CN112097674A - 墨液液滴体积测量装置及薄膜层形成装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的一实施例公开了一种墨液液滴体积测量装置及薄膜层形成装置。该墨液液滴体积测量装置包括：基板，向该基板投放墨液液滴；彩色共焦传感器，向投放至基板的墨液液滴照射多个波长的光的同时进行扫描；以及控制器，根据彩色共焦传感器扫描的信号，求出墨液液滴的三维形状。

Description

墨液液滴体积测量装置及薄膜层形成装置
技术领域
本发明涉及墨液液滴体积测量装置及利用其的墨液液滴体积测量方法、利用该墨液液滴体积测量装置的薄膜层形成装置以及利用所述薄膜层形成装置的显示装置的制造方法。
背景技术
例如，如有机发光显示装置这样的显示装置以在阳极和阴极注入的空穴和电子在发光层再次结合而发光的原理生成光来实现图像，例如，具备以红色、绿色以及蓝色中的某一颜色发光的像素，根据它们的颜色组合来表现出期望的颜色。
为此，在各像素，具备生成如白色或者蓝色这样的单色光的有机发光元件、作为用于将该单色光转换成红色、绿色以及蓝色之中的期望的颜色来射出光的光控制单元的量子点(Quantum Dot)薄膜层以及滤色器(Color Filter)等。即，若各像素的有机发光元件生成单色光，则该单色光通过量子点薄膜层和滤色器的同时被转换成红色、绿色以及蓝色中的一种颜色，从而被射出，根据这样以适当的颜色射出的像素的颜色组合，实现期望的颜色的图像。
所述量子点薄膜层在喷墨打印中投放墨液液滴来形成，此时，若墨液液滴过大，则可能会超出其位置而产生斑点，若墨液液滴过小，则无法执行光控制单元的功能。
因此，需正确测量墨液液滴的大小来进行反馈，从而保证喷出量，才能精密地形成量子点薄膜层，但是在现有技术中使用了如下方式：测量所投放的墨液液滴的一个底面的宽度，由此以大致的推定值计算出墨液液滴的体积。但是，这种方式只能使与实际的墨液液滴的体积之间的误差变大，无法实现精密的控制。
发明内容
因此，本发明的实施例提供一种改善成更准确地测量实际的墨液液滴的体积来反映到控制中的墨液液滴体积测量装置、利用该墨液液滴体积测量装置的墨液液滴体积测量方法、有效利用了墨液液滴体积测量装置的薄膜层形成装置以及利用了所述薄膜层形成装置的显示装置的制造方法。
本发明的实施例提供一种墨液液滴体积测量装置，包括：基板，向该基板投放墨液液滴；彩色共焦传感器，向投放到所述基板的所述墨液液滴照射多个波长的光的同时进行扫描；以及控制器，根据所述彩色共焦传感器扫描的信号求出所述墨液液滴的三维形状。
可以向所述基板投放多个所述墨液液滴。
所述彩色共焦传感器可以扫描多个所述墨液液滴，所述控制器可以求出针对多个所述墨液液滴各自的三维形状。
所述墨液液滴可以含有纳米粒子。
所述墨液液滴可以包括量子点薄膜层形成用墨液。
另外，本发明的实施例提供一种薄膜层形成装置，包括：喷墨头，具备投放墨液液滴的喷嘴；基板，向该基板投放所述墨液液滴；彩色共焦传感器，向投放到所述基板的所述墨液液滴照射多个波长的光的同时进行扫描；以及控制器，根据所述彩色共焦传感器扫描的信号求出所述墨液液滴的三维形状来对所述喷墨头的喷嘴的喷出量进行反馈控制。
可以具备多个所述喷嘴，并且多个所述喷嘴可以向所述基板投放多个所述墨液液滴。
所述彩色共焦传感器可以扫描多个所述墨液液滴，所述控制器可以求出针对多个所述墨液液滴各自的三维形状来对各个所述喷嘴的喷出量进行反馈控制。
所述墨液液滴可以含有纳米粒子。
所述墨液液滴可以包含量子点薄膜层形成用墨液。
另外，本发明的实施例提供一种墨液液滴体积测量方法，包括：向基板投放墨液液滴的步骤；由彩色共焦传感器向投放至所述基板的所述墨液液滴照射多个波长的光的同时进行扫描的步骤；以及根据所述彩色共焦传感器扫描的信号求出所述墨液液滴的三维形状的步骤。
可以向所述基板投放多个所述墨液液滴。
