CN112850657A - 一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统。该系统包括依次连接的除尘器、洗涤塔、除雾器、烟酸吸收塔、烟酸蒸发罐和冷凝罐，洗涤塔和烟酸吸收塔还均依次连接有循环槽和烟酸冷却器，除尘器底部、除雾器底部和循环槽内均设置有98%硫酸溶液；冷凝罐罐体上部设置有进水结构，包括设置在冷凝罐罐体上部的第一管板，设置在罐体内侧的冷却水布水管，冷却水布水管上部连接冷却水进水管，冷却水布水管的内侧设置有分水环板，分水环板上部开设有缺口、下部设置在第一管板上，第一管板中垂直设置有换热管，换热管的顶部伸出第一管板且均匀开设有多个缺口。利用该系统可以得到高纯度的三氧化硫，三氧化硫冷凝时，热换管内没有压力，提高了安全性。

Description

一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统

技术领域

本发明涉及电子级硫酸生产技术领域，具体涉及一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统。

背景技术

电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是电子材料及精细化工结合的高新技术产品，广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程中硅晶片的清洗和蚀刻，可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。随着集成电路（IC)向大规模和超大规模、极大规模的发展，芯片集成度越来越高，晶圆表面的光刻线条越来越细，对电子级硫酸的品质要求越来越严格。

电子级硫酸的制备工艺主要有采用工业硫酸精馏法或工业SO₃液体作原料进行蒸发吸收。

工业硫酸精馏法是工业硫酸利用回流使液体混合物达到高纯度分离的蒸馏方法，分常压精馏和减压精馏。具体的，工业硫酸首先进行预处理，添加强氧化剂（如高锰酸钾）使硫酸中还原性杂质氧化成硫酸或二氧化碳，再将处理后的硫酸加入石英精馏塔内进行精馏，常压精馏温度一般达330℃，减压精馏温度一般在170～190℃，压力1.3～2.5Kpa，精馏出的硫酸收集到储罐，进行微孔滤膜过滤，除去微细固体杂质得到产品。

工业SO₃液体蒸发吸收法是采用工业SO₃液体，经过蒸发进入吸收塔内，利用高纯硫酸吸收的一种方法。

精馏法能耗大、产量小、生产成本高并且因高温蒸馏硫酸所用设备问题造成了用此法生产的硫酸很难达到真正符合集成电路要求的电子级硫酸标准。

工业SO₃液体蒸馏气体吸收法，原料SO₃液体成本高，因SO₃液体不易储存及运输，以及SO₃液体纯度差异，杂质分离困难，导致电子级硫酸品质难以提升。

为降低成本，可依托有色冶炼制酸系统，有色金属冶炼产生的有色冶炼烟气如铜冶炼烟气、铅锌冶炼烟气、硫铁矿冶炼烟气等，其中含有SO₃气体，引入含SO₃气体的烟气，将该烟气进行分离提纯、冷凝、加热蒸发后得到的三氧化硫用于电子级硫酸的制备。

现有的有色冶炼烟气主要采用湿法净化工艺，即直接通过喷水减温骤冷的方式将高温的有色冶炼烟气降低到150℃以下。这个过程中，既能够让三氧化二砷凝华析出，同时又促使酸结露，由此，最后将得到混有三氧化二砷、污酸和粉尘的污泥。但该技术中的烟气中杂质得不到根本的清除，使得三氧化硫的纯度得不到保障。

通常三氧化硫冷凝在工业生产上都是使用列管式冷凝器。列管式冷凝器使用多根换热管，冷却水进水容易分布不均，造成三氧化硫的冷凝效果差。冷却水对换热管施加有一定的压力，因此传统的三氧化硫冷凝器存在换热管破裂的风险，一旦发生水漏进酸系统事故，会迅速减低酸浓并释放大量热量，如果发现不及时，会造成严重的设备损坏和环境污染事故，所以需要定期检修或者更换以确保不漏水，这样就无形中增加了三氧化硫冷凝的成本。传统冷凝装置的安全性不高，易造成安全事故。公开号为CN 206019383 U的中国实用新型专利，公开了一种立式新型三氧化硫气体冷凝器，该冷凝器为立式结构，下端没有管箱，冷却水降淋到一个独立的集水槽中，并且集水槽与冷凝器不相连，其中集水槽的设置，使得当换热管出现裂缝时，水不容易进入壳程的三氧化硫中，而容易向阻力更小的集水槽内流去。

