CN112334313B - 丝网印刷装置以及丝网印刷方法 - Google Patents

Abstract

在将配置于托架的多个工件作为印刷对象的丝网印刷中，将托架相对于形成有所排列的图案孔群的掩模板对位，并在掩模板的下方将被多个工件支承部抬起的多个工件保持，使工件支承部上的工件配合图案孔群的排列来对准。执行使工件支承部和掩模板相对地移动的调正，以使得将进行了对准的多个工件和掩模板对位。然后，在从掩模板的上表面对进行了对准的工件经由图案孔群印刷了膏后，使工件支承部下降并将工件返回托架。

Description

丝网印刷装置以及丝网印刷方法

技术领域

本公开涉及在基板等工件印刷膏的丝网印刷装置以及丝网印刷方法。

背景技术

在电子部件制造领域中，作为在基板上印刷糊状焊料、导电性膏等的方法，广泛使用丝网印刷。在印刷对象的工件为小尺寸的单片基板的情况下，在多个单片基板被配置于搬运用的托架的状态下进行印刷作业。作为这样的丝网印刷中所用的托架，已知在矩形的板状构件具有用于保持工件即单片基板的工件载置部的结构的托架(例如参考专利文献1)。

在专利文献1中，首先通过支撑装置使载置于托架(托盘)的多个工件当中成为印刷对象的工件从托架上升。接下来，进行用于将该工件与丝网掩模的开口部正确对位的位置检测，基于位置检测结果来执行将工件与丝网掩模的开口部对位的调正作业。之后使该工件与丝网掩模抵接来执行丝网印刷。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2017/022127号

发明内容

本公开提供能将印刷后的工件以正确的位置精度配置于托架的丝网印刷装置以及丝网印刷方法。

本公开的丝网印刷装置具有掩模板、托架支承部、支撑部、升降部、对准部、重合部和印刷头。在掩模板形成排列的多个图案孔群，图案孔群分别包括1个以上的图案孔。托架支承部对设有上下贯通的多个第1开口的托架进行支承。在托架配置多个工件，使它们分别覆盖第1开口。支撑部具有从下方支承多个工件并能分别插入多个第1开口的尺寸的多个工件支承部。升降部使托架支承部和支撑部相对地升降。对准部将托架相对于掩模板进行对位，并使被多个工件支承部抬起的多个工件配合多个图案孔群的排列而对准。重合部使支撑部和掩模板相对地移动，以使得被多个工件支承部抬起的多个工件和掩模板对位并重叠。印刷头对多个工件支承部上的多个工件从掩模板的上表面经过多个图案孔群印刷膏。升降部通过相对于托架支承部使支撑部相对地上升，来将多个工件支承部从下方插入多个第1开口，将多个工件从托架抬起，通过相对于托架支承部使支撑部相对地下降，来将抬起的多个工件返回托架。

本公开的丝网印刷方法包括托架搬入工序、抬起工序、对准工序、调正工序、印刷工序和返回工序。在托架搬入工序中，在掩模板的下方配置托架。在掩模板形成所排列的多个图案孔群，图案孔群分别包括1个以上的图案孔。在托架设有上下贯通的多个第1开口，配置多个工件以使得分别覆盖这些多个第1开口。在抬起工序中，通过从多个第1开口的下方插入多个工件支承部，来将多个工件用多个工件支承部进行支承并从托架抬起。在对准工序中，将托架相对于掩模板进行对位，并使被多个工件支承部抬起的多个工件配合多个图案孔群的排列而对准。在调正工序中，使多个工件支承部和掩模板相对地移动以使得将对准的多个工件和掩模板对位并重叠。在印刷工序中，通过在掩模板的上表面使印刷头移动来对进行了对准的多个工件经过多个图案孔群印刷膏。在返回工序中，在印刷工序后，通过将多个工件支承部从多个第1开口向下方拔出，来将多个工件返回托架。

根据本公开，能将印刷后的工件以正确的位置精度配置于托架。

附图说明

图1是本公开的实施方式所涉及的丝网印刷装置的主视图。

图2是图1所示的丝网印刷装置的侧视图。

图3是保持成为图1所示的丝网印刷装置的印刷对象的工件的托架的立体图。

图4是图3所示的托架所进行的工件保持的说明图。

图5是图1所示的工件支承部中的工件的吸附保持的说明图。

图6是表示图1所示的丝网印刷装置的控制结构的框图。

图7是表示本公开的实施方式所涉及的丝网印刷方法的流程图。

图8是表示本公开的实施方式所涉及的丝网印刷方法的动作的动作说明图。

图9是接着图8所示的动作的动作的说明图。

图10是接着图9所示的动作的动作的说明图。

图11是接着图10所示的动作的动作的说明图。

图12A是本公开的一实施方式的丝网印刷方法的动作的说明图。

图12B是接着图12A所示的动作的动作的说明图。

图12C是接着图12B所示的动作的动作的说明图。

图13A是接着图12C所示的动作的动作的说明图。

图13B是接着图13A所示的动作的动作的说明图。

图14是图13B所示的动作的说明图。

图15是本公开的实施方式所涉及的丝网印刷方法中的工件与掩模板的对位的说明图。

图16是接着图14所示的动作的动作的说明图。

图17A是接着图16所示的动作的动作的说明图。

图17B是接着图17A所示的动作的动作的说明图。

图18是接着图17B所示的动作的动作的说明图。

图19是接着图18所示的动作的动作的说明图。

图20是接着图19所示的动作的动作的说明图。

图21是本公开的实施方式所涉及的丝网印刷装置的变形例中的托架以及支撑部的立体图。

图22A是本公开的实施方式所涉及的丝网印刷方法的变形例中的动作的说明图。

图22B是接着图22A所示的动作的动作的说明图。

图22C是接着图22B所示的动作的动作的说明图。

具体实施方式

在本公开的实施方式的说明前，说明至本公开的经过。在专利文献1所示的技术中，源于托架的处置而在工件与托架的位置关系中出现偏离，出现不能将丝网印刷后的工件正确放回托架的情况。即，被搬入的托架仅进行基于挡块的机械性的对位，根据各个托架而位置发生偏差。针对此，对工件通过基于摄像机的图像识别来以丝网掩模的开口为基准进行位置校正。但在该手法中，托架与工件的相对位置不一定是固定的，有产生位置偏离的情况。然后，若保持产生这样的位置偏离不变地执行丝网印刷，则在将印刷后的工件再次返回托架的工件收纳部时，就不能将工件正确地配置于托架。并且该课题在使用不一定能保证尺寸精度的廉价的托架的情况下特别显著。

另外，印刷后的工件的姿态不一定限于位于给定范围内，多是位置偏离偏差的情况。为此，在将印刷后的工件返回托架时，有时不能在工件收纳部正常地进行收纳。特别在采用上述那样的廉价的托架的情况下，该不良状况也显著发生。

