CN112850238B - 一种硅片光刻用防污输送设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种硅片光刻用防污输送设备，其结构干燥组件、清洗组件、输送装置、壳体、驱动组件、阻隔装置、控制器、电源线和底架，干燥组件右端与清洗组件固定连接，清洗组件内侧上部固接有输送装置；干燥组件左端固接有壳体，壳体底端与底架固定连接，本发明具有以下有益效果，通过在干燥组件左端设置清洗组件，达到了通过加设再洗部件以提高洁净度的有益效果；通过在干燥组件内部设置的均流装置和翻转组件，达到了通过加设均热与翻转部件以提高干燥效率的有益效果；通过在壳体左端设置阻隔装置，达到了通过加设闭口部件以提高隔绝防污有益效果；输送稳定，智能性强且操作便捷。

Description

一种硅片光刻用防污输送设备

技术领域

本发明属于输送机械技术领域，特别涉及一种硅片光刻用防污输送设备。

背景技术

硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件；

光刻，是平面型晶体管和集成电路生产中的一个主要工艺，是对半导体晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)进行开孔，以便进行杂质的定域扩散的一种加工技术；

而硅片进行加置光刻前，需要预先进行处理，再进行防污保存，而在保存过程当中或者在进行取出时可能会染污，为此，急需提出一种可与光刻机配合并进行实时使用的硅片输送设备。

发明内容

(一)要解决的技术问题

为了克服现有技术不足，现提出一种硅片光刻用防污输送设备，以解决上述背景技术提出的问题，通过加设再洗部件以提高洁净度的有益效果，通过加设均热与翻转部件以提高干燥效率的有益效果；通过加设闭口部件以提高隔绝防污有益效果。

(二)技术方案

本发明通过如下技术方案实现：本发明提出了一种硅片光刻用防污输送设备，包括，

干燥组件；

干燥组件右端与清洗组件固定连接，清洗组件内侧上部固接有输送装置；

干燥组件左端固接有壳体，壳体底端与底架固定连接，壳体内部固接有与清洗组件内部当中相同且处于同一水平线的输送装置，壳体左端固接有阻隔装置，阻隔装置前端下部与控制器螺栓连接，控制器底端设置有电源线；

干燥组件前端设置有驱动组件。

进一步的，所述干燥组件包括框体、支架、均流装置、第一转动辊、第一链板带、放置组件、红外传感器和翻转组件，所述框体底端前后两部对称固接有支架，所述框体上部固接有均流装置，所述框体内侧左右两端对称设置有第一转动辊，并且第一转动辊前后两端分别通过轴承与框体转动连接，所述第一转动辊外侧设置有第一链板带，并且第一转动辊与第一链板带转动连接，所述第一链板带外侧固接有放置组件，所述放置组件设置有多组且其均匀分布于所述第一链板带外侧中段，所述框体内侧右后端固接有红外传感器，所述框体内侧中后端固接有翻转组件，所述框体左端与壳体内部连通。

进一步的，所述均流装置包括通入管、流通罩、均初分架、初分道、均再分架和再分道，所述通入管底端固接有流通罩，所述流通罩内部固接有均初分架，并且均初分架与流通罩内部之间形成初分道，所述初分道内侧下部固接有均再分架，并且均再分架与初分道内侧之间形成再分道，所述通入管固定嵌入框体顶端中部。

进一步的，所述放置组件包括垫块、垫层和十字间槽，所述垫块顶端设置有垫层，所述垫块顶端固定嵌入形成十字间槽，所述垫块左右两端通过十字间槽连通，所述垫块前后两端通过十字间槽连通，所述垫块内侧与第一链板带固定连接。

进一步的，所述翻转组件包括伺服电机、第一气缸和第一夹持机构，所述伺服电机前端固接有第一气缸，所述第一气缸前端固接有第一夹持机构，所述伺服电机后端与框体内侧中后部固定连接。

