CN112648966A - 一种双向粗糙度检测硅棒处理装置 - Google Patents

一种双向粗糙度检测硅棒处理装置 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种硅棒领域，尤其涉及一种双向粗糙度检测硅棒处理装置。本发明的技术问题是：提供一种双向粗糙度检测硅棒处理装置。本发明的技术实施方案为：一种双向粗糙度检测硅棒处理装置，包括有安装机架、运行控制屏、第一轴承架板、第二轴承架板、长距离电动滑柱和粗糙度检测系统等；运行控制屏与安装机架相连接。本发明实现了对硅棒表面环向和纵向的双向粗糙度检测，粗糙度合格的硅棒直接进行加热氧化处理，粗糙度不合格的则直接进行表面重新打磨处理直至其粗糙度合格并且能够对检测装置与硅棒接触的位置进行扫刷，而且还能够对砂纸进行弹动、振动，将砂纸打磨面积累的硅粉除去的效果。

Description

一种双向粗糙度检测硅棒处理装置
技术领域
本发明涉及一种硅棒领域，尤其涉及一种双向粗糙度检测硅棒处理装置。
背景技术
单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒。
目前，现有技术中硅棒常常用来进行硅片切割，在进行切割之前需要对硅棒进行粗糙度检测，但是现有技术中人工进行硅棒表面粗糙度检测，人工无法对硅棒表面进行精准检测，同时人工检测无法将硅棒表面完全检测，只会针对硅棒表面部分区域进行粗糙度检测，即部分表面粗糙度不一的硅棒其表面的粗糙程度不同但并未检测到其表面某些粗糙度较大的位置，即影响后续硅棒切片，得到的硅片外环面不平整，并且人工检测过程中只会针对一个方向对硅棒表面进行粗糙度检测，无法得到更能反映硅棒表面真实粗糙程度的值，影响后续硅棒切片的质量。
针对上述问题，我们提出了一种双向粗糙度检测硅棒处理装置。
发明内容
为了克服现有技术中硅棒常常用来进行硅片切割，在进行切割之前需要对硅棒进行粗糙度检测，但是现有技术中人工进行硅棒表面粗糙度检测，人工无法对硅棒表面进行精准检测，同时人工检测无法将硅棒表面完全检测，只会针对硅棒表面部分区域进行粗糙度检测，即部分表面粗糙度不一的硅棒其表面的粗糙程度不同但并未检测到其表面某些粗糙度较大的位置，即影响后续硅棒切片，得到的硅片外环面不平整，并且人工检测过程中只会针对一个方向对硅棒表面进行粗糙度检测，无法得到更能反映硅棒表面真实粗糙程度的值，影响后续硅棒切片的质量的缺点，本发明的技术问题是：提供一种双向粗糙度检测硅棒处理装置。
本发明的技术实施方案为：一种双向粗糙度检测硅棒处理装置，包括有：
安装机架；
运行控制屏，运行控制屏与安装机架相连接；
第一轴承架板，第一轴承架板上方与安装机架进行焊接；
第二轴承架板，第二轴承架板上方与安装机架进行焊接；
长距离电动滑柱，长距离电动滑柱与安装机架相连接；
粗糙度检测系统，粗糙度检测系统与安装机架相连接，粗糙度检测系统与第一轴承架板相连接，粗糙度检测系统与长距离电动滑柱相连接；
打磨调整系统，打磨调整系统与安装机架相连接，打磨调整系统与粗糙度检测系统相连接，打磨调整系统与第一轴承架板相连接，打磨调整系统与第二轴承架板相连接；
高温氧化系统，高温氧化系统与安装机架相连接，高温氧化系统与打磨调整系统相连接，高温氧化系统与第二轴承架板相连接。
更为优选的是，粗糙度检测系统包括有：
动力电机，动力电机下方与安装机架进行螺栓连接；
第一转轴杆，第一转轴杆与动力电机输出轴进行固接，第一转轴杆与安装机架进行转动连接，第一转轴杆与打磨调整系统相连接；
第一传动轮，第一传动轮轴心与第一转轴杆进行固接；
第二传动轮，第二传动轮轴心与第一转轴杆进行固接；
第三传动轮，第三传动轮轴心与第一转轴杆进行固接；
第四传动轮，第四传动轮外环面通过皮带与第一传动轮进行传动连接；
第一平齿轮，第一平齿轮轴心与第四传动轮进行固接，第一平齿轮轴心与安装机架进行转动连接；
第二平齿轮，第二平齿轮与第一平齿轮进行啮合；
第一电动推杆，第一电动推杆与第二平齿轮进行转动连接，第一电动推杆与安装机架相连接；
第三平齿轮，第三平齿轮与第二平齿轮进行啮合；
第一丝杆，第一丝杆与第三平齿轮进行固接，第一丝杆与安装机架进行转动连接，第一丝杆与第一轴承架板进行转动连接；
内螺纹滑动板，内螺纹滑动板内侧与第一丝杆进行传动连接；
第一限位滑杆，第一限位滑杆外表面与内螺纹滑动板进行滑动连接，第一限位滑杆与安装机架进行焊接，第一限位滑杆与第一轴承架板进行焊接；
第二电动推杆，第二电动推杆上方与内螺纹滑动板相连接；
摩擦检测计，摩擦检测计上方与第二电动推杆进行螺栓连接；
第五传动轮，第五传动轮外环面通过皮带与第二传动轮进行传动连接；
第二转轴杆，第二转轴杆外表面与第五传动轮进行固接，第二转轴杆与安装机架进行转动连接；
轮刷，轮刷轴心与第二转轴杆进行固接；
第六传动轮，第六传动轮外环面通过皮带与第三传动轮进行传动连接；
第三转轴杆，第三转轴杆与第六传动轮进行固接，第三转轴杆与第一轴承架板进行转动连接；
第四平齿轮，第四平齿轮轴心与第三转轴杆进行固接；
第五平齿轮，第五平齿轮与第四平齿轮进行啮合；
第一固定筒，第一固定筒外表面与第五平齿轮进行固接；
电动滑动台，电动滑动台上方与第一固定筒进行转动连接，电动滑动台与长距离电动滑柱进行滑动连接；
第二固定筒，第二固定筒与电动滑动台进行转动连接。
更为优选的是，打磨调整系统包括有：