发明内容

本发明为解决现有技术中的烟气分离提纯制备三氧化硫的装置，无法清除烟气中杂质得不到高纯度的三氧化硫，以及三氧化硫冷凝时冷却水进水分布不均、以及冷却水对换热管施加压力，安全性不高的问题，提供一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统。利用该系统可以得到高纯度的三氧化硫，三氧化硫冷凝时，冷却水采用锯齿形溢流方式进水，可以使冷却水均匀的分布到每一个进水口，让气体可以均匀降温冷凝，同时热换管内没有压力，提高了安全性。

为了实现上述目的，本发明的技术方案是：

一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统，包括依次连接的除尘器、洗涤塔、除雾器、烟酸吸收塔、烟酸蒸发罐和冷凝罐，所述洗涤塔和烟酸吸收塔还均依次连接有循环槽和烟酸冷却器，所述除尘器和除雾器的底部均设置有98%硫酸溶液，循环槽的内部设置有98%硫酸溶液；

冷凝罐的罐体上部设置有进水结构，所述进水结构包括设置在冷凝罐罐体上部的第一管板，冷凝罐罐体内侧还设置有冷却水布水管，冷却水布水管上部连接冷却水进水管，冷却水布水管的内侧设置有分水环板，分水环板上部开设有缺口、下部设置在第一管板上，第一管板中垂直设置有换热管，换热管的顶部伸出第一管板且均匀开设有多个缺口。

作为优选方案，所述除尘器和除雾器的内部上方均设置有隔离板，所述隔离板的下方设置有若干过滤器，所述过滤器的顶部穿过隔离板进行固定，所述过滤器的下方连接有第一母酸槽，所述第一母酸槽内设置有分析纯硫酸。

作为优选方案，所述循环槽的下方设置有进酸口，洗涤循环槽的顶部设置有出酸口，所述出酸口连接有循环泵。

作为优选方案，所述洗涤塔和烟酸吸收塔的顶部均设置有分酸器，所述烟酸冷却器通过分酸器向洗涤塔或烟酸吸收塔提供冷却后的酸液，所述分酸器下方设置有填料层。

作为优选方案，所述过滤器呈圆柱形，其中一个过滤器位于除尘器或除雾器的中央、其它过滤器沿高温除尘器内侧周向排布，所述第一母酸槽呈圆柱形。

作为优选方案，所述烟酸蒸发罐的罐体底部设置有第二母酸槽，第二母酸槽上方设置有第一管板和第二管板，烟酸蒸发罐的第一管板和第二管板之间设置有若干换热管，烟酸蒸发罐的换热管的顶部穿过第一管板后固定，烟酸蒸发罐的第一管板和第二管板之间均匀排列有若干折流板，所述折流板垂直固定于烟酸蒸发罐罐体的侧壁，烟酸蒸发罐的第一管板的上方设置有过滤器，所述过滤器的上方设置有金属丝网除雾器。

作为优选方案，所述冷却水布水管设置有多个且沿冷凝罐的罐体周向均匀设置，冷却水布水管和冷凝罐的第一管板之间留有空隙。

作为优选方案，所述分水环板上部开设有锯齿形缺口，该锯齿形缺口的底部都处于同一水平面。

作为优选方案，所述分水环板位于冷凝罐的所有换热管的外周，冷凝罐的换热管的顶部的缺口呈矩形，且该缺口的底部都处于冷凝罐的第一管板上方同一水平高度。

作为优选方案，冷凝罐的换热管位于第一管板上的长度小于分水环板的高度。

通过上述技术方案，本发明的有益效果为：

1、本发明通过除尘器、除雾器、烟酸蒸发器等多次的净化能够将烟气中的杂质、颗粒去除吸收；另外根据烟酸冷却器内的循环冷却水来调节发烟硫酸的温度，使其能够将烟气中的三氧化硫充分吸收，产生的废气回到大系统净化，不危害环境。

