CN202240825U - 一种旋转靶材的打磨装置 - Google Patents
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CN2011203760959U CN202240825U (zh) | 2011-09-29 | 2011-09-29 | 一种旋转靶材的打磨装置 |
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CN (1) | CN202240825U (zh) |
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C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C56 | Change in the name or address of the patentee |
Owner name: XIAMEN YINGRI NEW MATERIAL TECHNOLOGY CO., LTD. Free format text: FORMER NAME: XIAMEN YINGRI OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY CO., LTD. |
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CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 361000, 3F, No. 6, Xiang Yue Road, industrial zone, torch hi tech Zone, Xiamen, Fujian, Xiangan Patentee after: Xiamen Yingri New Material Technology Co., Ltd. Address before: 361000, 3F, No. 6, Xiang Yue Road, industrial zone, torch hi tech Zone, Xiamen, Fujian, Xiangan Patentee before: Xiamen Sunney Optoelectronics Co., Ltd. |
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CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120530 Termination date: 20150929 |
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EXPY | Termination of patent right or utility model |