进一步的，所述清洗组件包括箱体、支脚、清洗槽、超声换能器、超声波发生器、排液阀和中空风板，所述箱体底端角落分别固接有支脚，所述箱体内部底端设置有清洗槽，所述清洗槽内壁前后两端对称固接有超声换能器，所述超声换能器外侧与超声波发生器固定连接，所述箱体外侧通过过盈配合方式固定嵌入有超声波发生器，所述箱体前端右下部固接有排液阀，并且排液阀与箱体内部连通，所述箱体右端左部通过过盈配合方式贯穿有中空风板，所述箱体左端与框体固定连接，所述箱体内侧上部固接有输送装置，所述箱体左端与框体内部连通。

进一步的，所述输送装置包括第二转动辊、第二链板带、电动推杆和第二夹持机构，所述第二转动辊外侧设置有第二链板带，并且第二转动辊与第二链板带转动连接，所述第二链板带外侧固接有电动推杆，所述电动推杆外侧固接有第二夹持机构，所述第二夹持机构与第一夹持机构的组成结构相同。

进一步的，所述驱动组件包括支撑板、驱动电机、第一轴杆、第一牵引轮、第一皮带、第二牵引轮、第二轴杆、第三牵引轮、第二皮带、第四牵引轮和第三轴杆，所述支撑板顶端固接有驱动电机，所述驱动电机后端中部固接有第一轴杆，所述第一轴杆贯穿第一牵引轮前后两端中部，并且第一轴杆与第一牵引轮固定插接，所述第一牵引轮设置于第一皮带内侧右部，所述第一轴杆后端与第二转动辊固定插接，所述第一皮带内侧左部设置有第二牵引轮，并且第一牵引轮通过第一皮带与第二牵引轮转动连接，所述第二牵引轮前后两端通过第二轴杆贯穿，并且第二牵引轮与第二轴杆固定连接，所述第二轴杆设置于壳体前端，所述第二轴杆后端与第二转动辊固定插接，所述第二轴杆贯穿第三牵引轮前后两端中部，并且第二轴杆与第三牵引轮固定插接，所述第三牵引轮设置于第二皮带内侧左部，所述第二皮带内侧右部设置有第四牵引轮，并且第三牵引轮通过第二皮带与第四牵引轮转动连接，所述第四牵引轮前后两端中部通过第三轴杆贯穿，并且第四牵引轮与第三轴杆固定插接，所述第三轴杆后端与第一转动辊固定连接。

进一步的，所述阻隔装置包括外壳、闭合组件和中空吹尘板，所述外壳顶底两端对称贯穿有闭合组件且其相互贴合，所述外壳顶底两端对称贯穿有中空吹尘板，并且闭合组件设置于左方中空吹尘板，所述外壳内外两侧通过中空吹尘板连通，所述外壳右端与壳体内部连通。

进一步的，所述闭合组件包括第二气缸、闭板、压条、嵌条和夹板，所述第二气缸内侧与闭板固定连接，所述闭板左右两端上部对称固接有压条，所述压条内侧与嵌条相互嵌合，所述嵌条外侧与夹板固定连接，所述夹板对称固接于外壳内壁顶底两端。

(三)有益效果

本发明相对于现有技术，具有以下有益效果：

1)、通过在干燥组件左端设置清洗组件，启动超声波发生器由超声换能器产生震动至清洗槽当中的清洗液处，由第二夹持机构夹固硅片置入到清洗液当中进行再次的清洗处理，达到了通过加设再洗部件以提高洁净度的有益效果。

2)、通过在干燥组件内部设置的均流装置和翻转组件，热流经过均流装置均匀分布在第一链板带上方，以提高对硅片的干燥效率，并且由翻转组件对硅片的翻面处理，进一步加快干燥能力，达到了通过加设均热与翻转部件以提高干燥效率的有益效果。

