CN112864063A - 用于硅片插片的传送装置、片篮、插片机构及插片方法 - Google Patents

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Abstract

本发明揭露了一种用于硅片插片的传送装置、片篮、插片机构及插片方法，所述插片机构包括所述传送装置、片篮，片篮位于传送装置一侧，片篮内设置对应的容置空间供传送装置的一端伸缩式插入，从而传送装置可以将硅片直接送入片篮，如此，即可避免卡片的情况发生，提高硅片质量以及加工产能。

Description

用于硅片插片的传送装置、片篮、插片机构及插片方法
技术领域
本发明涉硅片加工设备领域，尤其涉及用于硅片插片的传送装置、片篮、插片机构及插片方法。
背景技术
硅片加工过程中，包括脱胶、插片、清洗，硅片脱胶后装入弹夹；插片机中设置有传送装置，弹夹装入插片机中并置于该传送装置一侧，传送装置的另一侧间隔放置有片篮，且片篮与传送装置之间有一定间距；弹夹中的硅片通过水压分片而一片片移动到传送皮带上，然后随着传送皮带的传送，硅片朝向片篮的方向移动，当硅片移动到一定位置时，随着皮带运转带来的速度，再加上皮带的摩擦力，该硅片脱离传送皮带而冲入隔着一段距离的片篮内，即插入片篮对应位置的插槽内，然后片篮上升一定距离，以使得片篮下一插槽对着传输装置，以方便下一硅片插入，如此循环，直至该一片篮的插槽全部插上硅片，然后将该片篮移开，再装上一新的空片篮，而装满硅片的片篮则送入下一清洗工序。
目前大尺寸硅片或超大尺寸硅片加工已成为光伏后续发展趋势，但硅片尺寸变大以后在上述产线加工中，硅片插入片篮困难度增加，因为硅片在插片过程中，其上附着有水，而硅片又很薄，所以因为重量，硅片中间会有一定往下的变形，从而这样的硅片不容易完全与片篮的插槽对准，从而在冲入片篮的时候，会产生卡片，而卡片会导致硅片破损，从而影响硅片质量及加工产能。
发明内容
本发明的目的在于提供一种插片机的传送装置、片篮以及插片机构，其可避免插片时卡片的情况发生，从而不但能保证硅片质量，还提高了产能。
为实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：
一种用于硅片插片的传送装置，所述传送装置用于带动硅片朝一侧的片篮移动，所述传送装置朝向片篮的一端可相对传送装置远离所述片篮的一端移动。
所述传送装置包括支架、传送皮带、供所述传送皮带绕接的传动轮组，所述传动轮组包括转动连接于所述支架的第一传动轮、第二传动轮、第三传动轮、第四传动轮、第五传动轮，所述第一传动轮与第二传动轮还可相对所述支架同步往朝向所述片篮或远离片篮的方向移动；所述第一传动轮转动连接于所述支架朝向片篮的一端，所述第二传动轮位于第一传动轮背离所述片篮的一侧，所述第四传动轮、第五传动轮位于所述第二传动轮背向第一传动轮的一侧，所述第四传动轮位于第五传动轮上侧；所述传送皮带依次绕接于所述第一传动轮、第二传动轮、第三传动轮、第五传动轮、第四传动轮、第一传动轮，且所述传送皮带绕接于所述第一传动轮、第二传动轮、第三传动轮、第五传动轮的部分呈Z字形。
所述传送装置还包括可相对移动地连接于所述支架的移动支撑架，所述第一传动轮转动连接于所述移动支撑架朝向片篮的一端，所述第二传动轮转动连接于所述移动支撑架远离所述片篮的一端，所述第一传动轮与第四传动轮的上端面高于所述移动支撑架的上端面。
所述移动支撑架包括一上下延伸的支撑部以及一水平延伸的连接部，所述连接部远离片篮的一端与所述支撑部连接，所述支撑部可相对移动地连接于支架；所述第一传动轮转动连接于所述连接部朝向片篮的一端，所述第二传动轮转动连接于所述连接部远离片篮的一端或支撑部。
所述传送装置还包括支撑轮，所述支撑轮转动连接于所述支架并支撑于所述连接部下方。
