CN219292184U - 一种高效喷淋装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高效喷淋装置，包括固定框，固定框的内部开设有清洗槽，清洗槽的内部固定连接有喷头，固定框的顶部固定连接有立板，立板的内部滑动连接有移动块，移动块的外侧固定连接有升降板，升降板的内部转动连接有第二转轴，第二转轴的底部固定连接有转盘，转盘的底部对称固定连接有连接杆，连接杆的底部固定连接有过滤框，本实用新型所达到的有益效果是：能够转动第二转轴带动转盘转动，转盘通过连接杆带动过滤框转动，使喷头喷淋过程中对半导体进行充分的喷淋，降低水资源的消耗，降低生产成本。

Description

一种高效喷淋装置

技术领域

本实用新型涉及喷淋装置技术领域，具体为一种高效喷淋装置。

背景技术

现有生活中，半导体的结构十分精密，因此在制造过程中，如果受到尘粒、金属等的污染，很容易造成电路损坏，形成断路或短路等问题，导致集成电路的失效。晶圆是制造半导体晶体管的基片，对微污染物的存在非常敏感，因此半导体晶圆在制造过程中，需要经过多次的表面清洗步骤，以去除表面附着的金属离子、原子、有机物、尘粒等杂质，目前通过专用的清洗机进行操作，其在经过喷淋、烘干等多个操作后完成清洗。现有申请号为：CN202122789089.2的实用新型专利，公开了一种半导体清洗设备喷淋装置，其技术方案要点是：包括清洗池和电控箱……所述电机的输出端与所述放置板固定设置，本实用新型在使用时，对晶片的冲洗效果较好。上述专利中半导体与放置板接触的一侧始终附着杂质，导致需要多次返工清洗，延长清洗时间，清洗效率低，提高了生产成本，因此提供一种高效喷淋装置，用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高效喷淋装置，以解决上述背景技术中提出半导体与放置板接触的一侧始终附着杂质，导致需要多次返工清洗，延长清洗时间，清洗效率低，提高了生产成本的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种高效喷淋装置，包括固定框，所述固定框的内部开设有清洗槽，所述清洗槽的内部固定连接有喷头，所述固定框的顶部固定连接有立板，所述立板的内部滑动连接有移动块，所述移动块的外侧固定连接有升降板，所述升降板的内部转动连接有第二转轴，所述第二转轴的底部固定连接有转盘，所述转盘的底部对称固定连接有连接杆，所述连接杆的底部固定连接有过滤框。

作为本实用新型的一种优选方案，所述立板的顶部固定连接有顶板，所述顶板的顶部固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端通过联轴器固定连接有传动丝杆，所述传动丝杆与移动块螺纹连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述清洗槽的内部固定连接有过滤板，所述固定框的内部固定连接有水泵，所述水泵的出水口通过管道与喷头连通，所述水泵的进水口通过管道与清洗槽连通。

作为本实用新型的一种优选方案，所述升降板的内部转动连接有转杆，所述转杆的外侧螺纹连接有齿条，所述齿条与升降板滑动连接，所述第二转轴的外侧固定连接有传动齿轮，所述传动齿轮与齿条啮合连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述固定框的内部固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端通过联轴器固定连接有第一转轴，所述第一转轴的外侧滑动连接有滑套，所述第一转轴的内部对称开设有限位槽，所述限位槽的内部滑动连接有限位块，所述限位块与滑套固定连接，所述滑套的外侧固定连接有第一锥齿轮，所述转杆的一端固定连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述固定框的外侧固定连接有控制面板，所述伺服电机、第一电机和水泵均与控制面板电性连接。

本实用新型所达到的有益效果是：通过过滤框、传动齿轮和齿条的设置，能够转动第二转轴带动转盘转动，转盘通过连接杆带动过滤框转动，使喷头喷淋过程中对半导体进行充分的喷淋，降低水资源的消耗，降低生产成本。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的立体结构示意图；

