光伏硅片沿提升机构的高度方向传输至上层传输单元的单段传输机构；倒吸皮带传输机构吸附光伏硅片将光伏硅片真空传输。本实用新型通过单段传输机构、倒吸皮带传输机构和提升机构可以进行不同组合，实现多个方向的传片传输。

Description

一种多层多向传片传输装置

技术领域

本实用新型涉及光伏硅片传输装置技术领域，尤其是指一种多层多向传片传输装置。

背景技术

目前，芯片最基本的原材料是硅，所有的计算机芯片都是使用硅材料制造的。这是由于硅是自然界中最常见的半导体材料，储量丰富，制造成本低，容易获得。

半导体制造过程大致分为单晶硅片制备(wafers preparation)、晶圆制造(waferfabrication)、晶圆测试与分拣(wafer probe)、装配与封装(assembly andpackaging)和终测(final testing)。其中晶圆制造属于前道工艺(front.endprocessing)，晶圆测试和分拣、装配与封装和终测属于后道工艺。

在后道工艺中，光伏硅片尺寸越来越大，设备占地面积随之变得更大。传统的设备大都采用平铺设备以及平铺传片模式，当前已造成工厂占地超规模，使其成为后道工艺的一大难题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种多层多向传片传输装置。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种多层多向传片传输装置，包括

上层传输单元，包括至少一个单段传输机构和至少一个倒吸皮带传输机构，所述倒吸皮带传输机构设置在所述单段传输机构之上；所述单段传输机构沿所述上层传输单元的长度方向或所述上层传输单元的宽度方向传输光伏硅片；

下层传输单元，包括至少一个单段传输机构和至少一个倒吸皮带传输机构，所述倒吸皮带传输机构设置在所述单段传输机构之上；所述单段传输机构沿所述下层传输单元的长度方向或所述上层传输单元的宽度方向传输光伏硅片；

提升机构，设置在所述上层传输单元和所述下层传输单元之间，所述下层传输单元的单段传输机构将光伏硅片传输至所述提升机构，所述提升机构按节距运行将光伏硅片沿所述提升机构的高度方向传输至所述上层传输单元的单段传输机构；所述倒吸皮带传输机构吸附所述光伏硅片将所述光伏硅片真空传输。

其进一步的技术特征在于：所述单段传输机构包括第一底座、第一驱动源和两组第一同步传动模块，两组所述第一同步传动模块通过传动轴连接，所述第一底座支承所述第一同步传动模块，所述第一驱动源驱动所述第一同步传动模块沿所述第一底座的长度方向转动。

其进一步的技术特征在于：所述第一同步传动模块包括第一同步轮、第二同步轮和第一同步带，所述第一同步带张紧于所述第一同步轮和所述第二同步轮上；第一传动轮设置在所述传动轴上，且所述第一驱动源连接第二传动轮，传动带张紧于所述第一传动轮和所述第二传动轮上。

其进一步的技术特征在于：所述提升机构包括两组结构相同且平行设置的立式传输模块，两组所述立式传输模块同步运动；所述立式传输模块包括第三同步轮组、第四同步轮组、传输带和第二驱动源；所述第三同步轮组包括一组第一轴连接的第三同步轮，所述第四同步轮组包括一组第二轴连接的第四同步轮；所述传输带套设于所述第三同步轮和所述第四同步轮，且所述传输带的外表面设置多个齿状凸起；所述第二驱动源连接所述第二轴并驱动所述第二轴转动。

其进一步的技术特征在于：所述齿状凸起沿所述立式传输模块的宽度方向设置。

其进一步的技术特征在于：多层多向传片传输装置还包括宽度调整机构，设置于所述立式传输模块的底部，调整两组所述立式传输模块之间的距离。

其进一步的技术特征在于：所述倒吸皮带传输机构包括第三驱动源、第二同步传动模块、真空发生器和真空腔体板；所述第三驱动源驱动所述第二同步传动模块沿所述倒吸皮带传输机构的长度方向转动；所述真空腔体板开设多个第二通孔且所述真空发生器连接所述真空腔体板，所述真空腔体板通过所述真空发生器产生压力压紧所述光伏硅片。

其进一步的技术特征在于：所述第二同步传动模块包括第五同步轮、第二同步带、第六同步轮和真空发生器，所述第二同步带张紧于所述第五同步轮和所述第六同步轮上；所述第二同步带开设多个第一通孔，所述真空发生器产生的气流依次通过所述第二通孔和所述第一通孔。

其进一步的技术特征在于：所述第二同步传动模块还包括张紧轮组，所述张紧轮组包括至少一个张紧轮，所述张紧轮和所述第二同步带的外表面或内表面抵接。

其进一步的技术特征在于：所述倒吸皮带传输机构还包括吸盘，所述吸盘用于吸附所述光伏硅片。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