所述传送装置包括两间隔设置的所述传送皮带以及两间隔设置的所述传动轮组，两传送皮带分别绕接于两传动轮组上，两所述传动轮组的第一传动轮分别转动连接于所述移动支撑架朝向片篮的一端两侧，两传动轮组的第二传动轮分别转动连接于所述动支撑架远离片篮的一端两侧。
所述支架包括底连接架，所述支撑部下端与所述底连接架相对移动连接；所述底连接架上还固定连接有轮座，所述第三传动轮转动连接于所述轮座上，所述轮座设置于所述片篮与支撑部之间。
一种用于硅片插片的片篮，其与上述传送装置配合使用，所述片篮朝向所述传送装置的一侧开口，所述片篮两侧壁的内壁分别往相对方向延伸有多片上下间隔的分隔板，上下相邻两分隔板之间形成一分隔槽，两侧壁的分隔槽一一对应设置，且两侧壁的分隔槽之间形成有容置空间，所述容置空间的宽度不小于所述传送装置朝向片篮的一端的宽度，所述传送装置朝向片篮的一端的宽度也小于硅片的宽度；每一侧壁最下层的分隔板与片篮底壁之间的上下距离不小于所述传送装置朝向片篮一端的上下高度。
一种用于插片机的插片机构，所述插片机包括一机架，所述插片装置包括连接于所述机架的传送装置以及设置于所述传送装置一侧的片篮，所述片篮可拆连接于机架并可相对机架上下移动，所述传送装置朝向片篮的一端可在伸入片篮内以及退出片篮外之间移动；所述片篮为上述片篮，所述传送装置为上述传送装置，所述机架与传送装置的支架连接，或，所述机架包括所述支架。
所述插片机构还包括连接于所述机架的导正装置，所述导正装置包括两平行设置并可相对机架移动的导正板、用于推动两所述导正板相对靠近或远离的驱动装置，两所述导正板分别设置于传送装置靠近片篮一端的两侧。
一种硅片插片的方法，插片时，传送装置朝向片篮的一端伸入片篮的容置空间内，待插片的硅片移动至传送装置上，传送装置将所述硅片送入片篮的对应位置的插槽内。
一硅片被所述传送装置送入片篮对应位置的一插槽后，所述传送装置保持该伸入状态不变，所述片篮往上移动设定距离，以使得下一插槽对准传送装置上下一硅片，直至片篮最下端的插槽插入硅片，此时，所述传送装置朝向片篮的一端往远离片篮的一端移动而退出片篮外。
在硅片进入片篮之前，其被导正而处于与片篮对应插槽相对准的平直位置。
本发明的有益效果为：
1、在插片时，传送装置朝向片篮的一端直接伸入片篮内，从而传送皮带能将硅片直接平稳地送入片篮插槽内，如此，避免了硅片卡片的现象发生，也就避免了因卡片导致的硅片破损，从而提高了硅片质量以及加工产能；
2、在传送装置靠近片篮的一端两侧设置导向板，可以将待插片硅片导正，保证硅片与片篮插槽完全对准，避免硅片因在传送过程有歪斜而与插槽错位进而导致卡片，如此，可进一步提高硅片质量以及加工产能。
附图说明
图1为本发明插片机构的示意图；
图2为本发明插片机构的俯视示意图；
图3为本发明插片机构的移动支撑架与支架连接的示意图；
图4为本发明插片机构片篮的示意图；
图5为发明插片机构的传送装置一端伸入片篮内的示意图。
具体实施方法
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明技术方案，下面结合附图对本发明作进一步的详细说明。
如图1所示，本发明公开了一种用于硅片插片的传送装置1，所述传送装置1用于带动硅片朝一侧的片篮2移动，所述传送装置1朝向片篮2的一端可相对传送装置1远离所述片篮2的一端移动。
所述传送装置1包括支架11、传送皮带12、供所述传送皮带12绕接的传动轮组，所述传动轮组包括转动连接于所述支架11的第一传动轮13、第二传动轮14、第三传动轮15、第四传动轮16、第五传动轮17，所述第一传动轮13与第二传动轮14还可相对所述支架11同步往朝向片篮2或远离片篮2的方向移动，即是说，所述第一传动轮13与第二传动轮14可同步往朝向片篮2的一侧移动，或同步朝远离片篮2的一侧移动；所述第一传动轮13转动连接于所述支架11朝向片篮2的一端，所述第二传动轮14位于第一传动轮13背离所述片篮2的一侧，所述第四传动轮16、第五传动轮17位于所述第二传动轮14背向第一传动轮13的一侧，所述第四传动轮16位于第五传动轮17上侧；所述传送皮带12依次绕接于所述第一传动轮13、第二传动轮14、第三传动轮15、第五传动轮17、第四传动轮16、第一传动轮13，且所述传送皮带12绕接于所述第一传动轮13、第二传动轮14、第三传动轮15、第五传动轮17的部分呈Z字形。