图2是本实用新型的内部结构示意图；

图3是A处放大结构示意图；

图4是B处放大结构示意图。

图中:1、固定框；2、升降板；3、第一转轴；4、过滤框；5、伺服电机；6、顶板；7、立板；8、转盘；9、转杆；10、移动块；11、连接杆；12、传动丝杆；13、清洗槽；14、过滤板；15、第一电机；16、喷头；17、水泵；18、传动齿轮；19、齿条；20、第二转轴；21、限位块；22、第一锥齿轮；23、第二锥齿轮；24、限位槽；25、滑套。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至图4，本实用新型提供一种高效喷淋装置，包括固定框1，固定框1的内部开设有清洗槽13，清洗槽13的内部固定连接有喷头16，将半导体放置在过滤框4的内部，启动伺服电机5带动传动丝杆12转动，传动丝杆12带动移动块10移动，移动块10带动升降板2向下移动，升降板2推动转盘8移动，转盘8通过连接杆11推动过滤框4进入清洗槽13的内部，启动水泵17通过管道抽取清洗槽13内部的清洁液，通过管道将清洁液注入喷头16的内部，通过喷头16俯过滤框4内部的半导体喷出，固定框1的顶部固定连接有立板7，立板7的内部滑动连接有移动块10，移动块10的外侧固定连接有升降板2，升降板2的内部转动连接有第二转轴20，第二转轴20的底部固定连接有转盘8，转盘8的底部对称固定连接有连接杆11，连接杆11的底部固定连接有过滤框4，启动第一电机15带动第一转轴3转动，第一转轴3通过滑套25带动第一锥齿轮22转动，在第一锥齿轮22与第二锥齿轮23的作用下带动转杆9转动，转杆9带动齿条19作用往复移动，在齿条19与传动齿轮18的作用下带动第二转轴20转动，第二转轴20带动转盘8转动，转盘8通过连接杆11带动过滤框4在清洗槽13的内部转动，使喷头16喷淋过程中对半导体进行充分的喷淋，使用后的清洁液通过过滤板14进行过滤，便于循环使用，降低水资源的消耗，降低生产成本。

进一步的，立板7的顶部固定连接有顶板6，顶板6的顶部固定连接有伺服电机5，伺服电机5的输出端通过联轴器固定连接有传动丝杆12，传动丝杆12与移动块10螺纹连接，启动伺服电机5带动传动丝杆12转动，传动丝杆12带动移动块10移动，移动块10带动升降板2向下移动。

进一步的，清洗槽13的内部固定连接有过滤板14，固定框1的内部固定连接有水泵17，水泵17的出水口通过管道与喷头16连通，水泵17的进水口通过管道与清洗槽13连通，启动水泵17通过管道抽取清洗槽13内部的清洁液，通过管道将清洁液注入喷头16的内部，通过喷头16俯过滤框4内部的半导体喷出。

进一步的，升降板2的内部转动连接有转杆9，转杆9的外侧螺纹连接有齿条19，齿条19与升降板2滑动连接，第二转轴20的外侧固定连接有传动齿轮18，传动齿轮18与齿条19啮合连接，转杆9带动齿条19作用往复移动，在齿条19与传动齿轮18的作用下带动第二转轴20转动，第二转轴20带动转盘8转动，转盘8通过连接杆11带动过滤框4在清洗槽13的内部转动。

进一步的，固定框1的内部固定连接有第一电机15，第一电机15的输出端通过联轴器固定连接有第一转轴3，第一转轴3的外侧滑动连接有滑套25，第一转轴3的内部对称开设有限位槽24，限位槽24的内部滑动连接有限位块21，限位块21与滑套25固定连接，滑套25的外侧固定连接有第一锥齿轮22，转杆9的一端固定连接有第二锥齿轮23，第二锥齿轮23与第一锥齿轮22啮合连接，启动第一电机15带动第一转轴3转动，第一转轴3通过滑套25带动第一锥齿轮22转动，在第一锥齿轮22与第二锥齿轮23的作用下带动转杆9转动。