所述彩色共焦传感器可以扫描多个所述墨液液滴，并求出针对各墨液液滴的三维形状。
所述墨液液滴可以含有纳米粒子。
所述墨液液滴可以包含量子点薄膜层形成用墨液。
另外，本发明的实施例提供一种显示装置的制造方法，包括：在第一基板形成多个发光元件的步骤；在第二基板形成多个量子点薄膜层的步骤；以及将所述第一基板和所述第二基板粘合使得所述多个发光元件和所述多个量子点薄膜对应的步骤，形成所述量子点薄膜层的步骤包括：由喷墨头的喷嘴向测试基板投放所述量子点薄膜层形成用墨液液滴的步骤；由彩色共焦传感器向投放至所述测试基板的墨液液滴照射多个波长的光的同时进行扫描的步骤；根据所述彩色共焦传感器扫描的信号求出所述墨液液滴的三维形状来对所述喷嘴的喷出量进行反馈控制的步骤；以及将被反馈控制的所述墨液液滴投放至所述第二基板上使得变成所述量子点薄膜层的步骤。
可以具备多个所述喷嘴，并且多个所述喷嘴可以向所述测试基板投放多个所述墨液液滴。
所述彩色共焦传感器可以扫描多个所述墨液液滴并求出针对各墨液液滴的三维形状，并且对各所述喷嘴的喷出量进行反馈控制。
所述墨液液滴可以含有纳米粒子。
可以在相互不同的工作台安装所述第二基板和所述测试基板。
根据以下的附图、权利要求书以及发明的详细说明，上述以外的其他侧面、特征以及优点会变得明确。
附图说明
图1是示意性表示具备本发明的一实施例涉及的墨液液滴体积测量装置的薄膜层形成装置的构成的立体图。
图2以及图3是表示图1所示的墨液液滴体积测量装置的体积测量原理的侧面图以及平面图。
图4是利用图1所示的薄膜层形成装置制造的显示装置的剖视图。
图5a至图5e是按顺序表示图4所示的显示装置的制造过程的剖视图。
具体实施方式
本发明可进行各种变换并且可具有多个实施例，在附图中例示出特定实施例，并进行详细说明。参照与附图一起详细后述的实施例，本发明的效果、特征以及达成这些效果及特征的方法会变得更明确。但是，本发明并不限于以下公开的实施例，可以具有各种方式。
以下，参照附图，详细说明本发明的实施例，并且在参照附图进行说明时，对相同或对应的构成要素赋予相同的符号，并对其省略重复的说明。
在以下的实施例中，单数的表现在文章中无明确不同的意思时，也包括多个的情况。
在以下的实施例中，包括或者具有等用语表示记载于说明书上的特征或构成要素的存在，并不是提前排除附加一个以上的其他特征或者构成要素的可能性。
在以下的实施例中，膜、区域、构成要素等部分位于其他部分上方或之上时，不仅包括直接位于其他部分之上的情况，还包括其间夹有其他膜、区域、构成要素等的情况。
在附图中，为了便于说明，可能会放大或缩小构成要素的大小。例如，图中示出的各构成的大小以及厚度为了便于说明而任意示出，本发明并不一定限于图示的情况。
在可以以不同方式实现某实施例的情况下，也可以与所说明的顺序不同地执行特定工序的顺序。例如，连续说明的两个工序实质上可以同时执行，也可以以与所说明的顺序相反的顺序进行。
图1是示意性表示具备本发明的一实施例涉及的墨液液滴体积测量装置的薄膜层形成装置的构成的立体图。
参照图1，墨液液滴体积测量装置具备：测试基板10，放置于辅助工作台31；彩色共焦传感器40，测量从喷墨头50的喷嘴51向所述测试基板10投放的墨液液滴的体积；控制器60，比较由该彩色共焦传感器40测量的值和参照值，对所述喷墨头50的喷嘴51的墨液喷出量进行反馈控制。即，实际的薄膜层形成作业是对放置于主工作台30的对象基板20的上面实施的，墨液液滴体积测量装置是在实施实际的薄膜层形成作业之前针对对象基板20，先在测试基板10上测量是否从喷墨头50的多个喷嘴51投放了适当的墨液液滴，并对各喷嘴51进行调节使得其喷出量变得适当。
所述薄膜层形成装置包括所述墨液液滴体积测量装置，且具备放置对象基板20的所述主工作台30和包括投放墨液液滴的多个喷嘴51的喷墨头50等。在此，图示了喷墨头50具备两个喷嘴51的结构，但是这是例示，可以是更多的喷嘴51配置成多个列。
