CN215902324U - 一种晶圆片腐蚀清洗机构 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 16
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 45
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000003814 drug Substances 0.000 claims abstract description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 70
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 14
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 13
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 11
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 10
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 8
- 241000283984 Rodentia Species 0.000 claims description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 6
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 9
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract description 9
- 238000005507 spraying Methods 0.000 abstract description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 239000000575 pesticide Substances 0.000 description 7
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 7
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 7
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 7
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 2
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000010410 dusting Methods 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本实用新型涉及晶圆片技术领域，具体是一种晶圆片腐蚀清洗机构，包括防护壳体，所述防护壳体的顶端设有混合结构，且混合结构的底端设有导料管，所述混合结构和防护壳体之间通过导料管固定连接，所述防护壳体内部的顶端设有撒药结构，所述防护壳体内部的两侧设有抽气结构，所述防护壳体内部的底端固定连接有固定结构，本实用新型能够通过固定结构便于辅助清洗晶圆片，受腐蚀后的晶圆片较脆弱，在清洗的过程中易损坏，且传统固定晶圆片的方式易损坏晶圆片，因为传统的夹持方式在固定时易用力过猛导致晶圆片损坏，固定结构的工作原理是首先把晶圆片放置在固定底座上，再使用两侧的固定卡板压在晶圆片的两侧。
Description
技术领域
本实用新型涉及芯片保养技术领域，具体是一种晶圆片腐蚀清洗机构。
背景技术
芯片的原料一般是采用金属制作，在使用的过程中受外界的空气氧化，易老化腐蚀，在潮湿的环境使用易受潮导致晶圆片表面锈化，晶圆片的使用寿命缩短，晶圆片表面的锈迹较难去除，锈化的芯片无法使用一般做报废处理。
现有技术中，存在问题如下：
（1）不便于辅助清洗晶圆片，晶圆片在清洗的过程中易损坏，且不方便固定晶圆片，传统的夹持方式固定易用力过猛导致晶圆片损坏。
（2）腐蚀性的清洗剂不便于均匀的喷淋，喷淋不均会导致晶圆片表面受腐蚀不均匀，晶圆片表面完好的部分被腐蚀，有锈迹的部位清除不干净。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆片腐蚀清洗机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
