CN112578162B - 一种探针卡用高效预热装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种探针卡用高效预热装置，包括底座、预热装置保护外壳、转盘安装底座和吹风扇保护外壳，所述预热装置保护外壳的内部依次设有隔温层与保温层，所述预热装置保护外壳内部的两侧皆固定安装有电阻加热丝，所述预热装置保护外壳内部的顶部固定安装有温度传感器，所述转盘安装底座的内部通过转动轴杆转动安装有转盘，所述预热装置保护外壳的底部通过电动机外壳固定安装有电动机，所述预热装置保护外壳的两侧皆通过吹风扇保护外壳固定安装有吹风扇，所述预热装置保护外壳正面的顶部固定安装有控制面板。本发明通过吹风扇与电阻加热丝与隔温层与保温层，使得装置可以快速升温进行预热，提高了装置整体的实用性。

Description

一种探针卡用高效预热装置

技术领域

本发明涉及探针卡预热技术领域，具体为一种探针卡用高效预热装置。

背景技术

探针卡(Probe Card)是负责测试系统与集成电路芯片之间的电气连接，在对晶圆进行功能测试时，探针卡上的探针与晶圆的焊垫接触，对晶圆输出测试信号或者接收晶圆输出的信号，探针卡对前期测试的开发及后期量产测试的良率保证都非常重要，是晶圆制造过程中对制造成本影响相当大的重要制程,现需要一种探针卡用高效预热装置，但是现有的探针卡用预热装置在很多问题或缺陷：

1.现有的探针卡预热装置无法在短时间内快速升温，需要一定的升温时间会造成加工时间延长，无法满足快速升温的作业需求；

2.且现有的探针卡预热装置在升温加热的过程中无法保证装置内可以是平均温度，温度的升高突然升高会造成探针卡的损坏导致探针卡的质量出现问题，降低了装置的使用性。

3.聚氨酯发泡材料因稳定性好、耐化学性、回弹性和力学性能好而被广泛应用于建筑、汽车、航空工业等领域，但聚氨酯分子链结构中部分特征基团的热降解温度在150℃以下，使得聚氨酯的长期使用温度一般在80℃左右，这极大程度限制了聚氨酯材料在保温需求方面的应用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种探针卡用高效预热装置，以解决上述背景技术中提出的探针卡预热装置工作效率低的问题，将改性聚氨酯材料应用于预热装置结构中，以达到快速升温、温度均匀稳定的使用效果。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种探针卡用高效预热装置，包括底座、预热装置保护外壳、转盘安装底座和吹风扇保护外壳，所述底座的顶部固定安装有预热装置保护外壳，所述预热装置保护外壳的内部依次设有隔温层与保温层，所述预热装置保护外壳内部的两侧皆固定安装有电阻加热丝，所述电阻加热丝的一侧固定安装有挡板，所述预热装置保护外壳内部的顶部固定安装有温度传感器，所述预热装置保护外壳内部的底部固定安装有转盘安装底座，所述转盘安装底座的内部通过转动轴杆转动安装有转盘，且转盘的底部设有滚轮，所述预热装置保护外壳的底部通过电动机外壳固定安装有电动机，且电动机通过联轴器与转动轴杆转动连接，所述预热装置保护外壳的两侧皆通过吹风扇保护外壳固定安装有吹风扇，所述预热装置保护外壳正面的顶部固定安装有控制面板，且控制面板上依次设有定时器与温度控制器。