所述传送装置1还包括可相对移动地连接于所述支架11的移动支撑架18，所述第一传动轮13转动连接于所述移动支撑架18朝向片篮2的一端，所述第二传动轮14转动连接于所述移动支撑架18远离所述片篮2的一端，如此，即实现了第一、第二传动轮13、14转动连接于之间并可相对同步移动的目的。所述第一传动轮13与第五传动轮17的上端面高于所述移动支撑架18的上端面，从而移动支撑架18不会与传送皮带12发生摩擦。
一电机5的输出轴与上述传动轮组任意一传动轮连接，从而电机工作时，所述传送皮带12运转而进行硅片的传送。
一第一气缸3一端固定连接于所述支架11，所述第一气缸3的活塞杆与所述移动支撑架18连接，通过第一气缸3的驱动，所述移动支撑架18可往朝向片篮2的一侧移动或者往远离片篮2的一侧移动。因为所述传送皮带12绕接于所述第二传动轮14、第三传动轮15、第一传动轮13、第四传动轮16的部分呈Z字形，从而不管移动支撑架18如何移动，所述传送皮带12一直处于张紧状态，不会影响硅片的传送。
优选地，所述第四传动轮16的下端面要低于所述第三传动轮15的下端面，从而绕接于所述第三传动轮15与第四传动轮16之前的传送皮带12呈倾斜状，如此，在移动支撑架18移动时，各传动轮能更好地张紧传送皮带12。
在本实施例中，所述第一气缸3可设置于所述移动支撑架18朝向片篮2的一侧，从而活塞杆伸出时，所述移动支架11往远离片篮2的一侧移动，当活塞杆往回缩时，所述移动支架11朝朝向片篮2的一侧移动。在其他实施例中，所述第一气缸3设置于所述移动支撑架18背离片篮2的一侧，从而活塞杆伸出时，所述移动支架11往朝向片篮2的一侧移动，当活塞杆往回缩时，所述移动支架11朝远离片篮2的一侧移动。
优选地，所述移动支撑架18包括一上下延伸的支撑部181以及一水平延伸的连接部182，所述连接部182远离片篮2的一端与所述支撑部181连接，所述支撑部181可相对移动地连接于支架11；所述第一传动轮13转动连接于所述连接部182朝向片篮2的一端，所述第二传动轮14转动连接于所述连接部182远离片篮2的一端或支撑部181。所述第一传动轮13与第五传动轮17的上端面高于所述连接部182的上端面。
在本实施例中，所述支架11包括底连接架111，所述支撑部181下端与所述底连接架111相对移动连接，且所述支撑部181与底连接架111之间设置有对应的导轨与滑块183。即是说，所述支撑部181下端与所述底连接架111可通过所述导轨与滑块直接连接，也可通过其他公知可行的方式移动连接。所述导轨与滑块也可以为任意公知可行的结构。
一气缸固定座31下端固定连接于所述底连接架111，所述气缸固定连接于所述气缸固定座31上。
所述底连接架111上还固定连接有轮座112，所述第三传动轮15转动连接于所述轮座112上，所述轮座112设置于所述片篮2与支撑部181之间。
在本实施例中，所述传送装置1还包括支撑轮19，所述支撑轮19转动连接于所述支架11并支撑于所述连接部182下方，从而在移动支撑架18移动时，所述支撑轮19转动地支撑于连接部182下方，如此，使得所述移动支撑架18的移动更顺畅。
所述底连接架111上固定连接有支撑座113，所述支撑轮19转动连接于所述支撑座113上。
在本实施例中，所述传送装置1包括两间隔设置的所述传送皮带12以及两间隔设置的所述传动轮组，两传送皮带12分别绕接于两传动轮组上，两所述传动轮组的第一传动轮13分别转动连接于所述移动支撑架18朝向片篮2的一端两侧，两传动轮组的第二传动轮14分别转动连接于所述动支撑架远离片篮2的一端两侧。