2、作为本发明的的优选方案，除尘器中有若干过滤器，能够更好地将烟气中的杂质颗粒物去除。分酸器包括管道和管道下方的多个喷头，可以使酸液均匀的喷洒在填料层的上方。烟酸冷却器内部的冷却管道呈弯折结构，可以使酸液在烟酸冷却器中流经的时间更长，更为充分的冷却。

3、作为本发明的的优选方案，烟酸蒸发罐是将废弃的高温烟气作为热源，热源沿着罐体内的折流板向上运动，而烟酸液体则在换热管内向上运动，解决现有的立式烟酸蒸发装置中热源在换热管内运动导致要使用U型换热管的问题（U型换热管在生产时的加工难度较高，导致制造成本高昂，同时U型换热管的拼接与安装较为复杂）。

4、本发明的冷却水进水结构使得冷却水采用溢流方式进水，换热管中没有压力，提高了使用安全性。其中多个布水管以及分水环板上方开设的缺口的设置，可以使冷却水均匀的分布到每一个换热管内，起到均匀降温冷凝的作用；换热管顶部均匀开设多个缺口，使冷却水均匀的溢流到换热管中，大幅度降低了冷却水对换热管的压力。

5、作为本发明的的优选方案，冷凝罐的三氧化硫不凝气排气口能够排出罐内没有冷却的三氧化硫气体，防止管体内压力过大。

6、本发明的烟酸蒸发罐和冷凝罐的第一管板和第二管板之间均匀排列有若干折流板，不仅提高传热效果，还可以支撑换热管。

附图说明

图1是本发明一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统的结构示意图。

图2是本发明一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统中除尘器的结构示意图。

图3是本发明一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统中隔离板、第一过滤器和第一母酸槽的结构示意图。

图4是本发明一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统中烟酸蒸发器的结构示意图。

图5是本发明一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统中烟酸蒸发器的第一管板、换热管和折流板结构示意图。

图6是本发明一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统中烟酸蒸发器的折流板的结构示意图。

图7是本发明一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统中冷凝器的结构示意图。

图8是本发明一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统中冷凝器的进水结构的结构示意图一。

图9是本发明一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统中冷凝器的进水结构的结构示意图二。

图10是本发明一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统中冷凝器的换热管的结构示意图。

附图中标号为：1为除尘器，12为隔离板，14为第一过滤器，15为第一母酸槽，2为洗涤塔，22为分酸器，23为填料层，3为循环槽，32为循环泵，4为除雾器，5为烟酸吸收塔，6为烟酸蒸发罐，61为第二母酸槽，62为第二过滤器，63为金属丝网除雾器，64为烟气出口，65为烟气入口，66溢流口，67为视镜，7为冷凝罐，71为冷却水布水管，72为冷却水进水管，73为分水环板，74为不凝气排气口，8为烟酸冷却器，101为第一管板，102为第二管板，103为换热管，104为折流板。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步说明：

如图1～图10所示，本实施例的一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统，包括依次连接的除尘器1、洗涤塔2、除雾器4、烟酸吸收塔5、烟酸蒸发罐6和冷凝罐7，所述洗涤塔2和烟酸吸收塔5还均依次连接有循环槽3和烟酸冷却器8。

