CN212976079U

CN212976079U - 一种槽式清洗机

Info

Publication number: CN212976079U
Application number: CN202020899379.5U
Authority: CN
Inventors: 郭炳熙; 刘留; 周铁军; 陈勇; 喻胜举
Original assignee: First Semiconductor Materials Co ltd
Current assignee: First Semiconductor Materials Co ltd
Priority date: 2020-05-25
Filing date: 2020-05-25
Publication date: 2021-04-16
Anticipated expiration: 2030-05-25

Abstract

本实用新型涉及半导体清洁装置技术领域，公开了一种槽式清洗机，包括箱体和安装组件，所述箱体内限定有用于容纳清洁剂的清洁槽，所述安装组件包括安装板、用于安装晶圆的旋转架和旋转驱动装置，所述旋转驱动装置与所述旋转架均安装在所述安装板上，所述旋转架和所述旋转驱动装置的输出端相连，所述安装板可拆卸安装在所述清洁槽的槽口上。采用本实用新型技术方案的槽式清洗机，结构简单，晶圆表面清洗液呈流动状态，对晶圆表面刻蚀均匀性及表面清洁都会得到有效提高，避免了晶圆出现缺陷，提高生产效率和成品率。

Description

一种槽式清洗机

技术领域

本实用新型涉及半导体清洁装置技术领域，特别是涉及一种槽式清洗机。

背景技术

目前，晶圆槽式清洗是以浸泡为主，晶片在槽内不能进行旋转清洗，浸泡清洗时，晶圆表面清洗液不能及时更替造成表面清洗的均匀性差。由于清洗液与晶圆接触点容易出现刻蚀程度不同，由此将会造成清洗后的晶圆表面不够光滑和平整，将会造成晶圆缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是：提供一种槽式清洗机，该槽式清洗机结构简单，晶圆表面清洗液呈流动状态，对晶圆表面刻蚀均匀性及表面清洁都会得到有效提高，避免了晶圆出现缺陷，提高生产效率和成品率。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种槽式清洗机，包括箱体和安装组件，所述箱体内限定有用于容纳清洁剂的清洁槽，所述安装组件包括安装板、用于安装晶圆的旋转架和旋转驱动装置，所述旋转驱动装置与所述旋转架均安装在所述安装板上，所述安装板可拆卸安装在所述清洁槽的槽口上，所述旋转架和所述旋转驱动装置的输出端相连。

优选的，所述安装板的下表面连接有第一连接板和第二连接板，所述旋转架转动安装在所述第一连接板和第二连接板之间。

优选的，还包括第一旋转件、第二旋转件及用于传递运动的传动件，所述第一连接板和所述第二连接板上分别设有第一连接孔和第二连接孔，所述第一旋转件和第二旋转件分别穿设在所述第一连接孔和所述第二连接孔内，所述旋转架的两侧分别与所述第一旋转件和所述第二旋转件相连，所述第二旋转件通过所述传动件与所述旋转驱动装置相连。

优选的，所述传动件包括传动杆，所述旋转驱动装置安装在所述安装板的上表面，所述旋转驱动装置的输出端设有一连接盘，所述连接盘上设有一连接凸起，所述传动杆的一端与所述连接凸起相连，所述传动杆的另一端与所述第二旋转件相连。

优选的，所述旋转架包括第一侧板、第二侧板及设置在所述第一侧板和所述第二侧板之间的锁紧杆，所述第一侧板和所述第二侧板之间设有若干用于安装所述晶圆的安装件。

优选的，所述第一侧板和所述第二侧板上均外伸设有连接轴，所述连接轴的外侧设有第一连接部，所述第一旋转件和所述第二旋转件上分别设有与所述第一连接部相适配的第二连接部。

优选的，所述第一连接部为限定于所述连接轴的外侧的安装凸起，所述第二连接部包括设置在所述第一旋转件和所述第二旋转件上的若干连接柱，若干所述连接柱之间限定有用于安装所述安装凸起的卡紧位。

优选的，所述安装板的下表面还相对设有挂钩组件，所述挂钩组件设置在所述第一连接板和所述第二连接板之间，所述挂钩组件上限定有与所述连接轴相适配的安装位。

优选的，所述第一连接孔和所述第二连接孔内均设有转动轴承，所述转动轴承套设在所述第一旋转件和第二旋转件上。

优选的，所述安装板的上表面还设有提手。

本实用新型实施例一种槽式清洗机，与现有技术相比，其有益效果在于：

本槽式清洗机，通过设置用于安装晶圆的安装组件，安装组件可拆卸安装在容纳有清洁剂的清洁槽的槽口上，由此安装有晶圆的安装组件可以插入清洁剂内进行清洁，便于对晶圆进行清洁和回收，进一步地，晶圆安装在旋转架上，旋转件与旋转驱动装置相连，由此在晶圆的清洁过程中，晶圆可以与清洁剂发生相对运动，避免了传统的槽式清洁机在清理晶圆时，清洁剂与晶圆接触位置相对单一，清洁效果不佳，容易造成晶圆缺陷的问题，同时设置了箱体，在处理和回收强酸强碱方面更方便安全。