3)、通过在壳体左端设置阻隔装置，经过中空吹尘板吹出气体(优选氮气)至第二夹持机构夹固的硅片顶底两端，防止该硅片表面尘污，而闭合组件提供密闭效果，以保证该硅片光刻时的空间防污，在此过程当中，中空吹尘板停止吹出气体，达到了通过加设闭口部件以提高隔绝防污有益效果。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的局部结构A示意图；

图3为本发明的正视剖面结构示意图；

图4为本发明的正视剖面局部结构B示意图；

图5为本发明的正视剖面局部结构C示意图；

图中：干燥组件-1、清洗组件-2、输送装置-3、壳体-4、驱动组件-5、阻隔装置-6、控制器-7、电源线-8、底架-9、框体-11、支架-12、均流装置-13、第一转动辊-14、第一链板带-15、放置组件-16、红外传感器-17、翻转组件-18、通入管-131、流通罩-132、均初分架-133、初分道-134、均再分架-135、再分道-136、垫块-161、垫层-162、十字间槽-163、伺服电机-181、第一气缸-182、第一夹持机构-183、箱体-21、支脚-22、清洗槽-23、超声换能器-24、超声波发生器-25、排液阀-26、中空风板-27、第二转动辊-31、第二链板带-32、电动推杆-33、第二夹持机构-34、支撑板-51、驱动电机-52、第一轴杆-53、第一牵引轮-54、第一皮带-55、第二牵引轮-56、第二轴杆-57、第三牵引轮-58、第二皮带-59、第四牵引轮-510、第三轴杆-511、外壳-61、闭合组件-62、中空吹尘板-63、第二气缸-621、闭板-622、压条-623、嵌条-624、夹板-625。

具体实施方式

请参阅图1、图2、图3、图4与图5，本发明提供一种硅片光刻用防污输送设备：包括，

干燥组件1；

干燥组件1右端与清洗组件2固定连接，清洗组件2内侧上部固接有输送装置3；

干燥组件1左端固接有壳体4，壳体4底端与底架9固定连接，壳体4内部固接有与清洗组件2内部当中相同且处于同一水平线的输送装置3，壳体4左端固接有阻隔装置6，阻隔装置6前端下部与控制器7螺栓连接，控制器7底端设置有电源线8；

干燥组件1前端设置有驱动组件5。

其中，所述干燥组件1包括框体11、支架12、均流装置13、第一转动辊14、第一链板带15、放置组件16、红外传感器17和翻转组件18，所述框体11底端前后两部对称固接有支架12，所述框体11上部固接有均流装置13，所述框体11内侧左右两端对称设置有第一转动辊14，并且第一转动辊14前后两端分别通过轴承与框体11转动连接，所述第一转动辊14外侧设置有第一链板带15，并且第一转动辊14与第一链板带15转动连接，所述第一链板带15外侧固接有放置组件16，所述放置组件16设置有多组且其均匀分布于所述第一链板带15外侧中段，所述框体11内侧右后端固接有红外传感器17，所述框体11内侧中后端固接有翻转组件18，所述框体11左端与壳体4内部连通，根据上述进行干燥，用于后续。

其中，所述均流装置13包括通入管131、流通罩132、均初分架133、初分道134、均再分架135和再分道136，所述通入管131底端固接有流通罩132，所述流通罩132内部固接有均初分架133，并且均初分架133与流通罩132内部之间形成初分道134，所述初分道134内侧下部固接有均再分架135，并且均再分架135与初分道134内侧之间形成再分道136，所述通入管131固定嵌入框体11顶端中部，根据上述提供匀热效果，提高干燥效率。

其中，所述放置组件16包括垫块161、垫层162和十字间槽163，所述垫块161顶端设置有垫层162，所述垫块161顶端固定嵌入形成十字间槽163，所述垫块161左右两端通过十字间槽163连通，所述垫块161前后两端通过十字间槽163连通，所述垫块161内侧与第一链板带15固定连接，用于放置硅片。

