KR20200144198A - 잉크 액적 부피 측정장치와, 그것을 이용한 잉크 액적 부피 측정방법과, 그 잉크 액적 부피 측정장치를 활용하는 박막층 형성장치 및, 상기 박막층 형성장치를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법 - Google Patents

잉크 액적 부피 측정장치와, 그것을 이용한 잉크 액적 부피 측정방법과, 그 잉크 액적 부피 측정장치를 활용하는 박막층 형성장치 및, 상기 박막층 형성장치를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 잉크 액적이 투하되는 기판과, 기판에 투하된 잉크 액적에 복수 파장의 광을 조사하면서 스캔하는 크로매틱 공초점 센서 및, 크로매틱 공초점 센서가 스캔한 신호로부터 잉크 액적의 3차원 형상을 구하는 컨트롤러를 포함하는 잉크 액적 부피 측정 장치를 개시한다.

Description

잉크 액적 부피 측정장치와, 그것을 이용한 잉크 액적 부피 측정방법과, 그 잉크 액적 부피 측정장치를 활용하는 박막층 형성장치 및, 상기 박막층 형성장치를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법 {Ink droplet volume measuring apparatus and the ink droplet volume measuring method using the same, and the thin film layer forming apparatus using the measuring apparatus, and the manufacturing method of a display apparatus using the forming apparatus}
본 발명은 잉크 액적 부피 측정장치와, 그것을 이용한 잉크 액적 부피 측정방법과, 그 잉크 액적 부피 측정장치를 활용하는 박막층 형성장치 및, 상기 박막층 형성장치를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법에 관한 것이다.
예컨대 유기 발광 표시 장치와 같은 디스플레이 장치는 애노드와 캐소드에서 주입되는 정공과 전자가 발광층에서 재결합하여 발광하는 원리로 빛을 생성하여 화상을 구현하는 것으로, 예컨대 적색과 녹색 및 청색 중 어느 한 색상으로 발광하는 화소들을 구비하여 이들의 색상 조합에 의해 원하는 컬러를 표현한다.
이를 위해 각 화소에는 백색 또는 청색과 같은 단색광을 생성하는 유기발광소자와, 그 단색광을 적색, 녹색 및 청색 중 원하는 색상으로 전환해서 출광시키기 위한 광제어수단으로서 양자점(Quantum Dot) 박막층과 칼라필터(Color Filter) 등이 구비되어 있다. 즉, 각 화소의 유기발광소자가 단색광을 생성하면, 그 단색광이 양자점 박막층과 칼라필터를 통과하면서 적, 녹, 청색 중 한 색상으로 전환되어 출광되며, 이렇게 적정 색상으로 출광된 화소들의 색상 조합에 의해 원하는 칼라의 화상을 구현하는 것이다.
상기 양자점 박막층은 잉크젯 프린터에서 잉크 액적을 투하하여 형성하게 되는데, 이때 잉크 액적이 너무 크면 제 위치를 벗어나서 얼룩이 생길 수 있고, 너무 작으면 광제어수단의 기능을 제대로 수행하지 못하게 된다.
따라서, 잉크 액적의 크기를 정확한 측정해서 피드백하여 분출량을 보정해야 양자점 박막층을 정밀하게 형성할 수 있게 되는데, 기존에는 투하된 잉크 액적의 한 바닥면 넓이를 측정해서 그로부터 잉크 액적의 부피를 개략적인 추정치로 계산하는 방식이 사용되었다. 그러나, 이렇게 하면 실제 잉크 액적의 부피와 오차가 커질 수 밖에 없어서 정밀한 제어를 하기가 어려워진다.
따라서, 본 발명의 실시예들은 실제 잉크 액적의 부피를 보다 정확하게 측정해서 제어에 반영할 수 있도록 개선된 잉크 액적 부피 측정장치와, 그것을 이용한 잉크 액적 부피 측정방법과, 그 잉크 액적 부피 측정장치를 활용하는 박막층 형성장치 및, 상기 박막층 형성장치를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 실시예는 잉크 액적이 투하되는 기판과, 상기 기판에 투하된 잉크 액적에 복수 파장의 광을 조사하면서 스캔하는 크로매틱 공초점 센서 및, 상기 크로매틱 공초점 센서가 스캔한 신호로부터 상기 잉크 액적의 3차원 형상을 구하는 컨트롤러를 포함하는 잉크 액적 부피 측정 장치를 제공한다.
상기 잉크 액적은 상기 기판에 복수개가 투하될 수 있다.
상기 크로매틱 공초점 센서는 상기 복수개의 잉크 액적을 스캔하며, 상기 컨트롤러는 상기 복수개의 잉크 액적 각각에 대한 3차원 형상을 구할 수 있다.
상기 잉크 액적에 나노 입자가 함유될 수 있다.
