CN112820679A - 加工装置 - Google Patents

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Abstract

提供加工装置，其具有将翘曲的被加工物从盒中搬出的搬出机构。加工装置具有：盒载置区域，其载置盒，该盒收纳按照第1面和位于与第1面相反的一侧的第2面成为凸状的第1面和凹状的第2面的方式翘曲的板状的被加工物；搬出机构，其从载置于盒载置区域的盒中搬出被加工物；和加工单元，其对由搬出机构搬出的被加工物进行加工，搬出机构具有：支承板，其与被加工物的下表面面对；至少三个突起部件，它们配置于支承板的上表面的至少三个部位，从支承板的上表面侧突出，能够分别与被加工物的下表面接触；和移动单元，其与支承板连结，使支承板移动，搬出机构使至少三个突起部件与被加工物的下表面接触，一边维持被加工物翘曲的状态一边搬送被加工物。

Description

加工装置
技术领域
本发明涉及具有对具有翘曲的板状的被加工物进行搬送的搬出机构的加工装置。
背景技术
在利用加工装置对器件晶片或树脂封装基板等各种板状的被加工物进行加工的情况下，在加工装置中配置有收纳多个被加工物的盒。收纳在盒内的被加工物例如是硅晶片或半导体封装基板。
在被加工物是硅晶片的情况下，由于覆盖着晶片的背面侧的金属膜、形成于晶片的背面侧的磨削变形、形成于晶片的正面侧的包含绝缘膜和金属层在内的层叠物等的影响，有时在晶片上产生翘曲。例如，有时在晶片上产生中凸形状或中凹形状的翘曲。
另外，在被加工物是半导体封装基板的情况下，由于分别构成半导体封装基板的金属制的框架与模制树脂的热膨胀率的差异，有时在半导体封装基板上产生中凸形状或中凹形状的翘曲。
被加工物通过搬送机器人等搬出机构而被分别搬送到盒的外部(例如，参照专利文献1)。搬送机器人具有板状的手部，在该手部的一个面上例如设置有多个吸附垫。各吸附垫经由电磁阀等而与真空产生源连接，当使电磁阀等成为开状态时，在吸附垫上产生负压。
搬送机器人在由吸附垫吸附着被加工物的状态下对被加工物进行搬送，但在被加工物具有翘曲的情况下，有时无法利用吸附垫对被加工物进行吸附。在该情况下，搬送机器人无法搬送被加工物。
专利文献1：日本特开2002-270674号公报
发明内容
本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供具有能够将具有翘曲的被加工物从盒中向盒的外部搬出的搬出机构的加工装置。
根据本发明的一个方式，提供一种加工装置，其具有：盒载置区域，其载置盒，该盒收纳板状的被加工物，该被加工物按照第1面和位于与该第1面相反的一侧的第2面成为凸状的该第1面和凹状的该第2面的方式翘曲；搬出机构，其将该被加工物从载置于该盒载置区域的该盒向该盒的外部搬出；以及加工单元，其对由该搬出机构搬出的该被加工物进行加工，该搬出机构具有：支承板，其被定位成与该被加工物的下表面面对；至少三个突起部件，它们配置于该支承板的上表面的至少三个部位，从该支承板的上表面侧突出，能够分别与该被加工物的该下表面接触；以及移动单元，其与该支承板连结，使该支承板移动，该搬出机构使该至少三个突起部件与该被加工物的该下表面接触，从而一边维持该被加工物的翘曲的状态一边搬送该被加工物。
本发明的一个方式的加工装置具有搬出机构和加工单元。搬出机构具有：支承板，其被定位成与被加工物的下表面面对；以及至少三个突起部件，它们从支承板的上表面侧突出而配置于支承板的上表面的至少三个部位，能够分别与被加工物的下表面接触。搬出机构还具有与支承板连结并使支承板移动的移动单元。