具体的，所述除尘器1的出气口通过管道与洗涤塔2的进气口相连接，所述洗涤塔2的出气口通过管道与高效除雾器4的进气口相连接，所述除雾器4的出气口通过管道与烟酸吸收塔5的进气口相连接，所述洗涤塔2的出酸口与洗涤循环槽3的进酸口通过管道连接，洗涤循环槽3的出酸口连接有循环泵32，循环泵32为烟酸冷却器8泵送酸液，烟酸冷却器8通过分酸器22向洗涤塔2提供冷却后的酸液。所述烟酸吸收塔5的出酸口与吸收循环槽3的进酸口通过管道连接，吸收循环槽3的出酸口连接有循环泵32，循环泵32向烟酸冷却器8或烟酸蒸发罐6泵送酸液，其中烟酸冷却器8通过分酸器22向烟酸吸收塔5提供冷却后的酸液，循环泵32通过管道连接烟酸蒸发罐6上第二母酸槽61的烟酸入口，烟酸蒸发罐6的三氧化硫气体出口通过管道连接冷凝罐7的三氧化硫气体入口。

除尘器1内部上方设置有隔离板12，所述隔离板12的下方设置有若干第一过滤器14，所述第一过滤器14的顶部穿过隔离板12进行固定，所述第一过滤器14的下方连接有第一母酸槽15；所述第一过滤器14呈圆柱形，其中一个第一过滤器14位于高温除尘器1的中央、其它第一过滤器14沿高温除尘器1内侧周向排布；由于隔离板12的作用，使得烟气只能通过过滤器14进入高温除尘器1的顶部，而第一过滤器14滤芯为PET聚酯纤维滤芯，能够很好地将烟气中的杂质过滤使其附着在第一过滤器14的表面；所述第一母酸槽15呈圆柱形，其内部设置有分析纯硫酸，上方通过管道与第一过滤器14相连接，当高温烟气进入除尘器1中，分析纯硫酸挥发，附着在第一过滤器14的表面形成酸露，溶解第一过滤器14表面上的杂质，延长了第一过滤器14的使用寿命；除尘器1的底部设置有98%精制硫酸溶液，可以将酸露溶解后而脱落下来的杂质去除吸收，98%硫酸溶液需要定期置换，确保三氧化硫的洁净及纯度。

所述洗涤塔2顶部设置有分酸器22，所述分酸器22下方设置有填料层23，所述分酸器22包括管道和管道下方的多个喷头，所述喷头均匀分布在管道上，通过分酸器22可以将由洗涤循环槽3上来的酸液均匀的打在填料层23上，所述洗涤塔2中填料层23的填料为石英陶瓷填料，可以使填料层23上的酸液和通过进气口上去的烟气充分的结合，将烟气中的杂质、颗粒去除吸收。

所述洗涤循环槽3的左下方设置有进酸口，洗涤循环槽3的顶部设置有出酸口，所述出酸口连接循环泵32，且洗涤循环槽3的内部设置有98%精致硫酸溶液。

所述除雾器4内部上方设置有隔离板12，所述隔离板12的下方设置有若干第一过滤器14，所述第一过滤器14的顶部穿过隔离板12进行固定，所述第一过滤器14的下方连接有第一母酸槽15，第一母酸槽15内部设置有分析纯硫酸，所述第一过滤器14呈圆柱形，其中一个第一过滤器14位于高效除雾器4的中央、其它第一过滤器14沿高效除雾器4内侧周向排布。除雾器4的底部也设置有98%精制硫酸溶液，可以将酸露溶解后而脱落下来的杂质去除吸收。

所述烟酸吸收塔5顶部设置有分酸器22，所述分酸器22下方设置有填料层23，所述烟酸吸收塔5中填料层23的填料为四氟填料。

所述吸收循环槽3的左下方设置有进酸口，吸收循环槽3的顶部设置有出酸口，所述出酸口连接循环泵32，且吸收循环槽3的内部设置有98%精致硫酸溶液。

所述烟酸冷却器8内部设置有冷却管道，所述冷却管道呈弯折结构，其两端分别连接烟酸冷却器8的进酸口和出酸口。烟酸冷却器8通过分酸器22向洗涤塔2或烟酸吸收塔5提供冷却后的酸液。

