CN113136582A - 一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种石墨加热器制备领域，尤其涉及一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置。本发明要解决的技术问题是：提供一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置。本发明的技术方案为：一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置，包括有底架、控制器、酸洗箱、酸洗辅助组件、酸液清理组件和水洗组件；酸液清理组件与水洗组件相连接。本发明使用时实现了将一叠钽箔进行酸洗时，使钽箔在酸液中摆动，让钽箔各层间产生间隔，从而充分进行酸洗，酸洗后将钽箔层中酸液挤出并回收，提升酸洗效果同时节约了资源，进行水洗时，使钽箔摆动同时在侧面喷出水柱，以对钽箔充分水洗。

Description

一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置

技术领域

本发明涉及一种石墨加热器制备领域，尤其涉及一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置。

背景技术

一种高温用复合材质石墨加热器，以石墨为基体，内表面为碳化钽层的复合材质石墨加热器，实现了石墨内部与被加热元件的隔离，杜绝了高温下石墨表面碳的挥发，在制备时需要对钽箔进行预处理，采用碾压机对钽箔进行碾压，对钽箔进行酸洗和水洗，保证钽箔洁净，然后将钽箔贴附在石墨加热器内表面，再进行高温热处理。

现有技术中，在对一叠钽箔进行预处理时，在酸洗过程中，由于钽箔各层互相贴合无法对一叠钽箔充分进行酸洗，而且在酸洗后，将一叠钽箔从酸洗液中取出时，钽箔夹层中含有大量的酸液，需要大量时间等待酸洗滴净，若取出后直接水洗浪费了酸液同时需要大量的水进行稀释以达到水洗效果，水洗时同样由于钽箔堆叠无法充分进行水洗。

综上，我们提出了一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置。

发明内容

为了克服在对一叠钽箔进行预处理时，在酸洗过程中，由于钽箔各层互相贴合无法对一叠钽箔充分进行酸洗，而且在酸洗后，将一叠钽箔从酸洗液中取出时，钽箔夹层中含有大量的酸液，需要大量时间等待酸洗滴净，若取出后直接水洗浪费了酸液，同时需要大量水进行稀释以达到水洗效果，水洗时同样由于钽箔堆叠无法充分进行水洗的缺点，要解决的技术问题是：提供一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置。

本发明的技术方案为：一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置，包括有底架、控制器、酸洗箱、酸洗辅助组件、酸液清理组件和水洗组件；底架与控制器相连接；底架与酸洗箱相连接；底架与酸洗辅助组件相连接；底架与酸液清理组件相连接；底架与水洗组件相连接；酸液清理组件与水洗组件相连接。

作为更进一步的优选方案，酸洗辅助组件包括有第一连接板、第一电动滑块、第一电动滑轨、第一电动推杆、第二连接板、第一固定轴、第三连接板、柱形滑块、传动圆柱、第一传动杆、第一平齿轮、U形连接架、第一连接长板、第一电动夹、第二电动推杆、第四连接板、第二电动滑轨、第二电动滑块、第二连接长板和第二电动夹；第一连接板侧面与第一电动滑块进行固接；第一电动滑块与第一电动滑轨进行滑动连接；第一电动滑轨与底架进行固接；第一连接板两侧对称设置有第一电动滑块和第一电动滑轨；第一连接板底面一侧与第一电动推杆进行固接；第一电动推杆与第二连接板进行固接；第二连接板与第一固定轴进行固接；第一固定轴与第三连接板中部进行转动连接；第三连接板侧面与柱形滑块进行固接；柱形滑块与传动圆柱进行滑动连接；传动圆柱与第一传动杆进行固接；第一传动杆与第一平齿轮进行固接；第一传动杆与U形连接架进行转动连接；U形连接架与第二连接板进行固接；第一连接长板通过转轴与第三连接板进行转动连接；第一电动夹与第一连接长板进行固接；第一连接板底面两侧对称设置有第一电动推杆、第二连接板、第一固定轴、第三连接板、柱形滑块、传动圆柱、第一传动杆、第一平齿轮、U形连接架、第一连接长板和第一电动夹的组合；第二电动推杆与第一连接板底面中部进行固接；第二电动推杆与第四连接板进行固接；第四连接板与第二电动滑轨进行固接；第二电动滑轨与第二电动滑块进行滑动连接；第二电动滑块与第二连接长板进行固接；第二连接长板与第二电动夹进行固接。