由此，从所述辅助工作台31向测试基板10通过喷墨头50的喷嘴51投放墨液液滴，由所述墨液液滴体积测量装置测量该墨液液滴的体积之后，对各喷嘴51的喷出量进行反馈控制来调节成控制器60所期望的体积的墨液液滴，这样完成设置之后，对所述主工作台30的对象基板20通过所述喷墨头50的喷嘴51进行实际的薄膜层形成作业。由此，利用事先设置成可投放正确体积的墨液液滴的喷墨头50，在对象基板20形成薄膜层，因此可形成精密的薄膜层。
当然，这是在所述墨液液滴体积测量装置正确地测量墨液液滴的体积的前提条件下才能达成的。如上所述，在现有技术中，使用了测量已投放的墨液液滴的一个底面的宽度并由此以大致的推测值计算出墨液液滴的体积的方式，因此只能是与实际的墨液液滴的体积的误差较大。并且，该推测值是假定墨液液滴为半球形的情况下计算出的，但是实际的墨液液滴有可能不是完美的半球形而是一侧有变形的形状，因此误差会变得更大。
为了改善该情况，在本实施例中，如上所述那样，使用彩色共焦传感器40来测量墨液液滴的体积。
图2以及图3是示意性表示由所述彩色共焦传感器40测量墨液液滴1的体积的原理的侧面图以及平面图。
首先，参照图2，所述彩色共焦传感器40向所述墨液液滴1照射光L，接收其反射光来获取表面的位置，此时，不是照射单一波长的光，而是同时照射多个波长的光L1、L2、L3。在此，为了表示简单的例，例示了三个波长的光L1、L2、L3的情况，但是可以同时照射更多波长的光。于是，接收多个波长的光之中在墨液液滴1的表面正确地对焦的波长的光的反射光，由此可知光至墨液液滴1的表面的距离，即Z轴方向上的位置。
此外，如图3所示，若彩色共焦传感器40在X-Y平面上对墨液液滴1进行扫描并且收集针对各部位在Z轴方向上的位置，则可求出墨液液滴1的三维形状。
这样求出的三维形状是以实际的墨液液滴1的形状原样测量的结果值，因此基于该结果值计算体积时可以计算出正确的墨液液滴1的体积。在此，描述了一个墨液液滴1，但是由于从多个喷嘴51分别投放墨液液滴，因此彩色共焦传感器40的光L会全部扫描投放至测试基板10的各墨液液滴的上方的同时经过其上方，可针对各墨液液滴1计算出三维形状和体积。
向所述控制器60传送这样求出的墨液液滴1的体积测量值，控制器60与参照值比较该体积测量值，增减各喷嘴51的喷出量来进行反馈控制使得分别成为适当体积的墨液液滴1。该反馈控制的作业可仅执行一次，也可以反复多次直到变成适当体积为止。
因此，由于基于正确的墨液液滴1的体积测量值调节各喷嘴51的喷出量来形成薄膜层，因此可以以期望的厚度非常均匀地形成如量子点薄膜层的薄膜层。
在说明利用具备如上所述的墨液液滴体积测量装置的薄膜层形成装置形成量子点薄膜层的过程之前，参照图4，先简单说明具备该量子点薄膜层的显示装置的结构。
图4是具备所述量子点薄膜层的显示装置的剖视图，在此仅图示了一组红色、绿色、蓝色的三色像素的组合，但是可以理解成在实际产品中分布有多组这种三色像素的组合。
如图所示，显示装置由夹着填充材料300粘合了第一基板110和第二基板210的结构形成，在第一基板110配置有有机发光元件120，在第二基板210配置有作为光控制单元的量子点薄膜层230R、230G以及滤色器层220R、220G、220W。
首先，所述有机发光元件120具有在阳极122与阴极124之间夹有有机发光层123的结构，以从两个电极122、124注入的空穴和电子在有机发光层123进行再次结合来进行发光的原理生成光。此时，所生成的光在红色、绿色、蓝色的像素中均生成相同的蓝色光。即，在有机发光元件120中生成相同的蓝色光，将该蓝色光变换成红色、绿色、蓝色的功能是由各像素的所述光控制单元执行的。