任意对应的两传动轮之间设置传动轴，从而通过上述一电机还是可以驱动两传动轮组。
所述支撑轮19设置为一个，并位于所述连接部182中部，即位于所述连接部182宽度方向上的中部，从而支撑部181在移动时，受力均衡，不会朝向一侧倾斜，从而可避免传送皮带12上的硅片与传送皮带12一起倾斜而与片篮2插槽之间有明显角度。在其他实施例中，所述支撑轮19也可以间隔设置有两个。
所述支架11可为任意可行的结构，只要其满足所述传送装置1连接的需求，本领域技术人员可根据本发明公开的技术方案以及常规技术设计出合适的支架11结构，且所述支架11不是本发明的重点，故不在此赘述。
所述第四传动轮16以及第五传动轮17可通过任意公知可行的方式转动连接于所述支架11上。比如也设置下端固定连接于底连接架111的其他轮座，第四、第五轮座112转动连接于该些轮座上。
所述第三传动轮15与支撑轮19也可通过其他公知可行的方式转动连接于支架11上。
在本实施例中，如图4所示，本发明还公开了一种用于硅片插片的片篮2，其与上述传送装置1配合使用，所述片篮2朝向传送装置1的一侧开口，片篮2两侧壁的内壁分别往相对方向延伸有多片上下间隔的分隔板21，上下相邻两分隔板21之间形成一分隔槽22，两侧壁的分隔槽22一一对应设置，且两侧壁的分隔槽22之间形成有容置空间23，所述容置空间23的宽度不小于所述传送装置1朝向片篮2的一端的宽度，所述传送装置1朝向片篮2的一端的宽度也小于硅片的宽度；
两侧壁上对应的分隔槽22与容置空间23位于该两分隔槽22之间的对应部分一起形成为一供硅片插入的插槽；一硅片插入一插槽，即是说，一硅片的两侧分别置于两侧对应的一分隔槽22内，硅片的中间位于该两分隔槽22之间的容置空间23内。
每一侧壁最下层的分隔板21与片篮底壁24之间的上下距离不小于所述传送装置1朝向片篮2一端的上下高度。
片篮2如此设置，使得所述传送装置1朝
向片篮2的一端可插入片篮2的容置空间23内，且在该片篮2装满硅片之前，片篮2往上下移动时，所述传送装置1可以保持该伸入片篮2内的位置不动，也就是说无需第一气缸3频驱动移动支撑架18移动，从而节省能耗，即是降低了生产成本。
本发明公开了一种用于插片机的插片机构，所述插片机包括一机架(图未示)，所述插片装置包括连接于所述机架的传送装置1以及设置于所述传送装置1一侧的片篮2，所述片篮2可拆连接于机架并可相对机架上下移动，所述传送装置1朝向片篮2的一端可在伸入片篮2内以及退出片篮2外之间移动；所述片篮2即为上述片篮2，传送装置1即为上述传送装置1，所述机架与传送装置1的支架11连接，或所述机架包括所述支架11，即所述支架11可单独设置的组件，其与支架11连接，或者所述支架11本身就为插片机机架的一部分。
优选地，绕接于所述第一传动轮13与第四传动轮16之间的传送皮带12的延伸方向与片篮2插槽的延伸方向一致。以图1方向为例说明，如果片篮2的插槽呈左右水平延伸，则绕接于所述第一传动轮13与第四传动轮16之间的传送皮带12也左右水平延伸，即是说，所述第一传动轮13与第二传动轮14的上端面在水平方向上平齐；如果片篮2的插槽在左右方向上具有一定倾斜度，则对应的，所述绕接于所述第一传送轮与第五传送轮之间的传送皮带12也呈上述倾斜度设置，即是说，所述第一传动轮13与第二传动轮14的上端面不在同一水平面上。
优选地，在本实施例中，所述插片机构还包括一连接于所述机架的导正装置(如图2所示)，所述导正装置包括两平行设置并可相对机架移动的导正板41、用于推动两所述导正板41相对靠近或远离的驱动装置，两所述导正板41分别设置于传送装置1靠近片篮2一端的两侧。
所述驱动装置包括两第二气缸42，所述两第二气缸42的活塞杆分别连接于两导正板41。