为了应对这样的不良状况，在本实施方式中，检测搬入的托架的位置偏离状态来位置校正成正确的姿势。

接下来参考附图来说明本公开的实施方式。首先参考图1、图2来说明丝网印刷装置1的整体结构。丝网印刷装置1具有在基板等工件印刷糊状焊料等的膏的功能。在基台1a的X方向的两侧端部分别立设支承框架11，在1对支承框架11之间配设构成丝网印刷装置1的以下要素。另外在本实施方式中，将图1中的左右方向、即运送配置有成为印刷作业的对象的工件10的托架9的工件运送方向定义为X方向，将与X方向正交的方向定义为Y方向。

如图3所示那样，在矩形状的托架9的上表面的对角位置形成有一对位置识别用的识别标记9a。在图3所示的示例中，在两对角位置(4处)设有识别标记9a，但也可以是2处。在托架9以给定的规则排列(这里是2×4的格子排列)配置多个用于配置矩形平板形状的工件10的工件收纳部9b。如图4所示那样，在工件10的上表面，和多个连接用的电极10a一起，在对角位置形成一对位置识别用的识别标记10m。

如图4所示那样，为了使工件10的收容、取出容易，将工件收纳部9b的平面形状设定得比工件10的外形形状尺寸稍大，从而成为具有所谓的“游隙”的状态。由于这样的“游隙”的存在，即使是在印刷作业的过程等中工件10从正规姿态产生了位置偏离的情况，只要该位置偏离是“游隙”的范围内，就能将印刷后的工件10收容于工件收纳部9b。

在工件收纳部9b在上表面开口的开口部的周缘设有在收纳了工件10的状态下工件10的下表面所抵接的工件承受部9d。在工件承受部9d的内侧设有上下贯通托架9的第1开口9c。在各个工件收纳部9b，在覆盖第1开口9c的状态下配置1个工件10。即，本实施方式所示的托架9具有上下贯通的多个第1开口9c，配置多个工件10以使得覆盖各个第1开口9c。另外，只要在工件收纳部9b中配置为工件10覆盖第1开口9c，且通过工件收纳部9b保持工件10的位置，则工件10的上表面从工件收纳部9b突出一些也没关系。

如图1、图2所示那样，在1对支承框架11之间的基台1a的上表面配设通过印刷平台移动机构3而移动的印刷平台2。印刷平台移动机构3具有印刷平台工作台3xyθ和设于其上的第2升降机构3z。通过驱动印刷平台工作台3xyθ而印刷平台2沿着X方向、Y方向、θ方向的至少任一个方向水平移动，通过驱动第2升降机构3z而印刷平台2升降。另外虽未图示，但θ方向是指印刷平台工作台3xyθ绕着给定的中心而旋转的方向。另外，在以下的说明中将使得沿着X方向、Y方向、θ方向的至少任一个方向移动称作向XYθ方向移动。

印刷平台2对配置印刷对象的工件10并从上游侧搬入的托架9(参考图3)进行支承，并且进行调正动作，该调正动作使由托架9搬入并被支撑部5的工件支承部5a抬起的工件10相对于以下说明的丝网印刷机构对位并重合。

这时，通过驱动构成印刷平台移动机构3的印刷平台工作台3xyθ，将工件10相对于掩模板22在XYθ方向上对位，通过驱动第2升降机构3z，使工件10与掩模板22的下表面抵接并重合。因此，印刷平台工作台3xyθ构成使支撑部5向XYθ方向移动的调正机构。

丝网印刷机构包括掩模板22和印刷头13。如图15所示那样，在掩模板22形成有排列的多个图案孔群22A。图案孔群22A分别包括1个以上的图案孔22a。印刷头13在掩模板22上进行挤压(スキージング)动作。印刷平台2具有与第2升降机构3z的上表面结合的升降平台4。在升降平台4的上表面的两端立设支承构件4a，如图2所示那样，在支承构件4a的上端部分别结合在X方向上延伸的保持块4b。在保持块4b各自的内侧面设有具有运送工件10的驱动带的印刷平台传送机6b。

在印刷平台传送机6b的上游侧、下游侧的支承框架11，贯通分别设置的开口部而配置搬入传送机6a、搬出传送机6c。通过驱动印刷平台移动机构3，能将印刷平台传送机6b、搬入传送机6a、搬出传送机6c联动来运送托架9。通过搬入传送机6a被搬入(箭头a)的托架9被交接到印刷平台传送机6b而被印刷平台2保持。在印刷平台2中结束了以工件10为对象的丝网印刷后，托架9被从印刷平台传送机6b交接到搬出传送机6c，并被搬出。

在升降平台4的上表面配置通过第1升降机构5b升降驱动的支撑部5。在支撑部5的上表面，多个工件支承部5a以托架9中的工件收纳部9b的排列(参考图3)对应的配置而设置。工件支承部5a以上表面从下方支承工件10，并成为能从下方插入工件收纳部9b中的第1开口9c的平面尺寸。

在托架9被搬入到印刷平台传送机6b的状态下，通过驱动第1升降机构5b使支撑部5上升，从而支撑部5的工件支承部5a从下方被插入到托架9的第1开口9c。被插入的工件支承部5a将配置于托架9的工件10从下表面侧抬起，并支承在上述的丝网印刷机构的印刷高度位置。在丝网印刷机构的印刷结束后，再次驱动第1升降机构5b而使支撑部5下降，将抬起的多个工件10返回托架9。

即，第1升降机构5b作为升降部发挥功能，通过使支承托架9的托架支承部和支撑部5相对地升降，来将多个工件支承部5a从下方插入多个第1开口9c，将多个工件10从托架9抬起，将抬起的多个工件10返回托架9。

在1对保持块4b的上表面分别设有侧方夹钳7。侧方夹钳7通过侧方夹钳驱动机构7a(参考图6)而相互自由打开关闭，通过在支撑部5自下承受托架9的状态下使侧方夹钳7进行关闭动作，从而在印刷平台2中，托架9被侧方夹钳7夹住两侧面而被夹紧支承。在该结构中，载置被搬入的托架9的印刷平台传送机6b以及夹着该状态的托架9而夹紧的侧方夹钳7在印刷平台2中作为支承前述结构的托架9的托架支承部发挥功能。

在被该托架支承部支承的托架9的工件收纳部9b，以有“游隙”状态配置多个工件10。因此这些多个工件10的位置处于从正规的状态进行了位置偏离的状态。为此，在将配置于相同托架9并被多个工件支承部5a同时抬起的多个工件10作为对象，通过相同掩模板22一起执行印刷的作业形态中，进行使多个工件10的排列与掩模板22的图案孔群22A的排列吻合的对准处理。

为此，丝网印刷装置1具有对准部，其执行对准处理，将托架9相对于掩模板22对位，并使从托架9被工件支承部5a抬起的状态的多个工件10配合掩模板22的图案孔22a的排列来对准。即，通过对准部，多个工件10的排列与图案孔群22A的排列一致。在丝网印刷的执行时，执行将这样对准的多个工件10和掩模板22的图案孔群22A对位并重叠的重合动作。

