CN112992733B - 一种用于晶圆加工的刷洗装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于晶圆加工的刷洗装置，包括承载机构、清洗机构、固定机构，所述承载机构的后部一侧安装有所述清洗机构，所述承载机构的外部安装有所述固定机构，还包括用于对晶圆表面进行除尘的除尘机构，所述除尘机构包括第一固定块、出风方管、第二固定块、气缸、风机、连接臂、连接轴、滚轮、电机，所述第一固定块通过螺栓连接在所述承载机构的前部表面上。本发明利用气缸与喷液管的设置使得在需要对晶圆进行清洗时可快速移动到位，同时滚轮的位置也可被快速移动到位，进而实现了对与晶圆的驱动，并且在吸盘的作用下可对晶圆进行稳定固定，进而保持在整个清洗工作过程中不会错位损伤晶圆的完整性。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆加工技术领域，特别是涉及一种用于晶圆加工的刷洗装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。但是传统的刷洗装置在对晶圆刷洗时无法对其进行快速稳定的安装固定。
发明内容
本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于晶圆加工的刷洗装置。
本发明通过以下技术方案来实现上述目的：
一种用于晶圆加工的刷洗装置，包括承载机构、清洗机构、固定机构，所述承载机构的后部一侧安装有所述清洗机构，所述承载机构的外部安装有所述固定机构，还包括用于对晶圆表面进行除尘的除尘机构，所述除尘机构包括第一固定块、出风方管、第二固定块、气缸、风机、连接臂、连接轴、滚轮、电机，所述第一固定块通过螺栓连接在所述承载机构的前部表面上，所述第一固定块的外部转动连接有所述出风方管，所述出风方管的一端安装有所述风机，所述出风方管的另一端转动连接有所述连接臂，所述连接臂一端的前部通过螺栓连接有所述电机，所述电机的后部键连接有所述连接轴，所述连接轴的后部通过螺栓连接有所述滚轮，所述出风方管下部转动连接有所述气缸，所述气缸的一端与所述第二固定块转动连接。
优选的，所述承载机构包括垫板、固定板、加固板、放置箱、晶圆、排尘板，所述垫板的上部通过螺栓连接有所述放置箱，所述放置箱的上部焊接有所述固定板，所述垫板与所述放置箱的衔接处通过螺栓连接有所述加固板，所述放置箱的内部放置有所述晶圆，所述放置箱的后部安装有所述排尘板。
优选的，所述清洗机构包括储液箱、连接管、抽出泵、喷液管、连通管、擦拭棉块、连接柱，所述放置箱的后部一侧安装有所述储液箱，所述储液箱的外部通过法兰连接有所述连接管，所述连接管上安装有所述抽出泵，所述连接管的一端通过法兰连接有所述喷液管，所述喷液管之间通过所述连通管连接，所述放置箱的上端的前部与后部一侧安装有所述擦拭棉块，所述擦拭棉块之间通过所述连接柱连接。
优选的，所述连通管的外部安装有把手，所述把手的外表面应做防滑处理。
优选的，所述固定机构包括盖板、滑动筒、拉杆、吸盘，所述盖板安装在所述固定板的外部，所述盖板的内部通过轴承连接有所述滑动筒，所述滑动筒的后部安装有所述吸盘，所述滑动筒的内部滑动连接有所述拉杆。
优选的，所述加固板共设置有十处，所述固定板的上部为弧形，所述放置箱的内部表面应粘接有棉垫，所述排尘板表面均匀开有出尘孔。
优选的，所述出风方管为中空的方管，所述出风方管的内侧面上开有出风孔。
优选的，所述喷液管与所述连通管互相连通，所述喷液管的内侧开有出液孔。
优选的，所述吸盘与所述滑动筒的衔接处开有透气孔，所述吸盘为弧形皮垫。
优选的，所述滚轮的外部表面上裹有棉套。
有益效果在于：利用气缸与喷液管的设置使得在需要对晶圆进行清洗时可快速移动到位，同时滚轮的位置也可被快速移动到位，进而实现了对与晶圆的驱动，并且在吸盘的作用下可对晶圆进行稳定固定，进而保持在整个清洗工作过程中不会错位损伤晶圆的完整性。
本发明的附加技术特征及其优点将在下面的描述内容中阐述地更加明显，或通过本发明的具体实践可以了解到。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1是本发明所述一种用于晶圆加工的刷洗装置第一实施例的第一轴测图；
图2是本发明所述一种用于晶圆加工的刷洗装置第一实施例的第二轴测图；
图3是本发明所述一种用于晶圆加工的刷洗装置的正视图；
图4是本发明所述一种用于晶圆加工的刷洗装置的后视图；
图5是本发明所述一种用于晶圆加工的刷洗装置固定机构的轴测图；
图6是本发明所述一种用于晶圆加工的刷洗装置第二实施例的俯视图；
图7是本发明所述一种用于晶圆加工的刷洗装置第二实施例的第一轴测图；
图8是本发明所述一种用于晶圆加工的刷洗装置第二实施例的第二轴测图。
附图标记说明如下：
1、承载机构；101、垫板；102、固定板；103、加固板；104、放置箱；105、晶圆；106、排尘板；2、除尘机构；201、第一固定块；202、出风方管；203、第二固定块；204、气缸；205、风机；206、连接臂；207、连接轴；208、滚轮；209、电机；3、清洗机构；301、储液箱；302、连接管；303、抽出泵；304、喷液管；305、连通管；306、擦拭棉块；307、连接柱；308、把手；4、固定机构；401、盖板；402、滑动筒；403、拉杆；404、吸盘。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