本发明还公开了一种硅片插片方法，插片时，传送装置朝向片篮的一端伸入片篮的容置空间内，待插片的硅片移动至传送装置上，传送装置将所述硅片送入片篮的对应位置的插槽内。
优选地，一硅片被所述传送装置送入片篮对应位置的一插槽后，所述传送装置保持该伸入状态不变，所述片篮往上移动设定距离，以使得下一插槽对准传送装置上下一硅片，直至片篮最下端的插槽插入硅片，此时，所述传送装置朝向片篮的一端往远离片篮的一端移动而退出片篮外。
优选地，在所述硅片进入片篮之前，其被导正而处于与片篮2对应插槽相对准的平直位置。
具体的说，本实施例插片机构的工作原理为：
初始状态下，装有硅片的弹夹(图未示)置于传送装置1远离所述片篮2的一侧，即弹夹与片篮2分别置于所述传送装置1两侧；在电机的驱动下，所述传送皮带12运转；在第一气缸3的驱动下，所述移动支架11往朝向片篮2的一侧移动，直至移动支架11朝向片篮2的一端伸入片篮2的容置空间23内，从而传送皮带12该端也伸入片篮2的容置空间23内(如图5所示)；通过水压分片，弹夹内的硅片A逐片移动到传送装置1上，即移动到传送皮带12位于第一传动轮13与第四传动轮16之间的部分上，两传送皮带12分别支撑于硅片的两侧下端，且硅片的两端分别位于传送装置1的两端外，随着传送皮带12的传送，硅片逐片往朝向片篮2的一侧移动，片篮2的其中一插槽对着传送皮带12上的硅片；
当硅片靠近片篮2时，两侧的导向板在第二气缸42的驱动下相互靠近而推动硅片，从而硅片被导正而处于与片篮2对应插槽相对准的平直位置，如此，可避免硅片因在传送过程有歪斜而与插槽错位进而导致卡片；导正后，导向板再在第二气缸42的作用下相互远离；
被导正的硅片随着传送皮带12的运动而进入片篮2的插槽内，即硅片伸出于传送装置1的两端外的部分分别插入对应的分隔槽22内。因为传送装置1朝向片篮2的一端此时位于片篮2内，所以硅片被传送皮带12直接平稳地送入片篮2的插槽内，而不是如传统技术中硅片自身隔着一段距离冲入插槽内，如此，避免了卡片的情况发生，从而避免了因为卡片而导致的硅片破损，提高了硅片质量以及加工产能；
当被导正的硅片完全置于对应的插槽内之后，传送装置1保持该伸入位置不动，片篮2往上移动设定距离，使得片篮2下一插槽对着传送皮带12上的下一硅片，当传送皮带12上的下一硅片靠近片篮2时，两导向板将其导正，被导正的硅片被传送皮带12送入对应的插槽内，如此循环动作，直至该片篮2所有插槽均插有硅片，此时，在第一气缸3的驱动下，所述移动支架11往远离片篮2的一侧移动，传送装置1朝向片篮2的一端退出片篮2外；
装满硅片的片篮2被取下，换上新的片篮2，第一气缸3再度动作，传送装置1朝向片篮2的一端再度伸入片篮2内，而装满硅片的片篮2进入下一步的清洗工序。
传送装置1如此设置，相当于形成伸缩式传送装置1，而片篮2内设置对应的容置空间23供传送装置1一端伸缩式插入，从而传送装置1可以将硅片直接送入片篮2，如此，即可避免卡片的情况发生；再加上导正机构的设置，进一步防止硅片卡片的情况发生，从而提高了硅片质量以及加工产能。
以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的技术方案及其核心思想，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。

Claims (10)

1.一种用于硅片插片的传送装置，所述传送装置用于带动硅片朝一侧的片篮移动，其特征在于：所述传送装置朝向片篮的一端可相对传送装置远离所述片篮的一端移动。