然后，通过在与这样对准的多个工件10重合的掩模板22的上表面使以下说明的丝网印刷部的印刷头13进行丝网印刷动作，来对多个工件支承部5a上的多个工件10从掩模板22的上表面经过图案孔22a通过印刷头13印刷膏P。然后，通过将印刷后的工件10放回相对于掩模板22对位的托架9，从而工件10不会从工件收纳部9b超出地以正确的姿势被收纳于托架9。

在图1中，1对支承框架11的上端，经由直线运动引导机构12a沿着Y方向移动自由地配置支承印刷头13的印刷头支承梁12。印刷头支承梁12的一端部经由图2所示的结构的印刷头移动机构14与一方的支承框架11结合。印刷头移动机构14成为将通过印刷头电动机14a而旋转驱动的进给螺杆14b所螺合的螺母部14c与印刷头支承梁12结合的结构。通过将印刷头电动机14a正反驱动，从而被印刷头支承梁12支承的印刷头13沿着挤压方向即Y方向而往复移动。

如图2所示那样，印刷头13具有从印刷头支承梁12向下方延伸出而设的1对后刮刀13b、前刮刀13c。通过驱动设于印刷头支承梁12的上表面的刮刀驱动部13a，从而按照挤压方向而后刮刀13b、前刮刀13c的任一者下降，并与掩模板22滑接。

在掩模板22，与印刷对象的工件10中的印刷图案(参考图15)对应地形成印刷用的图案孔22a。如图17A所示那样，在丝网印刷装置1中的丝网印刷中，首先对掩模板22的上表面提供印刷用的膏P。接下来，将配置于托架9的状态的多个工件10通过工件支承部5a抬起而支承，使印刷对象的工件10与掩模板22的下表面抵接。

然后在该状态下，如图17B所示那样，在掩模板22的上表面进行使后刮刀13b、前刮刀13c的任一者滑动的挤压动作。由此，在印刷对象的工件10，经由图案孔22a以给定的印刷图案对膏P进行印刷。即，印刷头13对支撑部5的工件支承部5a上的多个工件10从掩模板22的上表面经过图案孔22a而对膏P进行印刷。

如图1所示那样，在印刷平台2的上表面与掩模板22的下表面之间配设有安装了第1摄像机18、第2摄像机19以及工件拾取部20的移动构件17。另外配设有使移动构件17沿着X方向以及Y方向移动的移动机构(相当于图6所示的摄像机移动机构16)。该移动机构包括摄像机X轴移动机构16X以及摄像机Y轴移动机构16Y。摄像机X轴移动机构16X使移动构件17沿着摄像机X轴梁15在X方向上移动。摄像机Y轴移动机构16Y使摄像机X轴梁15沿着Y方向移动。

摄像机X轴梁15的沿着Y方向的移动由配置于支承框架11的内侧面的直线运动引导机构15c引导。即，上述的移动机构具有在掩模板22与作为托架支承部的印刷平台传送机6b之间的空间进行移动的移动构件17，第1摄像机18、第2摄像机19以及工件拾取部20被装载于移动构件17。

摄像机X轴移动机构16X包括图1所示的摄像机X轴电动机15a、进给螺杆15b以及图2所示的螺母部15d。通过驱动摄像机X轴电动机15a，与螺母部15d结合的移动构件17沿着X方向移动。另外在图2中，省略了摄像机X轴电动机15a的图示。摄像机Y轴移动机构16Y如图2所示那样包括摄像机Y轴电动机16a、进给螺杆16b以及与摄像机X轴梁15结合的螺母部16c。通过驱动摄像机Y轴电动机16a，从而与螺母部16c结合的摄像机X轴梁15沿着Y方向移动。

在此说明第1摄像机18、第2摄像机19以及工件拾取部20的功能。第1摄像机18将摄像方向朝向下方而配置，在印刷平台2对托架9以及保持于托架9的工件10进行摄像。在此，形成于托架9的识别标记9a以及形成于工件10的识别标记10m(参考图4)成为摄像对象。

在本实施方式中，托架9承担如下功能：保持工件10并向印刷平台2搬入，将印刷后的工件10同样地进行保持并搬出。因此，在托架9中，为了正确地收纳印刷后的工件10而需要相对于掩模板22进行对位。在本实施方式中，基于形成于托架9的识别标记9a的位置识别结果来使托架9相对于掩模板22对准。

通过用托架识别部33(参考图6)的处理功能对由第1摄像机18进行的摄像所得到的图像进行识别处理，来检测托架9的位置偏离。因此，第1摄像机18以及托架识别部33相当于检测所搬入的托架9的位置偏离的托架位置检测部。另外，通过用工件识别部34(参考图6)的处理功能对由第1摄像机18进行的摄像得到的图像进行识别处理，从而除了检测工件10的位置偏离、方向的正确与否以外，还检测工件10中的电极10a的位置。因此，第1摄像机18以及工件识别部34相当于工件位置检测部，其通过第1摄像机18对多个工件支承部5a上的多个工件10进行摄像来检测位置，从而检测各个工件10的从理想的位置(应配置的设定位置)的位置偏离。

第2摄像机19将摄像方向朝向上方而配置，对形成于掩模板22的掩模识别标记22m(参考图15)进行摄像。通过用掩模识别部32(参考图6)的处理功能对以该摄像得到的图像进行识别处理，来识别掩模板22中的掩模中心MC、图案孔22a的位置(参考图15)。因此，第2摄像机19以及掩模识别部32相当于用第2摄像机19对掩模板22进行摄像来检测位置的掩模位置检测部。另外，掩模识别标记22m与托架9中的识别标记9a对应而形成。在使托架9相对于掩模板22对准时，参考掩模识别标记22m的位置。

工件拾取部20是具有通过真空吸附来保持工件10的功能的吸附保持工具，在本实施方式中，为了将被工件支承部5a支承的多个工件10中至少一个从工件支承部5a拾取而用。由此，能进行工件对准动作，将在工件支承部5a以位置偏离状态配置的工件10暂时拾取，将校正了位置偏离的状态的工件10返回工件支承部5a。

基于前述的工件位置检测部中检测到的工件10的位置(位置偏离状态)，使具有工件支承部5a的印刷平台2通过印刷平台工作台3xyθ在水平方向上相对于工件拾取部20拾取的工件10相对地移动对检测到的位置偏离状态进行校正所需的校正量，由此来进行该工件对准动作。

即，使印刷平台2在水平方向上相对地移动的印刷平台工作台3xyθ使印刷平台2在水平方向上相对地移动。印刷平台工作台3xyθ作为工件对准机构发挥功能，其基于由前述的工件位置检测部检测到的工件10的位置偏离使工件拾取部20和工件支承部5a向XYθ方向相对地移动。另外，印刷平台工作台3xyθ作为托架对准机构发挥功能，该托架对准机构基于由前述的托架位置检测部检测到的托架9的位置偏离来使掩模板22和被以下说明的托架支承部支承的托架9向XYθ方向相对地移动。

然后在本实施方式中，对准部使托架9相对于掩模板22对准，并使被工件支承部5a抬起的多个工件10配合掩模板22的图案孔22a的排列来对准，该对准部成为包括前述的工件位置检测部、工件拾取部20、上述的工件对准机构以及托架对准机构的结构。