第一锥齿轮，第一锥齿轮轴心与第一转轴杆进行固接；
第二锥齿轮，第二锥齿轮与第一锥齿轮进行啮合，；
第七传动轮，第七传动轮轴心与第二锥齿轮进行固接，第七传动轮与安装机架进行转动连接；
第八传动轮，第八传动轮外环面通过皮带与第七传动轮进行传动连接，第八传动轮与安装机架进行转动连接；
第九传动轮，第九传动轮与第八传动轮进行传动连接；
第三锥齿轮，第三锥齿轮轴心与第九传动轮进行固接；
第四锥齿轮，第四锥齿轮与第三锥齿轮进行啮合；
第四转轴杆，第四转轴杆与第四锥齿轮进行固接；
第十传动轮，第十传动轮轴心与第四转轴杆进行固接，第十传动轮与高温氧化系统相连接；
第三轴承架板，第三轴承架板与第四转轴杆进行转动连接，第三轴承架板与第九传动轮进行转动连接，第三轴承架板下方与安装机架进行螺栓连接；
第十一传动轮，第十一传动轮与第九传动轮进行传动连接，第十一传动轮与第二轴承架板进行转动连接，第十一传动轮与高温氧化系统相连接；
第十二传动轮，第十二传动轮一侧与第十一传动轮进行传动连接，第十二传动轮另一侧与第八传动轮进行传动连接，第十二传动轮与第一轴承架板进行转动连接；
第十三传动轮，第十三传动轮一侧与第十一传动轮进行传动连接，并且第十三传动轮另一侧与第十二传动轮进行传动连接；
第六平齿轮，第六平齿轮轴心与第十三传动轮进行固接；
电动滑动座，电动滑动座与第六平齿轮进行转动连接；
第一电动滑轨，第一电动滑轨与电动滑动座进行滑动连接，第一电动滑轨上方与安装机架进行螺栓连接；
第一电动升降柱，第一电动升降柱上方与电动滑动座进行螺栓连接；
夹持固定机构，夹持固定机构上方与第一电动升降柱相连接，夹持固定机构与第六平齿轮相连接；
第十四传动轮，第十四传动轮上方与高温氧化系统相连接；
第五转轴杆，第五转轴杆与第十四传动轮进行固接，第五转轴杆外表面与第二轴承架板进行转动连接；
第七平齿轮，第七平齿轮轴心与第五转轴杆进行固接。
更为优选的是，高温氧化系统包括有：
第十五传动轮，第十五传动轮外环面通过皮带与第十传动轮进行传动连接；
第六转轴杆，第六转轴杆与第十五传动轮进行固接；
第四轴承架板，第四轴承架板与第六转轴杆进行转动连接，第四轴承架板下方与安装机架进行焊接；
转动圆盘，转动圆盘轴心与第六转轴杆进行固接；
联动凸柱，联动凸柱与转动圆盘进行固接；
联动槽条，联动槽条内侧与联动凸柱进行传动连接；
滑动安装套，滑动安装套上方与联动槽条进行焊接；
第二限位滑杆，第二限位滑杆外表面与滑动安装套进行滑动连接，第二限位滑杆上方与安装机架相连接；
第十六传动轮，第十六传动轮外环面通过皮带与第十四传动轮进行传动连接，第十六传动轮轴心与第二轴承架板进行转动连接；
第五锥齿轮，第五锥齿轮轴心与第十六传动轮进行固接；
第六锥齿轮，第六锥齿轮与第五锥齿轮进行啮合；
第十七传动轮，第十七传动轮轴心与第六锥齿轮进行固接，第十七传动轮与安装机架进行转动连接，第十七传动轮外环面通过皮带与第十一传动轮进行传动连接；
第七转轴杆，第七转轴杆与第五锥齿轮进行固接；
第五轴承架板，第五轴承架板与第七转轴杆进行转动连接，第五轴承架板上方与安装机架进行焊接；
第十八传动轮，第十八传动轮轴心与第七转轴杆进行固接；
第十九传动轮，第十九传动轮外环面通过皮带与第十八传动轮进行传动连接；
第八转轴杆，第八转轴杆与第十九传动轮进行固接，第八转轴杆与第五轴承架板进行转动连接；
第八平齿轮，第八平齿轮轴心与第八转轴杆进行固接；
高温气流喷头，高温气流喷头上方与滑动安装套相连接。
更为优选的是，夹持固定机构包括有：
集合安装架，集合安装架上方与第一电动升降柱相连接；
轴承座，轴承座下方与集合安装架进行螺栓连接；
第二十传动轮，第二十传动轮与轴承座进行转动连接；
第九平齿轮，第九平齿轮轴心与第二十传动轮进行固接，第九平齿轮上方与第六平齿轮进行啮合；
第一安装条板，第一安装条板与集合安装架相连接；
第二安装条板，第二安装条板与集合安装架相连接；
第一电动收紧柱，第一电动收紧柱上方与第一安装条板相连接，第一电动收紧柱下方与第二安装条板相连接；
第二电动收紧柱，第二电动收紧柱上方与第一安装条板相连接，第二电动收紧柱下方与第二安装条板相连接；
第一夹紧条，第一夹紧条一侧与第二电动收紧柱相连接，并且第一夹紧条另一侧与第一电动收紧柱相连接；
第二夹紧条，第二夹紧条一侧与第二电动收紧柱相连接，并且第二夹紧条另一侧与第一电动收紧柱相连接；
第一拨动振动机构，第一拨动振动机构与集合安装架相连接，第一拨动振动机构与第二十传动轮相连接；
第二拨动振动机构，第二拨动振动机构与集合安装架相连接，第二拨动振动机构与第一拨动振动机构相连接。
更为优选的是，第一拨动振动机构包括有：
异形轨道盘，异形轨道盘与集合安装架相连接；
第二十一传动轮，第二十一传动轮与异形轨道盘进行转动连接，第二十一传动轮外环面通过皮带与第二十传动轮进行传动连接；
弹性簧杆，弹性簧杆与第二十一传动轮轴心进行固接；
滑动限位柱，滑动限位柱与弹性簧杆进行固接，滑动限位柱与异形轨道盘进行滑动连接；
拨动球，拨动球与弹性簧杆相连接。
更为优选的是，异形轨道盘前侧的滑道左半部分为半圆，右半部分为半椭圆。
更为优选的是，摩擦检测计底部与硅棒接触部分为三分之一圆弧形。