상기 잉크는 양자점 박막층 형성용 잉크를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 잉크 액적을 투하하는 노즐이 구비된 잉크젯 헤드와, 상기 잉크 액적이 투하되는 기판과, 상기 기판에 투하된 잉크 액적에 복수 파장의 광을 조사하면서 스캔하는 크로매틱 공초점 센서 및, 상기 크로매틱 공초점 센서가 스캔한 신호로부터 상기 잉크 액적의 3차원 형상을 구해서 상기 잉크젯 헤드의 노즐 분출량을 피드백 제어하는 컨트롤러를 포함하는 박막층 형성 장치를 제공한다.
상기 노즐은 복수개가 구비되어 상기 기판에 복수개의 잉크 액적이 투하될 수 있다.
상기 크로매틱 공초점 센서는 상기 복수개의 잉크 액적을 스캔하며, 상기 컨트롤러는 상기 복수개의 잉크 액적 각각에 대한 3차원 형상을 구하여 상기 각 노즐마다의 분출량을 피드백 제어할 수 있다.
상기 잉크 액적에 나노 입자가 함유될 수 있다.
상기 잉크는 양자점 박막층 형성용 잉크를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 기판에 잉크 액적을 투하하는 단계; 상기 기판에 투하된 잉크 액적에 크로매틱 공초점 센서로 복수 파장의 광을 조사하면서 스캔하는 단계; 및, 상기 크로매틱 공초점 센서가 스캔한 신호로부터 상기 잉크 액적의 3차원 형상을 구하는 단계;를 포함하는 잉크 액적 부피 측정 방법을 제공한다.
상기 잉크 액적을 상기 기판에 복수개 투하할 수 있다.
상기 크로매틱 공초점 센서가 상기 복수개의 잉크 액적을 스캔하여, 각 잉크 액적에 대한 3차원 형상을 구할 수 있다.
상기 잉크 액적에 나노 입자가 함유될 수 있다.
상기 잉크는 양자점 박막층 형성용 잉크를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 제1기판에 복수의 발광소자를 형성하는 단계와, 제2기판에 복수의 양자점 박막층을 형성하는 단계 및, 상기 복수의 발광소자와 상기 복수의 양자점 박막층이 대응되도록 상기 제1기판과 상기 제2기판을 합착하는 단계를 포함하며, 상기 양자점 박막층을 형성하는 단계는, 잉크젯 헤드의 노즐로 테스트 기판에 상기 양자점 박막층 형성용 잉크 액적을 투하하는 단계와, 상기 테스트 기판에 투하된 잉크 액적에 크로매틱 공초점 센서로 복수 파장의 광을 조사하면서 스캔하는 단계와, 상기 크로매틱 공초점 센서가 스캔한 신호로부터 상기 잉크 액적의 3차원 형상을 구하여 상기 노즐의 분출량을 피드백 제어하는 단계 및, 상기 피드백 제어된 잉크 액적을 상기 양자점 박막층이 되도록 상기 제2기판 위에 투하하는 단계를 포함하는 디스플레이 장치의 제조방법을 제공한다.
상기 노즐은 복수개가 구비되어 상기 테스트 기판에 복수개의 잉크 액적이 투하될 수 있다.
상기 크로매틱 공초점 센서가 상기 복수개의 잉크 액적을 스캔해서 각 잉크 액적에 대한 3차원 형상을 구하고 상기 각 노즐마다의 분출량을 피드백 제어할 수 있다.
상기 잉크 액적에 나노 입자가 함유될 수 있다.
상기 제2기판과 상기 테스트 기판은 서로 다른 스테이지에 안착될 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 잉크 액적 부피 측정장치와 그것을 이용한 잉크 액적 부피 측정방법 및 디스플레이 장치의 양자점 박막층 형성방법에 의하면 실제 잉크 액적의 부피를 보다 정확하게 측정할 수 있게 되어 정밀한 피드백 제어가 가능해지며, 따라서 안정적인 품질과 높은 생산성을 보장할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 액적 부피 측정 장치를 구비한 박막층 형성장치의 구성을 개략적으로 보인 사시도이다.
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 잉크 액적 부피 측정 장치의 부피 측정 원리를 보인 측면도 및 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 박막층 형성장치를 이용하여 제조된 디스플레이 장치의 단면도이다.
도 5a 내지 도 5e는 도 4에 도시된 디스플레이 장치의 제조 과정을 순차적으로 보인 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 액적 부피 측정 장치를 구비한 박막층 형성장치의 구성을 개략적으로 보인 사시도이다.