本实用新型的技术方案是：一种晶圆片腐蚀清洗机构，包括防护壳体，所述防护壳体的顶端设有混合结构，且混合结构的底端设有导料管，所述混合结构和防护壳体之间通过导料管固定连接，所述防护壳体内部的顶端设有撒药结构，所述防护壳体内部的两侧设有抽气结构，所述防护壳体内部的底端固定连接有固定结构。
优选的，所述固定结构包括固定底座，所述固定底座底端的两侧固定连接有弹性金属丝，且弹性金属丝和防护壳体之间固定连接，所述固定底座顶端的两侧设有固定卡板，且固定卡板的一侧和防护壳体内部一侧的底端铰接连接，所述固定卡板的底端的中部和防护壳体之间通过弹性金属环固定连接，所述固定卡板的另一侧固定连接有压板。
优选的，所述撒药结构包括伺服电机，所述伺服电机和防护壳体之间固定连接，所述伺服电机的底端固定连接有第一传动齿轮，且第一传动齿轮的两侧设有第二传动齿轮，所述第二传动齿轮关于第一传动齿轮的轴心呈环形分布，所述第二传动齿轮和第一传动齿轮之间通过啮齿传动，所述第一传动齿轮的底端套接有传动齿轮环，所述传动齿轮环的内侧设有和第二传动齿轮相互配合的内啮齿，所述传动齿轮环和第二传动齿轮之间呈啮齿传动。
优选的，所述第一传动齿轮和第二传动齿轮的底端均固定连接有导料块，所述第一传动齿轮的底端设有固定网板，且固定网板的两侧固定连接有固定卡块，所述固定网板和防护壳体之间通过固定卡块固定连接。
优选的，所述混合结构包括旋转电机，所述旋转电机的一侧固定连接有连接杆，且连接杆的内部设有连接滚球，所述连接滚球的两侧固定连接有弹性元件，所述连接滚球和连接杆之间通过弹性元件固定连接，所述连接滚球的顶端和底端固定连接有搅拌扇叶。
优选的，所述抽气结构包括抽气泵，所述抽气泵的一侧固定连接有传动风扇，所述抽气泵的底端设有储气仓，且储气仓和防护壳体之间固定连接。
本实用新型通过改进在此提供一种晶圆片腐蚀清洗机构，与现有技术相比，具有如下改进及优点：
其一：本实用新型通过固定结构便于辅助清洗晶圆片，受腐蚀后的晶圆片较脆弱，在清洗的过程中易损坏，且传统固定晶圆片的方式易损坏晶圆片，因为传统的夹持方式在固定时易用力过猛导致晶圆片损坏，固定结构的工作原理是首先把晶圆片放置在固定底座上，再使用两侧的固定卡板压在晶圆片的两侧，达到固定的作用，且便于上料和卸料，底端的弹性金属丝的作用是是防护，避免使用时用力过猛导致晶圆片损坏；
其二：本实用新型通过固定结构便于辅助清洗晶圆片，受腐蚀后的晶圆片较脆弱，在清洗的过程中易损坏，且传统固定晶圆片的方式易损坏晶圆片，因为传统的夹持方式在固定时易用力过猛导致晶圆片损坏，固定结构的工作原理是首先把晶圆片放置在固定底座上，再使用两侧的固定卡板压在晶圆片的两侧，达到固定的作用，且便于上料和卸料，底端的弹性金属丝的作用是是防护，避免使用时用力过猛导致晶圆片损坏。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步解释:
图1是本实用新型的正视剖面示意图；
图2是本实用新型的撒药结构局部放大结构示意图；
图3是本实用新型的图1中A处局部放大示意图；
图4是本实用新型的固定结构局部放大结构示意图。
附图标记说明：1、混合结构；101、旋转电机；102、连接杆；103、连接滚球；104、弹性元件；105、搅拌扇叶；2、导料管；3、撒药结构；301、伺服电机；302、第一传动齿轮；303、第二传动齿轮；304、传动齿轮环；305、固定网板；306、固定卡块；4、防护壳体；5、固定结构；501、固定卡板；502、固定底座；503、弹性金属丝；6、抽气结构；601、传动风扇；602、储气仓；603、抽气泵。
具体实施方式
下面对本实用新型进行详细说明，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型通过改进在此提供一种晶圆片腐蚀清洗机构，本实用新型的技术方案是：一种晶圆片腐蚀清洗机构，包括防护壳体4，防护壳体4的顶端设有混合结构1；
混合结构1包括旋转电机101，旋转电机101的一侧固定连接有连接杆102，且连接杆102的内部设有连接滚球103，连接滚球103的两侧固定连接有弹性元件104，连接滚球103和连接杆102之间通过弹性元件104固定连接，连接滚球103的顶端和底端固定连接有搅拌扇叶105；
防护壳体4内部的两侧设有抽气结构6，抽气结构6包括抽气泵603，抽气泵603的一侧固定连接有传动风扇601，抽气泵603的底端设有储气仓602，且储气仓602和防护壳体4之间固定连接；
