CN210129097U - 一种高精度自动曝光机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及自动曝光机器械技术领域,且公开了一种高精度自动曝光机,该高精度自动曝光机,包括机箱和曝光盒,机箱正面顶部的左侧固定连接有操作面板,机箱正面左右两侧的中部均固定连接有引导板,引导板正面左侧的下方固定连接有固定装置,固定装置包括固定板。通过固定块、第二轴承、旋转板能旋转夹持装置进行360°的旋转,从而方便工作人员能对需要正反两面曝光的材料进行正反两面的曝光,再通过曝光盒、铰链、透明玻璃盖、卡槽能方便机械臂通过旋转夹持装置将曝光盒精准的送入曝光口内,从而使该高精度自动曝光机达到了将曝光盒精确的放入曝光机内的目的。
Description
技术领域
本实用新型涉及自动曝光机器械技术领域,具体为一种高精度自动曝光机。
背景技术
紫外线曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备支持恒定光强或恒定功率模式,主要用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领,常见曝光机举例:MYCRO美国制造的恩科优紫外曝光系统,适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光。
现有的曝光机在进行曝光工作时,大部分都是通过人工的将需要的曝光的材料放入到曝光盒内,再将曝光盒放入到机器的曝光口内进行曝光,而曝光盒的大小有不同的型号,导致工作人员再放入不同型号的曝光盒时与曝光口的位置对的不够精确,致使曝光出来的效果不够好。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种高精度自动曝光机,具备能将曝光盒精确的放入曝光机内的优点,解决了导致工作人员再放入不同型号的曝光盒时与曝光口的位置对的不够精确,致使曝光出来的效果不够好的问题。
(二)技术方案
为实现上述将曝光盒精确的放入曝光机内目的,本实用新型提供如下技术方案:一种高精度自动曝光机,包括机箱和曝光盒,机箱正面顶部的左侧固定连接有操作面板,机箱正面左右两侧的中部均固定连接有引导板,引导板正面左侧的下方固定连接有固定装置,固定装置包括固定板,固定板板身的中央开设有圆孔,该圆孔的内腔固定连接有第一轴承,第一轴承的内环固定套接有旋转杆,旋转杆杆身的中部固定连接有机械臂,机械臂包括固定套,固定套的背部固定连接有固定杆,固定杆的背部通过销轴活动连接有活动杆,活动杆远离固定杆的一侧通过销轴活动连接有活动头,活动头的背部固定连接有电动伸缩杆,电动伸缩杆内杆的背部固定连接有旋转夹持装置,旋转夹持装置包括固定块,固定块的块身上固定套接有第二轴承,第二轴承的外环固定连接有旋转板,旋转板板身的内腔开设有螺纹凹槽,螺纹凹槽的内腔螺纹连接有螺栓,螺栓的底部开设有凹槽,该凹槽的内腔固定连接有第三轴承,第三轴承的内环固定连接有旋转块,旋转块的底部固定连接有连接头,连接头的背部固定连接有移动夹,旋转板背部的下方固定连接有固定夹。
优选的,所述曝光盒顶部的左右两侧固定连接有铰链,铰链的底部固定连接有透明玻璃盖,曝光盒底部的中央开设有卡槽。
优选的,所述曝光盒俯视面的长度与宽度与机箱曝光口正面的长度与宽度相适配,移动夹与固定夹俯视面的大小与形状和卡槽俯视面的大小与形状相吻合。
优选的,所述旋转板的背部开设有方便移动夹进行上下移动的开槽,移动夹位于固定夹的顶部。
优选的,所述固定套固定连接于旋转杆杆身的中央,机械臂位于机箱曝光口正面的中央。
优选的,所述固定块固定连接于电动伸缩杆内杆的背部。
优选的,所述操作面板为SGY69-500操作面板。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种高精度自动曝光机,具备以下有益效果:
1、该高精度自动曝光机,通过固定装置能使旋转杆与机箱的曝光口互相平行从而使机械臂与曝光口互相平行,在通过第一轴承与活动杆能方便工作转动机器臂进行曝光盒的安装于拆卸,再通过移动夹与固定架能使工作人员将将曝光盒固定在机器臂上,再通过电动伸缩杆从而无需工作人员将曝光盒送入到曝光口内,减少了人工送曝光盒时会出现的各种问题;