有益效果是：（1）、为解决现有技术中硅棒常常用来进行硅片切割，在进行切割之前需要对硅棒进行粗糙度检测，但是现有技术中人工进行硅棒表面粗糙度检测，人工无法对硅棒表面进行精准检测，同时人工检测无法将硅棒表面完全检测，只会针对硅棒表面部分区域进行粗糙度检测，即部分表面粗糙度不一的硅棒其表面的粗糙程度不同但并未检测到其表面某些粗糙度较大的位置，即影响后续硅棒切片，得到的硅片外环面不平整，并且人工检测过程中只会针对一个方向对硅棒表面进行粗糙度检测，无法得到更能反映硅棒表面真实粗糙程度的值，影响后续硅棒切片的质量的问题；
（2）、设计了粗糙度检测系统，打磨调整系统和高温氧化系统，在使用时首先将要进行处理的硅棒固定在粗糙度检测系统内部进行硅棒表面粗糙度检测，然后粗糙度小于标准值的硅棒被长距离电动滑柱直接传送至高温氧化系统进行加热和氧化，粗糙度大于标准值的硅棒被长距离电动滑柱传送至打磨调整系统对其表面进行打磨，打磨完成后长距离电动滑柱继续带动硅棒运动至粗糙度检测系统内部进行粗糙度检测，直至粗糙度合格，然后再通过高温氧化系统进行加热和氧化处理；
（3）、实现了对硅棒表面环向和纵向的双向粗糙度检测，对硅棒表面进行覆盖式检测，粗糙度合格的硅棒直接进行加热氧化处理，粗糙度不合格的则直接进行表面重新打磨处理直至其粗糙度合格，再次进行加热氧化处理，并且能够对检测装置与硅棒接触的位置进行扫刷，防止硅尘积累在检测装置表面造成装置灵敏度减弱，而且还能够对砂纸进行弹动、振动，将砂纸打磨面积累的硅粉除去，保证砂纸打磨能力，延长砂纸使用寿命和减少砂纸浪费的效果。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的粗糙度检测系统结构示意图；
图3为本发明的打磨调整系统结构示意图；
图4为本发明的高温氧化系统结构示意图；
图5为本发明的夹持固定机构结构示意图；
图6为本发明的第一拨动振动机构结构示意图。
其中，上述附图包括以下附图标记：1、安装机架，2、运行控制屏，3、第一轴承架板，4、第二轴承架板，5、长距离电动滑柱，6、粗糙度检测系统，7、打磨调整系统，8、高温氧化系统，601、动力电机，602、第一转轴杆，603、第一传动轮，604、第二传动轮，605、第三传动轮，606、第四传动轮，607、第一平齿轮，608、第二平齿轮，609、第一电动推杆，6010、第三平齿轮，6011、第一丝杆，6012、内螺纹滑动板，6013、第一限位滑杆，6014、第二电动推杆，6015、摩擦检测计，6016、第五传动轮，6017、第二转轴杆，6018、轮刷，6019、第六传动轮，6020、第三转轴杆，6021、第四平齿轮，6022、第五平齿轮，6023、第一固定筒，6024、电动滑动台，6025、第二固定筒，701、第一锥齿轮，702、第二锥齿轮，703、第七传动轮，704、第八传动轮，705、第九传动轮，706、第三锥齿轮，707、第四锥齿轮，708、第四转轴杆，709、第十传动轮，7010、第三轴承架板，7011、第十一传动轮，7012、第十二传动轮，7013、第十三传动轮，7014、第六平齿轮，7015、电动滑动座，7016、第一电动滑轨，7017、第一电动升降柱，7018、夹持固定机构，7019、第十四传动轮，7020、第五转轴杆，7021、第七平齿轮，801、第十五传动轮，802、第六转轴杆，803、第四轴承架板，804、转动圆盘，805、联动凸柱，806、联动槽条，807、滑动安装套，808、第二限位滑杆，809、第十六传动轮，8010、第五锥齿轮，8011、第六锥齿轮，8012、第十七传动轮，8013、第七转轴杆，8014、第五轴承架板，8015、第十八传动轮，8016、第十九传动轮，8017、第八转轴杆，8018、第八平齿轮，8019、高温气流喷头，701801、集合安装架，701802、轴承座，701803、第二十传动轮，701804、第九平齿轮，701805、第一安装条板，701806、第二安装条板，701807、第一电动收紧柱，701808、第二电动收紧柱，701809、第一夹紧条，701810、第二夹紧条，701811、第一拨动振动机构，701812、第二拨动振动机构，70181101、异形轨道盘，70181102、第二十一传动轮，70181103、弹性簧杆，70181104、滑动限位柱，70181105、拨动球。
具体实施方式
下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1
一种双向粗糙度检测硅棒处理装置，如图1-6所示，包括有安装机架1、运行控制屏2、第一轴承架板3、第二轴承架板4、长距离电动滑柱5、粗糙度检测系统6、打磨调整系统7和高温氧化系统8；运行控制屏2与安装机架1相连接；第一轴承架板3上方与安装机架1进行焊接；第二轴承架板4上方与安装机架1进行焊接；长距离电动滑柱5与安装机架1相连接；粗糙度检测系统6与安装机架1相连接，粗糙度检测系统6与第一轴承架板3相连接，粗糙度检测系统6与长距离电动滑柱5相连接；打磨调整系统7与安装机架1相连接，打磨调整系统7与粗糙度检测系统6相连接，打磨调整系统7与第一轴承架板3相连接，打磨调整系统7与第二轴承架板4相连接；高温氧化系统8与安装机架1相连接，高温氧化系统8与打磨调整系统7相连接，高温氧化系统8与第二轴承架板4相连接。