如图1、图3所示，通过，混合结构1的作用是辅助撒药结构3工作，因为清洗剂内部的成分易沉淀分层，导致出料不稳定，混合结构1的工作原理是通过旋转电机101带动连接杆102旋转，连接杆102内部通过连接滚球103连接搅拌扇叶105，带动搅拌扇叶105旋转混合物料，弹性元件104的作用是扩大搅拌扇叶105活动的范围，加强混合效果；抽气结构6的作用是辅助装置工作，便于抽出工作仓内腐蚀锈迹后产生的有害气体，抽气结构6的工作原理是通过抽气泵603带动传动风扇601旋转，通过产生的吸力抽取防护壳体4内的有害气体，储存在储气仓602中，清洗过晶圆片后，再统一处理储气仓602中收集的有害气体；
混合结构1的底端设有导料管2，混合结构1和防护壳体4之间通过导料管2固定连接，防护壳体4内部的顶端设有撒药结构3；
撒药结构3包括伺服电机301，伺服电机301和防护壳体4之间固定连接，伺服电机301的底端固定连接有第一传动齿轮302，且第一传动齿轮302的两侧设有第二传动齿轮303，第二传动齿轮303关于第一传动齿轮302的轴心呈环形分布，第二传动齿轮303和第一传动齿轮302之间通过啮齿传动，第一传动齿轮302的底端套接有传动齿轮环304，传动齿轮环304的内侧设有和第二传动齿轮303相互配合的内啮齿，传动齿轮环304和第二传动齿轮303之间呈啮齿传动，第一传动齿轮302和第二传动齿轮303的底端均固定连接有导料块，第一传动齿轮302的底端设有固定网板305，且固定网板305的两侧固定连接有固定卡块306，固定网板305和防护壳体4之间通过固定卡块306固定连接；
如图1、图2所示，通过，通过撒药结构3便于均匀的喷淋腐蚀性的清洗剂，喷淋不均会导致晶圆片表面受腐蚀不均匀，出现晶圆片表面完好的部分被腐蚀，有锈迹的部位清除不干净的情况，撒药结构3的工作原理是通过启动伺服电机301带动第一传动齿轮302旋转，第一传动齿轮302带动第二传动齿轮303旋转，第一传动齿轮302和第二传动齿轮303的底端均设有导料块便于使得清洗剂均匀的通过固定网板305，传动齿轮环304的作用是增加第二传动齿轮303的稳定性，固定网板305通过固定卡块306固定在导料管2的底端，便于拆卸清理固定网板305；
防护壳体4内部的底端固定连接有固定结构5，固定结构5包括固定底座502，固定底座502底端的两侧固定连接有弹性金属丝503，且弹性金属丝503和防护壳体4之间固定连接，固定底座502顶端的两侧设有固定卡板501，且固定卡板501的一侧和防护壳体4内部一侧的底端铰接连接，固定卡板501的底端的中部和防护壳体4之间通过弹性金属环固定连接，固定卡板501的另一侧固定连接有压板；
如图1、图4所示，通过，通过固定结构5便于辅助清洗晶圆片，受腐蚀后的晶圆片较脆弱，在清洗的过程中易损坏，且传统固定晶圆片的方式易损坏晶圆片，因为传统的夹持方式在固定时易用力过猛导致晶圆片损坏，固定结构5的工作原理是首先把晶圆片放置在固定底座502上，再使用两侧的固定卡板501压在晶圆片的两侧，达到固定的作用，且便于上料和卸料，底端的弹性金属丝503的作用是是防护，避免使用时用力过猛导致晶圆片损坏。
工作原理：首先，通过固定结构5便于辅助清洗晶圆片，因为传统的夹持方式在固定时易用力过猛导致晶圆片损坏，固定结构5的工作原理是首先把晶圆片放置在固定底座502上，再使用两侧的固定卡板501压在晶圆片的两侧，达到固定的作用，且便于上料和卸料，底端的弹性金属丝503的作用是防护，避免使用时用力过猛导致晶圆片损坏；
然后，通过撒药结构3便于均匀的喷淋腐蚀性的清洗剂，撒药结构3的工作原理是通过启动伺服电机301带动第一传动齿轮302旋转，第一传动齿轮302带动第二传动齿轮303旋转，第一传动齿轮302和第二传动齿轮303的底端均设有导料块便于使得清洗剂均匀的通过固定网板305，传动齿轮环304的作用是增加第二传动齿轮303的稳定性，固定网板305通过固定卡块306固定在导料管2的底端，便于拆卸清理固定网板305；
最后，混合结构1的工作原理是通过旋转电机101带动连接杆102旋转，连接杆102内部通过连接滚球103连接搅拌扇叶105，连接杆102带动搅拌扇叶105旋转混合物料，弹性元件104的作用是扩大搅拌扇叶105活动的范围，加强混合效果；抽气结构6的作用是辅助装置工作，抽气结构6的工作原理是通过抽气泵603带动传动风扇601旋转，通过产生的吸力抽取防护壳体4内的有害气体，储存在储气仓602中，清洗过晶圆片后，再统一处理储气仓602中收集的有害气体。
上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (6)