搬出机构使至少三个突起部件与被加工物的下表面接触，从而能够一边维持被加工物翘曲的状态一边搬出被加工物。因此，不需要在搬出时利用外力使具有翘曲的被加工物变形为平坦，即使被加工物为中凸形状或中凹形状，也能够以原本的形状搬送被加工物。
附图说明
图1是磨削装置的立体图。
图2是搬送机器人等的放大立体图。
图3是突起部件的剖视图。
图4的(A)是盒等的局部剖面侧视图，图4的(B)是示出利用手部支承着被加工物的状态的图。
图5的(A)是配置在定位工作台上的被加工物等的局部剖面侧视图，图5的(B)是载置于吸引台的上表面上的被加工物等的局部剖面侧视图。
图6的(A)是将垫部向被加工物按压时的被加工物等的局部剖面侧视图，图6的(B)是变形为大致平坦的被加工物等的局部剖面侧视图。
图7的(A)是具有辅助台的定位工作台等的局部剖面侧视图，图7的(B)是示出利用辅助台和吸引台支承着被加工物的状态的定位工作台等的局部剖面侧视图。
图8是示出利用手部支承着被加工物的状态的图。
标号说明
2：磨削装置(加工装置)；4：基台；4a：凹部；6：搬送机器人；6a：移动单元；6b：圆筒支承部；6c：第1连杆；6d：第2连杆；6e：腕部；6f：手部；6g：支承板；6g1：连接部；6g2：指部；6g3：上表面；6h：突起部件；6h1：上部；6h2：下部；8a、8b：盒载置区域；10a、10b：盒；10a1：侧板；10a2：上板；10a3：下板；10a4：支承架；11：被加工物；11a：正面；11b：背面；12：定位工作台；12a：吸引台；12b：定位销；12c：吸引源；12d：电磁阀；12e：辅助台；14：装载臂部；14a：垫部；14b：吸引面；16：转台；18：卡盘工作台；18a：保持面；20a、20b：支承构造；22：Z轴移动机构；24：Z轴导轨；26：Z轴移动板；28：Z轴滚珠丝杠；30：Z轴脉冲电动机；32a：粗磨削单元；32b：精磨削单元；34：主轴壳体；36：主轴电动机；38a：粗磨削磨轮；38b：精磨削磨轮；40a、40b：磨轮基台；42a：粗磨削磨具；42b：精磨削磨具；44：卸载臂部；46：旋转清洗单元；A：搬入搬出区域；B：粗磨削区域；C：精磨削区域；d：直径；h：高度。
具体实施方式
参照附图对本发明的一个方式的实施方式进行说明。图1是磨削装置2的立体图。磨削装置(加工装置)2具有大致长方体形状的基台4。在图1中，将基台4的左右方向设为X轴方向，将基台4的前后方向设为Y轴方向，将基台4的上下方向设为Z轴方向。
在基台4的前方向(Y轴方向的一方)形成有凹部4a，在该凹部4a中设置有搬送机器人(搬出机构)6。相对于凹部4a在右方向(X轴方向的一方)具有盒载置区域8a，相对于凹部4a在左方向(X轴方向的另一方)具有盒载置区域8b。这样，盒载置区域8a、8b位于在X轴方向上夹着凹部4a的位置。
在盒载置区域8a上载置有盒10a，该盒10a收纳有由磨削装置2加工前的一个以上的被加工物11。另外，在盒载置区域8b上载置有盒10b，该盒10b收纳有由磨削装置2加工后的一个以上的被加工物11。
这里，参照图2和图3对将收纳在盒10a中的被加工物11从盒10a中搬出的搬送机器人6进行说明。图2是搬送机器人6等的放大立体图。
搬送机器人6具有移动单元6a，该移动单元6a由多个连杆以能够转动的方式连结而得的屈曲连杆机构构成。移动单元6a具有圆筒支承部6b。圆筒支承部6b通过驱动单元(未图示)能够在Z轴方向上移动并且能够在XY平面上旋转。
在圆筒支承部6b的上端部以能够在XY平面上旋转的方式连接有第1连杆6c的一端部。另外，在第1连杆6c的另一端部以能够在XY平面上旋转的方式连接有第2连杆6d的一端部。
