JP2007123771A - ドアシェル搬送機及びドアシェル搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 搬送時に純水や薬液が垂れることを抑制できるドアシェル搬送機及びドアシェル搬送方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るドアシェル搬送機は、ドアシェルを搬送するドアシェル搬送機において、ＦＯＵＰにおいてポッドシェルからドアシェルを分離する分離機能を有するとともに前記ドアシェルを保持する保持機能を有する分離保持機構としてのオープナー３２と、前記オープナーを回転させる回転機構とを具備する。この回転機構はオープナー３２が回転軸３８を介して接続されたロータリーアクチュエーター３７を有するものである。
【選択図】 図９

Description

本発明は、ドアシェル搬送機及びドアシェル搬送方法に係わり、特に、搬送時に純水や薬液が垂れることを抑制できるドアシェル搬送機及びドアシェル搬送方法に関する。

半導体の製造は多数の工程を極めて高いクリーン度のもとで行わなければならないが、全ての工程におよぶ広大な環境を高いクリーン度に保つのはコスト面で限界がある。このため、局所環境（ミニ・エンバイロメント）だけを高いクリーン度に保つ手段の開発が進められている。例えば、ウエハをＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼ばれる密閉型容器で搬送し、密閉型容器ごとウエハを半導体製造工程に入れ、密閉型容器を直接製造装置とドッキングさせて作業を進めるもので、密閉型容器内部の環境を管理することで製造工程内におけるウエハの高いクリーン度を維持することができることになる。

ところで、このような密閉型容器は、多数のウエハを収納して搬送するのであるが、その際にウエハと容器内面とが擦れて内部にパーティクル等の汚れが生じ、また容器はクリーン度の低いところを移送されるため外面が汚染され易く、蓋を外したときに内部に収納したウエハを汚染するおそれがある。そこで、容器を定期的に洗浄する必要がある。

図１０に示すように、ＦＯＵＰ８０は、その前面に開口部８１を有して基板を水平状態で収納する容器本体であるポッドシェル８２と、開口部８１をシール可能に閉鎖してポッドシェル８２に係合する蓋体であるドアシェル８３を備えたものである。尚、ドアシェル８３は、開口部８１をシール可能に閉鎖するためのパッキン８４を備えている。
ドアシェル８３とポッドシェル８２を結合して組み立てる際は、ドアシェルの内面８５がポッドシェルの内面に対向するように設置し、ロック部（留め具）８６によってドアシェルとポッドシェルを留めることでＦＯＵＰとする。ＦＯＵＰ８０は必要に応じて、ポッドシェル８２とドアシェル８３に分解されて、それぞれ別々に洗浄される。

図１１は、従来のＦＯＵＰ洗浄乾燥装置を模式的に示す上面図である。図１２は、図１１に示す矢印１０１の方向から視たＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。図１３は、図１１に示す矢印１０２の方向から視たＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。図１４は、図１１に示す矢印１０３の方向から視たＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。

図１１〜図１４に示すように、従来のＦＯＵＰ洗浄乾燥装置は、ドアシェル洗浄槽１０４、ドアシェル乾燥槽１０５、ポッドシェル洗浄槽１０６、ポッドシェル乾燥槽１０７、ポッドシェル搬送機１０８、ドアシェル搬送機１０９、電装ボックス１１０及びクリーンユニット１１１を有している。

まず、ポッドシェルの洗浄方法について説明する。開口部を下に向けたポッドシェルをポッドシェル洗浄槽１０６内に収容し、ポッドシェル洗浄槽１０６に洗浄用の純水を導入しながらポッドシェル内の空気を排気する。これにより、開口部からポッドシェルの内部に純水が効率よく導入されつつ洗浄槽１０６内も純水で満たされ、ポッドシェルが洗浄槽内の洗浄水に浸漬される。次に、ポッドシェル及び洗浄水に超音波振動を印加することにより超音波洗浄が行われる。

次に、ポッドシェルの乾燥方法について説明する。ポッドシェル洗浄槽１０６によって洗浄されたポッドシェルを、ポッドシェル搬送機１０８によってポッドシェル乾燥槽１０７に搬送し、乾燥槽１０７内に収容する。次いで、ポッドシェル乾燥槽１０７において、洗浄後のポッドシェルの外側面及び内面に熱風を吹きかけて熱風乾燥を行う。所定時間乾燥させた後、ポッドシェル乾燥槽内を減圧して減圧乾燥を行う。所定時間減圧した後、ポッドシェル乾燥槽を大気開放し、常圧に戻してから再び熱風乾燥及び減圧乾燥を繰り返す。（例えば特許文献１参照）。