우선, 잉크 액적 부피 측정 장치는 보조스테이지(31)에 놓인 테스트 기판(10)과, 잉크젯 헤드(50)의 노즐(51)에서 상기 테이스 기판(10)에 투하된 잉크 액적의 부피를 측정하는 크로매틱 공초점 센서(40)와, 이 크로매틱 공초점 센서(40)에서 측정된 값을 레퍼런스값과 비교하여 상기 잉크젯 헤드(50)의 잉크 분출량을 피드백 제어하는 컨트롤러(60) 등을 구비하고 있다. 즉, 실제 박막층 형성 작업은 본 스테이지(30)에 놓인 대상 기판(20) 위에 실시하는 것이고, 잉크 액적 부피 측정 장치는 대상 기판(20)에 실제 박막층 형성 작업을 하기 전에 잉크젯 헤드(50)의 복수 노즐(51)에서 적절한 잉크 액적이 투하되는지를 먼저 테스트 기판(10) 위에서 측정하고 각 노즐(51)에 대해 적절한 분출량이 되도록 조절해놓는 것이다.
상기 박막층 형성장치는 상기 잉크 액적 부피 측정 장치를 포함하여, 대상 기판(20)이 놓이는 상기 본 스테이지(30)와, 잉크 액적을 투하하는 복수의 노즐(51)을 구비한 잉크젯 헤드(50) 등을 구비한다. 여기서는 잉크젯 헤드(50)에 노즐(51)이 두 개인 구조를 도시했는데, 이것은 예시적인 것이며, 더 많은 다수의 노즐(51)들의 다수의 열로 배치될 수도 있다.
따라서, 상기 보조스테이지(31)에서 테스트 기판(10)에 대해 잉크젯 헤드(50)의 노즐(51)로 잉크 액적을 투하하고, 그 잉크 액적의 부피를 상기 잉크 액적 부피 측정 장치로 측정한 후, 컨트롤러(60)가 원하는 부피의 잉크 액적이 되도록 각 노즐(51)의 분출량을 피드백 제어해서 조절하며, 이렇게 세팅이 완료된 후에 상기 본 스테지(30)의 대상 기판(20)에 대해 상기 잉크젯 헤드(50)의 노즐(51)로 실제 박막층 형성 작업을 진행하게 된다. 따라서, 사전에 정확한 부피의 잉크 액적을 투하하도록 세팅된 잉크젯 헤드(50)를 이용하여 대상 기판(20)에 박막층을 형성하게 되므로, 정밀한 박막층 형성이 가능해진다.
물론, 이것은 상기 잉크 액적 부피 측정 장치가 잉크 액적의 부피를 정확히 측정한다는 전제 조건이 달성되어야 가능한 일이다. 앞에서도 언급했지만 기존에는 투하된 잉크 액적의 한 바닥면 넓이를 측정해서 그로부터 잉크 액적의 부피를 개략적인 추정치로 계산하는 방식이 사용되었기 때문에 실제 잉크 액적의 부피와는 오차가 클 수 밖에 없었다. 더구나, 이 추정치에서는 잉크 액적이 반구형인 것을 가정해서 계산하는 것인데, 실제 잉크 액적은 완벽한 반구형이 아니라 한 쪽이 찌그러진 형상일 수도 있기 때문에 오차는 더욱 커지게 된다.
이를 개선하기 위해 본 실시예에서는 상기한 바와 같이 크로매틱 공초점 센서(40)를 사용하여 잉크 액적의 부피를 측정한다.
도 2 및 도 3은 상기 크로매틱 공초점 센서(40)로 잉크 액적(1)의 부피를 측정하는 원리를 개략적으로 보인 측면도 및 평면도이다.
먼저, 도 2를 참조하면, 상기 크로매틱 공초점 센서(40)는 상기 잉크 액적(1)에 광(L)을 조사하고 그 반사광을 수광하여 표면의 위치를 알아내게 되는데, 이때 단일 파장의 광을 조사하는 것이 아니라 여러 파장의 광(L1,L2,L3)을 동시에 조사한다. 여기서는 간단한 예를 보이기 위해 3개 파장의 광(L1,L2,L3)인 경우를 예시하였는데, 더 많은 파장의 광을 동시에 조사할 수 있다. 그러면, 여러 파장의 광 중에서 잉크 액적(1)의 표면에 정확히 초점이 맺힌 파장의 광의 반사광이 수광되며, 그로부터 잉크 액적(1) 표면의 거리 즉, Z축 방향의 위치를 알아낼 수 있게 된다.
따라서, 도 3과 같이 크로매틱 공초점 센서(40)가 잉크 액적(1)을 X-Y평면 상에서 스캔하면서 각 지점에 대한 Z축 방향의 위치를 수집하면, 잉크 액적(1)의 3차원 형상이 구해지게 된다.