进一步的，固定框1的外侧固定连接有控制面板，伺服电机5、第一电机15和水泵17均与控制面板电性连接，方便控制本实用新型。

使用本实用新型时，将半导体放置在过滤框4的内部，启动伺服电机5带动传动丝杆12转动，传动丝杆12带动移动块10移动，移动块10带动升降板2向下移动，升降板2推动转盘8移动，转盘8通过连接杆11推动过滤框4进入清洗槽13的内部，启动水泵17通过管道抽取清洗槽13内部的清洁液，通过管道将清洁液注入喷头16的内部，通过喷头16俯过滤框4内部的半导体喷出，启动第一电机15带动第一转轴3转动，第一转轴3通过滑套25带动第一锥齿轮22转动，在第一锥齿轮22与第二锥齿轮23的作用下带动转杆9转动，转杆9带动齿条19作用往复移动，在齿条19与传动齿轮18的作用下带动第二转轴20转动，第二转轴20带动转盘8转动，转盘8通过连接杆11带动过滤框4在清洗槽13的内部转动，使喷头16喷淋过程中对半导体进行充分的喷淋，使用后的清洁液通过过滤板14进行过滤，便于循环使用，降低水资源的消耗，降低生产成本。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”、“第四”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种高效喷淋装置，包括固定框(1)，其特征在于：所述固定框(1)的内部开设有清洗槽(13)，所述清洗槽(13)的内部固定连接有喷头(16)，所述固定框(1)的顶部固定连接有立板(7)，所述立板(7)的内部滑动连接有移动块(10)，所述移动块(10)的外侧固定连接有升降板(2)，所述升降板(2)的内部转动连接有第二转轴(20)，所述第二转轴(20)的底部固定连接有转盘(8)，所述转盘(8)的底部对称固定连接有连接杆(11)，所述连接杆(11)的底部固定连接有过滤框(4)。

2.根据权利要求1所述的一种高效喷淋装置，其特征在于：所述立板(7)的顶部固定连接有顶板(6)，所述顶板(6)的顶部固定连接有伺服电机(5)，所述伺服电机(5)的输出端通过联轴器固定连接有传动丝杆(12)，所述传动丝杆(12)与移动块(10)螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的一种高效喷淋装置，其特征在于：所述清洗槽(13)的内部固定连接有过滤板(14)，所述固定框(1)的内部固定连接有水泵(17)，所述水泵(17)的出水口通过管道与喷头(16)连通，所述水泵(17)的进水口通过管道与清洗槽(13)连通。

4.根据权利要求3所述的一种高效喷淋装置，其特征在于：所述升降板(2)的内部转动连接有转杆(9)，所述转杆(9)的外侧螺纹连接有齿条(19)，所述齿条(19)与升降板(2)滑动连接，所述第二转轴(20)的外侧固定连接有传动齿轮(18)，所述传动齿轮(18)与齿条(19)啮合连接。

5.根据权利要求4所述的一种高效喷淋装置，其特征在于：所述固定框(1)的内部固定连接有第一电机(15)，所述第一电机(15)的输出端通过联轴器固定连接有第一转轴(3)，所述第一转轴(3)的外侧滑动连接有滑套(25)，所述第一转轴(3)的内部对称开设有限位槽(24)，所述限位槽(24)的内部滑动连接有限位块(21)，所述限位块(21)与滑套(25)固定连接，所述滑套(25)的外侧固定连接有第一锥齿轮(22)，所述转杆(9)的一端固定连接有第二锥齿轮(23)，所述第二锥齿轮(23)与第一锥齿轮(22)啮合连接。

6.根据权利要求5所述的一种高效喷淋装置，其特征在于：所述固定框(1)的外侧固定连接有控制面板，所述伺服电机(5)、第一电机(15)和水泵(17)均与控制面板电性连接。

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