次に、ドアシェルの洗浄方法について説明する。ドアシェルの内面をドアシェル洗浄槽１０４側に向けて固定し、ドアシェルの内面に洗浄用の純水を吹き付ける。これにより、ドアシェルの内面、パッキン及びその近傍が洗浄される。

次に、洗浄後のドアシェルを、ドアシェル搬送機１０９によってドアシェル洗浄槽１０４からドアシェル乾燥槽１０５に搬送する。次いで、ドアシェル乾燥槽１０５において、ドアシェルの内面に清浄な高圧空気を吹き付け、ドアシェルの内面に付着して残っていた純水を吹き飛ばして除去する（例えば特許文献２参照）。その他のドアシェルの乾燥方式として、空気を加熱して乾燥させる熱風発生器を用いた熱風乾燥なども用いられている。

特許３４９４２９３号（図１） 特開２００２−３３４８６３号公報（００２８〜００３０段落）

ところで、従来のＦＯＵＰ洗浄乾燥装置では、ポッドシェル及びドアシェルそれぞれの洗浄を純水によって行っているため、金属による汚れを除去することが困難である。また、従来のドアシェル洗浄槽において金属による汚れを除去するために薬液を用いた場合、ドアシェルを垂直に立てた状態でドアシェル搬送機１０９によってドアシェル洗浄槽１０４からドアシェル乾燥槽１０５に搬送しているため、この搬送時にドアシェルに付着した薬液が垂れてしまい、ＦＯＵＰ洗浄乾燥装置が薬液で汚染されてしまう。

本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、搬送時に純水や薬液が垂れることを抑制できるドアシェル搬送機及びドアシェル搬送方法を提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明に係るドアシェル搬送機は、ドアシェルを搬送するドアシェル搬送機において、
ＦＯＵＰにおいてポッドシェルからドアシェルを分離する分離機能を有するとともに前記ドアシェルを保持する保持機能を有する分離保持機構と、
前記分離保持機構を回転させる回転機構と、
を具備することを特徴とする。

また、本発明に係るドアシェル搬送機において、前記ポッドシェルから前記ドアシェルを分離する際に前記分離保持機構によって保持されたドアシェルの内面は重力方向に対して略逆方向を向き、前記分離した後に前記分離保持機構によって保持されたドアシェルの内面は略重力方向を向くように、前記回転機構を制御する制御部をさらに具備することが好ましい。

また、本発明に係るドアシェル搬送機において、前記分離保持機構を昇降させる昇降機構と、前記分離保持機構を略水平方向に移動させる移動機構と、をさらに具備することが好ましい。

また、本発明に係るドアシェル搬送機において、前記移動機構は、前記回転機構が収容された筐体と、前記筐体に取り付けられたガイドと、前記ガイドが自在に移動できるガイドレールと、前記筐体に連結されたベルトと、前記ベルトを動かす駆動機構と、を具備することも可能である。

また、本発明に係るドアシェル搬送機において、前記回転機構は、前記分離保持機構が回転軸を介して取り付けられたロータリーアクチュエーターを有することも可能である。

本発明に係るドアシェル搬送方法は、ドアシェルの内面が重力方向に対して略逆方向を向いた状態のＦＯＵＰにおいてポッドシェルからドアシェルを分離し、
前記分離したドアシェルを略１８０°回転させることにより、前記ドアシェルの内面を略重力方向に向かせ、
前記ドアシェルの内面を略重力方向に向かせた状態で該ドアシェルを処理槽に設置することを特徴とする。

本発明に係るドアシェル搬送方法は、ドアシェルの内面が略重力方向に向いた状態で処理槽に設置された前記ドアシェルを前記処理槽から上昇させ、
前記ドアシェルを略１８０°回転させることにより、前記ドアシェルの内面を重力方向と略逆方向に向かせ、
前記略逆方向を向いた状態の前記ドアシェルにポッドシェルを結合させてＦＯＵＰを組み立てることを特徴とする。