이렇게 구해진 3차원 형상은 실제 잉크 액적(1)의 모양을 그대로 측정한 결과치이므로, 이를 바탕으로 부피를 계산하면 정확한 잉크 액적(1)의 부피를 산출할 수 있게 된다. 여기서는 잉크 액적(1) 하나를 묘사했는데, 복수의 노즐(51)에서 각각 잉크 액적을 투하하므로, 크로매틱 공초점 센서(40)의 광(L)이 테스트 기판(10)에 투하된 여러 잉크 액적들 위를 다 스캔하면서 지나가게 되며, 각 잉크 액적(1) 마다 3차원 형상과 부피가 산출될 수 있다.
이렇게 구해진 잉크 액적(1)의 부피 측정값들은 상기 컨트롤러(60)로 보내지고, 컨트롤러(60)는 이를 레퍼런스값과 비교해서 각 노즐(51)의 분출량을 증감시켜서 각각 적정한 부피의 잉크 액적(1)이 되도록 피드백 제어한다. 이 피드백 제어 작업은 1회만 수행될 수도 있고, 적정 부피가 될 때까지 복수 회 반복될 수도 있다.
따라서, 정확한 잉크 액적(1)의 부피 측정값을 근거로 각 노즐(51)의 분출량을 조절해서 박막층을 형성하게 되므로, 양자점 박막층과 같은 박막층을 원하는 두께대로 매우 균일하게 형성할 수 있게 된다.
이제 상기와 같은 잉크 액적 부피 측정장치를 가진 박막층 형성 장치로 양자점 박막층을 형성하는 과정을 설명하기 전에, 이 양자점 박막층을 가진 디스플레이 장치의 구조를 도 4를 참조하여 먼저 간략히 설명하기로 한다.
도 4는 상기 양자점 박막층을 가진 디스플레이 장치의 단면도로서, 여기서는 적색, 녹색, 청색의 3색 화소 한 세트만 도시하였는데, 실제 제품에는 이러한 3색 화소의 세트가 다수 개 분포되어 있다고 보면 된다.
도시된 바와 같이, 디스플레이 장치는 유기발광소자(120)가 배치된 제1기판(110)과, 광제어수단인 양자점 박막층(230R)(230G) 및 칼라필터층(220R)(220G)(220W)이 배치된 제2기판(210)이 충진재(300)를 개재하여 합착된 구조로 이루어져 있다.
먼저 상기 유기발광소자(120)는 애노드전극(122)과 캐소드전극(124) 사이에 유기발광층(123)이 개재된 구조를 가지며, 두 전극(122)(124)에서 주입되는 정공과 전자가 유기발광층(123)에서 재결합하여 발광하는 원리로 빛을 생성한다. 이때 생성되는 빛은 적색, 녹색, 청색 화소 모두 동일한 청색광을 생성한다. 즉, 유기발광소자(120)에서는 동일한 청색광을 생성하고, 그것을 적색, 녹색, 청색으로 변환시키는 역할은 각 화소의 상기 광제어수단이 담당하게 된다.
참조부호 121은 애노드전극(122)과 연결된 화소회로를 나타내며, 박막트랜지스터와 커패시터 같은 요소들이 포함된다. 그리고, 참조부호 130은 유기발광소자(120)를 덮어서 보호해주는 박막봉지층을 나타내며, 유기막 또는 무기막의 단층막일수도 있고, 유기막과 무기막이 교대로 적층된 다층막일 수도 있다. 상기 무기막은 산화규소, 질화규소, 및/또는 산질화규소 등을 포함할 수 있고, 상기 유기막은 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌설포네이트, 폴리옥시메틸렌, 폴리아릴레이트, 헥사메틸디실록산, 아크릴계 수지(예를 들면, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리아크릴산 등) 또는 이의 임의의 조합을 포함할 수 있다.
상기 광제어수단으로는 양자점 박막층(230R)(230G) 및 칼라필터층(220R)(220G)(220W)이 구비되는데, 양자점 박막층(230R)(230G)은 유기발광소자(120)에서 생성된 청색광을 적색 또는 녹색의 원하는 색상으로 변환시켜주는 역할을 하며, 칼라필터층(220R)(220G)(220W)은 변환된 색상에 일부 섞여 있을 수 있는 잡광을 필러링하여 색순도를 높여주는 역할을 한다. 여기서, 적색 화소와 녹색 화소에는 양자점 박막층(230R)(230G)과 칼라필터층(220R)(220G)이 다 구비되어 있는데 비해, 청색 화소에는 백색 칼라필터층(220W)만 구비되어 있는 이유는, 유기발광소자(120)에서 생성되는 광이 청색광이기 때문이다. 즉, 청색 화소에서는 광을 변색시킬 필요가 없고 그대로 통과시키기만 하면 되므로 잡광 필터링을 위한 백색 칼라필터층(220W)만 구비되어 있는 것이다.
참조부호 250은 각 화소 사이에 차광용으로 배치된 블랙매트릭스를 나타내고, 참조부호 240은 각 화소의 광제어수단들 사이마다 경계를 지어주는 뱅크를 나타낸다.