2.根据权利要求1所述的用于硅片插片的传送装置，其特征在于：所述传送装置包括支架、传送皮带、供所述传送皮带绕接的传动轮组，所述传动轮组包括转动连接于所述支架的第一传动轮、第二传动轮、第三传动轮、第四传动轮、第五传动轮，所述第一传动轮与第二传动轮还可相对所述支架同步往朝向所述片篮或远离片篮的方向移动；所述第一传动轮转动连接于所述支架朝向片篮的一端，所述第二传动轮位于第一传动轮背离所述片篮的一侧，所述第四传动轮、第五传动轮位于所述第二传动轮背向第一传动轮的一侧，所述第四传动轮位于第五传动轮上侧；所述传送皮带依次绕接于所述第一传动轮、第二传动轮、第三传动轮、第五传动轮、第四传动轮、第一传动轮，且所述传送皮带绕接于所述第一传动轮、第二传动轮、第三传动轮、第五传动轮的部分呈Z字形。
3.根据权利要求2所述的用于插片机的插片机构，其特征在于：所述传送装置还包括可相对移动地连接于所述支架的移动支撑架，所述第一传动轮转动连接于所述移动支撑架朝向片篮的一端，所述第二传动轮转动连接于所述移动支撑架远离所述片篮的一端，所述第一传动轮与第四传动轮的上端面高于所述移动支撑架的上端面。
4.根据权利要求3所述的用于插片机的插片机构，其特征在于：所述移动支撑架包括一上下延伸的支撑部以及一水平延伸的连接部，所述连接部远离片篮的一端与所述支撑部连接，所述支撑部可相对移动地连接于支架；所述第一传动轮转动连接于所述连接部朝向片篮的一端，所述第二传动轮转动连接于所述连接部远离片篮的一端或支撑部。
5.根据权利要求4所述的用于插片机的插片机构，其特征在于：所述传送装置还包括支撑轮，所述支撑轮转动连接于所述支架并支撑于所述连接部下方。
6.根据权利要求3至5任一项所述的用于插片机的插片机构，其特征在于：所述传送装置包括两间隔设置的所述传送皮带以及两间隔设置的所述传动轮组，两传送皮带分别绕接于两传动轮组上，两所述传动轮组的第一传动轮分别转动连接于所述移动支撑架朝向片篮的一端两侧，两传动轮组的第二传动轮分别转动连接于所述动支撑架远离片篮的一端两侧。
7.一种用于硅片插片的片篮，其与权利要求1至6任一项所述的传送装置配合使用，其特征在于：所述片篮朝向所述传送装置的一侧开口，所述片篮两侧壁的内壁分别往相对方向延伸有多片上下间隔的分隔板，上下相邻两分隔板之间形成一分隔槽，两侧壁的分隔槽一一对应设置，且两侧壁的分隔槽之间形成有容置空间，所述容置空间的宽度不小于所述传送装置朝向片篮的一端的宽度，所述传送装置朝向片篮的一端的宽度也小于硅片的宽度；两侧壁上对应的分隔槽与容置空间位于该两分隔槽之间的对应部分一起形成为一供硅片插入的插槽；每一侧壁最下层的分隔板与片篮底壁之间的上下距离不小于所述传送装置朝向片篮一端的上下高度。
8.一种用于硅片插片的插片机构，其用于插片机上，所述插片机包括一机架，所述插片装置包括连接于所述机架的传送装置以及设置于所述传送装置一侧的片篮，所述片篮可拆连接于机架并可相对机架上下移动，其特征在于：所述传送装置朝向片篮的一端可在伸入片篮内以及退出片篮外之间移动；所述片篮设置为权利要求7所述的片篮，所述传送装置设置为权利要求1至6中任一项所述的传送装置，所述机架与传送装置的支架连接，或，所述机架包括所述支架。
9.根据权利要求8所述的插片机构，其特征在于：还包括连接于所述机架的导正装置，所述导正装置包括两平行设置并可相对机架移动的导正板、用于推动两所述导正板相对靠近或远离的驱动装置，两所述导正板分别设置于传送装置靠近片篮一端的两侧。
10.一种采用权利要求8或9所述的插片机构进行硅片插片的方法，其特征在于：插片时，传送装置朝向片篮的一端伸入片篮的容置空间内，待插片的硅片移动至传送装置上，传送装置将所述硅片送入片篮的对应位置的插槽内；优选地，一硅片被所述传送装置送入片篮对应位置的一插槽后，所述传送装置保持该伸入状态不变，所述片篮往上移动设定距离，以使得下一插槽对准传送装置上下一硅片，直至片篮最下端的插槽插入硅片，此时，所述传送装置朝向片篮的一端往远离片篮的一端移动而退出片篮外；优选地，在硅片进入片篮之前，其被导正而处于与片篮对应插槽相对准的平直位置。
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