また、本発明に係るドアシェル搬送方法において、前記処理槽は、ドアシェル洗浄リンス槽、ドアシェル水切り槽及びドアシェル乾燥槽のいずれかであることが好ましい。

以上説明したように本発明によれば、搬送時に純水や薬液が垂れることを抑制できるドアシェル搬送機及びドアシェル搬送方法を提供することができる。

発明を実施するための形態

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１は、本発明の実施の形態によるＦＯＵＰ洗浄乾燥装置を模式的に示す上面図である。図２は、図１に示す矢印２１の方向から視たＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。図３は、図１に示す矢印２２の方向から視たＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。

図１に示すように、ＦＯＵＰ洗浄乾燥装置はドアシェル洗浄リンス槽１を有しており、このドアシェル洗浄リンス槽１の隣にはドアシェル水切り槽２が配置されている。このドアシェル水切り槽２の隣にはドアシェル乾燥槽３が配置されている。これら洗浄リンス槽１、水切り槽２及び乾燥槽３は横一列に配置されており、洗浄しようとするドアシェルをドアシェル搬送機８によって洗浄リンス槽１、水切り槽２及び乾燥槽３の相互間を搬送されるように構成されている。

前記ドアシェル洗浄リンス槽１は、ドアシェルを薬液で洗浄し純水でリンスする槽である。前記ドアシェル水切り槽２は、洗浄後のドアシェルの水切りを行う槽である。前記ドアシェル乾燥槽３は、水切り後のドアシェルの乾燥を行う槽である。

また、ＦＯＵＰ洗浄乾燥装置はポッドシェル洗浄槽４を有しており、このポッドシェル洗浄槽４はドアシェル洗浄リンス槽１に対向する位置に配されている。ポッドシェル洗浄槽４の隣にはポッドシェル水切り槽５が配置されており、このポッドシェル水切り槽５はドアシェル水切り槽２に対向する位置に配されている。ポッドシェル水切り槽５の隣にはポッドシェル乾燥槽６が配置されており、このポッドシェル乾燥槽６はドアシェル乾燥槽３に対向する位置に配されている。これら洗浄槽４、水切り槽５及び乾燥槽６は横一列に配置されており、洗浄しようとするポッドシェルをポッドシェル搬送機７によって洗浄槽４、水切り槽５及び乾燥槽６の相互間を搬送されるように構成されている。

前記ポッドシェル洗浄槽４は、ポッドシェルを薬液で洗浄し純水でリンスする槽である。前記ポッドシェル水切り槽５は、洗浄後のポッドシェルの水切りを行う槽である。前記ポッドシェル乾燥槽６は、水切り後のポッドシェルの乾燥を行う槽である。

また、ＦＯＵＰ洗浄乾燥装置は二つのドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機９を有しており、一方の搬送機９はドアシェル洗浄リンス槽１とポッドシェル洗浄槽４との間のドアシェル又はポッドシェルの搬送を行うものであり、他方の搬送機９はドアシェル乾燥機３とポッドシェル乾燥機６との間のドアシェル又はポッドシェルの搬送を行うものである。

ドアシェル搬送機８には、洗浄しようとするＦＯＵＰをドアシェルとポッドシェルに分解する分解手段（図示せず）及び洗浄が終了したポッドシェルとドアシェルを結合させてＦＯＵＰを組み立てる組み立て手段（図示せず）が設けられている。なお、ドアシェル搬送機８の詳細については後述する。

ＦＯＵＰ洗浄乾燥装置は薬液供給ユニット１０を備えており、この薬液供給ユニット１０は、ドアシェル洗浄リンス槽１及びポッドシェル洗浄槽４それぞれに薬液を供給するものである。また、ＦＯＵＰ洗浄乾燥装置は各槽及び各搬送機などに電力を供給する電源ボックス１１を有している。また、ＦＯＵＰ洗浄乾燥装置は、図２に示すように該装置内の雰囲気をクリーンにするクリーンユニット１２を有している。

次に、図１〜図３に示すＦＯＵＰ洗浄乾燥装置を用いたＦＯＵＰ洗浄乾燥方法について説明する。
まず、洗浄しようとするＦＯＵＰを用意し、このＦＯＵＰを分解手段によりドアシェルとポッドシェルに分解する。詳細には、ドアシェルとポッドシェルを結合している留め具を外してドアシェルとポッドシェルを分解する。