工作原理：在使用双向粗糙度检测硅棒处理装置时，首先将装置固定至工作平面，然后外接电源手动打开运行控制屏2控制装置进行运行，然后首先将要进行处理的硅棒固定在粗糙度检测系统6内部进行硅棒表面粗糙度检测，然后粗糙度小于标准值的硅棒被长距离电动滑柱5直接传送至高温氧化系统8进行加热和氧化，粗糙度大于标准值的硅棒被长距离电动滑柱5传送至打磨调整系统7对其表面进行打磨，打磨完成后长距离电动滑柱5继续带动硅棒运动至粗糙度检测系统6内部进行粗糙度检测，直至粗糙度合格，然后再通过高温氧化系统8进行加热和氧化处理，实现了对硅棒表面环向和纵向的双向粗糙度检测，对硅棒表面进行覆盖式检测，粗糙度合格的硅棒直接进行加热氧化处理，粗糙度不合格的则直接进行表面重新打磨处理直至其粗糙度合格，再次进行加热氧化处理，并且能够对检测装置与硅棒接触的位置进行扫刷，防止硅尘积累在检测装置表面造成装置灵敏度减弱，而且还能够对砂纸进行弹动、振动，将砂纸打磨面积累的硅粉除去，保证砂纸打磨能力，延长砂纸使用寿命和减少砂纸浪费的效果。
如图2所示，粗糙度检测系统6包括有动力电机601、第一转轴杆602、第一传动轮603、第二传动轮604、第三传动轮605、第四传动轮606、第一平齿轮607、第二平齿轮608、第一电动推杆609、第三平齿轮6010、第一丝杆6011、内螺纹滑动板6012、第一限位滑杆6013、第二电动推杆6014、摩擦检测计6015、第五传动轮6016、第二转轴杆6017、轮刷6018、第六传动轮6019、第三转轴杆6020、第四平齿轮6021、第五平齿轮6022、第一固定筒6023、电动滑动台6024和第二固定筒6025；动力电机601下方与安装机架1进行螺栓连接；第一转轴杆602与动力电机601输出轴进行固接，第一转轴杆602与安装机架1进行转动连接，第一转轴杆602与打磨调整系统7相连接；第一传动轮603轴心与第一转轴杆602进行固接；第二传动轮604轴心与第一转轴杆602进行固接；第三传动轮605轴心与第一转轴杆602进行固接；第四传动轮606外环面通过皮带与第一传动轮603进行传动连接；第一平齿轮607轴心与第四传动轮606进行固接，第一平齿轮607轴心与安装机架1进行转动连接；第二平齿轮608与第一平齿轮607进行啮合；第一电动推杆609与第二平齿轮608进行转动连接，第一电动推杆609与安装机架1相连接；第三平齿轮6010与第二平齿轮608进行啮合；第一丝杆6011与第三平齿轮6010进行固接，第一丝杆6011与安装机架1进行转动连接，第一丝杆6011与第一轴承架板3进行转动连接；内螺纹滑动板6012内侧与第一丝杆6011进行传动连接；第一限位滑杆6013外表面与内螺纹滑动板6012进行滑动连接，第一限位滑杆6013与安装机架1进行焊接，第一限位滑杆6013与第一轴承架板3进行焊接；第二电动推杆6014上方与内螺纹滑动板6012相连接；摩擦检测计6015上方与第二电动推杆6014进行螺栓连接；第五传动轮6016外环面通过皮带与第二传动轮604进行传动连接；第二转轴杆6017外表面与第五传动轮6016进行固接，第二转轴杆6017与安装机架1进行转动连接；轮刷6018轴心与第二转轴杆6017进行固接；第六传动轮6019外环面通过皮带与第三传动轮605进行传动连接；第三转轴杆6020与第六传动轮6019进行固接，第三转轴杆6020与第一轴承架板3进行转动连接；第四平齿轮6021轴心与第三转轴杆6020进行固接；第五平齿轮6022与第四平齿轮6021进行啮合；第一固定筒6023外表面与第五平齿轮6022进行固接；电动滑动台6024上方与第一固定筒6023进行转动连接，电动滑动台6024与长距离电动滑柱5进行滑动连接；第二固定筒6025与电动滑动台6024进行转动连接。
首先将硅棒插入至第一固定筒6023和第二固定筒6025内侧，进行固定，控制接通动力电机601电源，然后动力电机601带动第一转轴杆602进行转动，即第一转轴杆602带动第一传动轮603、第二传动轮604和第三传动轮605进行转动，第一传动轮603带动第四传动轮606进行转动，然后第四传动轮606带动第一平齿轮607进行转动，同时第一转轴杆602带动打磨调整系统7进行运行，此时第三传动轮605带动第六传动轮6019进行转动，然后第六传动轮6019通过第三转轴杆6020带动第四平齿轮6021进行转动，进而第四平齿轮6021带动第五平齿轮6022进行转动，即第五平齿轮6022带动第一固定筒6023进行转动，即第一固定筒6023带动硅棒进行转动，此时控制第二电动推杆6014向下推出，即第二电动推杆6014带动摩擦检测计6015向下运动贴合至硅棒表面，进而硅棒进行转动与摩擦检测计6015进行转动摩擦，即可检测硅棒的外表面环向的粗糙度检测，然后控制第一电动推杆609推出，即第一电动推杆609带动第二平齿轮608推出，即第二平齿轮608运动至与第一平齿轮607和第三平齿轮6010同时啮合的位置，进而第一平齿轮607带动第二平齿轮608进行转动，然后第二平齿轮608带动第三平齿轮6010进行转动，进而第三平齿轮6010带动第一丝杆6011进行转动，然后第一丝杆6011转动带动内螺纹滑动板6012进行移动，即内螺纹滑动板6012在第一限位滑杆6013可进行左右滑动，即内螺纹滑动板6012带动第二电动推杆6014和摩擦检测计6015进行左右移动，进而摩擦检测计6015可在硅棒表面进行左右摩擦，进而实现了对硅棒纵向的粗糙度检测，检测完成后长距离电动滑柱5带动电动滑动台6024向右运动，即电动滑动台6024带动检测完成的硅棒向右传送，粗糙度合格的硅棒被带动运动至高温氧化系统8，在检测后可控制第二电动推杆6014收缩带动摩擦检测计6015向上运动，然后控制带动摩擦检测计6015向左移动，运动至轮刷6018上方，然后第二传动轮604带动第五传动轮6016进行转动，然后第五传动轮6016通过第二转轴杆6017带动轮刷6018进行转动，即轮刷6018转动对摩擦检测计6015底部进行转动轻扫清洁，粗糙度不合格的则被带动运动至打磨调整系统7进行处理，即实现了对硅棒表面的双向粗糙度检测。