优选的，所述底座与预热装置保护外壳之间通过支撑架固定安装，且底座的底部设有配合使用的橡胶保护垫。

优选的，所述预热装置保护外壳的正面活动安装有活动保护门，且活动保护门上固定安装有卡扣组件，所述卡扣组件是由轴杆与横杆与卡块组成。

优选的，所述挡板与吹风扇保护外壳上皆设有配合使用的通气孔，所述转盘安装底座与转盘上皆设有与滚轮配合使用的滑槽，且转盘放置有配合使用的承物架。

优选的，所述控制面板通过导线分别与电动机、电阻加热丝、温度传感器与吹风扇电性连接。

优选的，所述吹风扇保护外壳与电动机外壳上皆设有密封板，且密封板上设有配合使用的散热孔。

优选的，所述隔温层的材质为改性聚氨酯。

与现有技术相比，本发明设计的创新点效果是：该探针卡用预热装置合理，具有以下优点：

(1)通过吹风扇与电阻加热丝与隔温层与保温层之间的配合使用，使得装置在使用过程可以快速的将电阻加热丝生产出的热能布满装置的内部同时避免热量溢出装置外，避免了装置预热的时间过长导致探针卡与晶圆之间的测试时间过久而影响了整体工作进度的情况发生，提高了装置的实用性；

(2)通过温度传感器与温度控制器与转动轴杆与转盘与滚轮与电动机之间的配合使用，使得探针卡在预热过程中可以保证探针卡在装置内预热的温度达到平均温度，避免了装置内温度过高或过低影响了探针卡的预热效果从而导致与晶圆测试的准确性，扩大了装置的使用范围；

(3)通过定时器，便于工作人员对预热的时间进行定时控制，无需工作人员在装置前看守，节省了工作人员的时间，避免了装置在预热过程中预热的时间过久而导致探针卡出现变形等质量问题而无法使用的情况发生，提高了装置整体的有益效果。

附图说明

图1为本发明的正视剖面结构示意图；

图2为本发明的正视结构示意图；

图3为本发明的局部正视剖面结构示意图；

图4为本发明的局部正视剖面结构示意图。

图中：1、底座；101、支撑架；102、电动机外壳；103、电动机；2、预热装置保护外壳；201、隔温层；202、保温层；203、电阻加热丝；204、挡板；205、温度传感器；206、控制面板；207、定时器；208、温度控制器；209、卡扣组件；3、转盘安装底座；301、转动轴杆；302、转盘；303、滚轮；304、承物架；4、吹风扇保护外壳；401、吹风扇；402、通气孔。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-4，本发明提供了一种探针卡用高效预热装置：一种探针卡用高效预热装置，包括底座1、预热装置保护外壳2、转盘安装底座3和吹风扇保护外壳4，底座1的顶部固定安装有预热装置保护外壳2，底座1与预热装置保护外壳2之间通过支撑架101固定安装，且底座1的底部设有配合使用的橡胶保护垫；

预热装置保护外壳2的内部依次设有隔温层201与保温层202，预热装置保护外壳2内部的两侧皆固定安装有电阻加热丝203，电阻加热丝203的一侧固定安装有挡板204，通过吹风扇401与电阻加热丝203与隔温层201与保温层202之间的配合使用，使得装置在使用过程可以快速的将电阻加热丝203生产出的热能布满装置的内部同时避免热量溢出装置外，避免了装置预热的时间过长导致探针卡与晶圆之间的测试时间过久而影响了整体工作进度的情况发生，预热装置保护外壳2内部的顶部固定安装有温度传感器205，预热装置保护外壳2的正面活动安装有活动保护门，且活动保护门上固定安装有卡扣组件209，卡扣组件209是由轴杆与横杆与卡块组成，电阻加热丝203与温度传感器205的型号分别是OCR与BRW系列；

预热装置保护外壳2内部的底部固定安装有转盘安装底座3，转盘安装底座3的内部通过转动轴杆301转动安装有转盘302，且转盘302的底部设有滚轮303，转盘安装底座3与转盘302上皆设有与滚轮303配合使用的滑槽，且转盘302放置有配合使用的承物架304，预热装置保护外壳2的底部通过电动机外壳102固定安装有电动机103，且电动机103通过联轴器与转动轴杆301转动连接，通过温度传感器205与温度控制器208与转动轴杆301与转盘302与滚轮303与电动机103之间的配合使用，使得探针卡在预热过程中可以保证探针卡在装置内预热的温度达到平均温度，避免了装置内温度过高或过低影响了探针卡的预热效果从而导致与晶圆测试的准确性，电动机103的型号是YRJ系列；