烟酸蒸发罐6的罐体为不锈钢材质制成的立式圆柱形结构；烟酸蒸发罐6的底部设置有第二母酸槽61，第二母酸槽61的内部可盛放烟酸液体，第二母酸槽61内设置有循环泵32，所述循环泵32的上方设置有第一管板101和第二管板102，烟酸蒸发罐6的第一管板101和第二管板102的侧边与罐体的侧壁相贴合后固定，烟酸蒸发罐6的第一管板101和第二管板102之间设置有若干换热管103，烟酸蒸发罐6的换热管103的顶部穿过第一管板101后固定、底部穿过第二管板102后通过管道与循环泵32相连接，所述循环泵32可以将第二母酸槽61内部的烟酸液体通过换热管103抽至第一管板101的上方；靠近第一管板101处设置有烟气入口65，靠近第二管板102处设置有烟气出口64；所述第一管板101和第二管板102之间均匀排列有若干折流板104，所述折流板104呈单弓形、垂直固定于罐体的侧壁，相邻两个折流板104相向排列，所述折流板104表面分布若干圆形孔，且每个圆形孔内穿过一个换热管103；所述第一管板101的上方设置有溢流口66和视镜67，所述溢流口66和视镜67相平齐，通过视镜67可以看到罐体的内部，所述循环泵32将烟酸液体抽至第一管板101的上方，当烟酸液体到达视镜67的位置，则烟酸液体将从溢流口66通过管道再流至第二母酸槽61中，使第一管板101上方的烟酸液体始终保持在与视镜67平齐的位置；所述溢流口66的上方设置有第二过滤器62，所述第二过滤器62的上方设置有金属丝网除雾器63，所述第二过滤器62和金属丝网除雾器63均为圆柱形，第二过滤器62和金属丝网除雾器63的侧边与罐体的侧壁相贴合，可以对蒸发后的SO₃气体进行再次净化和除雾，更进一步确保了SO₃气体的纯度；所述金属丝网除雾器63的上方设置有三氧化硫气体出口，所述三氧化硫气体出口位于烟酸蒸发罐6罐体的顶部。

冷凝罐7的罐体为立式结构，冷凝罐7的罐体上部设置有冷却水进水结构，具体的，冷凝罐的罐体7上部设置有第一管板101，冷凝罐7的罐体内侧设置有冷却水布水管71，所述冷却水布水管71上部连接冷却水进水管72，冷却水布水管71设置有6个且沿冷凝罐7罐体周向均匀设置，使得从冷却水进水管72进入的冷却水从6个方向均匀向冷凝罐7进水。

冷却水布水管71和第一管板101之间留有空隙，使得冷却水可以从冷却水布水管71流出。

冷却水布水管71的内侧设置有分水环板73，分水环板73上部开设有锯齿形缺口，该锯齿形缺口的底部处于同一水平面，分水环板73下部设置在第一管板101上，第一管板101中垂直设置有换热管103，换热管103的顶部伸出第一管板101且均匀开设有多个矩形缺口，且该矩形缺口的底部都处于第一管板101上方同一水平高度。所述分水环板73底部和第一管板101焊接密封，分水环板73位于所有换热管103的外周。上述结构使得从冷却水布水管71流出的冷却水可以溢流至每个换热管103内，解决了现有技术中冷却水直接进水时，进水分布不均，以及对换热管103形成压力容易造成换热管103破裂的问题。

换热管103位于第一管板101上的长度小于分水环板73的高度。

冷凝罐7的罐体的底部冷却水出口，冷却水出口上方设置第二管板102，换热管103位于第一管板101和第二管板102之间，所述换热管103的顶部穿过第一管板101、底部穿过第二管板102，第一管板101和第二管板102之间的罐体上端设有三氧化硫气体入口和三氧化硫不凝气排气口74、下端设有三氧化硫冷凝液出口。