作为更进一步的优选方案，酸液清理组件包括有电机、第二传动杆、第一轴套、第一固定架、第三电动推杆、第一锥齿轮、第二锥齿轮、双向螺纹丝杆、平移滑块、平移滑轨、第四电动推杆、第三电动滑轨、第三电动滑块、挤压辊、第四电动滑轨、第四电动滑块、吸水机、J形管、锥形吸水头、第三锥齿轮、第四锥齿轮、第三传动杆、第一传动轮、第五锥齿轮、第二传动轮、第四传动杆、第六锥齿轮、第七锥齿轮、第五传动杆、第二平齿轮、第八锥齿轮、第六传动杆和第三平齿轮；电机与底架进行固接；电机输出轴与第二传动杆进行固接；第二传动杆与底架进行转动连接；第一轴套与第二传动杆进行滑动连接；第一轴套与第一固定架进行转动连接；第一固定架与第三电动推杆进行固接；第三电动推杆与底架进行固接；第一锥齿轮与第一轴套进行固接；第一锥齿轮上方设置有第二锥齿轮；当第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合时，第二锥齿轮转动；当第一锥齿轮与第二锥齿轮不啮合时，第二锥齿轮不转动；第二锥齿轮与双向螺纹丝杆靠近第一锥齿轮的一侧进行固接；双向螺纹丝杆与平移滑块进行旋接；双向螺纹丝杆两侧与底架进行转动连接；平移滑块与平移滑轨进行滑动连接；平移滑轨与底架进行固接；第四电动推杆与平移滑块进行固接；第三电动滑轨与第四电动推杆进行固接；第三电动滑块与第三电动滑轨进行滑动连接；第三电动滑块与挤压辊进行转动连接；第四电动滑轨与第三电动滑轨进行固接；第四电动滑块与第四电动滑轨进行滑动连接；吸水机与第四电动滑块进行固接；J形管与吸水机进行固接；锥形吸水头与J形管进行固接；第四电动滑轨两侧对称设置有第四电动滑块、吸水机、J形管和锥形吸水头的组合；以双向螺纹丝杆中点为界，两侧对称设置有平移滑块、平移滑轨、第四电动推杆、第三电动滑轨、第三电动滑块、挤压辊、第四电动滑轨、第四电动滑块、吸水机、J形管和锥形吸水头的组合；第三锥齿轮与第二传动杆进行固接；第三锥齿轮与第四锥齿轮相啮合；第四锥齿轮与第三传动杆进行固接；第三传动杆与底架进行转动连接；第一传动轮与第三传动杆进行固接；第五锥齿轮与第三传动杆进行固接；第一传动轮通过皮带与第二传动轮进行传动连接；第二传动轮与第四传动杆进行固接；第四传动杆与底架进行转动连接；第六锥齿轮与第四传动杆进行固接；第六锥齿轮与第七锥齿轮相啮合；第七锥齿轮与第五传动杆一侧进行固接；第五传动杆与底架进行转动连接；第五传动杆另一侧与第二平齿轮进行固接；第八锥齿轮与第五锥齿轮相啮合；第八锥齿轮与第六传动杆一侧进行固接；第六传动杆与底架进行转动连接；第六传动杆另一侧与第三平齿轮进行固接。

作为更进一步的优选方案，水洗组件包括有水洗箱、第二固定轴、筛板、第三连接长板、Z形连接杆、圆盘、第七传动杆、第三传动轮、第四传动轮、第五传动轮、第六传动轮、第八传动杆、第二轴套、第九锥齿轮、第二固定架、第五电动推杆、多孔喷头、抽水机和J形抽水管；水洗箱与底架进行固接；第二固定轴与水洗箱进行转动连接；第二固定轴与筛板进行固接；筛板侧面通过转轴与第三连接长板一侧进行转动连接；第三连接长板另一侧与Z形连接杆进行转动连接；Z形连接杆与圆盘进行固接；第七传动杆一侧与圆盘进行固接；第七传动杆另一侧与第五传动轮进行固接；第七传动杆与底架进行转动连接；水洗箱内部两侧对称设置有第二固定轴、筛板、第三连接长板、Z形连接杆、圆盘和第七传动杆的组合；两组第七传动杆分别与第三传动轮和第四传动轮进行固接；第三传动轮通过皮带与第四传动轮进行传动连接；第五传动轮通过皮带与第六传动轮传动连接；第六传动轮与第八传动杆一侧进行固接；第八传动杆与底架进行转动连接；第二轴套与第八传动杆另一侧进行滑动连接；第九锥齿轮与第二轴套进行固接；第二固定架与第二轴套进行转动连接；第二固定架与第五电动推杆进行固接；第五电动推杆与底架进行固接；水洗箱内部靠近圆盘的一侧等距设置有七组多孔喷头；七组多孔喷头与水洗箱进行固接；七组多孔喷头与抽水机进行固接；抽水机与水洗箱进行固接；抽水机与J形抽水管进行固接；J形抽水管与水洗箱进行固接。