预热装置保护外壳2的两侧皆通过吹风扇保护外壳4固定安装有吹风扇401，吹风扇保护外壳4与电动机外壳102上皆设有密封板，且密封板上设有配合使用的散热孔，挡板204与吹风扇保护外壳4上皆设有配合使用的通气孔402，预热装置保护外壳2正面的顶部固定安装有控制面板206，控制面板206通过导线分别与电动机103、电阻加热丝203、温度传感器205与吹风扇401电性连接，且控制面板206上依次设有定时器207与温度控制器208，通过定时器207，便于工作人员对预热的时间进行定时控制，无需工作人员在装置前看守，节省了工作人员的时间，避免了装置在预热过程中预热的时间过久而导致探针卡出现变形等质量问题而无法使用的情况发生，定时器207与温度控制器208与吹风扇401的型号分别是YS与BRW与VD系列。

工作原理：使用时，首先，将需要预热的探针卡放置在承物架304上，通过卡扣组件209关紧活动保护门，再通过控制面板206启动电阻加热丝203开始加热工作，再启动吹风扇401作业使得电阻加热丝203产生的热量可以快速布满装置的内部；

最后，通过电动机103作业会带动转动轴杆301开始转动使得转盘302上的承物架304开始旋转均匀受热，通过温度传感器205便于工作人员时刻监控装置内预热的温度情况，当温度过高或过低时可通过温度控制器208进行调节，通过定时器207可以提前定好预热的时间，当装置预热到一定时间后便会停止加热，结束预热工作，提高了装置的实用性。

在一些优选的实施方式中，隔温层(201)的材质为改性聚氨酯。

在一些优选的实施方式中，所述改性聚氨酯的原料包括：按照重量份计，聚酯多元醇32-65份，异氰酸酯12-24份，乙醇胺6-10份，氧基硅烷2-5份，催化剂0.1-1.5份，发泡剂3-6份。

在一些优选的实施方式中，所述聚酯多元醇的羟值为56-280mg KOH/g。羟值为56-280mg KOH/g的聚酯多元醇可为市售，例如山东摩尔化工有限公司。

在一些优选的实施方式中，所述乙醇胺包括二乙醇胺，三乙醇胺，N-叔丁基乙醇胺中的至少一种。

在一些优选的实施方式中，所述改性聚氨酯的原料还包括双酚A型环氧树脂25-40份。

进一步优选，所述双酚A型环氧树脂的环氧当量为238-270g/mol。环氧当量为238-270g/mol的双酚A型环氧树脂可为市售，例如青岛百辰新材料科技有限公司。

聚氨酯分子链结构中胺基甲酸酯基、脲基甲酸酯基等基团的热降解温度均在150℃以下，长期使用温度一般在80℃左右，这极大程度限制了聚氨酯材料优异的力学性能和耐磨性能等。本申请人发现，当在聚氨酯原料中添加双酚A型环氧树脂时，明显提高了改性聚氨酯材料的热分解起始温度，材料的耐热性提升。原因可能是双酚A型环氧树脂中的活性基团能够与-NCO结合，生成内聚能较高的有机杂环基团，在聚氨酯分子链中引入耐高温分子结构，使得改性聚氨酯材料的热分解温度提升。本发明发现，当双酚A型环氧树脂的环氧当量为238-270g/mol时，对于聚氨酯耐热性的提升较为明显。双酚A型环氧树脂虽然提高了改性聚氨酯材料的耐热性，但制得聚氨酯的断裂伸长率略有下降，力学强度受到限制。

在一些优选的实施方式中，所述异氰酸酯包括TDI，MDI，IPDI中的至少一种。

在一些优选的实施方式中，所述氧基硅烷为5,6-环氧己基三乙氧基硅烷和二(2-羟基乙基)氨基丙基三乙氧基硅烷。5,6-环氧己基三乙氧基硅烷的CAS号为86138-01-4，二(2-羟基乙基)氨基丙基三乙氧基硅烷的CAS号为7538-44-5。