1、本实用新型的上层传输单元和下层传输单元的单段传输机构可以进行不同组合，实现多个方向的传片传输。

2、本实用新型对待传输的产品实现保护的功能，确保产品在运输、储存、装卸时不受外界环境的影响和破坏，尽可能的优化传输过程，降低产品在运输过程中的难易程度及方便操作。

3、本实用新型使薄如纸张的光伏硅片或电池片的传片重叠起来，立体化。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是单段传输机构的结构示意图。

图3是提升机构的结构示意图。

图4是立式传输模块的结构示意图。

图5是宽度调整机构的结构示意图。

图6是倒吸皮带传输机构的结构示意图。

图7是倒吸皮带传输机构的仰视图。

图8是真空腔体板的结构示意图。

说明书附图标记说明：1、单段传输机构；11、第一底座；12、第一驱动源；13、第一同步轮；14、第二同步轮；15、第一传动轮；16、第二传动轮；17、第一同步带；2、提升机构；21、第三同步轮组；22、第四同步轮组；23、传输带；24、第二驱动源；25、立架；26、筋板；27、支架；3、倒吸皮带传输机构；31、第三驱动源；32、张紧轮组；33、第五同步轮；34、第二同步带；35、第六同步轮；36、真空发生器；37、真空腔体；38、吸盘；4、宽度调整机构；41、第四驱动源；42、第七同步轮；43、第三同步带；44、第八同步轮；45、第一滑座；46、第二滑座；47、第一夹紧块；48、第二夹紧块；49、滑台模组；491、滑台；492、滑轨；5、导向机构；51、滑块；52、导轨；6、光伏硅片。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

关本实用新型的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图对实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附图的方向。因此，使用的方向用语是用来说明并非用来限制本实用新型，此外，在全部实施例中，相同的附图标号表示相同的元件。

结合图1-图4，一种多层多向传片传输装置，包括

上层传输单元，包括至少一个单段传输机构1和至少一个倒吸皮带传输机构3，倒吸皮带传输机构3设置在单段传输机构1之上。单段传输机构1沿上层传输单元的长度方向或上层传输单元的宽度方向传输光伏硅片6。

在本实施例中，上层传输单元包括五个单段传输机构1和两个倒吸皮带传输机构3，其中，三个单段传输机构1沿上层传输单元的宽度方向连续设置，两个单段传输机构1沿上层传输单元的长度方向设置并且上述两个单段传输机构1设置在提升机构2的两侧。两个倒吸皮带传输机构3设置在提升机构2的上方。

下层传输单元，包括至少一个单段传输机构1和至少一个倒吸皮带传输机构3，倒吸皮带传输机构3设置在单段传输机构1之上。单段传输机构1沿下层传输单元的长度方向或上层传输单元的宽度方向传输光伏硅片6。

在本实施例中，下层传输单元包括六个单段传输机构1和两个倒吸皮带传输机构3，其中，四个单段传输机构1沿下层传输单元的长度方向连续设置，两个单段传输机构1沿下层传输单元的宽度方向设置并且两个单段传输机构1设置在提升机构2的同侧。两个倒吸皮带传输机构3设置在上述两个单段传输机构1上方。

提升机构2，设置在上层传输单元和下层传输单元之间，下层传输单元的单段传输机构1将光伏硅片6传输至提升机构2，提升机构2按节距运行将光伏硅片6沿提升机构2的高度方向传输至上层传输单元的单段传输机构1。倒吸皮带传输机构3吸附光伏硅片6将光伏硅片6真空传输。

单段传输机构1包括第一底座11、第一驱动源12和两组第一同步传动模块，两组第一同步传动模块通过传动轴连接，第一底座11支承第一同步传动模块，第一驱动源12驱动第一同步传动模块沿第一底座11的长度方向转动。

第一同步传动模块包括第一同步轮13、第二同步轮14和第一同步带17，第一同步带17张紧于第一同步轮13和第二同步轮14上。第一传动轮15设置在传动轴上，且第一驱动源12连接第二传动轮16，传动带张紧于第一传动轮15和第二传动轮16上。

提升机构2包括两组结构相同且平行设置的立式传输模块，两组立式传输模块同步运动。立式传输模块包括第三同步轮组21、第四同步轮组22、传输带23和第二驱动源24。第三同步轮组21包括一组第一轴连接的第三同步轮，第四同步轮组22包括一组第二轴连接的第四同步轮。传输带23套设于第三同步轮和第四同步轮，且传输带23的外表面设置多个齿状凸起。第二驱动源24连接第二轴并驱动第二轴转动。