如图3所示，打磨调整系统7包括有第一锥齿轮701、第二锥齿轮702、第七传动轮703、第八传动轮704、第九传动轮705、第三锥齿轮706、第四锥齿轮707、第四转轴杆708、第十传动轮709、第三轴承架板7010、第十一传动轮7011、第十二传动轮7012、第十三传动轮7013、第六平齿轮7014、电动滑动座7015、第一电动滑轨7016、第一电动升降柱7017、夹持固定机构7018、第十四传动轮7019、第五转轴杆7020和第七平齿轮7021；第一锥齿轮701轴心与第一转轴杆602进行固接；第二锥齿轮702与第一锥齿轮701进行啮合，；第七传动轮703轴心与第二锥齿轮702进行固接，第七传动轮703与安装机架1进行转动连接；第八传动轮704外环面通过皮带与第七传动轮703进行传动连接，第八传动轮704与安装机架1进行转动连接；第九传动轮705与第八传动轮704进行传动连接；第三锥齿轮706轴心与第九传动轮705进行固接；第四锥齿轮707与第三锥齿轮706进行啮合；第四转轴杆708与第四锥齿轮707进行固接；第十传动轮709轴心与第四转轴杆708进行固接，第十传动轮709与高温氧化系统8相连接；第三轴承架板7010与第四转轴杆708进行转动连接，第三轴承架板7010与第九传动轮705进行转动连接，第三轴承架板7010下方与安装机架1进行螺栓连接；第十一传动轮7011与第九传动轮705进行传动连接，第十一传动轮7011与第二轴承架板4进行转动连接，第十一传动轮7011与高温氧化系统8相连接；第十二传动轮7012一侧与第十一传动轮7011进行传动连接，第十二传动轮7012另一侧与第八传动轮704进行传动连接，第十二传动轮7012与第一轴承架板3进行转动连接；第十三传动轮7013一侧与第十一传动轮7011进行传动连接，并且第十三传动轮7013另一侧与第十二传动轮7012进行传动连接；第六平齿轮7014轴心与第十三传动轮7013进行固接；电动滑动座7015与第六平齿轮7014进行转动连接；第一电动滑轨7016与电动滑动座7015进行滑动连接，第一电动滑轨7016上方与安装机架1进行螺栓连接；第一电动升降柱7017上方与电动滑动座7015进行螺栓连接；夹持固定机构7018上方与第一电动升降柱7017相连接，夹持固定机构7018与第六平齿轮7014相连接；第十四传动轮7019上方与高温氧化系统8相连接；第五转轴杆7020与第十四传动轮7019进行固接，第五转轴杆7020外表面与第二轴承架板4进行转动连接；第七平齿轮7021轴心与第五转轴杆7020进行固接。
首先长距离电动滑柱5带动粗糙度不合格的硅棒运动至打磨调整系统7下方，此时电动滑动台6024带动第五平齿轮6022运动至与第七平齿轮7021啮合的位置，其中夹持固定机构7018共设置有两组，且均由第一电动升降柱7017控制升降，此时将打磨砂纸两侧分别夹持在两个夹持固定机构7018内侧，然后砂纸被固定，然后控制第一电动升降柱7017向下推出，即第一电动升降柱7017带动两组夹持固定机构7018向下运动，即带动砂纸向下运动贴合至硅棒表面，同时第十六传动轮809带动第十四传动轮7019进行转动，然后第十四传动轮7019通过第五转轴杆7020带动第七平齿轮7021进行转动，然后第七平齿轮7021带动第五平齿轮6022进行转动，同样第五平齿轮6022通过第一固定筒6023带动硅棒进行转动，即硅棒在转动过程中被砂纸打磨，然后控制第一电动滑轨7016带动电动滑动座7015向右滑动，然后电动滑动座7015带动其下方连接的所有部件向右移动，即带动砂纸向右运动，进而对硅棒表面进行全部打磨，待打磨完成后控制第一电动升降柱7017收缩，即第一电动升降柱7017带动两个夹持固定机构7018向上运动，砂纸脱离硅棒，并且夹持固定机构7018第六平齿轮7014与第九平齿轮701804啮合，第一转轴杆602带动第一锥齿轮701进行转动，然后第一锥齿轮701带动第二锥齿轮702进行转动，即第二锥齿轮702带动第七传动轮703进行转动，然后第七传动轮703带动第八传动轮704进行转动，第八传动轮704通过皮带依次带动第九传动轮705、第十一传动轮7011和第十二传动轮7012进行转动，进而第十二传动轮7012和第十一传动轮7011之间的皮带带动第十三传动轮7013进行转动，然后第十三传动轮7013带动第六平齿轮7014进行转动，进而第六平齿轮7014带动第九平齿轮701804进行转动，即第九平齿轮701804带动夹持固定机构7018进行运转带动砂纸进行振动，进而将砂纸表面粘连的硅棒渣振动分离，完成了对粗糙度不合格的硅棒的表面打磨。