聚氨酯分子链中含有硬段和软段两种分子链结构，硬段和软段特征基团的极性、溶解性均存在差异，软硬段力学不相容使得聚氨酯空间结构中形成类似于海岛的结构。本申请人发现，当在聚氨酯原料中引入键能较高的氧基硅烷明显提高了聚氨酯材料的耐热性，使改性聚氨酯材料的热分解起始温度能够达到290℃以上；原因可能是氧基硅烷能够与双酚A型环氧树脂共同作用，优化了聚氨酯分子链的微相分离程度，提高了聚氨酯的耐热能力。本申请人意外发现，当氧基硅烷为5,6-环氧己基三乙氧基硅烷和二(2-羟基乙基)氨基丙基三乙氧基硅烷时，不仅提高了改性聚氨酯材料的耐热性，还使改性聚氨酯材料的断裂伸长率提高。原因可能是5,6-环氧己基三乙氧基硅烷和二(2-羟基乙基)氨基丙基三乙氧基硅烷与周围大分子形成的次价交联结构较稳定，材料抵御断裂外力的能力增强，改性聚氨酯材料的断裂伸长率提升。

进一步优选，所述5,6-环氧己基三乙氧基硅烷和二(2-羟基乙基)氨基丙基三乙氧基硅烷的重量比为(1.2-3)：1。

在一些优选的实施方式中，所述催化剂为三亚乙基二胺和辛酸亚锡。三亚乙基二胺的CAS号为280-57-9，辛酸亚锡的CAS号为301-10-0。

虽然聚氨酯发泡材料具有优异的耐化学性、回弹性和力学性能，但是温度较低时聚氨酯的闭孔率降低，使得聚氨酯的应用受到季节、环境温度的极大限制。本发明发现，当催化剂选用三亚乙基二胺和辛酸亚锡共同作用时，得到的改性聚氨酯材料的闭孔率较高。原因可能是三亚乙基二胺和辛酸亚锡共同作用，使得聚酯多元醇与双酚A型环氧树脂、异氰酸酯、氧基硅烷等物质的反应过程均匀平稳，得到的聚氨酯材料的气泡均匀细腻，且气泡膜壁弹性强，抑制了气泡破碎、并泡等现象发生，使得改性聚氨酯材料的闭孔率高，改性后的聚氨酯应用于隔温层，使得预热装置能够快速升温预热，且装置内温度均匀稳定。

进一步优选，所述三亚乙基二胺和辛酸亚锡的重量比为(3-7)：1。

本申请人意外发现，当三亚乙基二胺和辛酸亚锡的重量比为(3-7)：1时，不仅降低了聚氨酯材料的闭孔率，还提高了材料的拉伸强度。通常材料断裂伸长率的提升伴随着拉伸强度的下降，而本体系中限定三亚乙基二胺和辛酸亚锡的重量比为(3-7)：1，能够保持聚氨酯材料断裂伸长率提升的同时使材料的拉伸强度提高。原因可能是重量比为(3-7)：1的三亚乙基二胺和辛酸亚锡促进了双酚A型环氧树脂与聚氨酯、氧基硅烷等分子的相容性，形成的互穿网络聚合物的结构更为致密，优化了改性聚氨酯材料的成型。

在一些优选的实施方式中，所述发泡剂为水。

在一些优选的实施方式中，所述改性聚氨酯的制备步骤包括：

S1.将聚酯多元醇加入反应釜中，在100-120℃真空脱水2-3h，脱水后将聚酯多元醇冷却至60-70℃，加入异氰酸酯，升温至75-85℃，保温反应1-3h，得到组分A；

S2.将乙醇胺置于四口瓶中，升温至60-70℃，缓慢加入双酚A型环氧树脂，然后升温至80-85℃，保温反应3-4.5h，得到组分B；

S3.取S1制备得到的组分A于容器中，加入S2制备得到的组分B，然后加入氧基硅烷，催化剂和发泡剂，以800-1500r/min的速度混合发泡，固化，得到改性聚氨酯材料。