优选地，齿状凸起沿立式传输模块的宽度方向设置，多个齿状凸起等间距分布在传输带23上。

在本实施例中，立式传输模块还包括立架25，立架25位于第三同步轮组21和第四同步轮组22，且立架25沿立式传输模块的高度方向设置，立架25支承支架27。

在本实施例中，立架25至少设置一个筋板26，筋板26支撑立架25，筋板26加强立架25的受力，使得立架25不变形,加强立架25的承受能力。

在本实施例中，立式传输模块还包括支架27，支架27设置于第三同步轮组21的两侧和第四同步轮组22的两侧，用于固定第一轴的端部和第二轴的端部。优选地，支架27的截面形状为L型。

多层多向传片传输装置还包括宽度调整机构4，设置于立式传输模块的底部，调整两组立式传输模块之间的距离。

如图5所示，宽度调整机构4包括第四驱动源41、第七同步轮42、第三同步带43和第八同步轮44，第三同步带43套设于第七同步轮42和第八同步轮44，第四驱动源41连接第七同步轮42并驱动第七同步轮42转动，第三同步带43设置第一夹紧块47和第二夹紧块48，第一夹紧块47连接第一滑座45，第二夹紧块48连接第二滑座46，第一滑座45和第二滑座46分别通过连接板连接两组立式传输模块。

宽度调整机构4还包括滑台模组49，滑台模组49包括直线滑轨492和两个滑台491，滑台491分别抵接第一滑座45和第二滑座46，滑台491沿直线滑轨492的长度方向移动，直线滑轨492沿宽度调整机构4的长度方向设置。

宽度调整机构4的工作原理如下：根据待运输的光伏硅片6的大小，通过宽度调整机构4调整两组立式传输模块之间的距离，从而兼容待运输的光伏硅片6。具体地，启动第四驱动源41，第四驱动源41的输出轴驱动第七同步轮42，第七同步轮42通过第三同步带43将动力传递给第八同步轮44，第三同步带43转动过程中，带动第一夹紧块47和第二夹紧块48运动，第一夹紧块47带动第一滑座45沿宽度调整机构4的长度方向运动，第二夹紧块48带动第二滑座46沿宽度调整机构4的长度方向运动，第一滑座45和第二滑座46使得两组立式传输模块之间相对远离或相对靠近。

提升机构2还包括导向机构5，设置于立式传输模块的顶部和/或立式传输模块的底部。具体地，导向机构5包括滑块51和导轨52，滑块51沿导轨52的长度方向移动，辅助两组立式传输模块之间的距离调整。

结合图6-图8，倒吸皮带传输机构3包括第三驱动源31、第二同步传动模块、真空发生器36和真空腔体板37。第三驱动源31驱动第二同步传动模块沿倒吸皮带传输机构3的长度方向转动。真空腔体板37开设多个第二通孔且真空发生器36连接真空腔体板37，真空腔体板37通过真空发生器36产生压力压紧光伏硅片6。

第二同步传动模块包括第五同步轮33、第二同步带34、第六同步轮35和真空发生器36，第二同步带34张紧于第五同步轮33和第六同步轮35上。第二同步带34开设多个第一通孔，真空发生器36产生的气流依次通过第二通孔和第一通孔，

第二同步传动模块还包括张紧轮组32，张紧轮组32包括至少一个张紧轮，张紧轮和第二同步带34的外表面或内表面抵接，张紧轮和第二同步带34摩擦传动。

倒吸皮带传输机构3还包括吸盘38，吸盘38用于吸附光伏硅片6，吸盘38可以实现将提升机构2传输的光伏硅片6沿原光伏硅片6的来片方向或反方向将光伏硅片6平行远离提升机构2进行传输，并可将光伏硅片6传输给上层传输单元的下一个指定位置的单段传输机构1进行传输，实现原路逆向的传片传输。

在本实施例中，第一驱动源12、第二驱动源24、第三驱动源31、第四驱动源41均为伺服电机。

本实用新型的工作原理如下：

在上层传输单元和下层传输单元之间布置提升机构2进行传输，两组立式传输模块的传输带23之间的宽度小于光伏硅片6的尺寸，提升机构2传输光伏硅片6同时按节距运行即可将提升机构2抬起并离开下层传输单元的单段传输机构1传输。

光伏硅片6被提升机构2传输提升并同时将后续的来片提升到指定高度时，其上方布置有倒吸皮带传输机构3传输，倒吸皮带传输机构3传输将提升机构2传输的光伏硅片6沿原传片的来片方向或反方向将来片平面地传离提升机构2，并可将来片传输给上层传输单元的下一个指定位置的单段传输机构1。

