JP7402984B2 - 基板処理モジュールおよび基板処理装置 - Google Patents
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Description
図1から図10を参照しながら、一実施形態に係る基板処理装置1を説明する。図1は、一実施形態に係る基板処理装置1を説明する斜視図である。図2は、図1に示した基板処理装置1の構成要素を説明する斜視図である。図3は、図1に示した基板処理装置1におけるケミカルモジュール7を説明する斜視図である。図4は、図1に示した基板処理装置1における第2搬送機構9を説明する斜視図である。図5は、図3に示したケミカルモジュール7の要部を説明する斜視図である。図6は、図1に示した基板処理装置1における搬出モジュール8を説明する斜視図である。図7は、図1に示した基板処理装置1における搬入モジュール5を説明する斜視図である。図8は、図3に示したケミカルモジュール7における上下搬送部13の動きを説明する図である。図9は、図3に示したケミカルモジュール7における第1搬送部11の動きを説明する図である。図10は、基板4を保持するキャリア2を説明する図である。図11は、図1に示した基板処理装置1における乾燥モジュール6を説明する斜視図である。
キャリア2に保持された基板4を薬液で処理する薬液槽32、および、前記キャリア2に保持された前記基板4を洗浄する洗浄槽34を有するケミカルモジュール7を備え、
前記ケミカルモジュール7は、
前記薬液槽32および前記洗浄槽34が配列される第1方向に前記キャリア2を搬送する第1搬送部11と、
前記第1方向に交差する上下方向に前記キャリア2を搬送する上下搬送部13と、
前記第1方向および前記上下方向に交差する第2方向に前記キャリア2を搬送する第2搬送部48とを備え、
前記第1搬送部11、前記第2搬送部48および前記上下搬送部13は、それぞれ、第1アクチュエータ12、第2アクチュエータ41および上下アクチュエータ14によって駆動され、
前記第1アクチュエータ12、前記第2アクチュエータ41および前記上下アクチュエータ14は、前記薬液槽32および前記洗浄槽34から隔離されていることを特徴とする。
前記ケミカルモジュール7が、前記第2方向に着脱可能に連結されるように構成される。
前記第1アクチュエータ12および前記上下アクチュエータ14が、前記薬液槽32および前記洗浄槽34の各開口部よりも下方に配設される。
前記基板4を保持する前記キャリア2を搬入する搬入モジュール5、前記キャリア2に保持された前記基板4を乾燥する乾燥モジュール6、または、前記基板4を保持する前記キャリア2を搬出する搬出モジュール8をさらに備え、
前記搬入モジュール5、前記乾燥モジュール6および前記搬出モジュール8が、前記第2方向に着脱可能に連結されるように構成される。
前記第2アクチュエータ41と前記薬液槽32との間は、後方壁38によって仕切られる。
前記薬液槽32の前記第2方向における側方が、側方壁37によって仕切られる。
前記薬液槽32が前記第1方向の後方側に配設されて、前記洗浄槽34が前記第1方向の前方側に配設される。
2…キャリア
3…鍔部
4…基板
5…搬入モジュール
6…乾燥モジュール
7…ケミカルモジュール
7a…第1ケミカルモジュール
7b…第2ケミカルモジュール
7c…第3ケミカルモジュール
7d…第4ケミカルモジュール
8…搬出モジュール
9…第2搬送機構
11…第1搬送部
12…第1アクチュエータ
13…上下搬送部
14…上下アクチュエータ
16…アーム
18…受台
20…筐体
22…載置台
24…ファンフィルタユニット
26…搬入部
27…搬出部
29…共通排気ダクト
31…乾燥チャンバー
32…薬液槽
34…洗浄槽
36…側方排気ダクト(排気ダクト)
36a…側方排気口(排気口)
37…側方壁
37a…間隙
38…後方壁
38a…開口
39…後方排気ダクト(排気ダクト)
39a…後方排気口(排気口)
40…第2搬送収容部
41…第2アクチュエータ
42…回転アクチュエータ
43…回動アーム部
44…チャック部
46…リンク部
48…第2搬送部