在第2连杆6d的另一端部连接有能够在XY平面上旋转的平板状的腕部6e。在腕部6e的侧部连结有作为末端执行器的手部6f。
腕部6e、第2连杆6d、第1连杆6c以及圆筒支承部6b构成移动单元6a。通过移动单元6a，手部6f沿着XY平面方向和Z轴方向移动。手部6f具有与腕部6e连结的支承板6g。
支承板6g由金属、陶瓷等形成。支承板6g包含连接部6g1，该连接部6g1的一端侧与腕部6e连结。在连接部6g1的另一端侧设置有两个指部6g2。
两个指部6g2具有沿着从连接部6g1的一端朝向另一端的第1方向(长度方向)的长条部。另外，两个指部6g2设置在相对于连接部6g1在与第1方向垂直的第2方向(宽度方向)上的中心左右对称的位置。两个指部6g2在连接部6g1的宽度方向上相互分离。
连接部6g1和两个指部6g2的上表面为同一平面，构成支承板6g的上表面6g3。在上表面6g3的至少三个部位，以从上表面6g3突出的方式设置有突起部件6h。
在本实施方式中，在连接部6g1的上表面6g3和两个指部6g2的各自的上表面6g3上设置有突起部件6h。另外，突起部件6h的数量不限定于三个。突起部件6h的数量也可以为四个以上。
在本实施方式中，三个突起部件6h以不在上表面6g3上排列成一条直线状的方式(即，呈非直线状)配置。更具体而言，在连接部6g1的第2方向的大致中央部和两个指部6g2的第1方向的各前端附近分别配置有突起部件6h。另外，三个突起部件6h位于规定直径的圆周上。
这里，参照图3对突起部件6h进行说明。图3是突起部件6h的剖视图。突起部件6h由橡胶状的硅树脂等橡胶、多孔质的硬质海绵等形成，具有柔软性。
另外，突起部件6h相对于被加工物11或粘贴于被加工物11的保护带具有较高的摩擦系数(例如，静止摩擦系数)。突起部件6h在与被加工物11等对象物之间，有时也会发挥将对象物留在原处的所谓黏性(tack)力。
突起部件6h具有半球状的上部6h1。在上部6h1的底面，圆柱状的下部6h2与上部6h1一体地设置。下部6h2的上表面的圆和上部6h1的底面的圆的直径大致相同。下部6h2的圆的直径d为5mm以上且20mm以下(例如，10mm)。
另外，将上部6h1和下部6h2合在一起的突起部件6h的高度h为2mm以上且10mm以下(例如，5mm)。另外，突起部件6h的高度h与支承板6g的厚度的总和例如为10mm左右。
在本实施方式中，上部6h1和下部6h2的材料相同。但是，如果上部6h1的材料由橡胶、多孔质的硬质海绵等形成，则下部6h2也可以由金属等没有柔软性的硬质的材料形成。另外，上部6h1的形状不限定于半球状，也可以是与下部6h2相同的圆柱状。
具有突起部件6h的手部6f在搬出被加工物11的情况下插入到盒10a中。如图2所示，盒10a具有相互对置的一对侧板10a1。在一对侧板10a1的上端部连接有上板10a2，在下端部连接有下板10a3。
另外，通过上板10a2和下板10a3的一端部以及一对侧板10a1的一端部，在盒10a的一端侧形成有开口。与此相对，在上板10a2和下板10a3的另一端部以及一对侧板10a1的另一端部连接有另一侧板(未图示)。
图4的(A)是盒10a等的局部剖面侧视图。另外，在图4的(A)中，示出在朝向盒10a的开口的方向上从盒10a的另一侧板观察盒10a的内部的情况。
在一对侧板10a1的内侧的面上，在相同的高度位置设置有一对支承架10a4。一对支承架10a4沿盒10a的进深方向延伸。另外，沿着盒10a的高度方向形成有多对支承架10a4。
一个被加工物11被一对支承架10a4支承。被加工物11是半导体晶片或半导体封装基板等板状物，有时在被加工物11上产生翘曲。