2、该高精度自动曝光机,通过固定块、第二轴承、旋转板能旋转夹持装置进行360°的旋转,从而方便工作人员能对需要正反两面曝光的材料进行正反两面的曝光,再通过曝光盒、铰链、透明玻璃盖、卡槽能方便机械臂通过旋转夹持装置将曝光盒精准的送入曝光口内,从而使该高精度自动曝光机达到了将曝光盒精确的放入曝光机内的目的。
附图说明
图1为本实用新型正面结构示意图;
图2为本实用新型侧面透视结构示意图;
图3为本实用新型机械臂侧面结构示意图;
图4为本实用新型旋转夹持装置背部结构示意图;
图5为本实用新型旋转夹持装置侧面剖视结构示意图;
图6为图5中的A处结构示意图;
图7为本实用新型曝光盒俯视面结构示意图。
图中:1、机箱;2、引导板;3、固定装置;31、固定板;32、第一轴承;4、旋转杆;5、操作面板;6、机械臂;61、固定套;62、固定杆;63、活动杆;64、活动头;65、电动伸缩杆;7、旋转夹持装置;71、固定块;72、第二轴承;73、旋转板;74、螺纹凹槽;75、螺栓;76、移动夹;77、固定夹;78、连接头;79、第三轴承;701、旋转块;8、曝光盒;9、铰链;10、透明玻璃盖;11、卡槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-7,一种高精度自动曝光机,包括机箱1和曝光盒8,机箱1正面顶部的左侧固定连接有操作面板5,机箱1正面左右两侧的中部均固定连接有引导板2,引导板2正面左侧的下方固定连接有固定装置3,固定装置3包括固定板31,固定板31板身的中央开设有圆孔,该圆孔的内腔固定连接有第一轴承32,第一轴承32的内环固定套接有旋转杆4,旋转杆4杆身的中部固定连接有机械臂6,机械臂6包括固定套61,固定套61的背部固定连接有固定杆62,固定杆62的背部通过销轴活动连接有活动杆63,活动杆63远离固定杆 62的一侧通过销轴活动连接有活动头64,活动头64的背部固定连接有电动伸缩杆65,电动伸缩杆65内杆的背部固定连接有旋转夹持装置7,旋转夹持装置7包括固定块71,固定块71的块身上固定套接有第二轴承72,第二轴承72的外环固定连接有旋转板73,旋转板 73板身的内腔开设有螺纹凹槽74,螺纹凹槽74的内腔螺纹连接有螺栓75,螺栓75的底部开设有凹槽,该凹槽的内腔固定连接有第三轴承79,第三轴承79的内环固定连接有旋转块701,旋转块701的底部固定连接有连接头78,连接头78的背部固定连接有移动夹76,旋转板73背部的下方固定连接有固定夹77。
曝光盒8顶部的左右两侧固定连接有铰链9,铰链9的底部固定连接有透明玻璃盖10,曝光盒8底部的中央开设有卡槽11,有益于能通过该曝光盒8上的卡槽11能与旋转夹持装置7相互配从而提高了曝光的精确度。
曝光盒8俯视面的长度与宽度与机箱1曝光口正面的长度与宽度相适配,移动夹76与固定夹77俯视面的大小与形状和卡槽11俯视面的大小与形状相吻合,有益于能通过机械臂6能将曝光盒8送入到机箱1的曝光口内。
旋转板73的背部开设有方便移动夹76进行上下移动的开槽,移动夹76位于固定夹77的顶部,有益于能通过调节移动夹76固定住不同规格的曝光盒8。
固定套61固定连接于旋转杆4杆身的中央,机械臂6位于机箱 1曝光口正面的中央,有益于提机械臂6工作时的精确度。
固定块71固定连接于电动伸缩杆65内杆的背部,有益于旋转夹持装置7能够固定在电动伸缩杆65的背部从而对被夹持的曝光盒8 进行旋转。
操作面板5为SGY69-500操作面板,有益于方便工作人员更换的操作该机器。
工作原理:该高精度自动曝光机再使用时,先通过旋转机械臂6 将机械臂6转动至工作人员的一边,再将需要曝光的材料放入曝光盒 8内关闭透明玻璃盖10,再通过旋转螺栓75使螺栓75带动移动夹 76向上移动,在将曝光盒8放置到固定架77上,使卡槽11与固定架77卡和在一起,再通过旋转螺栓75使移动夹76向下移动卡合到开槽11内,再将机械臂6旋转至于曝光口平行的位置,启动电动伸缩杆65使电动伸缩杆65推动曝光盒8进入到机箱1的曝光口内进行曝光工作,从而解决了导致工作人员在放入不同型号的曝光盒8时与曝光口的位置对的不够精确,致使曝光出来的效果不够好的问题。