其中，所述翻转组件18包括伺服电机181、第一气缸182和第一夹持机构183，所述伺服电机181前端固接有第一气缸182，所述第一气缸182前端固接有第一夹持机构183，所述伺服电机181后端与框体11内侧中后部固定连接，根据上述提供翻面效果，提高干燥度。

其中，所述清洗组件2包括箱体21、支脚22、清洗槽23、超声换能器24、超声波发生器25、排液阀26和中空风板27，所述箱体21底端角落分别固接有支脚22，所述箱体21内部底端设置有清洗槽23，所述清洗槽23内壁前后两端对称固接有超声换能器24，所述超声换能器24外侧与超声波发生器25固定连接，所述箱体21外侧通过过盈配合方式固定嵌入有超声波发生器25，所述箱体21前端右下部固接有排液阀26，并且排液阀26与箱体21内部连通，所述箱体21右端左部通过过盈配合方式贯穿有中空风板27，所述箱体21左端与框体11固定连接，所述箱体21内侧上部固接有输送装置3，所述箱体21左端与框体11内部连通，根据上述通过加设再洗部件以提高洁净度的有益效果。

其中，所述输送装置3包括第二转动辊31、第二链板带32、电动推杆33和第二夹持机构34，所述第二转动辊31外侧设置有第二链板带32，并且第二转动辊31与第二链板带32转动连接，所述第二链板带32外侧固接有电动推杆33，所述电动推杆33外侧固接有第二夹持机构34，所述第二夹持机构34与第一夹持机构183的组成结构相同，用于硅片的位置移动。

其中，所述驱动组件5包括支撑板51、驱动电机52、第一轴杆53、第一牵引轮54、第一皮带55、第二牵引轮56、第二轴杆57、第三牵引轮58、第二皮带59、第四牵引轮510和第三轴杆511，所述支撑板51顶端固接有驱动电机52，所述驱动电机52后端中部固接有第一轴杆53，所述第一轴杆53贯穿第一牵引轮54前后两端中部，并且第一轴杆53与第一牵引轮54固定插接，所述第一牵引轮54设置于第一皮带55内侧右部，所述第一轴杆53后端与第二转动辊31固定插接，所述第一皮带55内侧左部设置有第二牵引轮56，并且第一牵引轮54通过第一皮带55与第二牵引轮56转动连接，所述第二牵引轮56前后两端通过第二轴杆57贯穿，并且第二牵引轮56与第二轴杆57固定连接，所述第二轴杆57设置于壳体4前端，所述第二轴杆57后端与第二转动辊31固定插接，所述第二轴杆57贯穿第三牵引轮58前后两端中部，并且第二轴杆57与第三牵引轮58固定插接，所述第三牵引轮58设置于第二皮带59内侧左部，所述第二皮带59内侧右部设置有第四牵引轮510，并且第三牵引轮58通过第二皮带59与第四牵引轮510转动连接，所述第四牵引轮510前后两端中部通过第三轴杆511贯穿，并且第四牵引轮510与第三轴杆511固定插接，所述第三轴杆511后端与第一转动辊14固定连接，提供部件的驱动运转。

其中，所述阻隔装置6包括外壳61、闭合组件62和中空吹尘板63，所述外壳61顶底两端对称贯穿有闭合组件62且其相互贴合，所述外壳61顶底两端对称贯穿有中空吹尘板63，并且闭合组件62设置于左方中空吹尘板63，所述外壳61内外两侧通过中空吹尘板63连通，所述外壳61右端与壳体4内部连通，根据上述通过加设闭口部件以提高隔绝防污有益效果。

其中，所述闭合组件62包括第二气缸621、闭板622、压条623、嵌条624和夹板625，所述第二气缸621内侧与闭板622固定连接，所述闭板622左右两端上部对称固接有压条623，所述压条623内侧与嵌条624相互嵌合，所述嵌条624外侧与夹板625固定连接，所述夹板625对称固接于外壳61内壁顶底两端，自动上下开闭，便于操作。