次いで、ドアシェル搬送機８によってドアシェルの内面を下に向けて該ドアシェルをドアシェル洗浄リンス槽１に設置し、ドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機９によってポッドシェルの開口部を下に向けて該ポッドシェルをポッドシェル洗浄槽４内に搬送する。

次に、ドアシェル洗浄リンス槽１においてドアシェルの内面に薬液を吹き付けることにより該ドアシェルを薬液で洗浄し、この後、ドアシェルの内面に純水を吹き付けることにより該ドアシェルを純水でリンスする。また、ポッドシェル洗浄槽４においてポッドシェルを回転させながらポッドシェルの内面に薬液を吹き付けることにより該ポッドシェルを薬液で洗浄し、この後、ポッドシェルを回転させながらポッドシェルの内面に純水を吹き付けることにより該ポッドシェルを純水でリンスする。ポッドシェルを回転させることにより、ポッドシェルの内面に純水をむら無く吹き付けることができる。また、ポッドシェル内面に純水を吹き付ける方法を採用することにより、従来技術のように純水に浸漬させるのに比べて純水使用量を少なくすることができる。

次いで、洗浄リンス後のドアシェルをドアシェル搬送機８によってドアシェル洗浄リンス槽１からドアシェル水切り槽２に搬送する。次いで、ドアシェル水切り槽２においてドアシェルにエアーなどの気体を吹き付けることによりドアシェルの内面に付着して残っていた純水を吹き飛ばして水を切る。また、洗浄リンス後のポッドシェルをポッドシェル搬送機７によってポッドシェル洗浄槽４からポッドシェル水切り槽５に搬送する。次いで、ポッドシェル水切り槽５においてポッドシェルを回転させるながらエアーなどの気体を吹き付けることによりポッドシェルに付着して残っていた純水を飛ばして水を切る。

次に、水切り後のドアシェルをドアシェル搬送機８によってドアシェル水切り槽２からドアシェル乾燥槽３に搬送する。次いで、ドアシェル乾燥槽３においてドアシェルに熱風を吹き付けて該ドアシェルを乾燥させる。また、水切り後のポッドシェルをポッドシェル搬送機７によってポッドシェル水切り槽５からポッドシェル乾燥槽６に搬送する。次いで、ポッドシェル乾燥槽６においてポッドシェルに加熱エアーを吹き付けて遠心乾燥させる。遠心乾燥の回転速度はおよそ６００ｒｐｍである。

次いで、乾燥後のポッドシェルをドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機９によってポッドシェル乾燥槽６からドアシェル乾燥槽３の上方又は近傍に搬送し、乾燥後のドアシェルをドアシェル搬送機８によってドアシェル乾燥槽３の上方又は近傍に搬送する。次いで、組み立て手段により前記ドアシェルと前記ポッドシェルを留め具によって結合してＦＯＵＰを組み立てる。

上記実施の形態によれば、ドアシェル洗浄リンス槽１によってドアシェルを薬液で洗浄でき、ポッドシェル洗浄槽４によってポッドシェルを薬液で洗浄することができる。従って、従来技術では困難であった金属による汚れを除去することができる。

また、本実施の形態では、ドアシェル洗浄リンス槽１、ドアシェル水切り槽２及びドアシェル乾燥槽３を横一列に配置し、ポッドシェル洗浄槽４、ポッドシェル水切り槽５及びポッドシェル乾燥槽６を横一列に配置し、ドアシェル洗浄リンス槽１をポッドシェル洗浄槽４と対向して配置し、ドアシェル水切り槽２をポッドシェル水切り槽５と対向して配置し、ドアシェル乾燥槽３をポッドシェル乾燥槽６と対向して配置している。このように配置することにより、分解後のドアシェルの洗浄、リンス、水切り及び乾燥と分解後のポッドシェルの洗浄、リンス、水切り及び乾燥を無駄な動作無く平行して行うことができる。従って、装置を小フットプリントで小型化することができるとともに装置のスループットを向上させることができる。

また、従来技術のようにポッドシェルを純水に浸漬させて超音波洗浄する方法を採らないため、従来技術に比べて洗浄時間を短縮することができる。つまり、従来技術では純水の給排水に時間がかかってしまい、スループットを向上させることが困難であったが、本実施の形態では洗浄時間を短縮することができる。