作为更进一步的优选方案，传动圆柱外环面设置有倾斜环形滑槽。

作为更进一步的优选方案，第三电动滑轨下方设置有矩形缺口。

作为更进一步的优选方案，多孔喷头高度略高于筛板。

作为更进一步的优选方案，筛板设置有多组长条矩形孔。

本发明具有以下优点：

1、为解决现有技术中，在对一叠钽箔进行预处理时，在酸洗过程中，由于钽箔各层互相贴合无法对一叠钽箔充分进行酸洗，而且在酸洗后，将一叠钽箔从酸洗液中取出时，钽箔夹层中含有大量的酸液，需要大量时间等待酸洗滴净，若取出后直接水洗浪费了酸液同时需要大量的水进行稀释以达到水洗效果，水洗时同样由于钽箔堆叠无法充分进行水洗的问题。

2、设计了酸洗辅助组件、酸液清理组件和水洗组件，准备工作时，将装置放置于水平面上，接通电源，将一叠钽箔放入底架上的酸洗辅助组件中，通过控制器控制酸洗辅助组件将钽箔放入酸洗箱中进行酸洗，酸洗结束后配合酸液清理组件对钽箔表面与夹层中的酸液进行清理，然后酸洗辅助组件将钽箔输送至水洗组件中进行水洗。

3、本发明使用时实现了将一叠钽箔进行酸洗时，使钽箔在酸液中摆动，让钽箔各层间产生间隔，从而充分进行酸洗，酸洗后将钽箔层中酸液挤出并回收，提升酸洗效果同时节约了资源，进行水洗时，使钽箔摆动同时在侧面喷出水柱，以对钽箔充分水洗。

附图说明

图1为本发明的第一种立体结构示意图；

图2为本发明的第二种立体结构示意图；

图3为本发明的酸洗辅助组件立体结构示意图；

图4为本发明的酸液清理组件第一种立体结构示意图；

图5为本发明的酸液清理组件第二种立体结构示意图；

图6为本发明的水洗组件立体结构示意图；

图7为本发明的A区放大图。

其中：1-底架，2-控制器，3-酸洗箱，4-酸洗辅助组件，5-酸液清理组件，6-水洗组件，401-第一连接板，402-第一电动滑块，403-第一电动滑轨，404-第一电动推杆，405-第二连接板，406-第一固定轴，407-第三连接板，408-柱形滑块，409-传动圆柱，410-第一传动杆，411-第一平齿轮，412-U形连接架，413-第一连接长板，414-第一电动夹，415-第二电动推杆，416-第四连接板，417-第二电动滑轨，418-第二电动滑块，419-第二连接长板，420-第二电动夹，501-电机，502-第二传动杆，503-第一轴套，504-第一固定架，505-第三电动推杆，506-第一锥齿轮，507-第二锥齿轮，508-双向螺纹丝杆，509-平移滑块，510-平移滑轨，511-第四电动推杆，512-第三电动滑轨，513-第三电动滑块，514-挤压辊，515-第四电动滑轨，516-第四电动滑块，517-吸水机，518-J形管，519-锥形吸水头，520-第三锥齿轮，521-第四锥齿轮，522-第三传动杆，523-第一传动轮，524-第五锥齿轮，525-第二传动轮，526-第四传动杆，527-第六锥齿轮，528-第七锥齿轮，529-第五传动杆，530-第二平齿轮，531-第八锥齿轮，532-第六传动杆，533-第三平齿轮，601-水洗箱，602-第二固定轴，603-筛板，604-第三连接长板，605-Z形连接杆，606-圆盘，607-第七传动杆，608-第三传动轮，609-第四传动轮，610-第五传动轮，611-第六传动轮，612-第八传动杆，613-第二轴套，614-第九锥齿轮，615-第二固定架，616-第五电动推杆，617-多孔喷头，618-抽水机，619-J形抽水管。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

实施例1

一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置，如图1-7所示，包括有底架1、控制器2、酸洗箱3、酸洗辅助组件4、酸液清理组件5和水洗组件6；底架1与控制器2相连接；底架1与酸洗箱3相连接；底架1与酸洗辅助组件4相连接；底架1与酸液清理组件5相连接；底架1与水洗组件6相连接；酸液清理组件5与水洗组件6相连接。