冷凝罐7的罐体为不锈钢材质制成的圆柱形结构，冷凝罐7的罐体外周设置有支架方便罐体的固定。冷凝罐7的罐体上三氧化硫气体入口对侧的侧壁上开设三氧化硫不凝气排气口74，防止冷凝罐7的罐体中三氧化硫不凝气过多使罐内气体压力过大。

冷凝罐7的第一管板101和第二管板102之间均匀排列有若干折流板104，所述折流板104为不锈钢材质制成，折流板104垂直固定于冷凝罐7罐体的侧壁，折流板104呈单弓形，相邻两个折流板104相向排列，折流板104表面分布若干圆形孔，且每个圆形孔内穿过一个换热管103，折流板104使三氧化硫气体在罐体内作折返性流动，使三氧化硫冷凝更充分，同时折流板104可以用于支撑换热管103。

使用时，烟气从除尘器1中的进气口进入，会通过PET聚酯纤维过滤器进入除尘器1的上方，首次过滤后的烟气由除尘器1的出气口通过管道进入洗涤塔2内，而后在洗涤塔2内的填料层23与98%精致硫酸溶液结合，去除吸收烟气中的杂质，除尘器1的除尘效率为≥98%，除尘器1的出口尘雾量直径＜1μm，温度≤190℃。所述98%精致硫酸溶液先由循环泵32抽出、再经过烟酸冷却器8冷却、最后通过分酸器22喷淋下来流至填料层23，经98%精致硫酸溶液过滤后的烟气由洗涤塔2的出气口进入除雾器4，进入高效除雾器4的烟气温度≤110℃，由除雾器4中的纤维过滤器再次过滤，除雾器4效率为≥98%，而后烟气通过管道进入烟酸吸收塔5，此时进入烟酸吸收塔5内的烟气已经充分净化，而后将吸收循环槽3内的98%精致硫酸由循环泵32打到分酸器22喷淋下来，将烟酸吸收塔5内的三氧化硫气体吸收增浓，形成发烟硫酸（俗称烟酸），分离完三氧化硫后的气体回到大系统净化处理。

发烟硫酸再经循环泵32泵送进入烟酸蒸发罐6的第二母酸槽61内。接着，废弃的高温烟气从烟酸蒸发罐6的烟气入口65进入烟酸蒸发罐6的罐体中，烟气会沿着折流板104运动，此时通过循环泵32将由烟酸蒸发罐6的罐体底部第二母酸槽61内的烟酸液体抽至第一管板101的上方，烟酸液体通过换热管103向上运动的时候，高温烟气就会对换热管103内的烟酸液体进行加热，使其蒸发出SO₃气体，而后SO₃气体继续向上运动通过第二过滤器62和金属丝网除雾器63，进行净化和除雾，最后SO₃气体通过三氧化硫气体出口排出后通过冷凝罐7的三氧化硫气体入口进入冷凝罐7。

冷凝时，将冷却水进管72连通外部的冷却水供水管道，冷却水出口连通凉水塔，冷却水从冷却水进管72进入冷凝罐7的罐体内，具体地，冷却水通过布水管71均匀地分布在分水环板73外周，冷却水从分水环板73上的锯齿形缺口处溢流到分水环板73内侧，然后冷却水从换热管103顶部的矩形槽内均匀地流入换热管103内，最后通过冷却水出口进行回收。三氧化硫气体沿折流板104在冷凝罐7的罐体中流动，换热管103内的冷却水对三氧化硫气体进行冷凝，三氧化硫冷凝液通过折流板104向下流动，接着通过三氧化硫冷凝液出口排出。该冷凝罐7中冷却水采用溢流方式进水，通过分水环板73的锯齿形缺口进行分水，能够使冷却水均匀分布到换热管103，保证三氧化硫气体的冷凝效果，同时换热管103内没有压力，提高安全性。

以上所述之实施例，只是本发明的较佳实施例而已，并非限制本发明的实施范围，故凡依本发明专利范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均应包括于本发明申请专利范围内。

Claims (10)