工作原理：首先，将该硅片光刻用防污输送设备取出并与合适的光刻机进行连接稳固；

然后，经过电源线8接通外部的电源；

接着，通过控制器7启动壳体4处的输送装置3运转，由第二夹持机构34进行硅片夹固，启动驱动组件5运转，驱动电机52带动第一轴杆53和第一牵引轮54顺时针转动，使得第二转动辊31带动第二链板带32转动，电动推杆33驱动第二夹持机构34伸缩调位，此时，通过在干燥组件1左端设置清洗组件2，启动超声波发生器25由超声换能器24产生震动至清洗槽23当中的预先设置的清洗液处，由第二夹持机构34夹固硅片置入到清洗液当中进行再次的清洗处理，达到了通过加设再洗部件以提高洁净度的有益效果；

之后，根据上述，由第二链板带32带动第二夹持机构34移动至中空风板27处时，对第二夹持机构34处的硅片进行预先吹干，红外传感器17确定该硅片位置，再由第二夹持机构34将该硅片放置于垫块161顶端的垫层162当中，而十字间槽163便于第二夹持机构34的置入；

根据上述，此时，通过在干燥组件1内部设置的的均流装置13和翻转组件18，热流经过均流装置13，由通入管131连接外部的热流部件，热流进入由流通罩132与均初分架133形成的初分道134当中，再进入到均再分架135与初分道134形成的再分道136当中，从而均匀分布在第一链板带15上方，以提高对硅片的干燥效率，并且由翻转组件18由第一气缸182调整伸缩位置，第一夹持机构183夹固该硅片后，伺服电机181旋转一百八十度，再置于垫层162顶端，对硅片的翻面处理，进一步加快干燥能力，达到了通过加设均热与翻转部件以提高干燥效率的有益效果；

最后，再由壳体4内部的输送装置3将该硅片夹持至阻隔装置6处，通过在壳体4左端设置的阻隔装置6，将该硅片放置进入光刻机内部时，经过中空吹尘板63吹出气体(优选氮气)至第二夹持机构34夹固的硅片顶底两端，防止该硅片表面尘污，而闭合组件62由第二气缸621驱动闭板622推动位移使得压条623置于嵌条624密闭，而闭合组件62上下对称设置的夹板625相接触，提供密闭效果，以保证该硅片光刻时的空间防污，在此过程当中，中空吹尘板63停止吹出气体，达到了通过加设闭口部件以提高隔绝防污有益效果。

本发明的控制方式是通过控制器来自动控制，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，电源的提供也属于本领域的公知常识，并且本发明主要用来保护机械装置，所以本发明不再详细解释控制方式和电路连接。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (1)

1.一种硅片光刻用防污输送设备，其特征在于：包括，

干燥组件；

干燥组件右端与清洗组件固定连接，清洗组件内侧上部固接有输送装置；

干燥组件左端固接有壳体，壳体底端与底架固定连接，壳体内部固接有与清洗组件内部当中相同且处于同一水平线的输送装置，壳体左端固接有阻隔装置，阻隔装置前端下部与控制器螺栓连接，控制器底端设置有电源线；

干燥组件前端设置有驱动组件；

所述干燥组件包括框体、支架、均流装置、第一转动辊、第一链板带、放置组件、红外传感器和翻转组件，所述框体底端前后两部对称固接有支架，所述框体上部固接有均流装置，所述框体内侧左右两端对称设置有第一转动辊，并且第一转动辊前后两端分别通过轴承与框体转动连接，所述第一转动辊外侧设置有第一链板带，并且第一转动辊与第一链板带转动连接，所述第一链板带外侧固接有放置组件，所述放置组件设置有多组且其均匀分布于所述第一链板带外侧中段，所述框体内侧右后端固接有红外传感器，所述框体内侧中后端固接有翻转组件，所述框体左端与壳体内部连通；

