CN215264374U - 一种用于曝光机的自动遮光机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于曝光机的自动遮光机构，涉及曝光机技术领域，为解决现有曝光机的遮光装置无法根据需要曝光的位置自动进行调整遮光，需要人为进行控制，从而降低其使用效率的问题。所述底座上设置有曝光室，所述底座的底部安装有万向轮，且万向轮设置有四个，所述曝光室内部的顶部设置有移动机构，所述移动机构的两侧均设置有滑板，所述移动机构下表面的两侧均安装有遮光板，所述遮光板的底部安装有红外传感器，且红外传感器设置有两个，所述遮光板之间设置有曝光装置，所述曝光室前端面的顶部设置有顶板。

Description

一种用于曝光机的自动遮光机构

技术领域

本实用新型涉及曝光机技术领域，具体为一种用于曝光机的自动遮光机构。

背景技术

曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上，曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。曝光机在工作的过程中需要使用遮光机构对曝光的位置进行限定，避免出现外溢的现象。

但是，现有曝光机的遮光装置无法根据需要曝光的位置自动进行调整遮光，需要人为进行控制，从而降低其使用效率的问题；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种用于曝光机的自动遮光机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于曝光机的自动遮光机构，以解决上述背景技术中提出的现有曝光机的遮光装置无法根据需要曝光的位置自动进行调整遮光，需要人为进行控制，从而降低其使用效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于曝光机的自动遮光机构，包括底座和曝光室，所述底座上设置有曝光室，所述底座的底部安装有万向轮，且万向轮设置有四个，所述曝光室内部的顶部设置有移动机构，所述移动机构的两侧均设置有滑板，所述移动机构下表面的两侧均安装有遮光板，所述遮光板的底部安装有红外传感器，且红外传感器设置有两个，所述遮光板之间设置有曝光装置，所述曝光室前端面的顶部设置有顶板。

优选的，所述顶板的下方设置有控制装置，所述控制装置的前端面设置有显示屏，所述显示屏的一侧设置有操控面板，所述操控面板上设置有按钮。

优选的，所述底座上表面的两侧均安装有固定板，所述固定板之间安装有曝光板，且曝光板安装有两个，所述曝光板上安装有顶盖，且顶盖与曝光板转动连接，所述顶盖的前端面安装有把手。

优选的，所述顶盖与曝光板之间设置有垫片，且垫片设置有两个，所述顶盖上安装有玻璃板。

优选的，所述移动机构的两侧均安装有滑轮，且滑轮设置有四个，所述移动机构通过滑轮与滑板滑动连接，所述曝光室内壁的底部设置有第一滑槽，且第一滑槽设置有四个，且曝光板通过第一滑槽与曝光室滑动连接。

优选的，所述移动机构的下表面设置有第二滑槽，且遮光板和曝光装置通过第二滑槽与移动机构滑动连接，所述曝光装置的内部安装有曝光灯，所述红外传感器的内部安装有红外灯，且红外灯设置有若干个。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过在移动机构的下表面设置遮光板，遮光板的底部安装了红外传感器，其型号为ES50，曝光装置位于两块遮光板之间，在使用的过程中，将需要曝光的物质放置在曝光板上，关上顶盖推入曝光室内，红外传感器便会对物体的宽度进行扫描，并驱动遮光板移动至相应的宽度上，实现自动遮光，当曝光装置在进行曝光时，就不会出现外溢的现象，解决了现有曝光机的遮光装置无法根据需要曝光的位置自动进行调整遮光，需要人为进行控制，从而降低其使用效率的问题。

2、通过设置两个曝光板，且曝光板通过第一滑槽与曝光室滑动连接，当第一块曝光板上的物质曝光结束进行检查时，可以利用第二块曝光板进行下一个物质的曝光，提高曝光的速率，同时曝光板顶部的顶盖上设置玻璃板，当曝光结束拉出时，可以直接通过玻璃板对曝光效果进行查看。

附图说明

图1为本实用新型的曝光机整体结构示意图；

图2为本实用新型的曝光室内部结构放大示意图；

图3为本实用新型的移动机构结构放大示意图；

图中：1、底座；2、曝光室；3、顶板；4、万向轮；5、固定板；6、曝光板；7、顶盖；8、垫片；9、把手；10、玻璃板；11、控制装置；12、显示屏；13、操控面板；14、第一滑槽；15、滑板；16、移动机构；17、遮光板；18、红外传感器；19、曝光装置；20、滑轮；21、红外灯；22、曝光灯；23、第二滑槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种用于曝光机的自动遮光机构，包括底座1和曝光室2，底座1上设置有曝光室2，底座1的底部安装有万向轮4，且万向轮4设置有四个，曝光室2内部的顶部设置有移动机构16，移动机构16的两侧均设置有滑板15，移动机构16下表面的两侧均安装有遮光板17，遮光板17的底部安装有红外传感器18，且红外传感器18设置有两个，遮光板17之间设置有曝光装置19，曝光室2前端面的顶部设置有顶板3。