准备工作时，将装置放置于水平面上，接通电源，将一叠钽箔放入底架1上的酸洗辅助组件4中，通过控制器2控制酸洗辅助组件4将钽箔放入酸洗箱3中进行酸洗，酸洗结束后配合酸液清理组件5对钽箔表面与夹层中的酸液进行清理，然后酸洗辅助组件4将钽箔输送至水洗组件6中进行水洗；本发明使用时实现了将一叠钽箔进行酸洗时，使钽箔在酸液中摆动，让钽箔各层间产生间隔，从而充分进行酸洗，酸洗后将钽箔层中酸液挤出并回收，提升酸洗效果同时节约了资源，进行水洗时，使钽箔摆动同时在侧面喷出水柱，以对钽箔充分水洗。

酸洗辅助组件4包括有第一连接板401、第一电动滑块402、第一电动滑轨403、第一电动推杆404、第二连接板405、第一固定轴406、第三连接板407、柱形滑块408、传动圆柱409、第一传动杆410、第一平齿轮411、U形连接架412、第一连接长板413、第一电动夹414、第二电动推杆415、第四连接板416、第二电动滑轨417、第二电动滑块418、第二连接长板419和第二电动夹420；第一连接板401侧面与第一电动滑块402进行固接；第一电动滑块402与第一电动滑轨403进行滑动连接；第一电动滑轨403与底架1进行固接；第一连接板401两侧对称设置有第一电动滑块402和第一电动滑轨403；第一连接板401底面一侧与第一电动推杆404进行固接；第一电动推杆404与第二连接板405进行固接；第二连接板405与第一固定轴406进行固接；第一固定轴406与第三连接板407中部进行转动连接；第三连接板407侧面与柱形滑块408进行固接；柱形滑块408与传动圆柱409进行滑动连接；传动圆柱409与第一传动杆410进行固接；第一传动杆410与第一平齿轮411进行固接；第一传动杆410与U形连接架412进行转动连接；U形连接架412与第二连接板405进行固接；第一连接长板413通过转轴与第三连接板407进行转动连接；第一电动夹414与第一连接长板413进行固接；第一连接板401底面两侧对称设置有第一电动推杆404、第二连接板405、第一固定轴406、第三连接板407、柱形滑块408、传动圆柱409、第一传动杆410、第一平齿轮411、U形连接架412、第一连接长板413和第一电动夹414的组合；第二电动推杆415与第一连接板401底面中部进行固接；第二电动推杆415与第四连接板416进行固接；第四连接板416与第二电动滑轨417进行固接；第二电动滑轨417与第二电动滑块418进行滑动连接；第二电动滑块418与第二连接长板419进行固接；第二连接长板419与第二电动夹420进行固接。

将一叠钽箔两侧分别放入两组第一电动夹414中，第一电动夹414闭合夹住钽箔两侧，钽箔中部在第二电动夹420中，此时第二电动夹420为张开状态，然后第一连接板401两侧的两组第一电动滑块402同时在第一电动滑轨403中向酸洗箱3方向滑动，带动第一连接板401向酸洗箱3方向移动，使两组第一电动夹414夹住钽箔移动到酸洗箱3正上方，然后两组第一电动推杆404同时伸长推动两组第二连接板405向下移动，同时第二电动推杆415推动第四连接板416向下移动，使两组第一电动夹414夹住钽箔向下移动，同时第二电动夹420跟随钽箔移动，从而将钽箔浸入到酸洗箱3的酸洗液中，此时第一平齿轮411与酸液清理组件5相连接，由酸液清理组件5输送动力带动第一平齿轮411转动，第一平齿轮411带动U形连接架412中的第一传动杆410传动传动圆柱409转动，传动圆柱409带动柱形滑块408在其中的倾斜环形滑槽中滑动，柱形滑块408带动第三连接板407绕第一固定轴406往复摆动，第三连接板407带动第一连接长板413一侧往复升降同时转动，使第一连接长板413呈竖直状态往复升降，从而带动第一电动夹414往复升降，两组第一电动夹414夹住钽箔在酸液中往复摆动，使各层钽箔之间产生间隔，从而使各层钽箔充分进行酸洗，之后两组第一电动夹414松开，第二电动夹420闭合夹住钽箔，然后两组第一电动推杆404收缩带动两组第一电动夹414复位，接着第二电动滑块418在第二电动滑轨417中往复滑动，带动第二连接长板419和第二电动夹420往复移动，使第二电动夹420夹住钽箔在酸液中往复平移，平移时使钽箔两侧各层间产生间隔，使钽箔两侧充分进行酸洗，酸洗完毕后，第二电动滑块418复位，第二电动推杆415收缩带动第二电动夹420复位，同时两组第一电动推杆404收缩带动两组第一电动夹414上升，以便配合酸液清理组件5对钽箔进行处理，酸液清理组件5处理完毕后，第二电动夹420夹住钽箔移动至水洗组件6；本组件将一叠钽箔放入酸洗箱3中，通过往复摆动钽箔两侧，之后夹住中部往复平移，使钽箔在酸液中充分进行酸洗，然后配合酸液清理组件5对钽箔进行处理。