また、本実施の形態では、ドアシェル水切り槽２及びポッドシェル水切り槽５を設けることにより、ドアシェル乾燥槽３及びポッドシェル乾燥槽６それぞれにおける乾燥時間を短縮することができる。

また、本実施の形態では、ドアシェル水切り槽２及びポッドシェル水切り槽５それぞれにおいて十分に水切りを行った後に乾燥を行うため、従来技術のように減圧乾燥を行わなくても容易に乾燥させることができる。減圧乾燥を行うには、肉厚な乾燥槽を設ける必要があるが、本実施の形態ではそのような肉厚な乾燥槽が不要となる。従って、装置のコストを低減することができる。

図４は、図１乃至図３に示すドアシェル搬送機８の具体的構成を示す上面図である。図５は、図４に示す矢印１３の方向から視たドアシェル搬送機の構成を示す側面図である。図６は、図４に示す矢印１４の方向から視たドアシェル搬送機の構成を示す側面図である。図７は、図４乃至６に示すオープナー及びその回転機構を示す上面図である。図８は、図７に示す矢印１５の方向から視たオープナー及びその回転機構を示す側面図である。図９は、図７に示す矢印１６の方向から視たオープナー及びその回転機構を示す側面図である。

図４乃至６に示すように、ドアシェル搬送機８はオープナー３２を備えており、このオープナー３２は、ドアシェルを吸着して保持し、ＦＯＵＰの状態にあるドアシェルとポッドシェルを分離する分離機能と、ポッドシェルとドアシェルを結合させてＦＯＵＰを組み立てる組み立て機能とを有している。前記分離機能は、ドアシェルとポッドシェルを結合しているロック部（留め具）を外す機能である。前記組み立て機能は、ドアシェルとポッドシェルをロック部（留め具）によって結合する機能である。

図７乃至９に示すように、オープナー３２は回転軸３８を介してロータリーアクチュエーター３７に接続されている。ロータリーアクチュエーター３７によって回転軸３８を回転させることにより、オープナー３２を１８０°回転させることができるようになっている。つまり、オープナー３２は、上に向いている状態（図４〜図９に示すように重力方向と略逆方向を向いている状態）と下に向いている状態（略重力方向を向いている状態）が得られるようになっている。オープナー３２が上に向いている状態ではオープナー３２の上にドアシェルを保持することができ、オープナー３２が下に向いている状態ではオープナー３２の下にドアシェルを保持することができる。

ロータリーアクチュエーター３７は、図４乃至６に示す搬送機筐体３１に収容されている。この搬送機筐体３１内にはロータリーアクチュエーター３７を昇降させる昇降機構（図示せず）が配置されている。この昇降機構によってロータリーアクチュエーター３７とともにオープナー３２を昇降させることができるようになっている。
搬送機筐体３１の下部にはガイド３６が設けられており、このガイド３６はガイドレール３９上を自在に移動できるように構成されている。

搬送機筐体３１はタイミングベルト３５に連結されており、タイミングベルト３５は一対のタイミングプーリー３４に巻かれている。一方のタイミングプーリー３４はギアを介してＡＣサーボモーター３３に接続されている。ＡＣサーボモーター３３の回転駆動力はギアを経由してタイミングプーリー３４に伝達され、タイミングプーリー３４が回転することによりタイミングベルト３５が動かされるように構成されている。つまり、ＡＣサーボモーター３３の回転数を図示せぬ制御部で制御することにより、タイミングベルト３５の動く量を制御することができ、その結果、搬送機筐体３１の位置を制御することができる。

次に、上記ドアシェル搬送機８の動作について図４乃至図９を参照しつつ説明する。
洗浄しようとするＦＯＵＰをドアシェルを下に向けた状態で、図４乃至図９に示す状態のオープナー３２の上に置いて吸着保持させ、このＦＯＵＰをオープナー３２によりロック部を外してドアシェルとポッドシェルに分離する。

次いで、分離したポッドシェルは図１に示すドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機９によってポッドシェル洗浄槽４に搬送する。次いで、オープナー３２をロータリーアクチュエーター３７によって回転軸３８とともに１８０°回転させる。これにより、オープナー３２によってドアシェルが下向きに保持され、このドアシェルの内面は下に向いた状態となる。