그리고, 상기 제1기판(110)과 제2기판(210) 사이에는 두 기판(110)(210) 사이에 적정 간격을 유지해주는 갭유지부의 기능과 합착재의 기능을 겸하는 충진재(300)가 개재되어 있다. 따라서, 두 기판(110)(210) 사이에 충진재(300)를 도포하고 합착시키면, 이 충진재(300)가 두 기판(110)(210) 사이의 갭을 적절히 유지해주면서 견고하게 결합시켜주는 역할을 한다.
한편, 상기 양자점 박막층(230R)(230G)은 상기한 바와 같이 잉크젯 헤드(50)를 이용한 잉크 액적 투하로 형성할 수 있는데, 양자점 박막층(230R)(230G)을 형성하기 위한 잉크에 포함된 광변색 입자인 양자점 또는 코어는, II-VI족 화합물, III-V족 화합물, IV-VI족 화합물, IV족 원소, IV족 화합물 및 이들의 조합에서 선택될 수 있다.
II-VI족 화합물은 CdSe, CdTe, ZnS, ZnSe, ZnTe, ZnO, HgS, HgSe, HgTe, MgSe, MgS 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 이원소 화합물; AgInS, CuInS, CdSeS, CdSeTe, CdSTe, ZnSeS, ZnSeTe, ZnSTe, HgSeS, HgSeTe, HgSTe, CdZnS, CdZnSe, CdZnTe, CdHgS, CdHgSe, CdHgTe, HgZnS, HgZnSe, HgZnTe, MgZnSe, MgZnS 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 삼원소 화합물; 및 HgZnTeS, CdZnSeS, CdZnSeTe, CdZnSTe, CdHgSeS, CdHgSeTe, CdHgSTe, HgZnSeS, HgZnSeTe, HgZnSTe 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 사원소 화합물로 이루어진 군에서 선택될 수 있다.
III-V족 화합물은 GaN, GaP, GaAs, GaSb, AlN, AlP, AlAs, AlSb, InN, InP, InAs, InSb 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 이원소 화합물; GaNP, GaNAs, GaNSb, GaPAs, GaPSb, AlNP, AlNAs, AlNSb, AlPAs, AlPSb, InGaP, InNP, InNAs, InNSb, InPAs, InPSb, GaAlNP 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 삼원소 화합물; 및 GaAlNAs, GaAlNSb, GaAlPAs, GaAlPSb, GaInNP, GaInNAs, GaInNSb, GaInPAs, GaInPSb, InAlNP, InAlNAs, InAlNSb, InAlPAs, InAlPSb 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 사원소 화합물로 이루어진 군에서 선택될 수 있다.
IV-VI족 화합물은 SnS, SnSe, SnTe, PbS, PbSe, PbTe 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 이원소 화합물; SnSeS, SnSeTe, SnSTe, PbSeS, PbSeTe, PbSTe, SnPbS, SnPbSe, SnPbTe 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 삼원소 화합물; 및 SnPbSSe, SnPbSeTe, SnPbSTe 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 사원소 화합물로 이루어진 군에서 선택될 수 있다. IV족 원소로는 Si, Ge 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택될 수 있다. IV족 화합물로는 SiC, SiGe 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 이원소 화합물일 수 있다.
이때, 이원소 화합물, 삼원소 화합물 또는 사원소 화합물은 균일한 농도로 입자 내에 존재하거나, 농도 분포가 부분적으로 다른 상태로 나누어져 동일 입자 내에 존재하는 것일 수 있다. 또한 하나의 양자점이 다른 양자점을 둘러싸는 코어/쉘 구조를 가질 수도 있다. 코어와 쉘의 계면은 쉘에 존재하는 원소의 농도가 중심으로 갈수록 낮아지는 농도 구배(gradient)를 가질 수 있다.
몇몇 실시예에서, 양자점은 나노 결정을 포함하는 코어 및 상기 코어를 둘러싸는 쉘을 포함하는 코어-쉘 구조를 가질 수 있다. 상기 양자점의 쉘은 상기 코어의 화학적 변성을 방지하여 반도체 특성을 유지하기 위한 보호층 역할 및/또는 양자점에 전기 영동 특성을 부여하기 위한 차징층(charging layer)의 역할을 수행할 수 있다. 상기 쉘은 단층 또는 다중층일 수 있다. 코어와 쉘의 계면은 쉘에 존재하는 원소의 농도가 중심으로 갈수록 낮아지는 농도 구배(gradient)를 가질 수 있다. 상기 양자점의 쉘의 예로는 금속 또는 비금속의 산화물, 반도체 화합물 또는 이들의 조합 등을 들 수 있다.