酸液清理组件5包括有电机501、第二传动杆502、第一轴套503、第一固定架504、第三电动推杆505、第一锥齿轮506、第二锥齿轮507、双向螺纹丝杆508、平移滑块509、平移滑轨510、第四电动推杆511、第三电动滑轨512、第三电动滑块513、挤压辊514、第四电动滑轨515、第四电动滑块516、吸水机517、J形管518、锥形吸水头519、第三锥齿轮520、第四锥齿轮521、第三传动杆522、第一传动轮523、第五锥齿轮524、第二传动轮525、第四传动杆526、第六锥齿轮527、第七锥齿轮528、第五传动杆529、第二平齿轮530、第八锥齿轮531、第六传动杆532和第三平齿轮533；电机501与底架1进行固接；电机501输出轴与第二传动杆502进行固接；第二传动杆502与底架1进行转动连接；第一轴套503与第二传动杆502进行滑动连接；第一轴套503与第一固定架504进行转动连接；第一固定架504与第三电动推杆505进行固接；第三电动推杆505与底架1进行固接；第一锥齿轮506与第一轴套503进行固接；第一锥齿轮506上方设置有第二锥齿轮507；当第一锥齿轮506与第二锥齿轮507啮合时，第二锥齿轮507转动；当第一锥齿轮506与第二锥齿轮507不啮合时，第二锥齿轮507不转动；第二锥齿轮507与双向螺纹丝杆508靠近第一锥齿轮506的一侧进行固接；双向螺纹丝杆508与平移滑块509进行旋接；双向螺纹丝杆508两侧与底架1进行转动连接；平移滑块509与平移滑轨510进行滑动连接；平移滑轨510与底架1进行固接；第四电动推杆511与平移滑块509进行固接；第三电动滑轨512与第四电动推杆511进行固接；第三电动滑块513与第三电动滑轨512进行滑动连接；第三电动滑块513与挤压辊514进行转动连接；第四电动滑轨515与第三电动滑轨512进行固接；第四电动滑块516与第四电动滑轨515进行滑动连接；吸水机517与第四电动滑块516进行固接；J形管518与吸水机517进行固接；锥形吸水头519与J形管518进行固接；第四电动滑轨515两侧对称设置有第四电动滑块516、吸水机517、J形管518和锥形吸水头519的组合；以双向螺纹丝杆508中点为界，两侧对称设置有平移滑块509、平移滑轨510、第四电动推杆511、第三电动滑轨512、第三电动滑块513、挤压辊514、第四电动滑轨515、第四电动滑块516、吸水机517、J形管518和锥形吸水头519的组合；第三锥齿轮520与第二传动杆502进行固接；第三锥齿轮520与第四锥齿轮521相啮合；第四锥齿轮521与第三传动杆522进行固接；第三传动杆522与底架1进行转动连接；第一传动轮523与第三传动杆522进行固接；第五锥齿轮524与第三传动杆522进行固接；第一传动轮523通过皮带与第二传动轮525进行传动连接；第二传动轮525与第四传动杆526进行固接；第四传动杆526与底架1进行转动连接；第六锥齿轮527与第四传动杆526进行固接；第六锥齿轮527与第七锥齿轮528相啮合；第七锥齿轮528与第五传动杆529一侧进行固接；第五传动杆529与底架1进行转动连接；第五传动杆529另一侧与第二平齿轮530进行固接；第八锥齿轮531与第五锥齿轮524相啮合；第八锥齿轮531与第六传动杆532一侧进行固接；第六传动杆532与底架1进行转动连接；第六传动杆532另一侧与第三平齿轮533进行固接。