次に、搬送機筐体３１内の昇降機構によってロータリーアクチュエーター３７とともにオープナー３２を下降させ、内面が下に向いた状態のドアシェルをドアシェル洗浄リンス槽に設置する。次いで、ドアシェル洗浄リンス槽１において前述したような方法で薬液洗浄を行い、純水でリンスする。

次いで、洗浄リンス後のドアシェルをオープナー３２によって吸着して保持し、このオープナー３２を昇降機構によって上昇させ、オープナー３２を１８０°回転させることによりドアシェルを上向に保持する。このようにしてドアシェルをドアシェル洗浄リンス槽１の上方に移動させる。次いで、ＡＣサーボモーター３３の駆動力を、ギア、タイミングプーリー３４及びタイミングベルト３５を介して搬送機筐体３１に伝達することにより、オープナー３２とともにドアシェルをドアシェル水切り槽２の上方に移動させる。この際、ドアシェルを上向に保持した状態で該ドアシェルを移動させるため、純水や薬液が垂れることを抑制できる。次いで、搬送機筐体３１内の昇降機構によってロータリーアクチュエーター３７とともにオープナー３２を下降させ、内面が下に向いた状態のドアシェルをドアシェル水切り槽２に設置する。次いで、ドアシェル水切り槽２において前述したような方法でドアシェルの水切りを行う。

次に、水切り後のドアシェルをオープナー３２によって吸着して保持し、このオープナー３２を昇降機構によって上昇させ、ドアシェルをドアシェル水切り槽２の上方に移動させる。次いで、ＡＣサーボモーター３３の駆動力を、ギア、タイミングプーリー３４及びタイミングベルト３５を介して搬送機筐体３１に伝達することにより、オープナー３２とともにドアシェルをドアシェル乾燥槽３の上方に移動させる。次いで、搬送機筐体３１内の昇降機構によってロータリーアクチュエーター３７とともにオープナー３２を下降させ、内面が下に向いた状態のドアシェルをドアシェル乾燥槽３に設置する。次いで、ドアシェル乾燥槽３において前述したような方法でドアシェルの乾燥を行う。

次いで、乾燥後のドアシェルをオープナー３２によって吸着して保持し、このオープナー３２を昇降機構によって上昇させ、オープナー３２を１８０°回転させ、ドアシェルをドアシェル乾燥槽３の上方に移動させる。また、乾燥後のポッドシェルをドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機９によってポッドシェル乾燥槽６からドアシェル乾燥槽３の上方のオープナー３２上に搬送する。次いで、オープナー３２の組み立て機能によりドアシェルとポッドシェルを留め具によって結合してＦＯＵＰを組み立てる。そして、ＦＯＵＰをＦＯＵＰ洗浄乾燥装置から取り出す。

上記ドアシェル搬送機によれば、オープナー３２をロータリーアクチュエーター３７によって回転軸３８とともに１８０°回転させる構成としているため、ドアシェル搬送機を小型化することができる。これにより、ＦＯＵＰ洗浄乾燥装置のレイアウトを効率化することができ、装置を小型化することができる。

尚、本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することが可能である。例えば、上記実施の形態では、オープナーをドアシェル搬送機に取り付けているが、オープナーをドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機に取り付けることも可能である。この場合、ドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機のオープナーにＦＯＵＰを置き、このオープナーによってドアシェルとポッドシェルを分離した後、ポッドシェル搬送機７によってポッドシェルの開口部を下に向けて該ポッドシェルをポッドシェル洗浄槽４内に設置し、ドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機によってドアシェルの内面を下に向けて該ドアシェルをドアシェル洗浄リンス槽１に搬送する。また、乾燥後のドアシェルをドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機のオープナーによってドアシェル乾燥槽３からポッドシェル乾燥槽６の上方又は近傍に搬送し、乾燥後のポッドシェルをポッドシェル搬送機７によって前記オープナー上に搬送し、前記オープナーによってドアシェルとポッドシェルを結合してＦＯＵＰを組み立てる。