附图说明

图1是本实用新型实施例槽式清洗机的结构示意图；

图2是本实用新型实施例安装组件一个角度的结构示意图；

图3是本实用新型实施例安装组件另一个角度的结构示意图；

图4是图3中A处的局部放大图；

图中，1、箱体，2、安装组件，21、安装板，22、第一连接板， 22a、连接柱，23、第一侧板，23a、连接轴，23b、安装凸起，24、第二侧板，25、第二连接板，26、第一挂钩，27、第二挂钩，3、电机， 4、连接盘，5、传动杆，6、第一旋转件，7、第二旋转件，8、锁紧杆， 9、安装件，10、提手。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应当理解的是，本实用新型中采用术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语，这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如，在不脱离本实用新型范围的情况下，“第一”信息也可以被称为“第二”信息，类似的，“第二”信息也可以被称为“第一”信息。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1至图4所示，本实用新型优选实施例的一种槽式清洗机，包括箱体1和安装组件2，箱体1内限定有用于容纳清洁剂的清洁槽，安装组件2包括安装板21、用于安装晶圆的旋转架和旋转驱动装置，旋转驱动装置与旋转架均安装在安装板21上，旋转架和旋转驱动装置的输出端相连，安装板21可拆卸安装在清洁槽的槽口上。

基于以上技术方案，通过设置用于安装晶圆的安装组件2，安装组件2可拆卸安装在容纳有清洁剂的清洁槽的槽口上，由此安装有晶圆的安装组件2可以插入清洁剂内进行清洁，便于对晶圆进行清洁和回收，进一步地，晶圆安装在旋转架上，旋转件与旋转驱动装置相连，由此在晶圆的清洁过程中，晶圆可以与清洁剂发生相对运动，避免了传统的槽式清洁机在清理晶圆时，清洁剂与晶圆接触位置相对单一，容易造成晶圆表面清洁效果不同，造成晶圆缺陷的问题，本实施例的槽式清洗机比传统浸泡式清洗更灵活，可以做到无死角清洗，较喷淋式单片清洗效率更高，同时设置了箱体，在处理和回收强酸强碱方面更方便安全。进一步地，该装置可以与配套设备(如：传送机械手臂)配合，在清洗后使用机械手提起安装组件2，排出箱体1内的清洁剂后，可以将安装组件2安装至清洁槽的槽口上，进行甩干操作，可完成从抛光下片到清洗完成一站式清洗，中间不用更换其他工位，如：甩干机、CASS盒、单片夹及清洗盘等工位，减少运转传递过程对晶圆的损伤，进一步地提高晶圆的品质。

进一步地，安装板21的下表面连接有第一连接板22和第二连接板 25，旋转架转动安装在第一连接板22和第二连接板25之间，由此便于旋转架的安装和拆卸，同时便于将装有晶圆的旋转架完全浸入清洁剂中，便于对晶圆更好的清洗。优选的，第一连接板22和第二连接板25 及安装板21上均设有耐腐蚀涂层，由此避免其受到损坏。

优选的，还包括第一旋转件6、第二旋转件7及用于传递运动的传动件，第一连接板22和第二连接板25上分别设有第一连接孔和第二连接孔，第一旋转件6和第二旋转件7分别穿设在第一连接孔和第二连接孔内，旋转架的两侧分别与第一旋转件6和第二旋转件7相连，第二旋转件7通过传动件与所述旋转驱动装置相连。第一旋转件6和第二旋转件7分别穿设在位于旋转架的左右两侧的第一连接孔和第二连接孔内且与旋转架相连，由此便于旋转架旋转，第二旋转件7的一端与旋转架相连，第二旋转件7的另一端通过传动件与旋转驱动装置相连，由此第二旋转件7将旋转驱动装置的动力传输至旋转架，旋转架通过第一旋转件6和第二旋转件7转动连接在第一连接板22和第二连接板25上的相对设置的第一连接孔和第二连接孔之间，由此降低旋转架旋转时产生的摩擦，便于旋转架旋转。通过设置传动件，可以在传递动力的同时将旋转驱动装置安装在安装板21或箱体1的其他位置，便于减小整个装置的体积。