钽箔被第二电动夹420夹住移动至平移滑块509相同高度后，两组第四电动推杆511同时伸长推动两组第三电动滑轨512向钽箔移动，使两组挤压辊514和两组第四电动滑轨515配合，在第二电动夹420两侧对钽箔进行限位，然后两组第三电动滑块513在两组第三电动滑轨512中向下滑动，使两组挤压辊514贴紧钽箔表面，通过第四电动滑块516在第四电动滑轨515中滑动，带动吸水机517、J形管518和锥形吸水头519移动，使锥形吸水头519与钽箔侧面贴合，然后电机501启动，电机501输出轴带动第二传动杆502转动，第二传动杆502带动第一轴套503在第一固定架504中转动，同时第二传动杆502带动第三锥齿轮520转动，第一轴套503带动第一锥齿轮506转动，接着第三电动推杆505伸长推动第一固定架504，带动第一轴套503在第二传动杆502上向上滑动，使第一锥齿轮506啮合第二锥齿轮507，实现第二锥齿轮507动力输送，第二锥齿轮507转动带动双向螺纹丝杆508转动，双向螺纹丝杆508带动与之旋接的两组平移滑块509在平移滑轨510中反向滑动，使两组挤压辊514和两组第四电动滑轨515夹住钽箔同时向钽箔两端移动，挤压辊514移动时在第三电动滑块513中转动，将钽箔层中的酸液挤出到两侧，同时四组吸水机517启动通过四组锥形吸水头519将挤出的酸液吸走，两组挤压辊514和两组第四电动滑轨515移动到钽箔两端后，第三电动推杆505收缩使第二锥齿轮507动力中断；第三锥齿轮520转动时带动第四锥齿轮521传动第三传动杆522转动，第三传动杆522带动第一传动轮523和第五锥齿轮524转动，第五锥齿轮524带动第八锥齿轮531传动第六传动杆532转动，第六传动杆532带动第三平齿轮533转动，第一传动轮523带动第二传动轮525传动第四传动杆526转动，第四传动杆526带动第六锥齿轮527传动第七锥齿轮528转动，第七锥齿轮528带动第五传动杆529传动第二平齿轮530转动；需要说明的是，第八锥齿轮531可给水洗组件6输送动力，第二平齿轮530和第三平齿轮533分别与两组第一平齿轮411啮合时，可给酸洗辅助组件4输送动力；本组件将酸洗后的钽箔层中的酸液挤出同时将酸液吸走，间接提升水洗效率。

水洗组件6包括有水洗箱601、第二固定轴602、筛板603、第三连接长板604、Z形连接杆605、圆盘606、第七传动杆607、第三传动轮608、第四传动轮609、第五传动轮610、第六传动轮611、第八传动杆612、第二轴套613、第九锥齿轮614、第二固定架615、第五电动推杆616、多孔喷头617、抽水机618和J形抽水管619；水洗箱601与底架1进行固接；第二固定轴602与水洗箱601进行转动连接；第二固定轴602与筛板603进行固接；筛板603侧面通过转轴与第三连接长板604一侧进行转动连接；第三连接长板604另一侧与Z形连接杆605进行转动连接；Z形连接杆605与圆盘606进行固接；第七传动杆607一侧与圆盘606进行固接；第七传动杆607另一侧与第五传动轮610进行固接；第七传动杆607与底架1进行转动连接；水洗箱601内部两侧对称设置有第二固定轴602、筛板603、第三连接长板604、Z形连接杆605、圆盘606和第七传动杆607的组合；两组第七传动杆607分别与第三传动轮608和第四传动轮609进行固接；第三传动轮608通过皮带与第四传动轮609进行传动连接；第五传动轮610通过皮带与第六传动轮611传动连接；第六传动轮611与第八传动杆612一侧进行固接；第八传动杆612与底架1进行转动连接；第二轴套613与第八传动杆612另一侧进行滑动连接；第九锥齿轮614与第二轴套613进行固接；第二固定架615与第二轴套613进行转动连接；第二固定架615与第五电动推杆616进行固接；第五电动推杆616与底架1进行固接；水洗箱601内部靠近圆盘606的一侧等距设置有七组多孔喷头617；七组多孔喷头617与水洗箱601进行固接；七组多孔喷头617与抽水机618进行固接；抽水机618与水洗箱601进行固接；抽水机618与J形抽水管619进行固接；J形抽水管619与水洗箱601进行固接。

