CN112509933B - 一种ic载板全埋置元器件工艺方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种IC载板全埋置元器件工艺方法,将下游元器件部分直接封装到IC载板内部,从而优化空间结构,提升电路集成密度。通过芯片全埋置技术手段,为芯片打造一个保护外壳,提高稳定性;同时,采用模块化设计,将芯片全埋置在IC载板内部,便于下游的组装及小型化生产,节约的空间,可提升电路集成密度。
Description
技术领域
本发明涉及印刷电路板加工技术领域,尤其是涉及一种IC载板全埋置元器件工艺方法。
背景技术
目前,我国印刷电路板产业替代品主要表现在子行业产品替代,刚性线路板市场份额萎缩,柔性线路板市场份额继续扩大。电子产品向高密度化发展,必将导致更高层次化、更小的BGA孔间距,从而对材料的耐热性也提出了更高的要求。在当前的产业链整合和协同发展创新的战略转型期,线路板高密度化和线路板新功能化和智能化,轻、薄、细、小的发展带来的产品散热、精密布局、封装设计等也为上游CCL产业的创新提出了更为严苛的要求。
其中IC载板应用在大量的小型电子产品中,构成了电子产品不可或缺的重要组成部分,现有IC载板的加工方法为:先以普通硬质覆铜基板如树脂玻纤布基板等为芯层板,然后在铜基板的顶表面和底表面分别设置第一线路层和第二线路层,在第一线路层上钻通孔,确保通孔顺次贯穿第一线路层、基板和第二线路层,在通孔内塞入树脂以使第一线路层和第二线路层电连接,然后在第一线路层的顶部粘接第一防焊层,同时在第二线路层的底部粘接第二防焊层,从而最终加工出IC载板。由于第一线路层和第二线路层的导通是通过在通过内填装树脂,而树脂的成本高且填装量大,这无疑是增加了IC载板的生产成本,此外树脂使用一段时间后容易下沉,导致树脂不再与第一线路层线路层接触,进而导致第一线路层不再与第二线路层导通,存在使用寿命短、可靠性低的缺陷,且封装技术也难以满足现在的需求。
发明内容
针对上述问题,本技术创新地提出了一种IC载板全埋置元器件工艺方法,将下游元器件部分直接封装到IC载板当中,从而节约空间,可以集成更多的电路;且直接封装在IC载板之内可以提升产品可靠性,减少IC载板封装时间,便于模块化生产。
具体的,本发明所述的一种IC载板全埋置元器件工艺方法,包括以下步骤:
步骤一:依次执行以下工艺,包括:进行开料,压合补强,内层湿膜,酸蚀,内层AOI,第一次树脂填平后整平,然后进行钻定位孔,曝光显影,沉铜,烤板,干膜,图形电镀,碱性蚀刻,外层AOI,阻焊干膜,整平,显影,烤板,OSP;
步骤二:进行贴件流程,依次进行芯片,采用焊接剂将芯片与钢网材料封装贴合;;
步骤三:依次执行以下工艺,包括:第二次树脂填平后进行压合整平,然后进行减铜,棕化,镭射,沉铜,烤板,板电,干膜,图电,蚀刻,外层AOI,阻焊封装,去补强,等离子除胶,电铣,电测,终检,FQC,和包装,最终出货。
其中,所述压合补强还包括:采用线路贴膜机将铜箔贴在补强上面,温度为设置为40℃。
进一步的,所述第一次树脂填平,还包括:采用77T的网版将感光树脂涂覆在板面表层,厚度40μm,然后采用真空贴膜机整平,温度设置为90℃,压强0.9Mpa,压合时间为3分钟后将树脂整体压平,高度落差≤10μm,然后采用曝光显影将树脂内埋置铜柱的位置显影出来。
进一步的,所述沉铜,还包括:采用除胶一次,沉铜两次的方法,将化学铜层厚度控制在1-2μm范围之间。
进一步的,所述烤板,还包括:设置烤板参数为100℃/60min,将板内的内部应力释放完全,提高板面的结合力。
进一步的,所述阻焊干膜,还包括:采用38μm阻焊干膜工艺,阻焊干膜参数为:温度为85-90℃,压强1.2Mpa,时间为2min,将阻焊干膜表面完全整平。
进一步的,所述第二次树脂填平,还包括:采用3张100μm厚度的树脂膜,优选为NBF膜,进行叠放在一起,铜箔采用12μm厚度,平压在一起,温度为95℃,压强0.9 Mpa,时间为5分钟。
进一步的,所述镭射,还包括:镭射孔径分两种,一种是100μm的常规盲孔,一种是200μm大型盲孔;第一种盲孔按照常规手段进行制作;第二种盲孔采用圆圈打孔工艺,用4个100μm小孔将大孔打成。
进一步的,所述板电,还包括:采用10ASF*60min小电流进行填孔电镀,增加大孔的孔壁铜厚,大孔的孔壁铜厚要求≥40μm。
进一步的,所述阻焊封装,还包括:采用60μm阻焊干膜,待平压后,整体曝光,完成整体封装。
综上所述,本发明提供一种IC载板全埋置元器件工艺方法,将下游元器件部分直接封装到IC载板当中,从而节约空间,可以集成更多的电路,且将芯片封装,为芯片提供一个保护外壳,提高稳定性;同时,采用模块化设计,将一个功能的芯片和IC载板封装一起,便于组装及小型化,可以节约空间,将其他位置腾出来,节约大量的空间。
附图说明
图1为一实施例中的阻焊干膜示意图。