在该对准动作的执行时，需要使第1摄像机18以及工件拾取部20在掩模板22与设于印刷平台2的托架支承部(印刷平台传送机6b以及侧方夹钳7)之间的空间移动。包括前述的摄像机X轴移动机构16X以及摄像机Y轴移动机构16Y的摄像机移动机构16(参考图6)成为使第1摄像机18和工件拾取部20在掩模板22与托架支承部之间的空间移动的移动机构。在本实施方式中，成为具有在掩模板22与托架支承部之间的空间通过摄像机X轴移动机构16X以及摄像机Y轴移动机构16Y而移动的移动构件17的结构，第1摄像机18和工件拾取部20装载在该移动构件17。

在上述结构中，重合部为了将被多个工件支承部5a抬起的多个工件10和掩模板22对位并重叠而使支撑部5和掩模板22相对地移动。该重合部包括构成印刷平台移动机构3的调正机构即印刷平台工作台3xyθ。并且在本实施方式中，该调正机构作为前述的工件对准机构发挥功能。即，在这里，调正机构兼作托架对准机构以及工件对准机构。

如此地，在本实施方式中，通过利用使印刷平台2移动的已有的调正机构即印刷平台工作台3xyθ作为具有前述功能的托架对准机构以及工件对准机构，能有效活用已有机构从而抑制设备成本。另外，作为具有前述功能的托架对准机构以及工件对准机构的结构例，除了本实施方式所示的结构例以外，还能通过在已有机构适宜附加新功能来进行实现与本实施方式所示的结构例同等的功能的各种变化。

例如，作为使支撑部5和托架支承部在XYθ方向上相对移动的工件对准机构的结构例(1)，关于XY方向，利用印刷平台工作台3xyθ的XY工作台，关于θ方向，利用印刷平台工作台3xyθ的θ工作台。另外，作为工件对准机构的结构例(2)，关于XY方向，利用使移动构件17移动的移动机构(参考图6所示的摄像机移动机构16)，关于θ方向，利用新设于工件拾取部20的θ旋转机构。

接下来，作为结构例(3)，关于XY方向，与结构例(2)同样地利用使移动构件17移动的移动机构(摄像机移动机构16)，关于θ方向，利用印刷平台工作台3xyθ的θ工作台。进而，作为结构例(4)，关于XY方向，与结构例(1)同样地利用印刷平台工作台3xyθ的XY工作台，关于θ方向，利用新设于工件拾取部20的θ旋转机构。

接下来参考图5来说明基于支撑部5中的工件10的真空吸附的保持。在形成于支撑部5的上表面的多个工件支承部5a设有在上表面开口的吸引路5c。在将工件10用工件支承部5a的上表面抬起并保持的状态下，吸引路5c与工件10的下表面抵接。与各个工件收纳部9b对应的吸引路5c经由控制阀23与负压产生源24连接。

控制阀23具有：将负压产生源24与吸引路5c之间的吸引回路25进行断接的开闭阀的功能；和向负压状态的吸引回路25内导入大气的作为真空破坏阀的功能。通过由控制部30(图6)个别控制控制阀23，能按设于托架9的多个工件收纳部9b的每一者选择向吸引路5c的负压的导入和阻断。

通过在将工件10通过工件支承部5a的上表面抬起的状态下，使负压产生源24工作且将控制阀23设为开状态，从而经由吸引回路25从吸引路5c进行真空吸引。由此，被各个工件支承部5a抬起的工件10在工件支承部5a通过真空吸附被束缚保持。在将工件10向工件支承部5a的真空吸附解除时，控制控制阀23以使得吸引回路25相对于负压产生源24成为闭状态且成为大气开放状态。

即，在上述结构中，形成于具有多个工件支承部5a的支撑部5的吸引路5c、将吸引路5c和负压产生源24连接的吸引回路25、介设于吸引回路25的控制阀23以及负压产生源24构成各个工件支承部5a具有且用负压保持工件10的工件吸引部。并且，该工件吸引部构成为能按每个工件支承部5a选择负压的导入和阻断。

并且，至少工件拾取部20将被阻断负压的工件支承部5a的工件10抬起。通过这样的结构，能将配置于相同托架9的各个工件收纳部9b并被搬入，进而通过工件支承部5a被一起抬起的多个工件10当中任意的1个工件10从工件支承部5a通过工件拾取部20抬起，另外返回工件支承部5a并使得吸附保持。

接下来参考图6来说明丝网印刷装置1的控制系统的结构。在图6中，在控制部30连接有印刷头13、印刷头移动机构14、第1摄像机18、第2摄像机19、工件拾取部20、摄像机移动机构16、控制阀23、第1升降机构5b、第2升降机构3z、印刷平台工作台3xyθ、侧方夹钳驱动机构7a、印刷平台传送机6b、搬入传送机6a以及搬出传送机6c。

另外，控制部30作为内部处理功能而具有对准处理部31、掩模识别部32、托架识别部33、工件识别部34、印刷处理部35。进而，控制部30具有用于存储基于这些的控制处理所需的信息的存储部36。存储部36具有掩模图案位置存储部36a。掩模图案位置存储部36a存储掩模板22中的掩模识别标记22m、图案孔22a的位置信息。

对准处理部31进行如下处理：使托架9相对于掩模板22对准，并且使被保持在设于印刷平台2的托架保持部的托架9中所配置的多个工件10配合掩模板22的图案孔22a的排列而正确地对准。掩模识别部32通过对第2摄像机19所进行的摄像得到的图像进行识别处理来检测掩模识别标记22m、图案孔22a的位置。托架识别部33通过对第1摄像机18所进行的摄像得到的图像进行识别处理来检测托架9的位置。工件识别部34通过对第1摄像机18所进行的摄像得到的图像进行识别处理来检测配置于托架9的工件10的位置。

在对准处理部31所进行的对准处理中，在通过工件拾取部20将工件10抬起的状态下，基于由工件识别部34检测到的工件10的位置偏离来驱动印刷平台工作台3xyθ，从而执行使支撑部5的工件支承部5a相对于被拾取的工件10相对地移动的工件对准动作。

印刷处理部35进行处理，控制丝网印刷装置1的各部来对保持在工件支承部5a的状态的多个工件10执行丝网印刷。印刷处理部35通过控制控制阀23、第1升降机构5b、第2升降机构3z、印刷平台工作台3xyθ、侧方夹钳驱动机构7a、印刷平台传送机6b、搬入传送机6a以及搬出传送机6c，来执行以下的各处理。

即，在第1个处理中，将配置有印刷对象的工件10的托架9向印刷平台2搬入。在第2个处理中，通过包括印刷平台传送机6b和侧方夹钳7的托架支承部保持托架9。在第3个处理中，将通过支撑部5的工件支承部5a从托架9抬起的多个工件10向掩模板22重合。在第4个处理中，通过印刷头13、印刷头移动机构14来向工件10印刷膏P。在第5个处理中，将丝网印刷后的托架9搬出。执行上述的各动作。