符号121表示与负极122连接的像素电路，包括如薄膜晶体管、电容器这样的要素。此外，符号130表示覆盖有机发光元件120来进行保护的薄膜封装层，可以是有机膜或者无机膜的单层膜，也可以是交替地层叠了有机膜和无机膜的多层膜。所述无机膜可以包括氧化硅、氮化硅和/或氮氧化硅等，所述有机膜可以包括聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚酰亚胺、聚乙烯磺酸、聚氧甲烯、聚芳酯、六甲基二硅氧烷、丙烯酸系树脂(例如，聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯酸等)或者它们的任意组合。
作为所述光控制单元，具备量子点薄膜层230R、230G以及滤色器层220R、220G、220W，量子点薄膜层230R、230G起到将从有机发光元件120生成的蓝色光变换成红色或者绿色的期望的颜色的作用，滤色器层220R、220G、220W起到对可能部分混在被变换的颜色中的杂光进行过滤来提高色纯度的作用。在此，红色像素和绿色像素都包括量子点薄膜层230R、230G和滤色器层220R、220G，但是蓝色像素只具备白色滤色器层220W，这是因为从有机发光元件120生成的光是蓝色光。即，在蓝色像素中无需变换光，使其直接通过即可，因此只具备用于过滤杂光的白色滤色器层220W。
符号250表示作为遮光用而配置在各像素之间的黑矩阵，符号240表示在各像素的光控制单元之间分别形成边界的挡墙。
另外，在所述第一基板110与所述第二基板210之间夹设有填充材料300，该填充材料300兼备使两个基板110、210之间维持适当间距的间隙维持部的功能和贴合材料的功能。由此，若在两个基板110、210之间涂敷填充材料300并进行贴合，则该填充材料300起到适当地维持两个基板110、210之间的间隙的同时将两者牢固地结合的作用。
另一方面，如上所述，所述量子点薄膜层230R、230G可通过利用了喷墨头50的墨液液滴投放来形成，在用于形成量子点薄膜层230R、230G的墨液中包含的光变色粒子、即量子点或者芯体可从II-VI族化合物、III-V族化合物、IV-VI族化合物、IV族元素、IV族化合物及它们的组合当中选择。
II-VI族化合物可从由二元化合物、三元化合物和四元化合物构成的群中选择，其中，所述二元化合物从由CdSe、CdTe、ZnS、ZnSe、ZnTe、ZnO、HgS、HgSe、HgTe、MgSe、MgS以及它们的混合物组成的群中选择，所述三元化合物从由AgInS、CuInS、CdSeS、CdSeTe、CdSTe、ZnSeS、ZnSeTe、ZnSTe、HgSeS、HgSeTe、HgSTe、CdZnS、CdZnSe、CdZnTe、CdHgS、CdHgSe、CdHgTe、HgZnS、HgZnSe、HgZnTe、MgZnSe、MgZnS以及它们的混合物组成的群中选择，所述四元化合物从由HgZnTeS、CdZnSeS、CdZnSeTe、CdZnSTe、CdHgSeS、CdHgSeTe、CdHgSTe、HgZnSeS、HgZnSeTe、HgZnSTe以及它们的混合物组成的群中选择。
III-V族化合物可从由二元化合物、三元化合物和四元化合物构成的群中选择，其中，所述二元化合物从由GaN、GaP、GaAs、GaSb、AlN、AlP、AlAs、AlSb、InN、InP、InAs、InSb以及它们的混合物组成的群中选择，所述三元化合物从由GaNP、GaNAs、GaNSb、GaPAs、GaPSb、AlNP、AlNAs、AlNSb、AlPAs、AlPSb、InGaP、InNP、InNAs、InNSb、InPAs、InPSb、GaAlNP以及它们的混合物组成的群中选择，所述四元化合物从由GaAlNAs、GaAlNSb、GaAlPAs、GaAlPSb、GaInNP、GaInNAs、GaInNSb、GaInPAs、GaInPSb、InAlNP、InAlNAs、InAlNSb、InAlPAs、InAlPSb以及它们的混合物组成的群中选择。