图2为一实施例中盲孔示意图。
具体实施方式
下面将结合具体实施例及附图对本发明的一种IC载板全埋置元器件工艺方法,作进一步详细描述。
本发明所述的一种IC载板全埋置元器件工艺方法,包括以下步骤:
步骤一:依次执行以下工艺,包括:进行开料,压合补强,内层湿膜,酸蚀,内层AOI,第一次树脂填平后整平,然后进行钻定位孔,曝光显影,沉铜,烤板,干膜,图形电镀,碱性蚀刻,外层AOI,阻焊干膜,整平,显影,烤板,OSP;
步骤二:进行贴件流程,采用焊接剂将芯片与钢网材料封装贴合;;
步骤三:依次执行以下工艺,包括:第二次树脂填平后进行压合整平,然后进行减铜,棕化,镭射,沉铜,烤板,板电,干膜,图电,蚀刻,外层AOI,阻焊封装,去补强,等离子除胶,电铣,电测,终检,FQC,和包装,最终出货。
其中,所述压合补强还包括:采用线路贴膜机将铜箔贴在补强上面,温度为设置为40℃,优选的,铜箔采用35μm铜箔。补强粘性温度范围:0-120℃,其中40℃温度粘性最强。
进一步的,所述第一次树脂填平,还包括:采用77T的网版将感光树脂涂覆在板面表层,厚度约40μm,然后采用真空贴膜机整平,带真空段、平压段,温度设置为90℃,压强0.9Mpa,压合时间为3分钟后将树脂整体压平,高度落差≤10μm,然后采用曝光显影将树脂内埋置铜柱的位置显影出来。
进一步的,所述沉铜,还包括:采用除胶一次,沉铜两次的方法,将化学铜层厚度控制在1-2μm范围之间。
进一步的,所述烤板,还包括:设置烤板参数为100℃/60min,将板内的内部应力释放完全,提高板面的结合力。
进一步的,所述阻焊干膜,还包括:采用38μm阻焊干膜工艺,阻焊干膜参数为:温度为85-90℃,压强1.2Mpa,时间为2min,将阻焊干膜表面完全整平(如图1所示)。
进一步的,所述第二次树脂填平,还包括:采用3张100μm厚度的树脂膜,优选为NBF膜,进行叠放在一起,铜箔采用12μm厚度,平压在一起,温度为95℃,压强0.9 Mpa,时间为5分钟,优选的,压强≤1Mpa,防止将元器件,即芯片,压坏。
进一步的,所述镭射,还包括:镭射孔径分两种,一种是100μm的常规盲孔,一种是200μm大型盲孔;第一种盲孔按照常规手段进行制作;第二种盲孔采用圆圈打孔工艺,用4个100μm小孔将大孔打成(如图2所示)。
进一步的,所述板电,还包括:采用10ASF*60min小电流进行填孔电镀,增加大孔的孔壁铜厚,大孔的孔壁铜厚要求≥40μm。
进一步的,所述阻焊封装,还包括:采用60μm阻焊干膜,待平压后,整体曝光,完成整体封装。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (7)
1.一种IC载板全埋置元器件工艺方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1:内层板制作流程:依次进行开料,压合补强,内层湿膜,酸蚀,内层AOI,第一次树脂填平后整平,钻定位孔,曝光显影,沉铜,烤板,干膜,图形电镀,碱性蚀刻,二次AOI,阻焊干膜,整平,显影,烤板,OSP;
步骤2:贴件流程,依次进行选择元器件,采用焊接剂将芯片与钢网材料封装贴合;
步骤3:后序流程,依次进行第二次树脂填平,压合整平,减铜,棕化,镭射,沉铜,烤板,板电,干膜,图电,蚀刻,外层AOI,阻焊封装,去补强,等离子除胶,电铣,电测,终检,FQC和包装,最终出货;
所述第一次树脂填平,还包括:采用77T的网版将感光树脂涂覆在板面表层,厚度40μm,然后采用真空贴膜机整平,温度设置为90℃,压强0.9Mpa,压合时间为3分钟后将树脂整体压平,高度落差≤10μm,然后采用曝光显影将树脂内埋置铜柱的位置显影出来;
所述第二次树脂填平,还包括:采用3张100μm厚度的树脂膜叠放在一起,铜箔采用12μm厚度,平压在一起,温度为95℃,压强0.9 Mpa,时间为5分钟;
所述镭射,还包括:镭射孔径分两种,一种是100μm的常规盲孔,一种是200μm大型盲孔;第一种盲孔按照常规手段进行制作;第二种盲孔采用圆圈打孔工艺,用4个100μm小孔将大孔打成。
2.根据权利要求1所述的IC载板全埋置元器件工艺方法,其特征在于,所述压合补强还包括:采用线路贴膜机将铜箔贴在补强上面,温度设置为40℃。
3.根据权利要求2所述的IC载板全埋置元器件工艺方法,其特征在于,所述沉铜,还包括:采用除胶一次,沉铜两次的方法,将化学铜层厚度控制在1-2μ范围之间。
4.根据权利要求3所述的IC载板全埋置元器件工艺方法,其特征在于,所述烤板,还包括:设置烤板参数为100℃/60min,将板内的内部应力释放完全,提高板面的结合力。
5.根据权利要求4所述的IC载板全埋置元器件工艺方法,其特征在于,所述阻焊干膜,还包括:采用38μm阻焊干膜工艺,阻焊干膜参数为:温度为85-90℃,压强1.2Mpa,时间为2min,将阻焊干膜表面完全整平。