接下来参考图7所示的处理流程以及各图来说明由丝网印刷装置1执行的丝网印刷方法。首先在丝网印刷作业的执行前的准备阶段，执行掩模识别工序。即，如图8所示那样，在掩模板22的下方通过摄像机移动机构16使第2摄像机19移动(箭头b)，通过第2摄像机19对掩模板22的掩模识别标记22m(参考图15)进行摄像。

然后，通过由掩模识别部32对在摄像中得到的图像进行识别处理，来检测掩模板22的位置和图案孔22a的排列，将检测结果存储到存储部36的掩模图案位置存储部36a。由此，检测掩模板22的掩模中心MC(参考图15)的位置坐标和掩模板22的θ方向的朝向并存储。在以下的丝网印刷作业中，基于存储于掩模图案位置存储部36a的掩模板22的位置信息来进行托架9的位置校正以及工件10的对位。

若开始丝网印刷作业，就执行托架搬入(ST1)。在此，首先如图9所示那样，驱动印刷平台移动机构3来使印刷平台2向上游侧移动(箭头c)，使印刷平台传送机6b与搬入传送机6a成为连结状态。接下来，驱动印刷平台传送机6b、搬入传送机6a，使配置有工件10并预先在搬入传送机6a上处于待机状态的托架9转乘到印刷平台传送机6b(箭头d)。

接下来如图10所示那样，驱动印刷平台移动机构3来使印刷平台2移动到掩模板22的中央的印刷位置(箭头e)，将配置有工件10的托架9配置在掩模板22的下方。即，在该托架搬入工序中，在形成有印刷用的多个图案孔22a的掩模板22的下方配置托架9，该托架9具有上下贯通的多个第1开口9c，并配置多个工件10以使得覆盖各个第1开口9c(参考图4)。

接下来执行托架保持(ST2)。在此，使设于印刷平台传送机6b的运送挡块等托架定位机构(图示省略)工作来将托架9定位到运送方向，并且驱动侧方夹钳驱动机构7a(参考图6)来通过侧方夹钳7将托架9夹入并夹紧。由此，托架9成为通过包括印刷平台传送机6b以及侧方夹钳7的托架支承部被位置保持的状态。

图12A示出这样配置的托架9，在托架9的工件收纳部9b覆盖第1开口9c而配置工件10的托架9位于支撑部5的上方。然后，各个工件支承部5a在托架9位于第1开口9c的下方。

接下来，对于在印刷平台2被保持位置的托架9，使支撑部5上升(ST3)。即，如图11以及图12B所示那样，驱动第1升降机构5b来使支撑部5上升(支撑部上升：箭头f、h)，从多个第1开口9c(参考图4)的下方插入多个工件支承部5a。由此，将多个工件10用多个工件支承部5a支承并从托架9抬起(抬起工序：箭头i)。接下来执行工件吸引(ST4)。即，通过驱动负压产生源24来从吸引路5c进行真空吸引(箭头j)，来在工件支承部5a的上表面将工件10通过吸附进行束缚。

然后，将这样通过支撑部5的工件支承部5a抬起的工件10作为对象，来执行以下说明的对准工序。即，使托架9相对于掩模板22对准，并使多个工件10对准，以使被多个工件支承部5a抬起的多个工件10的排列和掩模板22中的多个图案孔22a的排列一致(对准工序)。

该对准工序如以下那样执行。首先进行托架位置检测(ST5)。即，由第1摄像机18对通过包括印刷平台传送机6b以及侧方夹钳7的托架支承部而被位置保持的托架9的识别标记9a(参考图3)进行摄像。即，如图12B所示那样，使第1摄像机18在托架9的上方移动(箭头k1)，对形成于托架9的对角位置的识别标记9a(参考图3)进行摄像。然后，通过托架识别部33对摄像中得到的图像进行识别处理，来检测托架9的位置。

接下来，执行检测被多个工件支承部5a抬起的多个工件10的位置的工件位置检测(ST6)(工件位置检测工序)。即，如图11所示那样，驱动摄像机移动机构16来使移动构件17沿着摄像机X轴梁15移动。由此，如图12C所示那样，使第1摄像机18依次移动到被多个工件支承部5a抬起的多个工件10的上方(箭头k2)，对形成于工件10的2个识别标记10m(参考图4)进行摄像。然后，通过工件识别部34对该摄像中得到的图像进行识别处理，来检测各个工件10的位置偏离状态。

接下来进行托架位置校正(ST7)。在此，对托架9的位置进行校正，使得通过(ST5)的托架位置检测求得的托架9的识别标记9a与掩模板22的掩模识别标记22m的位置关系一致。该位置校正如图13A所示那样，通过驱动印刷平台移动机构3的印刷平台工作台3xyθ(箭头n1)来进行。另外在本实施方式中，在通过(ST3)的支撑部上升将工件10抬起后进行(ST5)的托架位置检测以及(ST7)的托架位置校正，但也可以在将工件10抬起前进行托架位置检测以及托架位置校正。

图13B表示针对在支撑部5的多个工件支承部5a的全部被保持的工件10完成了工件位置检测后执行的工件位置修正(工件对准动作)。即，接受(ST6)所示的工件位置检测工序的检测结果，执行以下说明的工件位置修正量计算(ST8)。然后，基于该工件位置修正量计算的结果来执行使支撑部5中的工件10的排列与掩模板22中的图案孔22a的排列配合的工件位置修正(工件对准动作)(ST9)。

在该对准动作中，如图13B、图14所示那样，由工件拾取部20从工件支承部5a拾取工件10(箭头m)，通过基于对工件10的工件位置修正量计算结果驱动印刷平台移动机构3，来进行XYθ方向的位置修正(箭头n2)(位置修正工序)。然后在位置修正结束后，执行将被工件拾取部20拾取的工件10载置于工件支承部5a并返回的载置工序。

在此参考图15来说明上述的工件位置修正量。图15的(a)表示掩模板22的平面。在掩模板22设有表示掩模面的中心位置的掩模中心MC以及成为掩模板22中的位置的基准的一对掩模识别标记22m。在掩模板22，与托架9中的工件10的个数对应地形成多组与印刷对象的工件10中的电极10a的排列图案对应的图案孔22a。

图15的(a)中以虚线框示出的工件外形10*表示将工件10的电极10a与图案孔22a正确对位的情况下的工件10的外形，图案中心10*c表示工件外形10*的中心。这些掩模图案数据在作业开始前在准备阶段被预先取得，并被存储到掩模图案位置存储部36a。

图15的(b)表示在该对准工序中执行工件位置检测的结果。即，在图12C所示的第1摄像机18所进行的工件10的位置检测中，各个工件10对应于托架9中的各自的配置状态而处于个别不同的位置偏离状态。在该工件位置检测中，通过在各个工件10中识别一对识别标记10m的位置，来检测表示各个工件10的中心的工件中心10c相对于图案中心10*c的中心位置偏离，并检测表示平面内中的工件10的方向的工件基准方向相对于掩模基准方向的偏离角度的旋转位置偏离θ。