本申请人发现，当制备改性聚氨酯的过程中，先将双酚A型环氧树脂与乙醇胺混合反应生成组分B，然后再与聚酯多元醇、异氰酸酯等物质反应，得到的改性聚氨酯材料的耐热性、闭孔率和断裂伸长率等性能最优。猜测原因是双酚A型环氧树脂与乙醇胺混合反应的产物能够与-NCO、聚酯多元醇中的-OH等官能团结合，使得环氧树脂被更牢固地引入聚氨酯分子结构中，避免了环氧树脂直接在聚氨酯网状结构中交联时容易局部团聚的缺陷，改性聚氨酯的结构最大程度地兼顾均匀分散和交联稳固，各组分间充分配伍作用，得到的改性聚氨酯的各项性能最佳。

实施例

实施例1.

请参阅图1-4，本发明提供的一种实施例：一种探针卡用高效预热装置，包括底座1、预热装置保护外壳2、转盘安装底座3和吹风扇保护外壳4，底座1的顶部固定安装有预热装置保护外壳2，底座1与预热装置保护外壳2之间通过支撑架101固定安装，且底座1的底部设有配合使用的橡胶保护垫；

预热装置保护外壳2的内部依次设有隔温层201与保温层202，预热装置保护外壳2内部的两侧皆固定安装有电阻加热丝203，电阻加热丝203的一侧固定安装有挡板204，通过吹风扇401与电阻加热丝203与隔温层201与保温层202之间的配合使用，使得装置在使用过程可以快速的将电阻加热丝203生产出的热能布满装置的内部同时避免热量溢出装置外，避免了装置预热的时间过长导致探针卡与晶圆之间的测试时间过久而影响了整体工作进度的情况发生，预热装置保护外壳2内部的顶部固定安装有温度传感器205，预热装置保护外壳2的正面活动安装有活动保护门，且活动保护门上固定安装有卡扣组件209，卡扣组件209是由轴杆与横杆与卡块组成，电阻加热丝203与温度传感器205的型号分别是OCR与BRW系列；

预热装置保护外壳2内部的底部固定安装有转盘安装底座3，转盘安装底座3的内部通过转动轴杆301转动安装有转盘302，且转盘302的底部设有滚轮303，转盘安装底座3与转盘302上皆设有与滚轮303配合使用的滑槽，且转盘302放置有配合使用的承物架304，预热装置保护外壳2的底部通过电动机外壳102固定安装有电动机103，且电动机103通过联轴器与转动轴杆301转动连接，通过温度传感器205与温度控制器208与转动轴杆301与转盘302与滚轮303与电动机103之间的配合使用，使得探针卡在预热过程中可以保证探针卡在装置内预热的温度达到平均温度，避免了装置内温度过高或过低影响了探针卡的预热效果从而导致与晶圆测试的准确性，电动机103的型号是YRJ系列；

预热装置保护外壳2的两侧皆通过吹风扇保护外壳4固定安装有吹风扇401，吹风扇保护外壳4与电动机外壳102上皆设有密封板，且密封板上设有配合使用的散热孔，挡板204与吹风扇保护外壳4上皆设有配合使用的通气孔402，预热装置保护外壳2正面的顶部固定安装有控制面板206，控制面板206通过导线分别与电动机103、电阻加热丝203、温度传感器205与吹风扇401电性连接，且控制面板206上依次设有定时器207与温度控制器208，通过定时器207，便于工作人员对预热的时间进行定时控制，无需工作人员在装置前看守，节省了工作人员的时间，避免了装置在预热过程中预热的时间过久而导致探针卡出现变形等质量问题而无法使用的情况发生，定时器207与温度控制器208与吹风扇401的型号分别是YS与BRW与VD系列。

工作原理：使用时，首先，将需要预热的探针卡放置在承物架304上，通过卡扣组件209关紧活动保护门，再通过控制面板206启动电阻加热丝203开始加热工作，再启动吹风扇401作业使得电阻加热丝203产生的热量可以快速布满装置的内部；

最后，通过电动机103作业会带动转动轴杆301开始转动使得转盘302上的承物架304开始旋转均匀受热，通过温度传感器205便于工作人员时刻监控装置内预热的温度情况，当温度过高或过低时可通过温度控制器208进行调节，通过定时器207可以提前定好预热的时间，当装置预热到一定时间后便会停止加热，结束预热工作，提高了装置的实用性。

所述隔温层(201)的材质为聚氨酯，聚氨酯购买自安徽伟志聚氨酯制品有限公司。

实施例2.