1.一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统，其特征在于，包括依次连接的除尘器（1）、洗涤塔（2）、除雾器（4）、烟酸吸收塔（5）、烟酸蒸发罐（6）和冷凝罐（7），所述洗涤塔（2）和烟酸吸收塔（5）还均依次连接有循环槽（3）和烟酸冷却器（8），所述除尘器（1）和除雾器（4）的底部均设置有98%硫酸溶液，循环槽的内部设置有98%硫酸溶液；

冷凝罐（7）的罐体上部设置有进水结构，所述进水结构包括设置在冷凝罐（7）罐体上部的第一管板（101），冷凝罐（7）罐体内侧还设置有冷却水布水管（71），冷却水布水管（71）上部连接冷却水进水管（72），冷却水布水管（71）的内侧设置有分水环板（73），分水环板（73）上部开设有缺口、下部设置在第一管板（101）上，第一管板（101）中垂直设置有换热管（103），换热管（103）的顶部伸出第一管板（101）且均匀开设有多个缺口。

2.根据权利要求1所述的一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统，其特征在于，所述除尘器（1）和除雾器（4）的内部上方均设置有隔离板（12），所述隔离板（12）的下方设置有若干第一过滤器（14），所述第一过滤器（14）的顶部穿过隔离板（12）进行固定，所述第一过滤器（14）的下方连接有第一母酸槽（15），所述第一母酸槽（15）内设置有分析纯硫酸。

3.根据权利要求1所述的一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统，其特征在于，所述循环槽（3）的下方设置有进酸口，洗涤循环槽（3）的顶部设置有出酸口，所述出酸口连接有循环泵（32）。

4.根据权利要求1所述的一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统，其特征在于，所述洗涤塔（2）和烟酸吸收塔（5）的顶部均设置有分酸器（22），所述烟酸冷却器（8）通过分酸器（22）向洗涤塔（2）或烟酸吸收塔（5）提供冷却后的酸液，所述分酸器（22）下方设置有填料层（23）。

5.根据权利要求2所述的一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统，其特征在于，所述第一过滤器（14）呈圆柱形，其中一个第一过滤器（14）位于除尘器（1）或除雾器（4）的中央、其它第一过滤器（14）沿除尘器（1）内侧周向排布，所述第一母酸槽（15）呈圆柱形。

6.根据权利要求1所述的一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统，其特征在于，所述烟酸蒸发罐（6）的罐体底部设置有第二母酸槽（61），第二母酸槽（61）上方设置有第一管板（101）和第二管板（102），烟酸蒸发罐（6）的第一管板（101）和第二管板（102）之间设置有若干换热管（103），烟酸蒸发罐（6）的换热管（103）的顶部穿过第一管板（101）后固定，烟酸蒸发罐（6）的第一管板（101）和第二管板（102）之间均匀排列有若干折流板（104），所述折流板（104）垂直固定于烟酸蒸发罐（6）罐体的侧壁，烟酸蒸发罐（6）的第一管板（101）的上方设置有第二过滤器（62），所述第二过滤器（62）的上方设置有金属丝网除雾器（63）。

7.根据权利要求1所述的一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统，其特征在于，所述冷却水布水管（71）设置有多个且沿冷凝罐（7）的罐体周向均匀设置，冷却水布水管（71）和冷凝罐（7）的第一管板（101）之间留有空隙。

8.根据权利要求1所述的一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统，其特征在于，所述分水环板（73）上部开设有锯齿形缺口，该锯齿形缺口的底部都处于同一水平面。

9.根据权利要求1所述的一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统，其特征在于，所述分水环板（73）位于冷凝罐（7）的所有换热管（103）的外周，冷凝罐（7）的换热管（103）的顶部的缺口呈矩形，且该缺口的底部都处于冷凝罐（7）的第一管板（101）上方同一水平高度。

10.根据权利要求1所述的一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯系统，其特征在于，冷凝罐（7）的换热管（103）位于第一管板（101）上的长度小于分水环板（73）的高度。

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