因此，为了使配置于托架9的多个工件10与掩模板22的下表面抵接来对这些工件10一起正确地丝网印刷膏P，需要进行将上述的托架9中的工件10的中心位置偏离和旋转位置偏离进行校正的对准操作。在(ST8)中的工件位置修正量计算中，通过对准处理部31的运算处理功能按每个工件10个别求取为了校正该中心位置偏离和旋转位置偏离所需的位置修正量。

图15的(c)表示运用这样求得的工件位置修正量而个别修正了工件10的位置的对准处理后的工件10的排列状态。即，在该状态下，成为如下状态：工件10的排列和图案孔22a一致，工件10的工件中心10c和掩模板22中的图案中心10*c一致，并且工件10相互的间隔、工件10的工件基准方向和掩模板22的掩模基准方向一致。

接下来，若(ST9)结束而判断为对全部工件10结束对准处理，则执行工件对准状态检查，检查以对准状态配置于托架9的工件10的排列状态是否正确(ST10)。即，使第1摄像机18移动并且对结束对准工序并返回工件支承部5a而载置的全部工件10依次进行摄像，由此来检查工件10的对准状态，即，检测从设定位置的位置偏离量。

然后，通过将检测到的位置偏离量与存储于存储部36的判定阈值进行比较，来判定是否位置偏离为容许范围且工件对准状态合格(ST11)。在此，在判定为工件对准状态合格的情况下，前进到(ST14)。与此相对，在(ST11)中判定为工件对准状态不合格的情况下，确认不合格的次数。在此，在判定为不合格的次数不足预先设定的给定次数的情况下，返回到[1]，反复执行(ST6)以后的处理。在该情况下，(ST7)不需要而被跳过。另外，在(ST12)中不合格次数达到给定次数的情况下，判断为发生了什么不良状况，并进行错误报知(ST13)。

在(ST14)执行调正。即，为了将对准的多个工件10和掩模板22进行对位而使设有工件支承部5a的印刷平台2和掩模板22相对地移动，使工件10与掩模板22重叠(调正工序)。即，如图16所示那样，驱动印刷平台移动机构3，来使在工件支承部5a载置有对准状态的工件10的状态的印刷平台2相对于掩模板22对位。

在此，由印刷平台工作台3xyθ对印刷平台2调整水平方向的位置。由此将工件10的电极10a与掩模板22的图案孔22a对位。之后，通过第2升降机构3z使印刷平台2上升(箭头o)，来使工件10与掩模板22的下表面抵接。

之后执行丝网印刷。即，通过掩模板22的上表面使印刷头13移动，来对对准的多个工件10从掩模板22的上表面经过图案孔22a印刷膏P(印刷工序)。在该印刷工序中执行在图案孔22a填充膏的膏填充工序、和使工件10从掩模板22脱离的脱版(印刷头移动(膏填充工序)：ST15)。

在印刷头移动中，首先如图17A所示那样，使印刷头13位于给定的挤压开始位置，驱动刮刀驱动部13a来使2个后刮刀13b、前刮刀13c的任一者(这里示出的示例中是前刮刀13c)相对于被提供膏P的状态的掩模板22的上表面下降(箭头p)，使前刮刀13c的下端部与掩模板22滑接。这时，印刷对象的工件10以被工件支承部5a下方承受的状态与掩模板22的下表面抵接。

接下来，通过驱动印刷头移动机构14(参考图1、图2)，来如图17B所示那样，使印刷头13和印刷头支承梁12一起在挤压方向上移动(箭头q)。由此，在掩模板22的上表面，使膏P填充在形成于掩模板22的图案孔22a并且前刮刀13c进行滑动，将膏P印刷在工件10的电极10a。

之后执行使印刷平台2下降的脱版(ST16)。即，如图18所示那样，驱动印刷平台移动机构3的第2升降机构3z来使印刷平台2下降(箭头r)。由此进行使工件10的上表面的印刷面从掩模板22的下表面脱离的脱版。然后，通过在工件支承部5a中解除来自吸引路5c的真空吸引，来解除工件10向工件支承部5a的吸引(ST17)。

接下来，在印刷工序后使支撑部5下降(箭头s)，来解除工件10的下方承受状态(支撑部下降)(ST18)。即，如图19所示那样，通过将多个工件支承部5a从多个第1开口9c向下方拔出，来将多个工件10返回托架9的工件收纳部9b(返回工序)。在该返回工序中，由于托架9处于相对于掩模板22对准的状态，因此工件10被正确地收纳在工件收纳部9b。接下来，通过解除侧方夹钳7的托架9的夹紧，来解除托架保持(ST19)。由此托架9成为保持在印刷平台传送机6b的状态。

然后，之后执行托架搬出(ST20)。即，如图20所示那样，驱动印刷平台移动机构3来使印刷平台2向下游侧移动(箭头t)，使印刷平台传送机6b和搬出传送机6c成为连结状态。然后，通过在该状态下驱动印刷平台传送机6b、搬出传送机6c，来使配置有印刷后的多个工件10的托架9从印刷平台传送机6b转乘到搬出传送机6c(箭头u)。由此，以配置有多个工件10的托架9为对象的丝网印刷处理结束。

在上述的处理流程中，(ST5)～(ST9)构成前述的对准工序。该对准工序包括工件位置检测工序(ST6)、工件拾取工序、位置修正工序和载置工序。在工件位置检测工序中，检测多个工件支承部5a上的多个工件10的位置来求取各个工件10从设定位置的位置偏离。在工件拾取工序中，由工件拾取部20从工件支承部5a拾取结束了工件位置检测工序的至少一个工件10。在位置修正工序中，基于工件位置检测工序中检测到的工件10的位置偏离来使工件拾取部20和工件支承部5a相对地移动。在载置工序中，在位置修正工序后，将由工件拾取部20拾取到的工件10载置于工件支承部5a。

进而，在对准工序中，判断位置偏离检测工序中的位置偏离是否是容许范围内，对是容许范围内的工件10跳过工件拾取工序和位置修正工序。由此，能防止对位置偏离状态良好的工件10执行不必要的位置修正作业所引起的生产率的降低。

进而，在对准工序后，再次执行用于工件对准状态检查的位置偏离检测工序，在全部工件10的位置偏离为容许范围内而判定为合格的情况下，移转到调正工序，在判定为不合格的情况下，对超过容许范围的工件10进行对准工序。由此，能将用于位置偏离校正的对准动作的执行限定在位置偏离超过了容许范围的不合格的工件。

然后，在(ST16)中，在执行调正的调正工序中，在对准工序后进行用于工件对准状态检查的位置偏离检测工序，基于该位置偏离检测工序中得到的多个工件10的位置来使工件支承部5a和掩模板22相对移动。由此防止保持对准状态不良的状态执行印刷，能确保印刷品质。