本発明の実施の形態によるＦＯＵＰ洗浄乾燥装置を模式的に示す上面図である。 図１に示すＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。 図１に示すＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。 図１乃至図３に示すドアシェル搬送機の具体的構成を示す上面図である。 図４に示すドアシェル搬送機の構成を示す側面図である。 図４に示すドアシェル搬送機の構成を示す側面図である。 図４乃至６に示すオープナー及びその回転機構を示す上面図である。 図７に示すオープナー及びその回転機構を示す側面図である。 図７に示すオープナー及びその回転機構を示す側面図である。 洗浄しようとするＦＯＵＰをドアシェルとポッドシェルに分解した状態を示す斜視図である。 従来のＦＯＵＰ洗浄乾燥装置を模式的に示す上面図である。 図１１に示すＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。 図１１に示すＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。 図１１に示すＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。

符号の説明

１…ドアシェル洗浄リンス槽
２…ドアシェル水切り槽
３…ドアシェル乾燥槽
４…ポッドシェル洗浄槽
５…ポッドシェル水切り槽
６…ポッドシェル乾燥槽
７…ポッドシェル搬送機
８…ドアシェル搬送機
９…ドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機
１０…薬液供給ユニット
１１，１１０…電源ボックス
１２，１１１…クリーンユニット
１３〜１６，２１，２２，１０１〜１０３…矢印
３１…搬送機筐体
３２…オープナー
３３…ＡＣサーボモーター
３４…タイミングプーリー
３５…タイミングベルト
３６…ガイド
３７…ロータリーアクチュエーター
３８…回転軸
３９…ガイドレール
８０…ＦＯＵＰ
８１…開口部
８２…ポッドシェル
８３…ドアシェル
８４…パッキン
８５…内面
８６…ロック部
１０４…ドアシェル洗浄槽
１０５…ドアシェル乾燥槽
１０６…ポッドシェル洗浄槽
１０７…ポッドシェル乾燥槽
１０８…ポッドシェル搬送機
１０９…ドアシェル搬送機

Claims (8)

1. ドアシェルを搬送するドアシェル搬送機において、
   ＦＯＵＰにおいてポッドシェルからドアシェルを分離する分離機能を有するとともに前記ドアシェルを保持する保持機能を有する分離保持機構と、
   前記分離保持機構を回転させる回転機構と、
   を具備することを特徴とするドアシェル搬送機。
2. 請求項１において、前記ポッドシェルから前記ドアシェルを分離する際に前記分離保持機構によって保持されたドアシェルの内面は重力方向に対して略逆方向を向き、前記分離した後に前記分離保持機構によって保持されたドアシェルの内面は略重力方向を向くように、前記回転機構を制御する制御部をさらに具備することを特徴とするドアシェル搬送機。
3. 請求項１又は２において、前記分離保持機構を昇降させる昇降機構と、前記分離保持機構を略水平方向に移動させる移動機構と、をさらに具備することを特徴とするドアシェル搬送機。
4. 請求項３において、前記移動機構は、前記回転機構が収容された筐体と、前記筐体に取り付けられたガイドと、前記ガイドが自在に移動できるガイドレールと、前記筐体に連結されたベルトと、前記ベルトを動かす駆動機構と、を具備することを特徴とするドアシェル搬送機。
5. 請求項１乃至４のいずれか一項において、前記回転機構は、前記分離保持機構が回転軸を介して取り付けられたロータリーアクチュエーターを有することを特徴とするドアシェル搬送機。
6. ドアシェルの内面が重力方向に対して略逆方向を向いた状態のＦＯＵＰにおいてポッドシェルからドアシェルを分離し、
   前記分離したドアシェルを略１８０°回転させることにより、前記ドアシェルの内面を略重力方向に向かせ、
   前記ドアシェルの内面を略重力方向に向かせた状態で該ドアシェルを処理槽に設置することを特徴とするドアシェル搬送方法。
7. ドアシェルの内面が略重力方向に向いた状態で処理槽に設置された前記ドアシェルを前記処理槽から上昇させ、
   前記ドアシェルを略１８０°回転させることにより、前記ドアシェルの内面を重力方向と略逆方向に向かせ、
   前記略逆方向を向いた状態の前記ドアシェルにポッドシェルを結合させてＦＯＵＰを組み立てることを特徴とするドアシェル搬送方法。
8. 請求項６又は７において、前記処理槽は、ドアシェル洗浄リンス槽、ドアシェル水切り槽及びドアシェル乾燥槽のいずれかであることを特徴とするドアシェル搬送方法。
   

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