Claims (12)
- 第1方向に配列され、基板を配置可能な第1槽および第2槽と、
前記基板を前記第1方向に移動させる第1搬送部と、
前記基板を前記第1方向に交差する第2方向に移動させる第2搬送部と、
前記第1搬送部に連結され、前記基板を上下動させる上下搬送部と、を備え、
前記第1搬送部の第1アクチュエータおよび前記第2搬送部の第2アクチュエータは、前記第1槽と前記第2槽にアクセス可能な処理スペースとは隔離された駆動スペースにそれぞれ配置され、
前記第1アクチュエータは、第1駆動スペースに配置され、前記第2アクチュエータは、第2駆動スペースに配置され、
前記第1駆動スペースは、前記第1槽および前記第2槽の各開口部の側方かつ下方に設けられる、基板処理モジュール。 - 第1方向に配列され、基板を配置可能な第1槽および第2槽と、
前記基板を前記第1方向に移動させる第1搬送部と、
前記基板を前記第1方向に交差する第2方向に移動させる第2搬送部と、
前記第1搬送部に連結され、前記基板を上下動させる上下搬送部と、を備え、
前記第1搬送部の第1アクチュエータおよび前記第2搬送部の第2アクチュエータは、前記第1槽と前記第2槽にアクセス可能な処理スペースとは隔離された駆動スペースにそれぞれ配置され、
前記第1アクチュエータは、第1駆動スペースに配置され、前記第2アクチュエータは、第2駆動スペースに配置され、
前記第2駆動スペースは、前記処理スペースに対して前記第1方向の後方に設けられる、基板処理モジュール。 - 第1方向に配列され、基板を配置可能な第1槽および第2槽と、
前記基板を前記第1方向に移動させる第1搬送部と、
前記基板を前記第1方向に交差する第2方向に移動させる第2搬送部と、
前記第1搬送部に連結され、前記基板を上下動させる上下搬送部と、を備え、
前記第1搬送部の第1アクチュエータおよび前記第2搬送部の第2アクチュエータは、前記第1槽と前記第2槽にアクセス可能な処理スペースとは隔離された駆動スペースにそれぞれ配置され、
前記第1アクチュエータは、第1駆動スペースに配置され、前記第2アクチュエータは、第2駆動スペースに配置され、
前記処理スペースの後方に設けられた後方壁をさらに備え、
前記第2駆動スペースは、前記後方壁の後方に設けられる、基板処理モジュール。 - 前記後方壁は、前記処理スペースの雰囲気を外部に排気するための排気口を形成する、請求項3に記載の基板処理モジュール。
- 前記第2搬送部は、前記第2駆動スペースから前方へ延びるとともに前記後方壁に設けられた開口を通過するアームと、前記アームに連結されて前記第1槽の上方に配置されるチャック部と、を備える、請求項3又は4に記載の基板処理モジュール。
- 前記第2駆動スペースは、別のモジュールと連結可能である、請求項1から5のいずれか1つに記載の基板処理モジュール。
- 前記別のモジュールは、搬入モジュール、搬出モジュール、乾燥モジュール、基板処理モジュールのうちのいずれかである、請求項6に記載の基板処理モジュール。
- 前記第2搬送部は、基板を把持するためのチャック部を回転させる回転アクチュエータをさらに備え、
前記回転アクチュエータは、前記第2駆動スペースに配置される、請求項1から7のいずれか1つに記載の基板処理モジュール。 - 前記上下搬送部の上下アクチュエータは、前記第1駆動スペースに配置される、請求項1から8のいずれか1つに記載の基板処理モジュール。
- 前記第1槽および前記第2槽のそれぞれは、前記基板を薬液で処理する薬液槽、前記基板を洗浄する洗浄槽、前記基板を薬液処理する機能と洗浄する機能を兼ねたワンバス処理槽のいずれかである、請求項1から9のいずれか1つに記載の基板処理モジュール。
- 前記第1槽は、前記第1方向の前方側に配置された洗浄槽であり、前記第2槽は、前記第1方向の後方側に配置された薬液槽である、請求項10に記載の基板処理モジュール。
- 請求項1から11のいずれか1つに記載の前記基板処理モジュールと、前記基板処理モジュールに対して前記第2方向に連結される別のモジュールとを備える、基板処理装置。
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