在本实用新型实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种多层多向传片传输装置，其特征在于：包括

上层传输单元，包括至少一个单段传输机构(1)和至少一个倒吸皮带传输机构(3)，所述倒吸皮带传输机构(3)设置在所述单段传输机构(1)之上；所述单段传输机构(1)沿所述上层传输单元的长度方向或所述上层传输单元的宽度方向传输光伏硅片(6)；

下层传输单元，包括至少一个单段传输机构(1)和至少一个倒吸皮带传输机构(3)，所述倒吸皮带传输机构(3)设置在所述单段传输机构(1)之上；所述单段传输机构(1)沿所述下层传输单元的长度方向或所述上层传输单元的宽度方向传输光伏硅片(6)；

提升机构(2)，设置在所述上层传输单元和所述下层传输单元之间，所述下层传输单元的单段传输机构(1)将光伏硅片(6)传输至所述提升机构(2)，所述提升机构(2)按节距运行将光伏硅片(6)沿所述提升机构(2)的高度方向传输至所述上层传输单元的单段传输机构(1)；所述倒吸皮带传输机构(3)吸附所述光伏硅片(6)将所述光伏硅片(6)真空传输。

2.根据权利要求1所述的多层多向传片传输装置，其特征在于：所述单段传输机构(1)包括第一底座(11)、第一驱动源(12)和两组第一同步传动模块，两组所述第一同步传动模块通过传动轴连接，所述第一底座(11)支承所述第一同步传动模块，所述第一驱动源(12)驱动所述第一同步传动模块沿所述第一底座(11)的长度方向转动。

3.根据权利要求2所述的多层多向传片传输装置，其特征在于：所述第一同步传动模块包括第一同步轮(13)、第二同步轮(14)和第一同步带(17)，所述第一同步带(17)张紧于所述第一同步轮(13)和所述第二同步轮(14)上；第一传动轮(15)设置在所述传动轴上，且所述第一驱动源(12)连接第二传动轮(16)，传动带张紧于所述第一传动轮(15)和所述第二传动轮(16)上。

4.根据权利要求1所述的多层多向传片传输装置，其特征在于：所述提升机构(2)包括两组结构相同且平行设置的立式传输模块，两组所述立式传输模块同步运动；所述立式传输模块包括第三同步轮组(21)、第四同步轮组(22)、传输带(23)和第二驱动源(24)；所述第三同步轮组(21)包括一组第一轴连接的第三同步轮，所述第四同步轮组(22)包括一组第二轴连接的第四同步轮；所述传输带(23)套设于所述第三同步轮和所述第四同步轮，且所述传输带(23)的外表面设置多个齿状凸起；所述第二驱动源(24)连接所述第二轴并驱动所述第二轴转动。

5.根据权利要求4所述的多层多向传片传输装置，其特征在于：所述齿状凸起沿所述立式传输模块的宽度方向设置。

6.根据权利要求4所述的多层多向传片传输装置，其特征在于：多层多向传片传输装置还包括宽度调整机构(4)，设置于所述立式传输模块的底部，调整两组所述立式传输模块之间的距离。

7.根据权利要求1所述的多层多向传片传输装置，其特征在于：所述倒吸皮带传输机构(3)包括第三驱动源(31)、第二同步传动模块、真空发生器(36)和真空腔体板(37)；所述第三驱动源(31)驱动所述第二同步传动模块沿所述倒吸皮带传输机构(3)的长度方向转动；所述真空腔体板(37)开设多个第二通孔且所述真空发生器(36)连接所述真空腔体板(37)，所述真空腔体板(37)通过所述真空发生器(36)产生压力压紧所述光伏硅片(6)。

8.据权利要求7所述的多层多向传片传输装置，其特征在于：所述第二同步传动模块包括第五同步轮(33)、第二同步带(34)、第六同步轮(35)和真空发生器(36)，所述第二同步带(34)张紧于所述第五同步轮(33)和所述第六同步轮(35)上；所述第二同步带(34)开设多个第一通孔，所述真空发生器(36)产生的气流依次通过所述第二通孔和所述第一通孔。

9.据权利要求8所述的多层多向传片传输装置，其特征在于：所述第二同步传动模块还包括张紧轮组(32)，所述张紧轮组(32)包括至少一个张紧轮，所述张紧轮和所述第二同步带(34)的外表面或内表面抵接。

10.根据权利要求7所述的多层多向传片传输装置，其特征在于：所述倒吸皮带传输机构(3)还包括吸盘(38)，所述吸盘(38)用于吸附所述光伏硅片(6)。

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