1.一种晶圆片腐蚀清洗机构，包括防护壳体（4），其特征在于：所述防护壳体（4）的顶端设有混合结构（1），且混合结构（1）的底端设有导料管（2），所述混合结构（1）和防护壳体（4）之间通过导料管（2）固定连接，所述防护壳体（4）内部的顶端设有撒药结构（3），所述防护壳体（4）内部的两侧设有抽气结构（6），所述防护壳体（4）内部的底端固定连接有固定结构（5）。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片腐蚀清洗机构，其特征在于：所述固定结构（5）包括固定底座（502），所述固定底座（502）底端的两侧固定连接有弹性金属丝（503），且弹性金属丝（503）和防护壳体（4）之间固定连接，所述固定底座（502）顶端的两侧设有固定卡板（501），且固定卡板（501）的一侧和防护壳体（4）内部一侧的底端铰接连接，所述固定卡板（501）的底端的中部和防护壳体（4）之间通过弹性金属环固定连接，所述固定卡板（501）的另一侧固定连接有压板。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆片腐蚀清洗机构，其特征在于：所述撒药结构（3）包括伺服电机（301），所述伺服电机（301）和防护壳体（4）之间固定连接，所述伺服电机（301）的底端固定连接有第一传动齿轮（302），且第一传动齿轮（302）的两侧设有第二传动齿轮（303），所述第二传动齿轮（303）关于第一传动齿轮（302）的轴心呈环形分布，所述第二传动齿轮（303）和第一传动齿轮（302）之间通过啮齿传动，所述第一传动齿轮（302）的底端套接有传动齿轮环（304），所述传动齿轮环（304）的内侧设有和第二传动齿轮（303）相互配合的内啮齿，所述传动齿轮环（304）和第二传动齿轮（303）之间呈啮齿传动。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆片腐蚀清洗机构，其特征在于：所述第一传动齿轮（302）和第二传动齿轮（303）的底端均固定连接有导料块，所述第一传动齿轮（302）的底端设有固定网板（305），且固定网板（305）的两侧固定连接有固定卡块（306），所述固定网板（305）和防护壳体（4）之间通过固定卡块（306）固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆片腐蚀清洗机构，其特征在于：所述混合结构（1）包括旋转电机（101），所述旋转电机（101）的一侧固定连接有连接杆（102），且连接杆（102）的内部设有连接滚球（103），所述连接滚球（103）的两侧固定连接有弹性元件（104），所述连接滚球（103）和连接杆（102）之间通过弹性元件（104）固定连接，所述连接滚球（103）的顶端和底端固定连接有搅拌扇叶（105）。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆片腐蚀清洗机构，其特征在于：所述抽气结构（6）包括抽气泵（603），所述抽气泵（603）的一侧固定连接有传动风扇（601），所述抽气泵（603）的底端设有储气仓（602），且储气仓（602）和防护壳体（4）之间固定连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121828642.2U CN215902324U (zh) | 2021-08-06 | 2021-08-06 | 一种晶圆片腐蚀清洗机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121828642.2U CN215902324U (zh) | 2021-08-06 | 2021-08-06 | 一种晶圆片腐蚀清洗机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215902324U true CN215902324U (zh) | 2022-02-25 |
Family
ID=80290893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202121828642.2U Active CN215902324U (zh) | 2021-08-06 | 2021-08-06 | 一种晶圆片腐蚀清洗机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215902324U (zh) |
-
2021
- 2021-08-06 CN CN202121828642.2U patent/CN215902324U/zh active Active
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