IV-VI族化合物可从由二元化合物、三元化合物和四元化合物构成的群中选择，其中，所述二元化合物从由SnS、SnSe、SnTe、PbS、PbSe、PbTe以及它们的混合物组成的群中选择，所述三元化合物从由SnSeS、SnSeTe、SnSTe、PbSeS、PbSeTe、PbSTe、SnPbS、SnPbSe、SnPbTe以及它们的混合物组成的群中选择，所述四元化合物从由SnPbSSe、SnPbSeTe、SnPbSTe以及它们的混合物组成的群中选择。作为IV族元素可以从由Si、Ge以及它们的混合物组成的群中选择。作为IV族化合物可以是从由SiC、SiGe以及它们的混合物组成的群中选择的二元化合物。
此时，二元化合物、三元化合物或者四元化合物可以以均匀的浓度存在于粒子内或者分成浓度分布部分不同的状态存在于同一粒子内。另外，也可以具有一个量子点被其他量子点包围的芯体-壳体结构。芯体和壳体的界面可以具有存在于壳体中的元素的浓度越往中心越低的浓度梯度(gradient)。
在各实施例中，量子点可以具有芯体-壳体结构，该芯体-壳体结构包括包含纳米结晶的芯体以及包围所述芯体的壳体。所述量子点的壳体可以执行防止所述芯体的化学变性来维持半导体特性的保护层的功能和/或向量子点赋予电泳特性的充电层(charginglayer)的功能。所述壳体可以是单层或者多层。芯体与壳体的界面可以具有存在于壳体中的元素的浓度越往中心越低的浓度梯度(gradient)。作为所述量子点的壳体的例，可以是金属或者非金属的氧化物、半导体化合物或者它们的组合等。
例如，所述金属或者非金属的氧化物可例示SiO2、Al2O3、TiO2、ZnO、MnO、Mn2O3、Mn3O4、CuO、FeO、Fe2O3、Fe3O4、CoO、Co3O4、Ni等二元化合物、或者MgAl2O4、CoFe2O4、NiFe2O4、CoMn2O4等三元化合物，但是本发明并不限于此。
此外，所述半导体化合物可例示CdS、CdSe、CdTe、ZnS、ZnSe、ZnTe、ZnSeS、ZnTeS、GaAs、GaP、GaSb、HgS、HgSe、HgTe、InAs、InP、InGaP、InSb、AlAs、AlP、AlSb等，但是本发明并不限于此。
量子点可以具有约45nm以下、优选是约40nm以下、更有选是约30nm以下的发光波长光谱的半峰全宽(full width of half maximum、FWHM)，可在该范围内提高色纯度或色再现性。另外，通过这种量子点发出的光会朝向前方射出，可提高光视角。
另外，量子点的形状是本领域通常使用的形状，不做特别限定，更具体而言，可以使用矩形、金字塔型、多臂型(multi-arm)或者立方体(cubic)的纳米粒子、纳米管、纳米线、纳米纤维、纳米板状粒子等形状。
量子点可根据粒子大小调节射出的光的颜色，由此，量子点可具有蓝色、红色、绿色等各种发光颜色。
如上所述，用于形成量子点薄膜层230R、230G的墨液可含有纳米粒子，但是因该纳米粒子，从所述彩色共焦传感器40照射的光其一部分会被散射。但是，由于从彩色共焦传感器40如上所述那样照射多个波长的光L1、L2、L3，因此散射的影响极其小。即，若是如激光这样的单一波长的光，则因纳米粒子引起光的散射的情况下，测量误差会可能变大，但是彩色共焦传感器40照射多个波长的光L1、L2、L3来测量反射光，因此因散射带来的影响也被分散，变成几乎对测量没有影响的水准。
具备上述结构的量子点薄膜层230R、230G的显示装置可通过如图5a至图5e所示的过程来制造。
首先，如图5a所示，在第一基板110上形成有机发光元件120，并利用薄膜封装层130覆盖该有机发光元件120。
然后，在所述第二基板210，如图5b所示那样通过光刻工序分别形成黑矩阵250和滤色器层220R、220G、220W。滤色器层220R、220G、220W形成在与各有机发光元件120对应的位置处。