6.根据权利要求5所述的IC载板全埋置元器件工艺方法,其特征在于,所述板电,还包括:采用10ASF*60min小电流进行填孔电镀,增加大孔的孔壁铜厚,大孔的孔壁铜厚要求≥40μm。
7.根据权利要求6所述的IC载板全埋置元器件工艺方法,其特征在于,所述阻焊封装,还包括:采用60μm阻焊干膜,待平压后,整体曝光,完成整体封装。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005026573A (ja) * | 2003-07-04 | 2005-01-27 | Murata Mfg Co Ltd | 部品内蔵モジュールの製造方法 |
JP2009141246A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Panasonic Corp | 部品内蔵プリント配線基板の製造方法 |
CN101843181A (zh) * | 2007-11-01 | 2010-09-22 | 大日本印刷株式会社 | 内置元件电路板、内置元件电路板的制造方法 |
CN103874346A (zh) * | 2014-03-26 | 2014-06-18 | 中国科学院微电子研究所 | 一种电路板的制作方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102256451B (zh) * | 2010-05-20 | 2013-05-08 | 深南电路有限公司 | 埋入片式器件的印刷电路板及其制造方法 |
CN102364999A (zh) * | 2011-06-30 | 2012-02-29 | 广东达进电子科技有限公司 | 一种表面无孔形的机械导通孔的电路板制作方法 |
CN102254838B (zh) * | 2011-08-08 | 2015-03-18 | 慈溪市永旭丰泰电子科技有限公司 | 新型ic封装制造工艺 |
CN102610539B (zh) * | 2012-01-18 | 2014-07-30 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 利用集成pn结测量多芯片埋置型封装芯片接面温度的方法 |
CN104427773A (zh) * | 2013-09-11 | 2015-03-18 | 珠海方正科技多层电路板有限公司 | 印制电路板的制作方法及相应的印制电路板 |
CN103687312B (zh) * | 2013-11-18 | 2017-09-22 | 广州兴森快捷电路科技有限公司 | 镀金线路板制作方法 |
CN107046772A (zh) * | 2017-05-30 | 2017-08-15 | 邹时月 | 一种裸芯片埋入式电路板的制造方法 |
CN109600923A (zh) * | 2018-12-17 | 2019-04-09 | 惠州市大亚湾科翔科技电路板有限公司 | 一种高端pcb金属化槽加工方法 |
CN109714903A (zh) * | 2019-01-15 | 2019-05-03 | 广东科翔电子科技有限公司 | 一种ic载板表面处理方法 |
CN109719404A (zh) * | 2019-01-15 | 2019-05-07 | 广东科翔电子科技有限公司 | 一种ic载板激光钻孔的方法 |
CN109661124A (zh) * | 2019-01-15 | 2019-04-19 | 广东科翔电子科技有限公司 | 一种ic载板新型表面处理方法 |
-
2021
- 2021-02-04 CN CN202110154453.XA patent/CN112509933B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005026573A (ja) * | 2003-07-04 | 2005-01-27 | Murata Mfg Co Ltd | 部品内蔵モジュールの製造方法 |
CN101843181A (zh) * | 2007-11-01 | 2010-09-22 | 大日本印刷株式会社 | 内置元件电路板、内置元件电路板的制造方法 |
JP2009141246A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Panasonic Corp | 部品内蔵プリント配線基板の製造方法 |
CN103874346A (zh) * | 2014-03-26 | 2014-06-18 | 中国科学院微电子研究所 | 一种电路板的制作方法 |
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