所述均流装置包括通入管、流通罩、均初分架、初分道、均再分架和再分道，所述通入管底端固接有流通罩，所述流通罩内部固接有均初分架，并且均初分架与流通罩内部之间形成初分道，所述初分道内侧下部固接有均再分架，并且均再分架与初分道内侧之间形成再分道，所述通入管固定嵌入框体顶端中部；

所述放置组件包括垫块、垫层和十字间槽，所述垫块顶端设置有垫层，所述垫块顶端固定嵌入形成十字间槽，所述垫块左右两端通过十字间槽连通，所述垫块前后两端通过十字间槽连通，所述垫块内侧与第一链板带固定连接；

所述翻转组件包括伺服电机、第一气缸和第一夹持机构，所述伺服电机前端固接有第一气缸，所述第一气缸前端固接有第一夹持机构，所述伺服电机后端与框体内侧中后部固定连接；

所述清洗组件包括箱体、支脚、清洗槽、超声换能器、超声波发生器、排液阀和中空风板，所述箱体底端角落分别固接有支脚，所述箱体内部底端设置有清洗槽，所述清洗槽内壁前后两端对称固接有超声换能器，所述超声换能器外侧与超声波发生器固定连接，所述箱体外侧通过过盈配合方式固定嵌入有超声波发生器，所述箱体前端右下部固接有排液阀，并且排液阀与箱体内部连通，所述箱体右端左部通过过盈配合方式贯穿有中空风板，所述箱体左端与框体固定连接，所述箱体内侧上部固接有输送装置，所述箱体左端与框体内部连通；

所述输送装置包括第二转动辊、第二链板带、电动推杆和第二夹持机构，所述第二转动辊外侧设置有第二链板带，并且第二转动辊与第二链板带转动连接，所述第二链板带外侧固接有电动推杆，所述电动推杆外侧固接有第二夹持机构，所述第二夹持机构与第一夹持机构的组成结构相同；

所述驱动组件包括支撑板、驱动电机、第一轴杆、第一牵引轮、第一皮带、第二牵引轮、第二轴杆、第三牵引轮、第二皮带、第四牵引轮和第三轴杆，所述支撑板顶端固接有驱动电机，所述驱动电机后端中部固接有第一轴杆，所述第一轴杆贯穿第一牵引轮前后两端中部，并且第一轴杆与第一牵引轮固定插接，所述第一牵引轮设置于第一皮带内侧右部，所述第一轴杆后端与第二转动辊固定插接，所述第一皮带内侧左部设置有第二牵引轮，并且第一牵引轮通过第一皮带与第二牵引轮转动连接，所述第二牵引轮前后两端通过第二轴杆贯穿，并且第二牵引轮与第二轴杆固定连接，所述第二轴杆设置于壳体前端，所述第二轴杆后端与第二转动辊固定插接，所述第二轴杆贯穿第三牵引轮前后两端中部，并且第二轴杆与第三牵引轮固定插接，所述第三牵引轮设置于第二皮带内侧左部，所述第二皮带内侧右部设置有第四牵引轮，并且第三牵引轮通过第二皮带与第四牵引轮转动连接，所述第四牵引轮前后两端中部通过第三轴杆贯穿，并且第四牵引轮与第三轴杆固定插接，所述第三轴杆后端与第一转动辊固定连接；

所述阻隔装置包括外壳、闭合组件和中空吹尘板，所述外壳顶底两端对称贯穿有闭合组件且其相互贴合，所述外壳顶底两端对称贯穿有中空吹尘板，并且闭合组件设置于左方中空吹尘板，所述外壳内外两侧通过中空吹尘板连通，所述外壳右端与壳体内部连通；

所述闭合组件包括第二气缸、闭板、压条、嵌条和夹板，所述第二气缸内侧与闭板固定连接，所述闭板左右两端上部对称固接有压条，所述压条内侧与嵌条相互嵌合，所述嵌条外侧与夹板固定连接，所述夹板对称固接于外壳内壁顶底两端。

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