下面结合附图对本发明作进一步说明：
一种用于晶圆加工的刷洗装置，包括承载机构1、清洗机构3、固定机构4，承载机构1的后部一侧安装有清洗机构3，承载机构1的外部安装有固定机构4，还包括用于对晶圆表面进行除尘的除尘机构2，除尘机构2包括第一固定块201、出风方管202、第二固定块203、气缸204、风机205、连接臂206、连接轴207、滚轮208、电机209，第一固定块201通过螺栓连接在放置箱104的前部表面上，可为出风方管202提供转动轨道，第一固定块201的外部转动连接有出风方管202，可对晶圆105的表面进行吹风除尘，出风方管202的一端安装有风机205，可产生风力，出风方管202的另一端转动连接有连接臂206，使得电机209保持稳定，连接臂206一端的前部通过螺栓连接有电机209，可为滚轮208提供转动动力，电机209的后部键连接有连接轴207，连接轴207的后部通过螺栓连接有滚轮208，与晶圆105接触使其转动，出风方管202下部转动连接有气缸204，可作为出风方管202的位置调节动力，气缸204的一端与第二固定块203转动连接。
实施例1
如图1-图5所示，承载机构1包括垫板101、固定板102、加固板103、放置箱104、晶圆105、排尘板106，垫板101的上部通过螺栓连接有放置箱104，内部可放置晶圆105，放置箱104的上部焊接有固定板102，垫板101与放置箱104的衔接处通过螺栓连接有加固板103，可对放置箱104进行加固，放置箱104的内部放置有晶圆105，放置箱104的后部安装有排尘板106，可将灰尘排出；清洗机构3包括储液箱301、连接管302、抽出泵303、喷液管304、连通管305、擦拭棉块306、连接柱307，放置箱104的后部一侧安装有储液箱301，内部可储存清洗液，储液箱301的外部通过法兰连接有连接管302，可将清洗液连通至喷液管304内部，连接管302上安装有抽出泵303，可将清洗液抽出，连接管302的一端通过法兰连接有喷液管304，可将清洗液喷出，喷液管304之间通过连通管305连接，便于调节喷液管304的位置，放置箱104的上端的前部与后部一侧安装有擦拭棉块306，可对晶圆105的表面进行擦拭，擦拭棉块306之间通过连接柱307连接；固定机构4包括盖板401、滑动筒402、拉杆403、吸盘404，盖板401安装在固定板102的外部，可对内部部件进行保护，盖板401的内部通过轴承连接有滑动筒402，便于跟随转动，滑动筒402的后部安装有吸盘404，可与晶圆105进行吸附，滑动筒402的内部滑动连接有拉杆403，可将吸盘404与晶圆105接触位置空气抽出；加固板103共设置有十处，固定板102的上部为弧形，防止撞伤操作人员，放置箱104的内部表面应粘接有棉垫，防止损伤晶圆105，排尘板106表面均匀开有出尘孔，便于将晶圆105表面的灰尘排出；出风方管202为中空的方管，出风方管202的内侧面上开有出风孔；喷液管304与连通管305互相连通，喷液管304的内侧开有出液孔，可直接将清洗液喷至晶圆105表面；吸盘404与滑动筒402的衔接处开有透气孔，便于将空气排出，吸盘404为弧形皮垫；滚轮208的外部表面上裹有棉套，防止损伤晶圆105。
工作原理：将晶圆105放置在放置箱104内部，使得吸盘404与晶圆105贴合，接着拉动拉杆403将衔接位置处的空气抽出，利用气缸204对出风方管202的角度进行调节，接着并拨动连接臂206使得滚轮208与晶圆105贴合，同时启动电机209使得晶圆105转动，进而利用出风方管202对晶圆105表面的灰尘进行吹除，并在喷液管304处将清洗液喷至晶圆105的表面上，最后在擦拭棉块306的作用下对晶圆105进行擦拭干净。
实施例2
如图3-图8所示，实施例2与实施例1不同之处在于：连通管305的外部安装有把手308，把手308的外表面应做防滑处理，便于调节角度时握持,工作时，将晶圆105放置在放置箱104内部，使得吸盘404与晶圆105贴合，接着拉动拉杆403将衔接位置处的空气抽出，利用气缸204对出风方管202的角度进行调节，接着并拨动连接臂206使得滚轮208与晶圆105贴合，同时启动电机209使得晶圆105转动，进而利用出风方管202对晶圆105表面的灰尘进行吹除，握住把手308拨动连通管305对喷液管304的角度进行调节，并在喷液管304处将清洗液喷至晶圆105的表面上，最后在擦拭棉块306的作用下对晶圆105进行擦拭干净。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护的范围由所附的权利要求书及其效物界定。
Claims (9)
