CN210222479U - 一种曝光灯可调节的曝光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种曝光灯可调节的曝光机，包括机箱，机箱的内侧通过螺栓固定有升降架，安装板的下端固定安装有曝光灯，安装板的上表面通过螺栓固定安装有轴承底座，升降架的上表面设置有螺纹口，螺纹口的内侧螺纹连接有丝杆，丝杆的下端固定安装在轴承底座的内侧，丝杆的上端穿过机箱通过法兰连接有电机，限位杆的表面滑动连接有定位板。该种曝光灯可调节的曝光机，开启电机带动丝杆沿螺纹口转动，因为丝杆下端转动安装在轴承底座的表面，且轴承底座固定在安装板的表面，所以丝杆沿螺纹口转动时会带动安装板通过滑动块沿滑动槽上下，因为曝光灯安装在安装板的下表面，安装板沿滑动槽移动时也就控制的曝光灯的上下。

Description

一种曝光灯可调节的曝光机

技术领域

本实用新型涉及曝光机技术领域，具体为一种曝光灯可调节的曝光机。

背景技术

曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备，70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业，是在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，它常用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制领域。

现有曝光机内的曝光灯一般固定安装在机箱顶端，不可以进行移动调节，因为不同电路板曝光时间不同，如果适当的更改曝光灯与基板之间距离，就可以有效的提高曝光效率及曝光质量，因此需要一种可以调节曝光灯的曝光机；且现有曝光机因为曝光需要都比较密封，但是曝光灯使用一段时间后会产生高温导致机体内部及机体内部的空气温度上升，因此需要对曝光灯进行适量的降温以保持曝光灯的良好工作状态。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种曝光灯可调节的曝光机，以解决曝光灯位置固定不变的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种曝光灯可调节的曝光机，包括机箱，所述机箱的内侧通过螺栓固定有升降架，所述升降架的两侧对称设置有滑动槽，所述滑动槽的内侧滑动连接有滑动块，所述滑动块之间焊接有安装板，所述安装板的下端固定安装有曝光灯，所述安装板的上表面通过螺栓固定安装有轴承底座，所述升降架的上表面设置有螺纹口，所述螺纹口的内侧螺纹连接有丝杆，所述丝杆的下端固定安装在轴承底座的内侧，所述丝杆的上端穿过机箱通过法兰连接有电机，所述升降架的表面对称焊接有四个限位杆，所述限位杆的表面滑动连接有定位板，所述定位板的表面通过螺栓固定有电机。

优选的，所述机箱的表面设置有出气口，出气口的内侧设置有第一防尘网，出气口的外侧机箱的表面通过螺栓固定有遮阳框，遮阳框的下端固定安装有百叶窗。

优选的，所述机箱的表面设置有进气口，进气口的外侧机箱的表面通过螺栓固定有导气管，导气管的内侧固定安装有轴流风扇，导气管的内固定安装有第二防尘网。

优选的，所述机箱的内侧设置有透光隔板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种曝光灯可调节的曝光机，第一，调节曝光灯高度时，开启电机带动丝杆沿螺纹口转动，因为丝杆下端转动安装在轴承底座的表面，且轴承底座固定在安装板的表面，所以丝杆沿螺纹口转动时会带动安装板通过滑动块沿滑动槽上下，因为曝光灯安装在安装板的下表面，安装板沿滑动槽移动时也就控制的曝光灯的上下；第二，轴流风扇旋转产生的风力沿导气管通过进气口进入机箱的内部，然后机箱内部的空气从出气口沿遮阳框向下通过百叶窗排出，以此加快了机箱内部空气的流通，起到了降温的作用，同时导气管弯曲设置及遮阳框的下表面设置有百叶窗，以此散热的同时避免的光线的射入影响曝光效果。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构剖面图；

图2为本实用新型的整体结构侧视剖面图；

图3为本实用新型的电路图。

图中：1机箱、11出气口、12第一防尘网、13遮阳框、14百叶窗、15进气口、2升降架、20螺纹口、21限位杆、22定位板、23电机、24丝杆、25滑动槽、26轴承底座、27安装板、28曝光灯、29滑动块、3导气管、31轴流风扇、32第二防尘网。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1与图2，一种曝光灯可调节的曝光机，包括机箱1，机箱1的内侧通过螺栓固定有升降架2，升降架2如图2所示为一个N形结构架，升降架2的两侧对称设置有滑动槽25，滑动槽25通过其内侧的滑动块29对安装板27进行限位，防止电机23转动时带动安装板27转动，滑动槽25的内侧滑动连接有滑动块29，滑动块29之间焊接有安装板27，安装板27的下端固定安装有曝光灯28，安装板27的上表面通过螺栓固定安装有轴承底座26，轴承底座26为一个凸形圆块其表面设置有轴承，升降架2的上表面设置有螺纹口20，螺纹口20的内侧螺纹连接有丝杆24，丝杆24的下端固定安装在轴承底座26的内侧，丝杆24固定在轴底座26表面的轴承内侧，丝杆24沿螺纹口20转动时会带动安装板27通过滑动块29沿滑动槽25上下移动，丝杆24的上端穿过机箱1通过法兰连接有电机23，电机23为步进电机其型号为：JKD2060AC，丝杆24的顶端焊接有法兰盘，电机23的转动轴表面也安装有法兰盘，丝杆24与电机23通过法兰盘进行连接固定，升降架2的表面对称焊接有四个限位杆21，限位杆21的表面滑动连接有定位板22，通过四个限位杆21对定位板22进行限位，定位板22可以沿限位杆21上下移动，限位杆21的设置防止电机23转动时定位板22转动，定位板22的表面通过螺栓固定有电机23，电机23带动丝杆24沿螺纹口20上下移动时，电机23会通过定位板22沿限位杆21移动。