进一步地，传动件包括传动杆5，使用传动杆5传递运动的过程可以降低对槽内清洁剂液体的波动，对清洁剂的清洁效果影响小，相比其他传动方式，如：链传动、带传动及齿轮传动更适用于晶圆清洗设备。优选的，在传动杆5的表面也设有耐腐蚀涂层。旋转驱动装置安装在安装板21的上表面，旋转驱动装置的输出端设有一连接盘4，连接盘 4上设有一第一连接凸起，传动杆5的一端与第一连接凸起相连，连接凸起位于靠近连接盘4外圆的位置，安装板21上设有供传动杆5穿过的长条孔，传动杆5的另一端与第二旋转件7相连，优选的，第二旋转件7 上设有第二连接凸起，由此便于传动杆5与第二旋转件7相连传递运动。在本实施例中，第一旋转件6和第二旋转件7均为圆盘状，由此使得第一旋转件6和第二旋转件7旋转时运转平稳，降低第一旋转件6和第二旋转件7旋转过程中对清洁剂的扰动，进一步地确保对晶片清洁的效果。

其中，旋转架包括第一侧板23、第二侧板24及设置在第一侧板23、第二侧板24之间的锁紧杆，由此便于锁紧第一侧板23和第二侧板24的位置，确保旋转架在旋转时不会发生松动，第一侧板23和第二侧板24 之间设有若干用于安装晶圆的安装件9，由此便于晶圆的安装和拆卸。在本实施例中，第一侧板23和第二侧板24为圆形，由此使得第一侧板 23和第二侧板24在旋转时运转平稳，降低第一侧板23和第二侧板24旋转过程中对清洁剂的扰动，进一步地确保对晶片清洁的效果。在本实施例中，安装件9的数量为4。由此使得安装件9均布在第一侧板23和第二侧板24的圆周方向上，且留有用于安装锁紧杆8的空间，可选的，安装件9的数量可根据实际情况调整，只需均布在第一侧板23和第二侧板 24的圆周方向上即可。

优选的，第一侧板23和第二侧板24上均外伸设有连接轴23a，连接轴23a的外侧设有第一连接部，第一旋转件6和第二旋转件7上分别设有与第一连接部相适配的第二连接部，由此便于第一侧板23和第二侧板 24分别与第一旋转件6和第二旋转件7相连。

优选的，第一连接部为限定于连接轴的外侧的安装凸起23b，第二连接部包括设置在第一旋转件6和第二旋转件7上的若干连接柱22a，若干连接柱22a之间限定有用于容纳安装凸起23b的卡紧位。由此，通过连接柱22a将安装凸起23b固定，由此第一旋转件6和第一侧板23、第二旋转件7和第二侧板24均连接在一起，便于在旋转时同步运动。在本实施例中，连接柱22a的数量为4，对称布置在安装凸起23b的两侧，由此使得连接柱22a的受力均衡。

在本实施例中，安装板21的下表面还相对设有挂钩组件，挂钩组件设置在第一连接板22和第二连接板25之间，挂钩组件上限定有与连接轴23a相适配的安装位。挂钩组件包括第一挂钩26和第二挂钩27，第一挂钩26和第二挂钩27分别设在第一侧板23和第二侧板24的两侧，第一挂钩26和第二挂钩27的安装位上分别连接有连接轴23a，由此第一挂钩26和第二挂钩27对旋转架起到支撑作用，进一步地便于旋转件旋转，避免旋转架旋转时造成清洁剂的波动。

此外，第一连接孔和第二连接孔内均设有转动轴承，转动轴承套设在连接孔与第一旋转件6和第二旋转件7之间，由此转动轴承对旋转架起到支撑作用，且减小了第一旋转件6和第二旋转件7与第一连接板 22和第二连接板25之间的摩擦，进一步地便于旋转件旋转，避免旋转架旋转时造成清洁剂的波动。在本实施例中，轴承为铁氟龙轴承，由此在确保旋转架正常旋转的同时提高轴承的寿命。

进一步地，安装板21的上表面还设有提手10，由此便于将安装组件2自清洁槽中拿取和放入，便于操作者的操作。

在本实施例中，驱动装置为电机3，由此使得驱动装置易得，且便于驱动装置的安装，优选的，选用可调速电机3，由此便于使用低速运转，避免旋转架高速旋转对清洁剂造成扰动。

可选的，清洁剂可不完全将旋转架浸入，清洁剂可浸入旋转架安装有晶圆的一部分，旋转时仍能满足清洁需求，由此在满足清洁需求的同时避免浪费清洁剂。

本实用新型的工作过程为：在第一侧板23和第二侧板24之间安装已经装载有待清洁晶圆的安装件9，然后将第一侧板23和第二侧板24使用锁紧杆8锁死，将第一侧板23和第二侧板24通过连接轴23a安装在第一挂钩26和第二挂钩27上，利用第一侧板23和第二侧板24上的安装凸起23b，将第一侧板23和第二侧板24分别与第一旋转件6和第二旋转件7 连接在一起，由于第二旋转件7通过第二连接凸起与连接盘4相连，连接盘4与驱动装置的输出轴相连，由此通过提手10将安装组件2放置在放有清洁剂的清洁槽的槽口槽内，由此打开驱动装置，驱动装置带动连接盘4旋转，连接盘4上的连接杆5随着连接盘4运动，第二旋转件7随之运动，带动安装有晶圆的旋转架旋转，由此，达到清洁晶圆的目的。在清洁完成后，提拉提手10即可将安装有晶圆的安装组件2自清洁槽内拉出，即可对清洁剂进行回收和处理，以备下次使用。