1.一种用于晶圆加工的刷洗装置，包括承载机构(1)、清洗机构(3)、固定机构(4)，所述承载机构(1)上安装有所述清洗机构(3)，所述承载机构(1)的前部安装有所述固定机构(4)，其特征在于：还包括用于对晶圆表面进行除尘的除尘机构(2)，所述除尘机构(2)包括第一固定块(201)、出风方管(202)、第二固定块(203)、气缸(204)、风机(205)、连接臂(206)、连接轴(207)、滚轮(208)、电机(209)，所述第一固定块(201)通过螺栓连接在所述承载机构(1)的前部表面上，所述第一固定块(201)的外部转动连接有所述出风方管(202)，所述出风方管(202)的一端安装有所述风机(205)，所述出风方管(202)的另一端转动连接有所述连接臂(206)，所述连接臂(206)一端的前部通过螺栓连接有所述电机(209)，所述电机(209)的后部键连接有所述连接轴(207)，所述连接轴(207)的后部通过螺栓连接有所述滚轮(208)，所述出风方管(202)下部转动连接有所述气缸(204)，所述气缸(204)的一端与所述第二固定块(203)转动连接；
所述刷洗装置工作时,所述滚轮与所述晶圆的侧缘贴合,使得晶圆转动,所述滚轮(208)的外部表面上裹有棉套。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆加工的刷洗装置，其特征在于：所述承载机构(1)包括垫板(101)、固定板(102)、加固板(103)、放置箱(104)、晶圆(105)、排尘板(106)，所述垫板(101)的上部通过螺栓连接有所述放置箱(104)，所述放置箱(104)的上部焊接有所述固定板(102)，所述垫板(101)与所述放置箱(104)的衔接处通过螺栓连接有所述加固板(103)，所述放置箱(104)的内部放置有所述晶圆(105)，所述放置箱(104)的后部安装有所述排尘板(106)。
3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆加工的刷洗装置，其特征在于：所述清洗机构(3)包括储液箱(301)、连接管(302)、抽出泵(303)、喷液管(304)、连通管(305)、擦拭棉块(306)、连接柱(307)，所述放置箱(104)的后部一侧安装有所述储液箱(301)，所述储液箱(301)的外部通过法兰连接有所述连接管(302)，所述连接管(302)上安装有所述抽出泵(303)，所述放置箱(104)的上端的前部与后部分别安装有所述喷液管(304),所述喷液管(304)之间通过所述连通管(305)连接,所述连接管(302)的一端通过法兰连接到安装在所述放置箱(104)的上端的后部的所述喷液管(304)，所述放置箱(104)的上端的前部与后部一侧安装有所述擦拭棉块(306)，所述擦拭棉块(306)之间通过所述连接柱(307)连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆加工的刷洗装置，其特征在于：所述连通管(305)的外部安装有把手(308)，所述把手(308)的外表面应做防滑处理。
5.根据权利要求2所述的一种用于晶圆加工的刷洗装置，其特征在于：所述固定机构(4)包括盖板(401)、滑动筒(402)、拉杆(403)、吸盘(404)，所述盖板(401)安装在所述固定板(102)的外部，所述盖板(401)的内部通过轴承连接有所述滑动筒(402)，所述滑动筒(402)的后部安装有所述吸盘(404)，所述滑动筒(402)的内部滑动连接有所述拉杆(403)。
6.根据权利要求2所述的一种用于晶圆加工的刷洗装置，其特征在于：所述加固板(103)共设置有十处，所述固定板(102)的上部为弧形，所述放置箱(104)的内部表面应粘接有棉垫，所述排尘板(106)表面均匀开有出尘孔。
7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆加工的刷洗装置，其特征在于：所述出风方管(202)为中空的方管，所述出风方管(202)的内侧面上开有出风孔。
8.根据权利要求3所述的一种用于晶圆加工的刷洗装置，其特征在于：所述喷液管(304)与所述连通管(305)互相连通，所述喷液管(304)的内侧开有出液孔。
9.根据权利要求5所述的一种用于晶圆加工的刷洗装置，其特征在于：所述吸盘(404)与所述滑动筒(402)的衔接处开有透气孔，所述吸盘(404)为弧形皮垫。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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| CP03 | Change of name, title or address | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 225500 No. 151, Keji Avenue, Sanshui street, Jiangyan District, Taizhou City, Jiangsu Province Patentee after: Jiangsu Yadian Technology Co.,Ltd. Address before: 225500 No.199, Keji Road, Sanshui street, Jiangyan District, Taizhou City, Jiangsu Province Patentee before: Jiangsu Yadian Technology Co.,Ltd. |