请参阅图1，机箱1的表面设置有出气口11，出气口11的内侧设置有第一防尘网12，通过第一防尘网12防止灰尘进入机箱1的内部，出气口11的外侧机箱1的表面通过螺栓固定有遮阳框13，遮阳框13的下端固定安装有百叶窗14，通过遮阳框13及其下端设置的百叶窗14通风换气的同时避免的阳光的射入。

请参阅图1，机箱1的表面设置有进气口15，进气口15的外侧机箱1的表面通过螺栓固定有导气管3，导气管3弯曲设置避免了光线沿导气管3进入机箱1的内部，导气管3的内侧固定安装有轴流风扇31，轴流风扇31型号：25489HBL，轴流风扇31旋转产生风力沿导气管3进入机箱1内部，导气管3的内固定安装有第二防尘网32，通过第二防尘网32防止灰尘通过导气管3进入机箱1的内部。

请参阅图1，机箱1的内侧设置有透光隔板16，透光隔板16透光的同时能够有效的防止曝光灯28产生的热量散发到整个机箱1的内部。

请参阅图3，将电机23串联到电源电路，将轴流风扇31并联到电机23。

本实用新型在具体实施时：调节曝光灯28高度时，开启电机23，通过电机23带动丝杆24转动，因为丝杆24下端转动安装在轴承底座26的内侧，且轴承底座26固定在安装板27的表面，所以电机23带动丝杆24沿螺纹口20转动上下移动时，会带动安装板27通过滑动块29沿滑动槽25上下，因为曝光灯28安装在安装板27的下表面，因此安装板27通过滑动块29沿滑动槽25上下移动时，也就带着的曝光灯28的上下移动；轴流风扇31旋转产生的风力沿导气管3通过进气口15进入机箱1的内部，然后机箱1内部的空气会从出气口11沿遮阳框13向下通过百叶窗14排出，以此加快了机箱1内部空气的流通，起到了降温的作用，同时导气管3弯曲设置，避免了光线沿导气管3从进气口15进入机箱1的内部，且出气口11的外侧通过遮阳框13进行遮挡，而遮阳框13的通气口通过安装百叶窗14防止光线的射入，且出气口11的内侧安装的第二防尘网32也能够起到减弱光线的作用，以此保证机箱1内部散热的同时时避免的光线的射入机箱1内部影响曝光效果。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种曝光灯可调节的曝光机，包括机箱(1)，其特征在于：所述机箱(1)的内侧通过螺栓固定有升降架(2)，所述升降架(2)的两侧对称设置有滑动槽(25)，所述滑动槽(25)的内侧滑动连接有滑动块(29)，所述滑动块(29)之间焊接有安装板(27)，所述安装板(27)的下端固定安装有曝光灯(28)，所述安装板(27)的上表面通过螺栓固定安装有轴承底座(26)，所述升降架(2)的上表面设置有螺纹口(20)，所述螺纹口(20)的内侧螺纹连接有丝杆(24)，所述丝杆(24)的下端固定安装在轴承底座(26)的内侧，所述丝杆(24)的上端穿过机箱(1)通过法兰连接有电机(23)，所述升降架(2)的表面对称焊接有四个限位杆(21)，所述限位杆(21)的表面滑动连接有定位板(22)，所述定位板(22)的表面通过螺栓固定有电机(23)。

2.根据权利要求1所述的一种曝光灯可调节的曝光机，其特征在于：所述机箱(1)的表面设置有出气口(11)，出气口(11)的内侧设置有第一防尘网(12)，出气口(11)的外侧机箱(1)的表面通过螺栓固定有遮阳框(13)，遮阳框(13)的下端固定安装有百叶窗(14)。

3.根据权利要求1所述的一种曝光灯可调节的曝光机，其特征在于：所述机箱(1)的表面设置有进气口(15)，进气口(15)的外侧机箱(1)的表面通过螺栓固定有导气管(3)，导气管(3)的内侧固定安装有轴流风扇(31)，导气管(3)的内固定安装有第二防尘网(32)。

4.根据权利要求1所述的一种曝光灯可调节的曝光机，其特征在于：所述机箱(1)的内侧设置有透光隔板(16)。

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