CN112975846A - 静电吸盘拆解设备 - Google Patents

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CN112975846A
CN112975846A CN202110159995.6A CN202110159995A CN112975846A CN 112975846 A CN112975846 A CN 112975846A CN 202110159995 A CN202110159995 A CN 202110159995A CN 112975846 A CN112975846 A CN 112975846A
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CN
China
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electrostatic chuck
crossbeam
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blade
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Application number
CN202110159995.6A
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English (en)
Inventor
张巍
马俊峰
陈征
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhejiang Xinna Ceramic New Material Co ltd
Original Assignee
Zhejiang Xinna Ceramic New Material Co ltd
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B27/00—Hand tools, specially adapted for fitting together or separating parts or objects whether or not involving some deformation, not otherwise provided for
    • B25B27/14—Hand tools, specially adapted for fitting together or separating parts or objects whether or not involving some deformation, not otherwise provided for for assembling objects other than by press fit or detaching same

Abstract

本发明涉及一种静电吸盘拆解设备，包括支撑框架，所述支撑框架包括水平设置且相互平行的第一横梁和第二横梁，所述第一横梁和第二横梁之间设有可前后移动且相对于第一横梁和第二横梁垂直设置的推板，所述推板的底部设有用于拆解静电吸盘工件且水平设置的拆解刀片，所述推板的下方设有用于放置静电吸盘工件且水平设置的放置台。本发明具有可自动拆解静电吸盘工件且拆解效率高，可避免损害陶瓷盘和铝基等特点。

Description

静电吸盘拆解设备
技术领域
本发明属于一种拆解设备，具体涉及一种静电吸盘拆解设备。
背景技术
因为静电吸盘长期使用后，陶瓷表面会有磨损，粘接层胶水会有腐蚀引起漏气、温度不均匀等问题导致晶圆刻蚀良品率变低，需要定期更换陶瓷盘和粘结胶水。
现有技术中通常人工使用刀片对静电吸盘陶瓷部分进行拆解，由于胶水粘结牢固，使用人力拆解效率低且容易损害陶瓷盘和铝基。
发明内容
本发明目的在于提供一种静电吸盘拆解设备，解决了现有技术存在的人工拆解效率低且容易损害陶瓷盘和铝基等问题。
本发明的上述技术目的主要是通过以下技术方案解决的：一种静电吸盘拆解设备，包括支撑框架，所述支撑框架包括水平设置且相互平行的第一横梁和第二横梁，所述第一横梁和第二横梁之间设有可前后移动且相对于第一横梁和第二横梁垂直设置的推板，所述推板的底部设有用于拆解静电吸盘工件且水平设置的拆解刀片，所述推板的下方设有用于放置静电吸盘工件且水平设置的放置台；上述推板的设置，可以控制拆解刀片朝着静电吸盘工件移动，对静电吸盘工件进行自动拆解，避免了人力在拆解过程中的参与，有效的提高了对静电吸盘工件的拆解效率，同时可以最大程度的降低对静电吸盘工件的损伤。
作为优选，所述第一横梁和第二横梁之间设有与第一横梁和第二横梁分别垂直的第三横梁，所述第三横梁上设有用于驱动推板移动的驱动气缸，所述驱动气缸的输出端与推板上朝向第三横梁的一侧连接；上述驱动气缸的设置，使得拆解刀片的移动通过机械控制，从而可以通过气缸的压力大小改变拆解刀片的出刀力度，从而提高对拆解刀片的控制精度，继而降低产品的损伤。
作为优选，所述第一横梁和第二横梁上分别设有第一直线导轨和第二直线导轨，所述推板的两端分别与第一直线导轨的输出端和第二直线导轨的输出端连接；上述第一直线导轨和第二直线导轨的设置，可以对推板的移动进行辅助支撑，提高推板移动时的平稳性，且加强拆解刀片移动时的稳定性，使得拆解刀片的拆解更加的平稳可靠。
作为优选，所述推板上朝向第三横梁的一侧的两端均设有与拆解刀片连接的调节柱，所述调节柱上设有竖向设置的条形槽，所述调节柱上的条形槽通过螺栓与推板连接；上述调节柱和条形槽的设置，以便于通过螺栓对拆解刀片的高度进行调整，以适应不同的待拆解工件，保证工件拆解的稳定性。
作为优选，所述放置台通过多个螺栓与静电吸盘工件连接；上述对静电吸盘工件通过螺栓固定，避免在对静电吸盘工件拆解时，静电吸盘工件发生松动，保证拆解过程中的稳定。
因此，本发明具有可自动拆解静电吸盘工件且拆解效率高，可避免损害陶瓷盘和铝基等特点。
附图说明
图1是本发明的立体结构图；
图2是图1另一视角的立体结构图。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图，对本发明的技术方案作进一步具体的说明。
如图1-2所示，一种静电吸盘拆解设备，包括支撑框架1，支撑框架1包括水平设置且相互平行的第一横梁11和第二横梁12，第一横梁11和第二横梁12之间设有可前后移动且相对于第一横梁11和第二横梁12垂直设置的推板13，推板13的底部设有用于拆解静电吸盘工件且水平设置的拆解刀片131，推板13的下方设有用于放置静电吸盘工件且水平设置的放置台2，上述推板的设置，可以控制拆解刀片朝着静电吸盘工件移动，对静电吸盘工件进行自动拆解，避免了人力在拆解过程中的参与，有效的提高了对静电吸盘工件的拆解效率，同时可以最大程度的降低对静电吸盘工件的损伤。
放置台2通过多个螺栓与静电吸盘工件连接，上述对静电吸盘工件通过螺栓固定，避免在对静电吸盘工件拆解时，静电吸盘工件发生松动，保证拆解过程中的稳定。
第一横梁11和第二横梁12之间设有与第一横梁11和第二横梁12分别垂直的第三横梁14，第三横梁14上设有用于驱动推板13移动的驱动气缸15，驱动气缸15的输出端与推板13上朝向第三横梁14的一侧连接，上述驱动气缸的设置，使得拆解刀片的移动通过机械控制，从而可以通过气缸的压力大小改变拆解刀片的出刀力度，从而提高对拆解刀片的控制精度，继而降低产品的损伤；第一横梁11和第二横梁12上分别设有第一直线导轨16和第二直线导轨17，推板13的两端分别与第一直线导轨16的输出端和第二直线导轨17的输出端连接，上述第一直线导轨和第二直线导轨的设置，可以对推板的移动进行辅助支撑，提高推板移动时的平稳性，且加强拆解刀片移动时的稳定性，使得拆解刀片的拆解更加的平稳可靠。
在对静电吸盘工件拆解之前，先通过螺栓将经典吸盘工件固定在放置台上，然后启动驱动气缸，驱动气缸控制推板朝着静电吸盘工件移动，推板在第一直线导轨和第二直线导轨的辅助下，朝着静电吸盘工件移动，推板带动拆解刀片朝着静电吸盘工件移动并进行拆解。
推板13上朝向第三横梁14的一侧的两端均设有与拆解刀片131连接的调节柱141，调节柱141上设有竖向设置的条形槽142，调节柱141上的条形槽142通过螺栓与推板13连接，上述调节柱和条形槽的设置，以便于通过螺栓对拆解刀片的高度进行调整，以适应不同的待拆解工件，保证工件拆解的稳定性；需要调整拆解刀片的高度时，转动螺栓，移动调节柱，将拆解刀片移动至指定高度后，拧紧螺栓，从而完成对拆解刀片的调整。