如图4所示，高温氧化系统8包括有第十五传动轮801、第六转轴杆802、第四轴承架板803、转动圆盘804、联动凸柱805、联动槽条806、滑动安装套807、第二限位滑杆808、第十六传动轮809、第五锥齿轮8010、第六锥齿轮8011、第十七传动轮8012、第七转轴杆8013、第五轴承架板8014、第十八传动轮8015、第十九传动轮8016、第八转轴杆8017、第八平齿轮8018和高温气流喷头8019；第十五传动轮801外环面通过皮带与第十传动轮709进行传动连接；第六转轴杆802与第十五传动轮801进行固接；第四轴承架板803与第六转轴杆802进行转动连接，第四轴承架板803下方与安装机架1进行焊接；转动圆盘804轴心与第六转轴杆802进行固接；联动凸柱805与转动圆盘804进行固接；联动槽条806内侧与联动凸柱805进行传动连接；滑动安装套807上方与联动槽条806进行焊接；第二限位滑杆808外表面与滑动安装套807进行滑动连接，第二限位滑杆808上方与安装机架1相连接；第十六传动轮809外环面通过皮带与第十四传动轮7019进行传动连接，第十六传动轮809轴心与第二轴承架板4进行转动连接；第五锥齿轮8010轴心与第十六传动轮809进行固接；第六锥齿轮8011与第五锥齿轮8010进行啮合；第十七传动轮8012轴心与第六锥齿轮8011进行固接，第十七传动轮8012与安装机架1进行转动连接，第十七传动轮8012外环面通过皮带与第十一传动轮7011进行传动连接；第七转轴杆8013与第五锥齿轮8010进行固接；第五轴承架板8014与第七转轴杆8013进行转动连接，第五轴承架板8014上方与安装机架1进行焊接；第十八传动轮8015轴心与第七转轴杆8013进行固接；第十九传动轮8016外环面通过皮带与第十八传动轮8015进行传动连接；第八转轴杆8017与第十九传动轮8016进行固接，第八转轴杆8017与第五轴承架板8014进行转动连接；第八平齿轮8018轴心与第八转轴杆8017进行固接；高温气流喷头8019上方与滑动安装套807相连接。
表面粗糙度合格的硅棒被长距离电动滑柱5带动运动至高温氧化系统8下方，此时第八平齿轮8018同样与第五平齿轮6022进行啮合，第十一传动轮7011带动第十七传动轮8012进行转动，然后第十七传动轮8012带动第六锥齿轮8011进行转动，然后第六锥齿轮8011带动第五锥齿轮8010进行转动，进而第五锥齿轮8010带动第十六传动轮809和第七转轴杆8013进行转动，第十六传动轮809带动打磨调整系统7进行运转，第七转轴杆8013带动第十八传动轮8015进行转动，即第十八传动轮8015带动第十九传动轮8016进行转动，然后第十九传动轮8016通过第八转轴杆8017带动第八平齿轮8018进行转动，第八平齿轮8018带动第五平齿轮6022进行转动，即第五平齿轮6022再次通过第一固定筒6023带动硅棒进行转动，此时控制高温气流喷头8019向下方的硅棒喷出高温气流进行加热氧化，同时第十传动轮709带动第十五传动轮801进行转动，然后第十五传动轮801带动第六转轴杆802进行转动，即第六转轴杆802带动转动圆盘804进行转动，然后转动圆盘804带动联动凸柱805进行转动，然后联动凸柱805带动联动槽条806进行左右往复运动，然后联动槽条806带动滑动安装套807在第二限位滑杆808表面进行往复滑动，进而滑动安装套807带动高温气流喷头8019进行左右往复运动，高温气流喷头8019对硅棒表面进行加热和氧化。
如图5所示，夹持固定机构7018包括有集合安装架701801、轴承座701802、第二十传动轮701803、第九平齿轮701804、第一安装条板701805、第二安装条板701806、第一电动收紧柱701807、第二电动收紧柱701808、第一夹紧条701809、第二夹紧条701810、第一拨动振动机构701811和第二拨动振动机构701812；集合安装架701801上方与第一电动升降柱7017相连接；轴承座701802下方与集合安装架701801进行螺栓连接；第二十传动轮701803与轴承座701802进行转动连接；第九平齿轮701804轴心与第二十传动轮701803进行固接，第九平齿轮701804上方与第六平齿轮7014进行啮合；第一安装条板701805与集合安装架701801相连接；第二安装条板701806与集合安装架701801相连接；第一电动收紧柱701807上方与第一安装条板701805相连接，第一电动收紧柱701807下方与第二安装条板701806相连接；第二电动收紧柱701808上方与第一安装条板701805相连接，第二电动收紧柱701808下方与第二安装条板701806相连接；第一夹紧条701809一侧与第二电动收紧柱701808相连接，并且第一夹紧条701809另一侧与第一电动收紧柱701807相连接；第二夹紧条701810一侧与第二电动收紧柱701808相连接，并且第二夹紧条701810另一侧与第一电动收紧柱701807相连接；第一拨动振动机构701811与集合安装架701801相连接，第一拨动振动机构701811与第二十传动轮701803相连接；第二拨动振动机构701812与集合安装架701801相连接，第二拨动振动机构701812与第一拨动振动机构701811相连接。
首先通过第一电动收紧柱701807和第二电动收紧柱701808带动第一夹紧条701809和第二夹紧条701810相互靠近将砂纸夹持固定，然后集合安装架701801整体下降对硅棒进行打磨，打磨完成集合安装架701801上升后，此时第六平齿轮7014带动第九平齿轮701804进行转动，然后第九平齿轮701804带动第二十传动轮701803进行转动，进而第二十传动轮701803带动第一拨动振动机构701811进行转动，同时第一拨动振动机构701811带动第二拨动振动机构701812进行转动，即第一拨动振动机构701811和第二拨动振动机构701812带动砂纸进行振动将砂纸表面的硅棒颗粒振动分离。