예를 들어, 상기 금속 또는 비금속의 산화물은 SiO2, Al2O3, TiO2, ZnO, MnO, Mn2O3, Mn3O4, CuO, FeO, Fe2O3, Fe3O4, CoO, Co3O4, NiO 등의 이원소 화합물, 또는 MgAl2O4, CoFe2O4, NiFe2O4, CoMn2O4등의 삼원소 화합물을 예시할 수 있으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.
또, 상기 반도체 화합물은 CdS, CdSe, CdTe, ZnS, ZnSe, ZnTe, ZnSeS, ZnTeS, GaAs, GaP, GaSb, HgS, HgSe, HgTe, InAs, InP, InGaP, InSb, AlAs, AlP, AlSb등을 예시할 수 있으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.
양자점은 약 45nm 이하, 바람직하게는 약 40nm 이하, 더욱 바람직하게는 약 30nm 이하의 발광 파장 스펙트럼의 반치폭(full width of half maximum, FWHM)을 가질 수 있으며, 이 범위에서 색순도나 색재현성을 향상시킬 수 있다. 또한 이러한 양자점을 통해 발광되는 광은 전 방향으로 방출되는바, 광 시야각이 향상될 수 있다.
또한, 양자점의 형태는 당 분야에서 일반적으로 사용하는 형태의 것으로 특별히 한정하지 않지만, 보다 구체적으로 구형, 피라미드형, 다중 가지형(multi-arm), 또는 입방체(cubic)의 나노 입자, 나노 튜브, 나노와이어, 나노 섬유, 나노 판상 입자 등의 형태의 것을 사용할 수 있다.
양자점은 입자 크기에 따라 방출하는 광의 색상을 조절할 수 있으며, 이에 따라 양자점은 청색, 적색, 녹색 등 다양한 발광 색상을 가질 수 있다.
상기와 같이 양자점 박막층(230R)(230G)을 형성하기 위한 잉크에는 나노 입자가 함유되어 있을 수 있는데, 이 나노 입자 때문에 상기 크로매틱 공초점 센서(40)에서 조사된 광이 일부 산란될 수 있다. 그러나, 크로매틱 공초점 센서(40)에서는 전술한 바와 같이 여러 파장의 광(L1,L2,L3)을 조사하기 때문에, 산란의 영향은 극히 미미한 수준이 된다. 즉, 만일 레이저광과 같은 단일 파장의 광이라면 나노 입자에 의해 광의 산란이 일어날 경우 측정 오차가 심해질 수 있지만, 크로매틱 공초점 센서(40)는 다수 파장의 광(L1,L2,L3)을 조사하여 반사광을 측정하므로 산란에 의한 영향도 분산되어 측정에는 거의 영향이 없는 수준이 된다.
상기한 구조의 양자점 박막층(230R,230G)을 가진 디스플레이 장치는 도 5a 내지 도 5e에 도시된 바와 같은 과정으로 제조될 수 있다.
우선, 도 5a에 도시된 바와 같이 제1기판(110) 상에 유기발광소자(120)를 형성하고, 박막봉지층(130)으로 덮어준다.
그리고, 상기 제2기판(210)에는 도 5b와 같이 포토리소그래피 공정을 통해 블랙매트릭스(250)와 칼라필터층(220R)(220G)(220W)을 각각 형성한다. 칼라필터층(220R)(220G)(220W)은 각 유기발광소자(120)와 대응하는 위치에 형성된다.
이어서, 도 5c와 같이 각 화소들 간의 경계를 짓도록 뱅크(240)를 만든다. 상기 뱅크(240)의 소재로는 복합폴리머, PFPE(Perfluoro polyether), 아크릴, 실리콘, 에폭시 등이 사용될 수 있다.
이후, 도 5d와 같이 청색 화소는 빼고 적색 화소와 녹색 화소에만 선택적으로 양자점 박막층(230R)(230G)을 형성한다. 양자점 박막층(230R)(230G)은 칼라필터층(220R)(220G)과 서로 포개지는 위치에 형성된다.
이때, 전술한 잉크젯 헤드(50)의 노즐(51)에서 칼라필터층(220R)(220G)과 서로 포개지는 위치에 잉크 액적(1)을 투하하여 양자점 박막층(230R)(230G)을 만드는 것이다. 즉, 도 1에서 설명한 대상 기판(20)이 상기 디스플레이 장치를 제조할 때에는 칼라필터층(220R)(220G)까지 형성된 제2기판(210)이 되는 것이며, 이 제2기판(210)을 본 스테이지(30)에 놓고, 상기 잉크 액적 부피 측정 장치로 테스트 기판(10) 위에 투하된 잉크 액적(1)의 부피를 실측하여 각 노즐(51)의 분출량을 조정한 다음, 제2기판(210) 위에 정확한 부피의 잉크 액적(1)을 투하해서 양자점 박막층(230R)(230G)을 형성한다. 따라서, 매우 균일한 두께의 양자점 박막층(230R)(230G)을 형성할 수 있게 된다.