在图4的(A)所示的例子中，各被加工物11具有形成有器件等的正面(第1面)11a和位于与正面11a相反的一侧的背面(第2面)11b，以正面11a成为凸状、背面11b成为凹状的方式翘曲。通过将正面11a配置于下方侧，在从上方观察时，被加工物11成为中凹形状。
被加工物11的翘曲量例如是100μm以上且300μm以下的规定值。另外，虽然没有图示，但为了保护器件等，在正面11a侧粘贴有具有与正面11a大致相同的尺寸的树脂制的保护带。
在将被加工物11从盒10a向外部搬出的情况下，通过移动单元6a使手部6f沿盒10a的进深方向移动，对支承板6g进行定位以使支承板6g的上表面6g3与一个被加工物11的下表面(在本例中为正面11a)面对(参照图4的(A))。
接着，使移动单元6a的圆筒支承部6b向上方移动，使各突起部件6h与被加工物11的下表面接触，利用手部6f对被加工物11进行支承。图4的(B)是示出利用手部6f支承着被加工物11的状态的图。
当利用手部6f对被加工物11进行支承时，具有柔软性的突起部件6h与被加工物11的下表面接触，并由于被加工物11的自重而根据被加工物11的形状发生变形。而且，在借助突起部件6h而利用支承板6g支承着被加工物11的状态下，使手部6f向盒10a的外部退避。
突起部件6h例如具有比较高的摩擦系数，因此在支承板6g的上表面6g3与XY平面大致平行地配置的情况下，即使移动手部6f，被加工物11也不会在手部6f上滑动。
因此，在被加工物11翘曲的状态下，手部6f能够借助突起部件6h而对被加工物11进行支承，能够以被加工物11相对于支承板6g不移动(即，不滑动)的方式搬送被加工物11。
这里，对图1所示的其他结构要素进行说明。相对于盒载置区域8a在后方向(Y轴方向的另一方)设置有定位工作台12，该定位工作台12将由搬送机器人6搬出的被加工物11相对于基台4进行定位。
定位工作台12在基台4的上表面设置于大致圆形的区域。在定位工作台12的中央部设置有圆柱状的吸引台12a。另外，吸引台12a的直径比手部6f的一对指部6g2间的距离小。
在吸引台12a的上表面形成有一个或多个吸引口(未图示)。各吸引口与流路(参照图6的(A)等)的一端连接。流路的另一端与喷射器等吸引源12c(参照图6的(A)等)连接。
在吸引口与吸引源12c之间设置有电磁阀12d(参照图6的(A)等)。如果在使吸引源12c进行动作的状态下使电磁阀12d成为开状态，则在吸引口产生负压。
以吸引台12a为中心，在吸引台12a的周围呈环状配置有多个定位销12b。各定位销12b能够向接近吸引台12a的方向或远离吸引台12a的方向移动。另外，按照各定位销12b的移动距离相同的方式构成。
在定位工作台12的左方向(X轴方向的另一方)设置有装载臂部14。装载臂部14具有规定的长度的臂。臂的一端部以能够旋转且能够沿Z轴方向移动的方式与基台4连结。
另外，在臂的另一端部设置有能够吸引被加工物11的垫部14a(参照图6的(A)等)。在垫部14a的下表面形成有吸引口(未图示)，通过在吸引口产生的负压，垫部14a的下表面作为吸引面14b而发挥功能。
在装载臂部14的一端部的后方向(Y轴方向的另一方)设置有圆盘状的转台16。转台16能够在基台4上进行旋转，在转台16的上表面以沿圆周方向分离大致120度的方式设置有三个卡盘工作台18。
在最接近装载臂部14的区域(搬入搬出区域A)和从搬入搬出区域A按照俯视逆时针前进大致120度的区域(粗磨削区域B)中分别配置有一个卡盘工作台18。另外，在从搬入搬出区域A按照俯视顺时针前进大致120度的区域(精磨削区域C)中也配置有一个卡盘工作台18。