如图6所示，第一拨动振动机构701811包括有异形轨道盘70181101、第二十一传动轮70181102、弹性簧杆70181103、滑动限位柱70181104和拨动球70181105；异形轨道盘70181101与集合安装架701801相连接；第二十一传动轮70181102与异形轨道盘70181101进行转动连接，第二十一传动轮70181102外环面通过皮带与第二十传动轮701803进行传动连接；弹性簧杆70181103与第二十一传动轮70181102轴心进行固接；滑动限位柱70181104与弹性簧杆70181103进行固接，滑动限位柱70181104与异形轨道盘70181101进行滑动连接；拨动球70181105与弹性簧杆70181103相连接。
首先第二十传动轮701803带动第二十一传动轮70181102进行转动，然后第二十一传动轮70181102带动弹性簧杆70181103进行转动，即弹性簧杆70181103带动滑动限位柱70181104在异形轨道盘70181101内侧进行滑动，滑动限位柱70181104滑动至异形轨道盘70181101右侧椭圆部分时，滑动限位柱70181104带动弹性簧杆70181103伸出，即弹性簧杆70181103带动拨动球70181105推出，进而拨动球70181105拨动至砂纸边缘，即实现砂纸的振动，砂纸表面的硅棒颗粒和粉被振动分离。
异形轨道盘70181101前侧的滑道左半部分为半圆，右半部分为半椭圆。
以便于滑动限位柱70181104在异形轨道盘70181101内侧进行从左侧滑动至右侧时，异形轨道盘70181101轨道半径增大，即通过滑动限位柱70181104带动弹性簧杆70181103伸长带动拨动球70181105推出接触到砂纸。
摩擦检测计6015底部与硅棒接触部分为三分之一圆弧形。
以便于摩擦检测计6015底部可以贴合硅棒表面。
以上对本申请进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (8)

1.一种双向粗糙度检测硅棒处理装置，包括有：
安装机架；
运行控制屏，运行控制屏与安装机架相连接；
第一轴承架板，第一轴承架板上方与安装机架进行焊接；
其特征是，还包括有：
第二轴承架板，第二轴承架板上方与安装机架进行焊接；
长距离电动滑柱，长距离电动滑柱与安装机架相连接；
粗糙度检测系统，粗糙度检测系统与安装机架相连接，粗糙度检测系统与第一轴承架板相连接，粗糙度检测系统与长距离电动滑柱相连接；
打磨调整系统，打磨调整系统与安装机架相连接，打磨调整系统与粗糙度检测系统相连接，打磨调整系统与第一轴承架板相连接，打磨调整系统与第二轴承架板相连接；
高温氧化系统，高温氧化系统与安装机架相连接，高温氧化系统与打磨调整系统相连接，高温氧化系统与第二轴承架板相连接。
2.按照权利要求1所述的一种双向粗糙度检测硅棒处理装置，其特征在于：粗糙度检测系统包括有：
动力电机，动力电机下方与安装机架进行螺栓连接；
第一转轴杆，第一转轴杆与动力电机输出轴进行固接，第一转轴杆与安装机架进行转动连接，第一转轴杆与打磨调整系统相连接；
第一传动轮，第一传动轮轴心与第一转轴杆进行固接；
第二传动轮，第二传动轮轴心与第一转轴杆进行固接；
第三传动轮，第三传动轮轴心与第一转轴杆进行固接；
第四传动轮，第四传动轮外环面通过皮带与第一传动轮进行传动连接；
第一平齿轮，第一平齿轮轴心与第四传动轮进行固接，第一平齿轮轴心与安装机架进行转动连接；
第二平齿轮，第二平齿轮与第一平齿轮进行啮合；
第一电动推杆，第一电动推杆与第二平齿轮进行转动连接，第一电动推杆与安装机架相连接；
第三平齿轮，第三平齿轮与第二平齿轮进行啮合；
第一丝杆，第一丝杆与第三平齿轮进行固接，第一丝杆与安装机架进行转动连接，第一丝杆与第一轴承架板进行转动连接；
内螺纹滑动板，内螺纹滑动板内侧与第一丝杆进行传动连接；
第一限位滑杆，第一限位滑杆外表面与内螺纹滑动板进行滑动连接，第一限位滑杆与安装机架进行焊接，第一限位滑杆与第一轴承架板进行焊接；
第二电动推杆，第二电动推杆上方与内螺纹滑动板相连接；
摩擦检测计，摩擦检测计上方与第二电动推杆进行螺栓连接；
第五传动轮，第五传动轮外环面通过皮带与第二传动轮进行传动连接；
第二转轴杆，第二转轴杆外表面与第五传动轮进行固接，第二转轴杆与安装机架进行转动连接；
轮刷，轮刷轴心与第二转轴杆进行固接；
第六传动轮，第六传动轮外环面通过皮带与第三传动轮进行传动连接；
第三转轴杆，第三转轴杆与第六传动轮进行固接，第三转轴杆与第一轴承架板进行转动连接；
第四平齿轮，第四平齿轮轴心与第三转轴杆进行固接；
第五平齿轮，第五平齿轮与第四平齿轮进行啮合；
第一固定筒，第一固定筒外表面与第五平齿轮进行固接；
电动滑动台，电动滑动台上方与第一固定筒进行转动连接，电动滑动台与长距离电动滑柱进行滑动连接；
第二固定筒，第二固定筒与电动滑动台进行转动连接。
3.按照权利要求2所述的一种双向粗糙度检测硅棒处理装置，其特征在于：打磨调整系统包括有：
第一锥齿轮，第一锥齿轮轴心与第一转轴杆进行固接；
第二锥齿轮，第二锥齿轮与第一锥齿轮进行啮合，；
第七传动轮，第七传动轮轴心与第二锥齿轮进行固接，第七传动轮与安装机架进行转动连接；