이와 같은 양자점 박막층(230R)(230G)을 형성한 다음에는, 도 5e와 같이 제1,2기판(110)(210) 사이에 충진재(300)를 바르고 두 기판(110)(210)을 합착한다. 그러면 도 4에 도시된 바와 같이 유기발광소자(120)와 양자점 박막층(230R)(230G) 및 칼라필터층(220R)(220G)(220W)이 구비된 디스플레이 장치가 구현된다.
한편, 본 실시예에서는 유기발광소자(120)의 유기발광층(123)이 전체 화소 영역에 걸쳐 공통층으로 형성되는 경우를 예시하였는데, 각 화소마다 분리되어 있을 수도 있다. 즉, 유기발광층(123)은 공통층으로 형성할 수도 있고, 각 화소 마다 분리된 상태가 되게 형성할 수도 있다.
그러므로, 이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 실시예들에 따른 잉크 액적 부피 측정장치와 그것을 이용한 잉크 액적 부피 측정방법 및 디스플레이 장치의 양자점 박막층 형성방법에 의하면 실제 잉크 액적의 부피를 보다 정확하게 측정할 수 있게 되어 정밀한 피드백 제어가 가능해지며, 따라서 안정적인 품질과 높은 생산성을 보장할 수 있게 된다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 잉크 액적 10: 테스트 기판
20: 대상 기판 30: 본 스테이지
31: 보조 스테이지 40: 크로매틱 공초점 센서
50: 잉크젯 헤드 51: 노즐
60: 컨트롤러 L: 광
110: 제1기판 120: 유기발광소자
130: 박막봉지층 300: 충진재
210: 제2기판 220R,220G,220B: 칼라필터층
230R,230G: 양자점 박막층 250: 블랙매트릭스

Claims (20)

  1. 잉크 액적이 투하되는 기판과,
    상기 기판에 투하된 잉크 액적에 복수 파장의 광을 조사하면서 스캔하는 크로매틱 공초점 센서 및,
    상기 크로매틱 공초점 센서가 스캔한 신호로부터 상기 잉크 액적의 3차원 형상을 구하는 컨트롤러를 포함하는 잉크 액적 부피 측정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 잉크 액적은 상기 기판에 복수개가 투하되는 잉크 액적 부피 측정 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 크로매틱 공초점 센서는 상기 복수개의 잉크 액적을 스캔하며,
    상기 컨트롤러는 상기 복수개의 잉크 액적 각각에 대한 3차원 형상을 구하는 잉크 액적 부피 측정 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 잉크 액적에 나노 입자가 함유된 잉크 액적 부피 측정 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 잉크는 양자점 박막층 형성용 잉크를 포함하는 잉크 액적 부피 측정 장치.
  6. 잉크 액적을 투하하는 노즐이 구비된 잉크젯 헤드와,
    상기 잉크 액적이 투하되는 기판과,
    상기 기판에 투하된 잉크 액적에 복수 파장의 광을 조사하면서 스캔하는 크로매틱 공초점 센서 및,
    상기 크로매틱 공초점 센서가 스캔한 신호로부터 상기 잉크 액적의 3차원 형상을 구해서 상기 잉크젯 헤드의 노즐 분출량을 피드백 제어하는 컨트롤러를 포함하는 박막층 형성 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 노즐은 복수개가 구비되어 상기 기판에 복수개의 잉크 액적이 투하되는 박막층 형성 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 크로매틱 공초점 센서는 상기 복수개의 잉크 액적을 스캔하며,
    상기 컨트롤러는 상기 복수개의 잉크 액적 각각에 대한 3차원 형상을 구하여 상기 각 노즐마다의 분출량을 피드백 제어하는 박막층 형성 장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 잉크 액적에 나노 입자가 함유된 박막층 형성 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 잉크는 양자점 박막층 형성용 잉크를 포함하는 박막층 형성 장치.
  11. 기판에 잉크 액적을 투하하는 단계;
    상기 기판에 투하된 잉크 액적에 크로매틱 공초점 센서로 복수 파장의 광을 조사하면서 스캔하는 단계; 및,
    상기 크로매틱 공초점 센서가 스캔한 신호로부터 상기 잉크 액적의 3차원 형상을 구하는 단계;를 포함하는 잉크 액적 부피 측정 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 잉크 액적을 상기 기판에 복수개 투하하는 잉크 액적 부피 측정 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 크로매틱 공초점 센서가 상기 복수개의 잉크 액적을 스캔하여, 각 잉크 액적에 대한 3차원 형상을 구하는 잉크 액적 부피 측정 방법.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 잉크 액적에 나노 입자가 함유된 잉크 액적 부피 측정 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 잉크는 양자점 박막층 형성용 잉크를 포함하는 잉크 액적 부피 측정 방법.