卡盘工作台18通过使转台16旋转而向箭头方向移动。例如，位于搬入搬出区域A的卡盘工作台18通过转台16而以粗磨削区域B和精磨削区域C的顺序按照俯视逆时针移动之后，顺时针移动而返回到搬入搬出区域A。
各卡盘工作台18具有由陶瓷等形成的圆盘状的框体。在框体的上表面侧形成有圆盘状的凹部(未图示)。在该凹部中固定有由多孔质材料形成的圆盘状的多孔板。
多孔板的上表面露出，多孔板的下表面与形成在卡盘工作台18内的流路(未图示)的一端连接。在该流路的另一端连接有喷射器等吸引源(未图示)。
当使吸引源进行动作时，在多孔板的上表面产生负压，多孔板的上表面作为吸引并保持被加工物11等的保持面18a而发挥功能。这里，对通过装载臂部14将由搬送机器人6从盒10a搬出的被加工物11向位于搬入搬出区域A的卡盘工作台18搬送的工序进行说明。
通过搬送机器人6将被加工物11从盒10a搬出并配置在定位工作台12上。图5的(A)是配置在定位工作台12上的被加工物11等的局部剖面侧视图。
通过使吸引台12a相对于手部6f上升，被加工物11从手部6f离开而被载置于吸引台12a的上表面。图5的(B)是载置于吸引台12a的上表面的被加工物11等的局部剖面侧视图。
在载置后，定位销12b移动，以便使所有定位销12b与被加工物11的外周接触，被加工物11的中心与定位工作台12的中心对齐。接着，使装载臂部14的一端部在XY平面上进行旋转，将垫部14a配置于吸引台12a和被加工物11的上方。
然后，使装载臂部14的一端部向Z轴方向的下方移动，将垫部14a的吸引面14b向被加工物11的上表面(在本例中为背面11b)侧按压。图6的(A)是将垫部14a向被加工物11按压时的被加工物11等的局部剖面侧视图。
通过以规定的力将垫部14a向被加工物11的上表面(在本例中为背面11b)按压，被加工物11发生弹性变形，被加工物11的翘曲被暂时消除。图6的(B)是变形为大致平坦的被加工物11等的局部剖面侧视图。
在使被加工物11变形为大致平坦之后，使吸引面14b产生负压，利用吸引面14b吸引并保持被加工物11。然后，再次使装载臂部14的一端部在XY平面上进行旋转，将被加工物11交接到位于搬入搬出区域A的卡盘工作台18。
这里，再次返回图1，对图1所示的其他结构要素进行说明。在比转台16靠后方向(Y轴方向的另一方)的位置，以向基台4的高度方向的一方(例如，+Z方向)侧突出的方式设置有四棱柱状的支承构造20a、20b。
在位于支承构造20a的前方向(Y轴方向的一方)的前表面上设置有Z轴移动机构22。Z轴移动机构22具有配置于支承构造20a的前表面上且与Z轴方向大致平行的一对Z轴导轨24。
在一对Z轴导轨24上以能够滑动的方式安装有Z轴移动板26。在Z轴移动板26的背面侧设置有螺母部(未图示)。在一对Z轴导轨24之间沿着Z轴导轨24设置的Z轴滚珠丝杠28以能够旋转的方式与该螺母部连结。
Z轴滚珠丝杠28的一端部与Z轴脉冲电动机30连结。如果利用Z轴脉冲电动机30使Z轴滚珠丝杠28旋转，则Z轴移动板26沿着Z轴导轨24在Z轴方向上移动。在Z轴移动板26的前表面侧固定有粗磨削单元(加工单元)32a。
粗磨削单元32a具有固定于Z轴移动板26的前表面侧的筒状的主轴壳体34。在主轴壳体34内以能够旋转的状态收纳有与Z轴方向平行地配置的主轴(未图示)的一部分。
主轴的上端部与主轴电动机36连结。主轴的下端部从主轴壳体34突出。在主轴的下端部安装有圆环状的粗磨削磨轮38a。
粗磨削磨轮38a具有：大致圆环状的磨轮基台40a，其由不锈钢等金属材料形成；以及多个粗磨削磨具42a，它们安装于磨轮基台40a的下表面侧。