综上所述,该高精度自动曝光机,通过固定装置3能使旋转杆4 与机箱1的曝光口互相平行从而使机械臂6与曝光口互相平行,在通过第一轴承32与活动杆63能方便工作转动机器臂6进行曝光盒8的安装于拆卸,再通过移动夹76与固定架77能使工作人员将将曝光盒 8固定在机器臂6上,再通过电动伸缩杆65从而无需工作人员将曝光盒8送入到曝光口内,减少了人工送曝光盒8时会出现的各种问题。
通过固定块71、第二轴承72、旋转板73能旋转夹持装置7进行 360°的旋转,从而方便工作人员能对需要正反两面曝光的材料进行正反两面的曝光,再通过曝光盒8、铰链9、透明玻璃盖10、卡槽11 能方便机械臂6通过旋转夹持装置7将曝光盒8精准的送入曝光口内,从而使该高精度自动曝光机达到了将曝光盒8精确的放入曝光机内的目的。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种高精度自动曝光机,包括机箱(1)和曝光盒(8),其特征在于:所述机箱(1)正面顶部的左侧固定连接有操作面板(5),所述机箱(1)正面左右两侧的中部均固定连接有引导板(2),所述引导板(2)正面左侧的下方固定连接有固定装置(3),所述固定装置(3)包括固定板(31),所述固定板(31)板身的中央开设有圆孔,该圆孔的内腔固定连接有第一轴承(32),所述第一轴承(32)的内环固定套接有旋转杆(4),所述旋转杆(4)杆身的中部固定连接有机械臂(6),所述机械臂(6)包括固定套(61),所述固定套(61)的背部固定连接有固定杆(62),所述固定杆(62)的背部通过销轴活动连接有活动杆(63),所述活动杆(63)远离固定杆(62)的一侧通过销轴活动连接有活动头(64),所述活动头(64)的背部固定连接有电动伸缩杆(65),所述电动伸缩杆(65)内杆的背部固定连接有旋转夹持装置(7),所述旋转夹持装置(7)包括固定块(71),所述固定块(71)的块身上固定套接有第二轴承(72),所述第二轴承(72)的外环固定连接有旋转板(73),所述旋转板(73)板身的内腔开设有螺纹凹槽(74),所述螺纹凹槽(74)的内腔螺纹连接有螺栓(75),所述螺栓(75)的底部开设有凹槽,该凹槽的内腔固定连接有第三轴承(79),所述第三轴承(79)的内环固定连接有旋转块(701),所述旋转块(701)的底部固定连接有连接头(78),所述连接头(78)的背部固定连接有移动夹(76),所述旋转板(73)背部的下方固定连接有固定夹(77)。
2.根据权利要求1所述的一种高精度自动曝光机,其特征在于:所述曝光盒(8)顶部的左右两侧固定连接有铰链(9),所述铰链(9)的底部固定连接有透明玻璃盖(10),所述曝光盒(8)底部的中央开设有卡槽(11)。
3.根据权利要求1所述的一种高精度自动曝光机,其特征在于:所述曝光盒(8)俯视面的长度与宽度与机箱(1)曝光口正面的长度与宽度相适配,所述移动夹(76)与固定夹(77)俯视面的大小与形状和卡槽(11)俯视面的大小与形状相吻合。
4.根据权利要求1所述的一种高精度自动曝光机,其特征在于:所述旋转板(73)的背部开设有方便移动夹(76)进行上下移动的开槽,所述移动夹(76)位于固定夹(77)的顶部。
5.根据权利要求1所述的一种高精度自动曝光机,其特征在于:所述固定套(61)固定连接于旋转杆(4)杆身的中央,所述机械臂(6)位于机箱(1)曝光口正面的中央。
6.根据权利要求1所述的一种高精度自动曝光机,其特征在于:所述固定块(71)固定连接于电动伸缩杆(65)内杆的背部。
7.根据权利要求1所述的一种高精度自动曝光机,其特征在于:所述操作面板(5)为SGY69-500操作面板。
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CN113156771A (zh) * | 2020-12-04 | 2021-07-23 | 三河建华高科有限责任公司 | 一种自动进行双面曝光的曝光机机构 |
CN115047725A (zh) * | 2022-06-21 | 2022-09-13 | 上海图双精密装备有限公司 | 一种晶圆垂直投影式双面曝光系统 |
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