  16. 제1기판에 복수의 발광소자를 형성하는 단계와, 제2기판에 복수의 양자점 박막층을 형성하는 단계 및, 상기 복수의 발광소자와 상기 복수의 양자점 박막층이 대응되도록 상기 제1기판과 상기 제2기판을 합착하는 단계를 포함하며,
    상기 양자점 박막층을 형성하는 단계는,
    잉크젯 헤드의 노즐로 테스트 기판에 상기 양자점 박막층 형성용 잉크 액적을 투하하는 단계와,
    상기 테스트 기판에 투하된 잉크 액적에 크로매틱 공초점 센서로 복수 파장의 광을 조사하면서 스캔하는 단계와,
    상기 크로매틱 공초점 센서가 스캔한 신호로부터 상기 잉크 액적의 3차원 형상을 구하여 상기 노즐의 분출량을 피드백 제어하는 단계 및,
    상기 피드백 제어된 잉크 액적을 상기 양자점 박막층이 되도록 상기 제2기판 위에 투하하는 단계를 포함하는 디스플레이 장치의 제조방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 노즐은 복수개가 구비되어 상기 테스트 기판에 복수개의 잉크 액적이 투하되는 디스플레이 장치의 제조방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 크로매틱 공초점 센서가 상기 복수개의 잉크 액적을 스캔해서 각 잉크 액적에 대한 3차원 형상을 구하고 상기 각 노즐마다의 분출량을 피드백 제어하는 디스플레이 장치의 제조방법.
  19. 제16항에 있어서,
    상기 잉크 액적에 나노 입자가 함유된 디스플레이 장치의 제조방법.
  20. 제16항에 있어서,
    상기 제2기판과 상기 테스트 기판은 서로 다른 스테이지에 안착되는 디스플레이 장치의 제조방법.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11173664B2 (en) * 2017-04-24 2021-11-16 The Boeing Company Nanostructures for process monitoring and feedback control
KR20210117386A (ko) * 2020-03-18 2021-09-29 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR20220148982A (ko) * 2021-04-29 2022-11-08 삼성디스플레이 주식회사 액적 측정 시스템

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060045814A1 (en) * 2004-09-01 2006-03-02 Zhang Yu-Zhong Microplates containing microsphere fluorescence standards, microsphere standards, and methods for their use
JP5337776B2 (ja) * 2010-09-24 2013-11-06 富士フイルム株式会社 ナノインプリント方法およびそれを利用した基板の加工方法
JP5599356B2 (ja) * 2011-03-31 2014-10-01 富士フイルム株式会社 シミュレーション方法、プログラムおよびそれを記録した記録媒体、並びに、それらを利用した液滴配置パターンの作成方法、ナノインプリント方法、パターン化基板の製造方法およびインクジェット装置。
US9439868B2 (en) * 2011-07-26 2016-09-13 Cambridge Enterprise Limited Supramolecular capsules
US8654352B1 (en) * 2012-08-08 2014-02-18 Asm Technology Singapore Pte Ltd Chromatic confocal scanning apparatus
KR101368486B1 (ko) * 2012-11-05 2014-03-12 나노스코프시스템즈 (주) 색 필터를 이용한 파장 검출기 및 상기 파장 검출기를 구비한 고속 크로마틱 공초점 현미경
JP6354934B2 (ja) * 2013-12-27 2018-07-11 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 液滴測定方法、及び液滴測定システム
JP2015170828A (ja) * 2014-03-11 2015-09-28 富士フイルム株式会社 プラズマエッチング方法およびパターン化基板の製造方法
CN113908424A (zh) * 2014-04-24 2022-01-11 佐治亚科技研究公司 微针和其制造方法
US9442344B2 (en) * 2014-06-02 2016-09-13 Vadient Optics, Llc Nanocomposite high order nonlinear optical-element
JP2016083928A (ja) * 2014-10-25 2016-05-19 株式会社リコー ノズル板、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置
KR20170096583A (ko) * 2016-02-16 2017-08-24 박철 양자점층과 칼라필터층이 적층이 된 유기발광소자
JP6801078B2 (ja) * 2016-07-20 2020-12-16 ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフトＷａｃｋｅｒ Ｃｈｅｍｉｅ ＡＧ ３ｄプリンタおよび対象物をプリントするための方法
JP6695237B2 (ja) * 2016-08-22 2020-05-20 東京エレクトロン株式会社 液滴吐出装置及び液滴吐出条件補正方法
KR20180040038A (ko) * 2016-10-11 2018-04-19 삼성전자주식회사 양자점 발광 소자 및 이를 포함하는 광학 장치
EP3427948B1 (en) * 2017-07-10 2023-06-07 Meta Platforms Technologies, LLC Method for printing a three-dimensional structure and 3-d duplex printer thereof

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