多个粗磨削磨具42a分别具有大致长方体形状，沿着磨轮基台40a的下表面的圆周以在相邻的磨削磨具彼此之间设置有间隙的方式呈环状排列。
粗磨削磨具42a例如通过在金属、陶瓷、树脂等结合材料中混合金刚石、cBN(cubicboron nitride：立方氮化硼)等磨粒而形成。另外，结合材料和磨粒的材料没有特别的限制，能够根据粗磨削磨具42a的规格而适当选择。粗磨削磨轮38a的正下方与上述粗磨削区域B对应。
与设置有粗磨削单元32a的支承构造20a的左方向(X轴方向的另一方)相邻地设置有四棱柱状的支承构造20b。与支承构造20a相同，在位于支承构造20b的前方向(Y轴方向的一方)的前表面上设置有Z轴移动机构22。
另外，精磨削单元(加工单元)32b借助Z轴移动板26而与支承构造20b的Z轴移动机构22连结。与粗磨削单元32a相同，精磨削单元32b也具有主轴壳体34、主轴以及主轴电动机36。在精磨削单元32b的主轴的下端部安装有圆环状的精磨削磨轮38b。
精磨削磨轮38b具有大致圆环状的磨轮基台40b和安装于磨轮基台40b的下表面侧的多个精磨削磨具42b。多个精磨削磨具42b分别具有大致长方体形状，沿着磨轮基台40b的下表面的圆周以在相邻的磨削磨具彼此之间设置有间隙的方式呈环状排列。
精磨削磨具42b也通过在结合材料中混合磨粒而形成。在精磨削磨具42b中，平均粒径比粗磨削磨具42a的磨粒小。但是，精磨削磨具42b的结合材料和磨粒的材料没有特别的限制，能够根据精磨削磨具42b的规格而适当选择。精磨削磨轮38b的正下方与上述精磨削区域C对应。
关于被装载臂部14搬入到位于搬入搬出区域A的卡盘工作台18上的被加工物11，其背面11b侧在粗磨削区域B中被粗磨削单元32a粗磨削(加工)。接着，被加工物11的背面11b侧在精磨削区域C中被精磨削单元32b精磨削(加工)。然后，被加工物11返回到搬入搬出区域A。
在装载臂部14的一端部的左方向(X轴方向的另一方)设置有卸载臂部44。卸载臂部44具有规定长度的臂。臂的一端部以能够旋转的方式与基台4连结。
另外，在臂的另一端部设置有能够对被加工物11进行吸引的垫部。在垫部的下表面形成有吸引口(未图示)，通过在吸引口产生的负压，垫部的下表面作为吸引面而发挥功能。
卸载臂部44对被加工物11进行吸引，从位于搬入搬出区域A的卡盘工作台18搬出被加工物11。在卸载臂部44的左方向(X轴方向的另一方)设置有用于对磨削后的被加工物11进行清洗的旋转清洗单元46。在旋转清洗单元46的前方向(Y轴方向的一方)侧设置有上述的盒载置区域8b。
磨削装置2具有控制单元(未图示)，该控制单元对定位工作台12、装载臂部14、转台16、卡盘工作台18、粗磨削单元32a、精磨削单元32b、卸载臂部44以及旋转清洗单元46等进行控制。
控制单元由包含CPU(Central Processing Unit：中央处理器)等处理装置和闪存等存储装置的计算机构成。通过按照存储在存储装置中的程序等软件使处理装置进行动作，控制单元作为软件和处理装置(硬件资源)进行协作的具体单元而发挥功能。
本实施方式的搬送机器人6通过使至少三个突起部件6h与被加工物11的下表面接触，能够一边维持被加工物11翘曲的状态一边搬出被加工物11。因此，不需要在搬出时利用外力使具有翘曲的被加工物11变形为平坦，即使被加工物11为中凸形状或中凹形状，也能够以原本的形状搬送被加工物11。
此外，各突起部件6h具有因被加工物11的自重而根据被加工物11的形状发生变形的柔软性以及比较高的摩擦系数等。因此，搬送机器人6能够以被加工物11相对于支承板6g不移动(即，不滑动)的方式搬送被加工物11。