酸液清理组件5处理完毕后，第二电动夹420夹住钽箔移动到事先装好去离子水的水洗箱601正上方，然后第二电动推杆415伸长使第二电动夹420夹住钽箔将钽箔两端放在两组筛板603上，接着第五电动推杆616伸长推动第二固定架615，带动第二轴套613在第八传动杆612上滑动，使第九锥齿轮614啮合第八锥齿轮531，第八锥齿轮531带动第九锥齿轮614传动第二轴套613在第二固定架615中转动，第二轴套613带动第八传动杆612传动第六传动轮611转动，第六传动轮611带动第五传动轮610传动第七传动杆607转动，第七传动杆607带动第三传动轮608传动第四传动轮609转动，第四传动轮609带动另一组第七传动杆607转动，第七传动杆607带动圆盘606和Z形连接杆605转动，Z形连接杆605带动第三连接长板604一侧做圆周运动同时绕Z形连接杆605转动，使第三连接长板604呈竖直状态往复运动，第三连接长板604另一侧带动筛板603绕第二固定轴602往复摆动，同时第二电动夹420松开钽箔，两组筛板603同时在钽箔两端摆动，带动钽箔在去离子水中摆动，接着抽水机618启动，通过J形抽水管619将水洗箱601中的去离子水抽出供给七组多孔喷头617，使七组多孔喷头617在水中从钽箔侧面喷出水柱，从而使钽箔充分进行水洗，水洗完毕后，抽水机618关闭，第五电动推杆616收缩使第九锥齿轮614动力中断，第二电动夹420闭合夹住钽箔，第二电动推杆415收缩使第二电动夹420从水洗箱601中取出钽箔；本组件将经过酸液清理的钽箔放入去离子水中，在水中使钽箔摆动，使钽箔充分进行水洗。

传动圆柱409外环面设置有倾斜环形滑槽。

使传动圆柱409转动时带动柱形滑块408在倾斜环形滑槽中滑动，以带动第三连接板407往复摆动。

第三电动滑轨512下方设置有矩形缺口。

防止锥形吸水头519移动时与第三电动滑轨512碰撞。

多孔喷头617高度略高于筛板603。

使多孔喷头617能对准钽箔侧面。

筛板603设置有多组长条矩形孔。

减少筛板603摆动时在水中受到的阻力。

上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置，包括有底架、控制器和酸洗箱，其特征在于：还包括有酸洗辅助组件、酸液清理组件和水洗组件；底架与控制器相连接；底架与酸洗箱相连接；底架与酸洗辅助组件相连接；底架与酸液清理组件相连接；底架与水洗组件相连接；酸液清理组件与水洗组件相连接。

2.如权利要求1所述的一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置，其特征在于：酸洗辅助组件包括有第一连接板、第一电动滑块、第一电动滑轨、第一电动推杆、第二连接板、第一固定轴、第三连接板、柱形滑块、传动圆柱、第一传动杆、第一平齿轮、U形连接架、第一连接长板、第一电动夹、第二电动推杆、第四连接板、第二电动滑轨、第二电动滑块、第二连接长板和第二电动夹；第一连接板侧面与第一电动滑块进行固接；第一电动滑块与第一电动滑轨进行滑动连接；第一电动滑轨与底架进行固接；第一连接板两侧对称设置有第一电动滑块和第一电动滑轨；第一连接板底面一侧与第一电动推杆进行固接；第一电动推杆与第二连接板进行固接；第二连接板与第一固定轴进行固接；第一固定轴与第三连接板中部进行转动连接；第三连接板侧面与柱形滑块进行固接；柱形滑块与传动圆柱进行滑动连接；传动圆柱与第一传动杆进行固接；第一传动杆与第一平齿轮进行固接；第一传动杆与U形连接架进行转动连接；U形连接架与第二连接板进行固接；第一连接长板通过转轴与第三连接板进行转动连接；第一电动夹与第一连接长板进行固接；第一连接板底面两侧对称设置有第一电动推杆、第二连接板、第一固定轴、第三连接板、柱形滑块、传动圆柱、第一传动杆、第一平齿轮、U形连接架、第一连接长板和第一电动夹的组合；第二电动推杆与第一连接板底面中部进行固接；第二电动推杆与第四连接板进行固接；第四连接板与第二电动滑轨进行固接；第二电动滑轨与第二电动滑块进行滑动连接；第二电动滑块与第二连接长板进行固接；第二连接长板与第二电动夹进行固接。