第八传动轮，第八传动轮外环面通过皮带与第七传动轮进行传动连接，第八传动轮与安装机架进行转动连接；
第九传动轮，第九传动轮与第八传动轮进行传动连接；
第三锥齿轮，第三锥齿轮轴心与第九传动轮进行固接；
第四锥齿轮，第四锥齿轮与第三锥齿轮进行啮合；
第四转轴杆，第四转轴杆与第四锥齿轮进行固接；
第十传动轮，第十传动轮轴心与第四转轴杆进行固接，第十传动轮与高温氧化系统相连接；
第三轴承架板，第三轴承架板与第四转轴杆进行转动连接，第三轴承架板与第九传动轮进行转动连接，第三轴承架板下方与安装机架进行螺栓连接；
第十一传动轮，第十一传动轮与第九传动轮进行传动连接，第十一传动轮与第二轴承架板进行转动连接，第十一传动轮与高温氧化系统相连接；
第十二传动轮，第十二传动轮一侧与第十一传动轮进行传动连接，第十二传动轮另一侧与第八传动轮进行传动连接，第十二传动轮与第一轴承架板进行转动连接；
第十三传动轮，第十三传动轮一侧与第十一传动轮进行传动连接，并且第十三传动轮另一侧与第十二传动轮进行传动连接；
第六平齿轮，第六平齿轮轴心与第十三传动轮进行固接；
电动滑动座，电动滑动座与第六平齿轮进行转动连接；
第一电动滑轨，第一电动滑轨与电动滑动座进行滑动连接，第一电动滑轨上方与安装机架进行螺栓连接；
第一电动升降柱，第一电动升降柱上方与电动滑动座进行螺栓连接；
夹持固定机构，夹持固定机构上方与第一电动升降柱相连接，夹持固定机构与第六平齿轮相连接；
第十四传动轮，第十四传动轮上方与高温氧化系统相连接；
第五转轴杆，第五转轴杆与第十四传动轮进行固接，第五转轴杆外表面与第二轴承架板进行转动连接；
第七平齿轮，第七平齿轮轴心与第五转轴杆进行固接。
4.按照权利要求3所述的一种双向粗糙度检测硅棒处理装置，其特征在于：高温氧化系统包括有：
第十五传动轮，第十五传动轮外环面通过皮带与第十传动轮进行传动连接；
第六转轴杆，第六转轴杆与第十五传动轮进行固接；
第四轴承架板，第四轴承架板与第六转轴杆进行转动连接，第四轴承架板下方与安装机架进行焊接；
转动圆盘，转动圆盘轴心与第六转轴杆进行固接；
联动凸柱，联动凸柱与转动圆盘进行固接；
联动槽条，联动槽条内侧与联动凸柱进行传动连接；
滑动安装套，滑动安装套上方与联动槽条进行焊接；
第二限位滑杆，第二限位滑杆外表面与滑动安装套进行滑动连接，第二限位滑杆上方与安装机架相连接；
第十六传动轮，第十六传动轮外环面通过皮带与第十四传动轮进行传动连接，第十六传动轮轴心与第二轴承架板进行转动连接；
第五锥齿轮，第五锥齿轮轴心与第十六传动轮进行固接；
第六锥齿轮，第六锥齿轮与第五锥齿轮进行啮合；
第十七传动轮，第十七传动轮轴心与第六锥齿轮进行固接，第十七传动轮与安装机架进行转动连接，第十七传动轮外环面通过皮带与第十一传动轮进行传动连接；
第七转轴杆，第七转轴杆与第五锥齿轮进行固接；
第五轴承架板，第五轴承架板与第七转轴杆进行转动连接，第五轴承架板上方与安装机架进行焊接；
第十八传动轮，第十八传动轮轴心与第七转轴杆进行固接；
第十九传动轮，第十九传动轮外环面通过皮带与第十八传动轮进行传动连接；
第八转轴杆，第八转轴杆与第十九传动轮进行固接，第八转轴杆与第五轴承架板进行转动连接；
第八平齿轮，第八平齿轮轴心与第八转轴杆进行固接；
高温气流喷头，高温气流喷头上方与滑动安装套相连接。
5.按照权利要求4所述的一种双向粗糙度检测硅棒处理装置，其特征在于：夹持固定机构包括有：
集合安装架，集合安装架上方与第一电动升降柱相连接；
轴承座，轴承座下方与集合安装架进行螺栓连接；
第二十传动轮，第二十传动轮与轴承座进行转动连接；
第九平齿轮，第九平齿轮轴心与第二十传动轮进行固接，第九平齿轮上方与第六平齿轮进行啮合；
第一安装条板，第一安装条板与集合安装架相连接；
第二安装条板，第二安装条板与集合安装架相连接；
第一电动收紧柱，第一电动收紧柱上方与第一安装条板相连接，第一电动收紧柱下方与第二安装条板相连接；
第二电动收紧柱，第二电动收紧柱上方与第一安装条板相连接，第二电动收紧柱下方与第二安装条板相连接；
第一夹紧条，第一夹紧条一侧与第二电动收紧柱相连接，并且第一夹紧条另一侧与第一电动收紧柱相连接；
第二夹紧条，第二夹紧条一侧与第二电动收紧柱相连接，并且第二夹紧条另一侧与第一电动收紧柱相连接；
第一拨动振动机构，第一拨动振动机构与集合安装架相连接，第一拨动振动机构与第二十传动轮相连接；
第二拨动振动机构，第二拨动振动机构与集合安装架相连接，第二拨动振动机构与第一拨动振动机构相连接。
6.按照权利要求5所述的一种双向粗糙度检测硅棒处理装置，其特征在于：第一拨动振动机构包括有：
异形轨道盘，异形轨道盘与集合安装架相连接；
第二十一传动轮，第二十一传动轮与异形轨道盘进行转动连接，第二十一传动轮外环面通过皮带与第二十传动轮进行传动连接；
弹性簧杆，弹性簧杆与第二十一传动轮轴心进行固接；
滑动限位柱，滑动限位柱与弹性簧杆进行固接，滑动限位柱与异形轨道盘进行滑动连接；
拨动球，拨动球与弹性簧杆相连接。
7.按照权利要求6所述的一种双向粗糙度检测硅棒处理装置，其特征在于：异形轨道盘前侧的滑道左半部分为半圆，右半部分为半椭圆。
8.按照权利要求7所述的一种双向粗糙度检测硅棒处理装置，其特征在于：摩擦检测计底部与硅棒接触部分为三分之一圆弧形。
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