进一步，顶板3的下方设置有控制装置11，控制装置11的前端面设置有显示屏12，显示屏12的一侧设置有操控面板13，操控面板13上设置有按钮，通过操控面板13上的按钮可以对曝光的参数进行调整。

进一步，底座1上表面的两侧均安装有固定板5，固定板5之间安装有曝光板6，且曝光板6安装有两个，曝光板6上安装有顶盖7，且顶盖7与曝光板6转动连接，顶盖7的前端面安装有把手9，设置两个曝光板6，当第一块曝光板6上的物质曝光结束进行检查时，可以利用第二块曝光板6进行下一个物质的曝光，提高曝光的速率。

进一步，顶盖7与曝光板6之间设置有垫片8，且垫片8设置有两个，顶盖7上安装有玻璃板10，当曝光结束拉出时，可以直接通过玻璃板10对曝光效果进行查看。

进一步，移动机构16的两侧均安装有滑轮20，且滑轮20设置有四个，移动机构16通过滑轮20与滑板15滑动连接，曝光室2内壁的底部设置有第一滑槽14，且第一滑槽14设置有四个，且曝光板6通过第一滑槽14与曝光室2滑动连接，便于曝光板6的移动。

进一步，移动机构16的下表面设置有第二滑槽23，且遮光板17和曝光装置19通过第二滑槽23与移动机构16滑动连接，曝光装置19的内部安装有曝光灯22，红外传感器18的内部安装有红外灯21，且红外灯21设置有若干个，红外传感器18便会对物体的宽度进行扫描，并驱动遮光板17移动至相应的宽度上，实现自动遮光。

工作原理：使用时，将需要曝光的物质放置在曝光板6上，并且设置两个曝光板6，当第一块曝光板6上的物质曝光结束进行检查时，可以利用第二块曝光板6进行下一个物质的曝光，提高曝光的速率，关上顶盖7推入曝光室2内，红外传感器18便会对物体的宽度进行扫描，并驱动遮光板17移动至相应的宽度上，实现自动遮光，当曝光装置19在进行曝光时，就不会出现外溢的现象，解决了现有曝光机的遮光装置无法根据需要曝光的位置自动进行调整遮光，需要人为进行控制，从而降低其使用效率的问题。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种用于曝光机的自动遮光机构，包括底座（1）和曝光室（2），其特征在于：所述底座（1）上设置有曝光室（2），所述底座（1）的底部安装有万向轮（4），且万向轮（4）设置有四个，所述曝光室（2）内部的顶部设置有移动机构（16），所述移动机构（16）的两侧均设置有滑板（15），所述移动机构（16）下表面的两侧均安装有遮光板（17），所述遮光板（17）的底部安装有红外传感器（18），且红外传感器（18）设置有两个，所述遮光板（17）之间设置有曝光装置（19），所述曝光室（2）前端面的顶部设置有顶板（3）。

2.根据权利要求1所述的一种用于曝光机的自动遮光机构，其特征在于：所述顶板（3）的下方设置有控制装置（11），所述控制装置（11）的前端面设置有显示屏（12），所述显示屏（12）的一侧设置有操控面板（13），所述操控面板（13）上设置有按钮。

3.根据权利要求1所述的一种用于曝光机的自动遮光机构，其特征在于：所述底座（1）上表面的两侧均安装有固定板（5），所述固定板（5）之间安装有曝光板（6），且曝光板（6）安装有两个，所述曝光板（6）上安装有顶盖（7），且顶盖（7）与曝光板（6）转动连接，所述顶盖（7）的前端面安装有把手（9）。

4.根据权利要求3所述的一种用于曝光机的自动遮光机构，其特征在于：所述顶盖（7）与曝光板（6）之间设置有垫片（8），且垫片（8）设置有两个，所述顶盖（7）上安装有玻璃板（10）。

5.根据权利要求3所述的一种用于曝光机的自动遮光机构，其特征在于：所述移动机构（16）的两侧均安装有滑轮（20），且滑轮（20）设置有四个，所述移动机构（16）通过滑轮（20）与滑板（15）滑动连接，所述曝光室（2）内壁的底部设置有第一滑槽（14），且第一滑槽（14）设置有四个，且曝光板（6）通过第一滑槽（14）与曝光室（2）滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于曝光机的自动遮光机构，其特征在于：所述移动机构（16）的下表面设置有第二滑槽（23），且遮光板（17）和曝光装置（19）通过第二滑槽（23）与移动机构（16）滑动连接，所述曝光装置（19）的内部安装有曝光灯（22），所述红外传感器（18）的内部安装有红外灯（21），且红外灯（21）设置有若干个。

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