3.如权利要求2所述的一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置，其特征在于：酸液清理组件包括有电机、第二传动杆、第一轴套、第一固定架、第三电动推杆、第一锥齿轮、第二锥齿轮、双向螺纹丝杆、平移滑块、平移滑轨、第四电动推杆、第三电动滑轨、第三电动滑块、挤压辊、第四电动滑轨、第四电动滑块、吸水机、J形管、锥形吸水头、第三锥齿轮、第四锥齿轮、第三传动杆、第一传动轮、第五锥齿轮、第二传动轮、第四传动杆、第六锥齿轮、第七锥齿轮、第五传动杆、第二平齿轮、第八锥齿轮、第六传动杆和第三平齿轮；电机与底架进行固接；电机输出轴与第二传动杆进行固接；第二传动杆与底架进行转动连接；第一轴套与第二传动杆进行滑动连接；第一轴套与第一固定架进行转动连接；第一固定架与第三电动推杆进行固接；第三电动推杆与底架进行固接；第一锥齿轮与第一轴套进行固接；第一锥齿轮上方设置有第二锥齿轮；当第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合时，第二锥齿轮转动；当第一锥齿轮与第二锥齿轮不啮合时，第二锥齿轮不转动；第二锥齿轮与双向螺纹丝杆靠近第一锥齿轮的一侧进行固接；双向螺纹丝杆与平移滑块进行旋接；双向螺纹丝杆两侧与底架进行转动连接；平移滑块与平移滑轨进行滑动连接；平移滑轨与底架进行固接；第四电动推杆与平移滑块进行固接；第三电动滑轨与第四电动推杆进行固接；第三电动滑块与第三电动滑轨进行滑动连接；第三电动滑块与挤压辊进行转动连接；第四电动滑轨与第三电动滑轨进行固接；第四电动滑块与第四电动滑轨进行滑动连接；吸水机与第四电动滑块进行固接；J形管与吸水机进行固接；锥形吸水头与J形管进行固接；第四电动滑轨两侧对称设置有第四电动滑块、吸水机、J形管和锥形吸水头的组合；以双向螺纹丝杆中点为界，两侧对称设置有平移滑块、平移滑轨、第四电动推杆、第三电动滑轨、第三电动滑块、挤压辊、第四电动滑轨、第四电动滑块、吸水机、J形管和锥形吸水头的组合；第三锥齿轮与第二传动杆进行固接；第三锥齿轮与第四锥齿轮相啮合；第四锥齿轮与第三传动杆进行固接；第三传动杆与底架进行转动连接；第一传动轮与第三传动杆进行固接；第五锥齿轮与第三传动杆进行固接；第一传动轮通过皮带与第二传动轮进行传动连接；第二传动轮与第四传动杆进行固接；第四传动杆与底架进行转动连接；第六锥齿轮与第四传动杆进行固接；第六锥齿轮与第七锥齿轮相啮合；第七锥齿轮与第五传动杆一侧进行固接；第五传动杆与底架进行转动连接；第五传动杆另一侧与第二平齿轮进行固接；第八锥齿轮与第五锥齿轮相啮合；第八锥齿轮与第六传动杆一侧进行固接；第六传动杆与底架进行转动连接；第六传动杆另一侧与第三平齿轮进行固接。

4.如权利要求3所述的一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置，其特征在于：水洗组件包括有水洗箱、第二固定轴、筛板、第三连接长板、Z形连接杆、圆盘、第七传动杆、第三传动轮、第四传动轮、第五传动轮、第六传动轮、第八传动杆、第二轴套、第九锥齿轮、第二固定架、第五电动推杆、多孔喷头、抽水机和J形抽水管；水洗箱与底架进行固接；第二固定轴与水洗箱进行转动连接；第二固定轴与筛板进行固接；筛板侧面通过转轴与第三连接长板一侧进行转动连接；第三连接长板另一侧与Z形连接杆进行转动连接；Z形连接杆与圆盘进行固接；第七传动杆一侧与圆盘进行固接；第七传动杆另一侧与第五传动轮进行固接；第七传动杆与底架进行转动连接；水洗箱内部两侧对称设置有第二固定轴、筛板、第三连接长板、Z形连接杆、圆盘和第七传动杆的组合；两组第七传动杆分别与第三传动轮和第四传动轮进行固接；第三传动轮通过皮带与第四传动轮进行传动连接；第五传动轮通过皮带与第六传动轮传动连接；第六传动轮与第八传动杆一侧进行固接；第八传动杆与底架进行转动连接；第二轴套与第八传动杆另一侧进行滑动连接；第九锥齿轮与第二轴套进行固接；第二固定架与第二轴套进行转动连接；第二固定架与第五电动推杆进行固接；第五电动推杆与底架进行固接；水洗箱内部靠近圆盘的一侧等距设置有七组多孔喷头；七组多孔喷头与水洗箱进行固接；七组多孔喷头与抽水机进行固接；抽水机与水洗箱进行固接；抽水机与J形抽水管进行固接；J形抽水管与水洗箱进行固接。

5.如权利要求4所述的一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置，其特征在于：传动圆柱外环面设置有倾斜环形滑槽。

6.如权利要求5所述的一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置，其特征在于：第三电动滑轨下方设置有矩形缺口。

7.如权利要求6所述的一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置，其特征在于：多孔喷头高度略高于筛板。

8.如权利要求7所述的一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置，其特征在于：筛板设置有多组长条矩形孔。

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