如上述说明的那样，在本实施方式所示的丝网印刷中，对在掩模板22的下方被多个工件支承部5a抬起的多个工件10进行保持。然后，相对于形成有印刷用的图案孔22a的掩模板22将托架9定位，并且使工件支承部5a上的多个工件10配合图案孔22a的排列而对准。进而，执行使工件支承部5a和掩模板22相对地移动的调正，以使得将对准的多个工件10和掩模板22对位。然后，从掩模板22的上表面经由图案孔22a(图案孔群22A)将膏P印刷在对准的多个工件10。最后，使工件支承部5a下降来将多个工件10返回对准的状态的托架9。

由此，在将配置有位置偏离状态不同的多个工件10的托架9作为作业对象的丝网印刷中，对个别的每个工件10进行位置偏离的校正，并能将多个工件10作为对象一起进行印刷作业中最需要作业时间的挤压作业。因此，能校正载置于托架9的工件10的位置偏离而确保印刷精度，并确保高的生产率。另外，由于识别载置有工件10的托架9的位置来使其与掩模板22对准，因此即使是被搬入的各个托架的位置有偏差的情况，在将印刷后的工件再次返回到托架时，也能将工件正确地配置于托架。

进而在本实施方式中，由于在印刷时将工件10从托架9抬起，因此与载置于托架的状态下进行印刷的现有技术比较，有以下那样的优点。首先，在载置于托架的状态下进行印刷的情况下，会根据工件的厚度、工件收纳部9b的深度等而在掩模板与工件之间产生间隙，从而有可能产生渗浸等印刷不良。与此相对，在本实施方式中，由于工件10从托架9完全被抬起，因此不会产生这样的间隙。

进而在现有技术中，在将在载置于托架的状态下进行位置识别后的工件从托架抬起时，会产生因托架的收纳凹部的内壁面与工件摩擦引起的工件的位置偏离。与此相对，在本实施方式中，由于在将工件10从托架9抬起的状态下进行位置识别，基于该位置识别结果进行位置校正，因此不会产生工件10的抬起所引起的位置偏离的发生，能得到良好的印刷位置精度。

本实施方式如以上那样，但本公开能在不脱离其主旨的范围内如以下例示那样变更实施实施方式。例如，可以具有使工件拾取部20移动的专用的移动机构，单独驱动工件拾取部20专用的移动机构，或者也可以使印刷平台工作台3xyθ的两方作为上述的调正机构发挥功能。进而，在具有对掩模板22的下表面进行清洁的清洁机构的情况下，也可以将工件拾取部20安装在清洁机构。在该情况下，清洁机构承担作为上述的调正机构的功能的全部或一部分。

接下来，参考图21、图22A～图22C，来说明在本实施方式所示的丝网印刷装置1中追加具有对掩模板22的下表面进行支承的掩模板支承部的变形例。图21表示该变形例中使用的托架9A和支撑部5A。托架9A与图3、图4所示的托架9同样，配置多个工件10，并被作为托架支承部的印刷平台传送机6b从下支承一对的对置的缘部而使用。工件10与图4所示的工件同样，在上表面形成有多个连接用的电极10a以及一对位置识别用的识别标记10m。

在托架9A的上表面，与托架9同样地，以给定排列形成多个位置识别用的识别标记9a、和用于配置工件10的工件收纳部9b。工件收纳部9b与图4所示的结构相同，在工件收纳部9b在上表面开口的开口部的周缘设有在收纳配置了工件10的状态下工件10的下表面所抵接的工件承受部9d。在工件承受部9d设有上下贯通托架9的第1开口9c。在各个工件收纳部9b，以覆盖第1开口9c的工件10状态配置1个工件10。另外，在托架9A，多个第2开口9e以从两侧夹着各个工件收纳部9b的配置在上下方向上贯通托架9A而形成。

上述结构的托架9A与支撑部5A组合来使用。在图21中，支撑部5A与图1、图2中的支撑部5同样地通过第1升降机构5b而升降(箭头v)。在支撑部5A的上表面，与托架9A中的工件收纳部9b的排列对应地设置与图5中的设于支撑部5的上表面的结构相同的工件支承部5a。在工件支承部5a，与图5同样地设有吸引路5c，能吸附保持在工件支承部5a的上表面载置的工件10。

另外，在支撑部5A的上表面，在1个工件支承部5a的两侧，与托架9A中的第2开口9e的配置对应地设置掩模板支承部5d。掩模板支承部5d配置在将上下贯通托架9的至少1个第2开口9e贯通的位置，以能上下插通第2开口9e的形状、尺寸形成。掩模板支承部5d具有在丝网印刷动作中支承掩模板22的下表面的一部分的功能。

在此，设定高度差ΔH，使得升降基台即支撑部5A中的掩模板支承部5d的高度比多个工件支承部5a的上表面的高度高相当于工件10的厚度t的量(参考图22A)。即，本实施方式所示的丝网印刷装置1具有至少在印刷头13对工件10进行印刷时支承掩模板22的下表面的一部分的至少1个掩模板支承部5d。

图22A表示将工件10载置于工件收纳部9b使得堵塞第1开口9c的托架9与支撑部5A的上方对位的状态。在该状态下，覆盖了第1开口9c的状态的工件10位于支撑部5A上的工件支承部5a各自的上方。另外，第2开口9e位于掩模板支承部5d的上方。

图22B表示使支撑部5A上升(箭头x)的状态。在该状态下，通过插通第1开口9c的工件支承部5a将工件10抬起，掩模板支承部5d插通第2开口9e并向上方突出。即，掩模板支承部5d和多个工件支承部5a被装载在作为相对于托架支承部相对地升降的升降基台的支撑部5A。然后若多个工件支承部5a将多个工件10从托架9A抬起，则掩模板支承部5d的上表面变得比托架9A的上表面更向上突出。

图22C表示将被多个工件支承部5a抬起的多个工件10作为对象，通过印刷头13的前刮刀13c一起进行印刷动作时的掩模板22的支承状态。在该状态下，工件10与掩模板22的下表面抵接，并且至少在印刷工序的期间由掩模板支承部5d支承掩模板22的下表面22b。

由此，减轻了印刷头13的印压作用于未被下方承受的状态的掩模板22所引起的掩模板22的挠曲。为此，能抑制工件10的边缘与掩模板22部分接触等所引起的印刷不良，能在多连片方式中防止印刷不良并使生产率提升。

产业上的可利用性

本公开的丝网印刷装置以及丝网印刷方法具有能将印刷后的工件以正确的位置精度配置在托架的效果，在对基板等工件印刷膏的丝网印刷领域是有用的。

附图标记的说明

1 丝网印刷装置

2 印刷平台

3 印刷平台移动机构

3xyθ 印刷平台工作台

3z 第2升降机构

4 升降平台

4a 支承构件

4b 保持块

5、5A 支撑部

5a 工件支承部

5b 第1升降机构

6a 搬入传送机

6b 印刷平台传送机

6c 搬出传送机

7 侧方夹钳

9、9A 托架

9b 工件收纳部

9c 第1开口

9e 第2开口

10 工件

10* 工件外形

10*c 图案中心

11 支承框架

12 印刷头支承梁

12a、15c 直线运动引导机构

13 印刷头

14 印刷头移动机构

14a 印刷头电动机

14b、15b、16b 进给螺杆

14c、15d、16c 螺母部

15 摄像机X轴梁

15a 摄像机X轴电动机

16 摄像机移动机构

16a 摄像机Y轴电动机

16X 摄像机X轴移动机构

16Y 摄像机Y轴移动机构

17 移动构件

18 第1摄像机

19 第2摄像机

20 工件拾取部

22 掩模板。

Claims (15)