Claims (5)

1.一种静电吸盘拆解设备，包括支撑框架(1)，其特征在于：所述支撑框架(1)包括水平设置且相互平行的第一横梁(11)和第二横梁(12)，所述第一横梁(11)和第二横梁(12)之间设有可前后移动且相对于第一横梁(11)和第二横梁(12)垂直设置的推板(13)，所述推板(13)的底部设有用于拆解静电吸盘工件且水平设置的拆解刀片(131)，所述推板(13)的下方设有用于放置静电吸盘工件且水平设置的放置台(2)。
2.根据权利要求1所述的静电吸盘拆解设备，其特征在于：所述第一横梁(11)和第二横梁(12)之间设有与第一横梁(11)和第二横梁(12)分别垂直的第三横梁(14)，所述第三横梁(14)上设有用于驱动推板(13)移动的驱动气缸(15)，所述驱动气缸(15)的输出端与推板(13)上朝向第三横梁(14)的一侧连接。
3.根据权利要求1所述的静电吸盘拆解设备，其特征在于：所述第一横梁(11)和第二横梁(12)上分别设有第一直线导轨(16)和第二直线导轨(17)，所述推板(13)的两端分别与第一直线导轨(16)的输出端和第二直线导轨(17)的输出端连接。
4.根据权利要求2所述的静电吸盘拆解设备，其特征在于：所述推板(13)上朝向第三横梁(14)的一侧的两端均设有与拆解刀片(131)连接的调节柱(141)，所述调节柱(141)上设有竖向设置的条形槽(142)，所述调节柱(141)上的条形槽(142)通过螺栓与推板(13)连接。
5.根据权利要求1所述的静电吸盘拆解设备，其特征在于：所述放置台(2)通过多个螺栓与静电吸盘工件连接。
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