接着，如图5c所示，形成挡墙240使得各像素之间具备边界。作为所述挡墙240的材料，可以使用复合聚合物、PFPE(Perfluoro polyether)、丙烯酸、硅、环氧树脂等。
然后，如图5d所示，除了蓝色像素外，仅在红色像素和绿色像素选择性地形成量子点薄膜层230R、230G。量子点薄膜层230R、230G形成在与滤色器层220R、220G相互重叠的位置处。
此时，从上述的喷墨头50的喷嘴51向与滤色器层220R、220G相互重叠的位置投放墨液液滴1，由此制作量子点薄膜层230R、230G。即，在图1中说明的对象基板20在制造所述显示装置时成为形成了滤色器层220R、220G的第二基板210，将该第二基板210置于主工作台30并利用所述墨液液滴体积测量装置实测投放至测试基板10上的墨液液滴1的体积来调整各喷嘴51的喷出量之后，向第二基板210上投放正确体积的墨液液滴1，由此形成量子点薄膜层230R、230G。因此，可形成非常均匀的厚度的量子点薄膜层230R、230G。
在形成这种量子点薄膜层230R、230G之后，如图5e所示，在第一基板110与第二基板210之间涂抹填充材料300，粘合两个基板110、210。由此，实现图4所示那样具备有机发光元件120、量子点薄膜层230R、230G以及滤色器层220R、220G、220W的显示装置。
另一方面，在本实施例中，例示了有机发光元件120的有机发光层123在整个像素区域通过公共层形成的情况，但是也可以是在各像素中被分离。即，有机发光层123可以由公共层形成，也可以形成为在各像素中被分离的状态。
因此，如以上说明，根据本发明的各实施例涉及的墨液液滴体积测量装置及利用其的墨液液滴体积测量方法以及显示装置的量子点薄膜层形成方法，可更准确地测量实际的墨液液滴的体积，因此可实现精密的反馈控制，从而可以保证稳定的品质和高的生产性。
本发明作为参考说明了图示的实施例，但是这只是例示，本领域技术人员应当能够从中理解可进行各种变形以及实施例的变形。因此，本发明的真正的技术保护范围应当由权利要求书的技术思想来定义。

Claims (10)

1.一种墨液液滴体积测量装置，包括：
基板，向该基板投放墨液液滴；
彩色共焦传感器，向投放至所述基板的所述墨液液滴照射多个波长的光的同时进行扫描；以及
控制器，根据所述彩色共焦传感器扫描的信号，求出所述墨液液滴的三维形状。
2.根据权利要求1所述的墨液液滴体积测量装置，其中，
向所述基板投放多个所述墨液液滴。
3.根据权利要求2所述的墨液液滴体积测量装置，其中，
所述彩色共焦传感器扫描多个所述墨液液滴，
所述控制器求出针对多个所述墨液液滴各自的三维形状。
4.根据权利要求1所述的墨液液滴体积测量装置，其中，
所述墨液液滴含有纳米粒子。
5.根据权利要求4所述的墨液液滴体积测量装置，其中，
所述墨液液滴包括量子点薄膜层形成用墨液。
6.一种薄膜层形成装置，包括：
喷墨头，具备投放墨液液滴的喷嘴；
基板，向该基板投放所述墨液液滴；
彩色共焦传感器，向投放至所述基板的所述墨液液滴照射多个波长的光的同时进行扫描；以及
控制器，根据所述彩色共焦传感器扫描的信号求出所述墨液液滴的三维形状，由此对所述喷墨头的喷嘴的喷出量进行反馈控制。
7.根据权利要求6所述的薄膜层形成装置，其中，
具备多个所述喷嘴，并且多个所述喷嘴向所述基板投放多个所述墨液液滴。
8.根据权利要求7所述的薄膜层形成装置，其中，
所述彩色共焦传感器扫描多个所述墨液液滴，
所述控制器求出针对多个所述墨液液滴各自的三维形状，并对各所述喷嘴的喷出量进行反馈控制。
9.根据权利要求6所述的薄膜层形成装置，其中，
所述墨液液滴含有纳米粒子。
10.根据权利要求9所述的薄膜层形成装置，其中，
所述墨液液滴包括量子点薄膜层形成用墨液。
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