接着，对第2实施方式的磨削装置2进行说明。第2实施方式的定位工作台12与第1实施方式不同，以包围吸引台12a的方式具有圆筒形状的辅助台12e。
图7的(A)是具有辅助台12e的定位工作台12等的局部剖面侧视图，图7的(B)是示出利用辅助台12e和吸引台12a支承着被加工物11的状态的定位工作台12等的局部剖面侧视图。
在第2实施方式的定位工作台12中，与第1实施方式相比，能够在更宽的范围内对被加工物11的下表面进行支承。因此，在将垫部14a向具有翘曲的被加工物11的上表面侧按压时，与第1实施方式相比，能够更稳定地对被加工物11进行支承。
接着，对第3实施方式进行说明。在第3实施方式的盒10a中收纳有按照凹状的正面11a(第1面)和凸状的背面(第2面)11b的方式翘曲的被加工物11。
被加工物11的正面11a配置于下方侧，由此从上方观察时成为中凸形状。另外，虽然没有图示，但在正面11a侧粘贴有具有与正面11a大致相同的尺寸的树脂制的保护带。
各被加工物11载置于一对支承架10a4。在第3实施方式中，也使手部6f沿盒10a的进深方向移动，对支承板6g进行定位以便使支承板6g的上表面6g3与一个被加工物11的下表面(在本例中为正面11a)面对(参照图8)。
接着，使移动单元6a的圆筒支承部6b向上方移动，利用手部6f对被加工物11进行支承。图8是示出利用手部6f支承着被加工物11的状态的图。当利用手部6f对被加工物11进行支承时，具有柔软性的突起部件6h与被加工物11的下表面接触，并由于被加工物11的自重而根据被加工物11的形状发生变形。
而且，在借助突起部件6h利用支承板6g支承着被加工物11的状态下，使手部6f向盒10a的外部退避。突起部件6h例如具有比较高的摩擦系数，因此在支承板6g的上表面6g3与XY平面大致平行地配置的情况下，即使移动手部6f，被加工物11也不会在手部6f上滑动。
因此，在各突起部件6h与被加工物11的下表面接触的情况下，手部6f能够在被加工物11翘曲的状态下借助突起部件6h而对被加工物11进行支承。另外，手部6f能够以被加工物11相对于支承板6g不移动(即，不滑动)的方式搬送被加工物11。
除此之外，上述实施方式的构造、方法等能够在不脱离本发明的目的的范围内进行适当变更来实施。例如，在从配置于与上述磨削装置2不同的加工装置的盒10a中搬出中凹形状或中凸形状的被加工物11的情况下，能够使用搬送机器人6。
另外，即使在盒10a中的被加工物11的正面11a侧没有粘贴保护带的情况下，通过突起部件6h与被加工物11接触，搬送机器人6也能够以被加工物11相对于支承板6g不移动的方式搬送被加工物11。

Claims (1)

1.一种加工装置，其特征在于，
该加工装置具有：
盒载置区域，其载置盒，该盒收纳板状的被加工物，该被加工物按照第1面和位于与该第1面相反的一侧的第2面成为凸状的该第1面和凹状的该第2面的方式翘曲；
搬出机构，其将该被加工物从载置于该盒载置区域的该盒向该盒的外部搬出；以及
加工单元，其对由该搬出机构搬出的该被加工物进行加工，
该搬出机构具有：
支承板，其被定位成与该被加工物的下表面面对；
至少三个突起部件，它们配置于该支承板的上表面的至少三个部位，从该支承板的上表面侧突出，能够分别与该被加工物的该下表面接触；以及
移动单元，其与该支承板连结，使该支承板移动，
该搬出机构使该至少三个突起部件与该被加工物的该下表面接触，从而一边维持该被加工物的翘曲的状态一边搬送该被加工物。
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