综上，本实用新型实施例提供一种槽式清洗机，其槽式清洗机通过设置用于安装晶圆的安装组件2，安装组件2可拆卸安装在容纳有清洁剂的清洁槽的槽口上，由此安装有晶圆的安装组件2可以插入清洁剂内进行清洁，便于对晶圆进行清洁和回收，进一步地，晶圆安装在旋转架上，旋转件与旋转驱动装置相连，由此在晶圆的清洁过程中，晶圆可以与清洁剂发生相对运动，避免了传统的槽式清洁机在清理晶圆时，清洁剂与晶圆接触位置相对单一，容易造成晶圆表面清洁效果不同，造成晶圆缺陷的问题，本实施例的槽式清洗机比传统浸泡式清洗更灵活，可以做到无死角清洗，较喷淋式单片清洗效率更高，同时设置了箱体，在处理和回收强酸强碱方面更方便安全。进一步地，该装置可以与配套设备(如：传送机械手臂)配合，在清洗后使用机械手提起安装组件2，排出箱体1内的清洁剂后，可以将安装组件2安装至清洁槽的槽口上，进行甩干操作，可完成从抛光下片到清洗完成一站式清洗，中间不用更换其他工位，如：甩干机、CASS盒、单片夹及清洗盘等工位，减少运转传递过程对晶圆的损伤，进一步地提高晶圆的品质。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种槽式清洗机，其特征在于，包括箱体和安装组件，所述箱体内限定有用于容纳清洁剂的清洁槽，所述安装组件包括安装板、用于安装晶圆的旋转架和旋转驱动装置，所述旋转驱动装置与所述旋转架均安装在所述安装板上，所述旋转架和所述旋转驱动装置的输出端相连，所述安装板可拆卸安装在所述清洁槽的槽口上。

2.根据权利要求1所述的槽式清洗机，其特征在于，所述安装板的下表面连接有第一连接板和第二连接板，所述旋转架转动安装在所述第一连接板和第二连接板之间。

3.根据权利要求2所述的槽式清洗机，其特征在于，还包括第一旋转件、第二旋转件及用于传递运动的传动件，所述第一连接板和所述第二连接板上分别设有第一连接孔和第二连接孔，所述第一旋转件和第二旋转件分别穿设在所述第一连接孔和所述第二连接孔内，所述旋转架的两侧分别与所述第一旋转件和所述第二旋转件相连，所述第二旋转件通过所述传动件与所述旋转驱动装置相连。

4.根据权利要求3所述的槽式清洗机，其特征在于，所述传动件包括传动杆，所述旋转驱动装置安装在所述安装板的上表面，所述旋转驱动装置的输出端设有一连接盘，所述连接盘上设有一连接凸起，所述传动杆的一端与所述连接凸起相连，所述传动杆的另一端与所述第二旋转件相连。

5.根据权利要求3所述的槽式清洗机，其特征在于，所述旋转架包括第一侧板、第二侧板及设置在所述第一侧板和所述第二侧板之间的锁紧杆，所述第一侧板和所述第二侧板之间设有若干用于安装所述晶圆的安装件。

6.根据权利要求5所述的槽式清洗机，其特征在于，所述第一侧板和所述第二侧板上均外伸设有连接轴，所述连接轴的外侧设有第一连接部，所述第一旋转件和所述第二旋转件上分别设有与所述第一连接部相适配的第二连接部。

7.根据权利要求6所述的槽式清洗机，其特征在于，所述第一连接部为限定于所述连接轴的外侧的安装凸起，所述第二连接部包括设置在所述第一旋转件和所述第二旋转件上的若干连接柱，若干所述连接柱之间限定有用于安装所述安装凸起的卡紧位。

8.根据权利要求6所述的槽式清洗机，其特征在于，所述安装板的下表面还相对设有挂钩组件，所述挂钩组件设置在所述第一连接板和所述第二连接板之间，所述挂钩组件上限定有与所述连接轴相适配的安装位。

9.根据权利要求3所述的槽式清洗机，其特征在于，所述第一连接孔和所述第二连接孔内均设有转动轴承，所述转动轴承套设在所述第一旋转件和第二旋转件上。

10.根据权利要求1所述的槽式清洗机，其特征在于，所述安装板的上表面还设有提手。