一种探针卡用高效预热装置，具体实施方式同实施例1。不同点在于，所述隔温层(201)的材质为改性聚氨酯。

所述改性聚氨酯的原料包括：按照重量份计，聚酯多元醇56份，异氰酸酯18份，乙醇胺7份，氧基硅烷4份，催化剂1份，发泡剂3份。

所述聚酯多元醇的羟值为204mg KOH/g，购买自山东摩尔化工有限公司，型号为2054。

所述异氰酸酯为MDI和IPDI，MDI和IPDI的重量比为2：3。MDI的CAS号为26447-40-5，IPDI的CAS号为4098-71-9。

所述乙醇胺为二乙醇胺，三乙醇胺和N-叔丁基乙醇胺，三者的重量比为1.4：1：0.5。

所述改性聚氨酯的原料还包括双酚A型环氧树脂30份。

所述双酚A型环氧树脂的环氧当量为260g/mol，购买自青岛百辰新材料科技有限公司。

所述氧基硅烷为5,6-环氧己基三乙氧基硅烷和二(2-羟基乙基)氨基丙基三乙氧基硅烷。5,6-环氧己基三乙氧基硅烷的CAS号为86138-01-4，二(2-羟基乙基)氨基丙基三乙氧基硅烷的CAS号为7538-44-5。

所述5,6-环氧己基三乙氧基硅烷和二(2-羟基乙基)氨基丙基三乙氧基硅烷的重量比为2：1。

所述催化剂为三亚乙基二胺和辛酸亚锡，三亚乙基二胺和辛酸亚锡的重量比为4：1。三亚乙基二胺的CAS号为280-57-9，辛酸亚锡的CAS号为301-10-0。

所述发泡剂为水。

所述改性聚氨酯的制备步骤包括：

S1.将聚酯多元醇加入反应釜中，在115℃真空脱水2.5h，脱水后将聚酯多元醇冷却至64℃，加入异氰酸酯，升温至80℃，保温反应2h，得到组分A；

S2.将乙醇胺置于四口瓶中，升温至64℃，缓慢加入双酚A型环氧树脂，然后升温至82℃，保温反应35h，得到组分B；

S3.取S1制备得到的组分A于容器中，加入S2制备得到的组分B，然后加入氧基硅烷，催化剂和发泡剂，以1200r/min的速度混合发泡，固化，得到改性聚氨酯材料。

实施例3.

一种探针卡用高效预热装置，具体实施方式同实施例2。不同点在于，所述改性聚氨酯的材料不包括双酚A型环氧树脂。

实施例4.

一种探针卡用高效预热装置，具体实施方式同实施例2。不同点在于，所述氧基硅烷为丙基三甲氧基硅烷，CAS号为1067-25-0。

实施例5.

一种探针卡用高效预热装置，具体实施方式同实施例2。不同点在于，5,6-环氧己基三乙氧基硅烷和二(2-羟基乙基)氨基丙基三乙氧基硅烷的重量比为1：2。

实施例6.

一种探针卡用高效预热装置，具体实施方式同实施例2。不同点在于，所述催化剂为辛酸亚锡。

实施例7.

一种探针卡用高效预热装置，具体实施方式同实施例2。不同点在于，三亚乙基二胺和辛酸亚锡的重量比为1：2。

实施例8.