1.一种丝网印刷装置，具备：

掩模板，其形成多个图案孔群，该多个图案孔群分别包括1个以上的图案孔而排列；

托架支承部，其对设有上下贯通的多个第1开口的托架进行支承，在所述托架配置多个工件以使得分别覆盖所述多个第1开口；

支撑部，其具有从下方支承所述多个工件并能分别插入所述第1开口的尺寸的多个工件支承部；

升降部，其使所述托架支承部和所述支撑部相对地升降；

对准部，其将所述托架相对于所述掩模板进行对位，并使被所述多个工件支承部抬起的所述多个工件配合所述多个图案孔群的排列而对准；

重合部，其使所述支撑部和所述掩模板相对地移动以使得将由所述多个工件支承部抬起的所述多个工件和所述掩模板对位并重叠；和

印刷头，其对所述多个工件支承部上的所述多个工件从所述掩模板的上表面经由所述多个图案孔群来印刷膏，

所述升降部通过使所述支撑部相对于所述托架支承部相对地上升，来将所述多个工件支承部从下方插入所述多个第1开口从而将所述多个工件从所述托架抬起，通过使所述支撑部相对于所述托架支承部相对地下降，来将抬起的所述多个工件返回所述托架，

所述丝网印刷装置还具备：

掩模板支承部，其在所述印刷头对所述多个工件进行印刷时支承所述掩模板的下表面的一部分；和

升降基台，其相对于所述托架支承部相对地升降，

所述掩模板支承部和所述多个工件支承部装载在所述升降基台，

若所述多个工件支承部将所述多个工件从所述托架抬起，则所述掩模板支承部的上表面比所述托架的上表面向上突出。

2.根据权利要求1所述的丝网印刷装置，其中，

所述对准部包括：

工件位置检测部，其具有对所述多个工件支承部上的所述多个工件进行摄像的摄像机，根据由所述摄像机拍摄到的图像检测所述多个工件的位置，检测所述多个工件的所述位置距分别配置所述多个工件的设定位置的偏离；

工件拾取部，其拾取所述多个工件支承部上的所述多个工件中的至少一个；和

工件对准机构，其基于由所述工件位置检测部检测到的所述偏离来使所述工件拾取部和所述多个工件支承部相对地移动。

3.根据权利要求2所述的丝网印刷装置，其中，

所述丝网印刷装置还具备：

移动机构，其使所述工件拾取部在所述掩模板与所述托架支承部之间的空间移动。

4.根据权利要求3所述的丝网印刷装置，其中，

所述移动机构具有在所述掩模板与所述托架支承部之间的所述空间移动的移动构件，

所述摄像机和所述工件拾取部装载在所述移动构件。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的丝网印刷装置，其中，

所述重合部包括至少使所述支撑部移动的调正机构，所述调正机构作为所述工件对准机构发挥功能。

6.根据权利要求2所述的丝网印刷装置，其中，

所述多个工件支承部分别具有以负压保持工件的工件吸引部。

7.根据权利要求6所述的丝网印刷装置，其中，

所述工件吸引部构成为在所述多个工件支承部分别选择负压的导入和阻断，至少所述工件拾取部将在阻断了负压的所述多个工件支承部的至少一个上载置的所述多个工件的至少一个抬起。

8.根据权利要求1所述的丝网印刷装置，其中，

在所述升降基台中，所述掩模板支承部比所述多个工件支承部各自的上表面高相当于所述多个工件各自的厚度的量。

9.根据权利要求1或8所述的丝网印刷装置，其中，

在所述托架设有上下贯通的至少一个第2开口，

所述掩模板支承部配置在贯通所述至少一个第2开口的位置。

10.一种丝网印刷方法，通过权利要求1～9的任一项所述的丝网印刷装置执行，所述丝网印刷方法具备：

托架搬入工序，在形成有分别包括1个以上的图案孔而排列的多个图案孔群的掩模板的下方配置托架，该托架设有上下贯通的多个第1开口，并配置多个工件以使得分别覆盖所述多个第1开口；

抬起工序，通过从所述多个第1开口的下方插入多个工件支承部，来将所述多个工件由所述多个工件支承部进行支承并从所述托架抬起；

对准工序，将所述托架相对于所述掩模板进行对位，并使被所述多个工件支承部抬起的所述多个工件配合所述多个图案孔群的排列而对准；

调正工序，使所述多个工件支承部和所述掩模板相对地移动以使得将已对准的所述多个工件和所述掩模板进行对位并重叠；

印刷工序，通过使印刷头在所述掩模板的上表面移动来对已对准的所述多个工件经过所述多个图案孔群印刷膏；和

返回工序，在所述印刷工序后，通过将所述多个工件支承部从所述多个第1开口向下方拔出，来将所述多个工件返回所述托架。

11.根据权利要求10所述的丝网印刷方法，其中，

所述对准工序包括：

工件位置检测工序，检测所述多个工件支承部上的所述多个工件的位置，求取所述多个工件的所述位置距分别配置所述多个工件的设定位置的偏离；

工件拾取工序，通过工件拾取部拾取结束了所述工件位置检测工序的所述多个工件支承部上的所述多个工件中的至少一个；

位置修正工序，基于所述工件位置检测工序中检测到的所述偏离来使所述工件拾取部和所述多个工件支承部相对地移动；

载置工序，在所述位置修正工序后，将由所述工件拾取部拾取到的所述多个工件中的所述至少一个返回所述多个工件支承部的至少一个。

12.根据权利要求11所述的丝网印刷方法，其中，

判断所述工件位置检测工序中检测到的所述多个工件各自的所述偏离是否是容许范围内，跳过对所述多个工件当中所述偏离为所述容许范围内的工件的所述工件拾取工序和所述位置修正工序。

13.根据权利要求11所述的丝网印刷方法，其中，

在所述对准工序后，再次执行所述工件位置检测工序，判断检测到的所述多个工件各自的所述偏离是否是容许范围内，若所述多个工件各自的所述偏离均是所述容许范围内，则执行所述调正工序，在所述多个工件当中有所述偏离超过所述容许范围的工件的情况下，对所述偏离超过所述容许范围的所述工件再次执行所述对准工序。

14.根据权利要求13所述的丝网印刷方法，其中，

在所述调正工序中，基于所述对准工序后再次进行的所述工件位置检测工序中检测到的所述多个工件的位置来使所述多个工件支承部和所述掩模板相对地移动。

15.根据权利要求10～14中任一项所述的丝网印刷方法，其中，

至少在所述印刷工序的期间，由掩模板支承部支承所述掩模板的下表面。

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