一种探针卡用高效预热装置，具体实施方式同实施例2。不同点在于，所述改性聚氨酯的制备步骤包括：

S1.将聚酯多元醇加入反应釜中，在115℃真空脱水2.5h，脱水后将聚酯多元醇冷却至64℃，加入异氰酸酯，升温至80℃，保温反应2h，得到组分A；

S2.取S1制备得到的组分A于容器中，加入乙醇胺，双酚A型环氧树脂，氧基硅烷，催化剂和发泡剂，以1200r/min的速度混合发泡，固化，得到改性聚氨酯材料。

性能测试方法

断裂伸长率：

参照国标GB/T528-92测定试样的断裂伸长率。

耐热性：

使用瑞士梅特勒-托利多公司生产的TGA1型热重分析仪测定试样的热分解起始温度。闭孔率：

将制得的聚氨酯材料用液氮冷却破碎，选择断裂面在扫描电镜下进行SEM分析，根据SEM图，观察图片中气孔的开孔和闭孔情况，计算闭孔气泡占总气泡的百分比。

性能测试结果

表1.实施例2-8的性能测试结果

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (8)

1.一种探针卡用高效预热装置，包括底座(1)、预热装置保护外壳(2)、转盘安装底座(3)和吹风扇保护外壳(4)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有预热装置保护外壳(2)，所述预热装置保护外壳(2)的内部依次设有隔温层(201)与保温层(202)，所述隔温层(201)的材质为改性聚氨酯，所述预热装置保护外壳(2)内部的两侧皆固定安装有电阻加热丝(203)，所述电阻加热丝(203)的一侧固定安装有挡板(204)，所述预热装置保护外壳(2)内部的顶部固定安装有温度传感器(205)，所述预热装置保护外壳(2)内部的底部固定安装有转盘安装底座(3)，所述转盘安装底座(3)的内部通过转动轴杆(301)转动安装有转盘(302)，且转盘(302)的底部设有滚轮(303)，所述预热装置保护外壳(2)的底部通过电动机外壳(102)固定安装有电动机(103)，且电动机(103)通过联轴器与转动轴杆(301)转动连接，所述预热装置保护外壳(2)的两侧皆通过吹风扇保护外壳(4)固定安装有吹风扇(401)，所述预热装置保护外壳(2)正面的顶部固定安装有控制面板(206)，且控制面板(206)上依次设有定时器(207)与温度控制器(208)，所述控制面板(206)通过导线分别与电动机(103)、电阻加热丝(203)、温度传感器(205)与吹风扇(401)电性连接；

所述改性聚氨酯的原料包括：按照重量份计，聚酯多元醇32-65份，异氰酸酯12-24份，乙醇胺6-10份，氧基硅烷2-5份，催化剂0.1-1.5份，发泡剂3-6份，所述改性聚氨酯的原料还包括双酚A型环氧树脂25-40份。

2.根据权利要求1所述的一种探针卡用高效预热装置，其特征在于：所述底座(1)与预热装置保护外壳(2)之间通过支撑架(101)固定安装，且底座(1)的底部设有配合使用的橡胶保护垫。

3.根据权利要求1所述的一种探针卡用高效预热装置，其特征在于：所述预热装置保护外壳(2)的正面活动安装有活动保护门，且活动保护门上固定安装有卡扣组件(209)。

4.根据权利要求1所述的一种探针卡用高效预热装置，其特征在于：所述挡板(204)与吹风扇保护外壳(4)上皆设有配合使用的通气孔(402)。

5.根据权利要求1所述的一种探针卡用高效预热装置，其特征在于：所述吹风扇保护外壳(4)与电动机外壳(102)上皆设有密封板，且密封板上设有配合使用的散热孔。

6.根据权利要求3所述的一种探针卡用高效预热装置，其特征在于：所述卡扣组件(209)是由轴杆与横杆与卡块组成。

7.根据权利要求1所述的一种探针卡用高效预热装置，其特征在于：所述转盘安装底座(3)与转盘(302)上皆设有与滚轮(303)配合使用的滑槽。

8.根据权利要求7所述的一种探针卡用高效预热装置，其特征在于：转盘(302)放置有配合使用的承物架(304)。

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