JP2023011533A - 表示装置の製造装置、液滴測定方法、及び該表示装置の製造方法 - Google Patents
表示装置の製造装置、液滴測定方法、及び該表示装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023011533A JP2023011533A JP2022111225A JP2022111225A JP2023011533A JP 2023011533 A JP2023011533 A JP 2023011533A JP 2022111225 A JP2022111225 A JP 2022111225A JP 2022111225 A JP2022111225 A JP 2022111225A JP 2023011533 A JP2023011533 A JP 2023011533A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- display device
- droplet
- area
- luminance
- droplets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 97
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 150
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 210
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 50
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 42
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 claims description 42
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 23
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 19
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 5
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 307
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 62
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 48
- 239000010408 film Substances 0.000 description 45
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 35
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 26
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 23
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 23
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 description 21
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 20
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 20
- 240000006829 Ficus sundaica Species 0.000 description 18
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 18
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 17
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 16
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 16
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 15
- -1 region Substances 0.000 description 15
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 13
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 13
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 10
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 9
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 9
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 9
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 9
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 9
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 8
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 8
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 8
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 8
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 7
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 6
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 5
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 5
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(iv) oxide Chemical compound O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 5
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 5
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 5
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 5
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 5
- 229910017115 AlSb Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910005540 GaP Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910005542 GaSb Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910004262 HgTe Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 4
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910007709 ZnTe Inorganic materials 0.000 description 4
- UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);selenium(2-) Chemical compound [Se-2].[Cd+2] UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052956 cinnabar Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910021480 group 4 element Inorganic materials 0.000 description 4
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 4
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 4
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 239000011258 core-shell material Substances 0.000 description 3
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 3
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 3
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 3
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 3
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 3
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 3
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 3
- YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N (2,5-dioxopyrrolidin-1-yl) 4-pyren-1-ylbutanoate Chemical compound C=1C=C(C2=C34)C=CC3=CC=CC4=CC=C2C=1CCCC(=O)ON1C(=O)CCC1=O YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229910017083 AlN Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004611 CdZnTe Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 2
- 229910002518 CoFe2O4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000764773 Inna Species 0.000 description 2
- 229910000661 Mercury cadmium telluride Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910026161 MgAl2O4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910017706 MgZn Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003264 NiFe2O4 Inorganic materials 0.000 description 2
- URLKBWYHVLBVBO-UHFFFAOYSA-N Para-Xylene Chemical group CC1=CC=C(C)C=C1 URLKBWYHVLBVBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002665 PbTe Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 2
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 2
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910005642 SnTe Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BYFGZMCJNACEKR-UHFFFAOYSA-N aluminium(i) oxide Chemical compound [Al]O[Al] BYFGZMCJNACEKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- UBEWDCMIDFGDOO-UHFFFAOYSA-N cobalt(II,III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Co+2].[Co+3].[Co+3] UBEWDCMIDFGDOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 2
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 2
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Inorganic materials [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L manganese oxide Inorganic materials [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- VASIZKWUTCETSD-UHFFFAOYSA-N manganese(II) oxide Inorganic materials [Mn]=O VASIZKWUTCETSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GEYXPJBPASPPLI-UHFFFAOYSA-N manganese(III) oxide Inorganic materials O=[Mn]O[Mn]=O GEYXPJBPASPPLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- JKQOBWVOAYFWKG-UHFFFAOYSA-N molybdenum trioxide Chemical compound O=[Mo](=O)=O JKQOBWVOAYFWKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002159 nanocrystal Substances 0.000 description 2
- 239000002121 nanofiber Substances 0.000 description 2
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 2
- 239000002064 nanoplatelet Substances 0.000 description 2
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 2
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 2
- NQNBVCBUOCNRFZ-UHFFFAOYSA-N nickel ferrite Chemical compound [Ni]=O.O=[Fe]O[Fe]=O NQNBVCBUOCNRFZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002843 nonmetals Chemical class 0.000 description 2
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 2
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 2
- OCGWQDWYSQAFTO-UHFFFAOYSA-N tellanylidenelead Chemical compound [Pb]=[Te] OCGWQDWYSQAFTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- SPDPTFAJSFKAMT-UHFFFAOYSA-N 1-n-[4-[4-(n-[4-(3-methyl-n-(3-methylphenyl)anilino)phenyl]anilino)phenyl]phenyl]-4-n,4-n-bis(3-methylphenyl)-1-n-phenylbenzene-1,4-diamine Chemical compound CC1=CC=CC(N(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=C(C)C=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)=C1 SPDPTFAJSFKAMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylhexyl acrylate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C=C GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AWXGSYPUMWKTBR-UHFFFAOYSA-N 4-carbazol-9-yl-n,n-bis(4-carbazol-9-ylphenyl)aniline Chemical compound C12=CC=CC=C2C2=CC=CC=C2N1C1=CC=C(N(C=2C=CC(=CC=2)N2C3=CC=CC=C3C3=CC=CC=C32)C=2C=CC(=CC=2)N2C3=CC=CC=C3C3=CC=CC=C32)C=C1 AWXGSYPUMWKTBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFUDMQLBKNMONU-UHFFFAOYSA-N 9-[4-(4-carbazol-9-ylphenyl)phenyl]carbazole Chemical compound C12=CC=CC=C2C2=CC=CC=C2N1C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N2C3=CC=CC=C3C3=CC=CC=C32)C=C1 VFUDMQLBKNMONU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920008347 Cellulose acetate propionate Polymers 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N Ethenol Chemical compound OC=C IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101000837344 Homo sapiens T-cell leukemia translocation-altered gene protein Proteins 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 102100028692 T-cell leukemia translocation-altered gene protein Human genes 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- YBCVMFKXIKNREZ-UHFFFAOYSA-N acoh acetic acid Chemical compound CC(O)=O.CC(O)=O YBCVMFKXIKNREZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 150000008378 aryl ethers Chemical class 0.000 description 1
- 238000003705 background correction Methods 0.000 description 1
- 239000001055 blue pigment Substances 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 1
- TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N caesium atom Chemical compound [Cs] TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000003508 chemical denaturation Methods 0.000 description 1
- 238000007385 chemical modification Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 101150037603 cst-1 gene Proteins 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dizinc;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].[Zn+2].[Zn+2] JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 230000005714 functional activity Effects 0.000 description 1
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001056 green pigment Substances 0.000 description 1
- 229910021482 group 13 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-naphthalen-1-ylanilino)phenyl]phenyl]-n-phenylnaphthalen-1-amine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C2=CC=CC=C2C=CC=1)C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=C1 IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000001054 red pigment Substances 0.000 description 1
- 238000000611 regression analysis Methods 0.000 description 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- ILJSQTXMGCGYMG-UHFFFAOYSA-N triacetic acid Chemical compound CC(=O)CC(=O)CC(O)=O ILJSQTXMGCGYMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/20—Sequence of activities consisting of a plurality of measurements, corrections, marking or sorting steps
- H01L22/24—Optical enhancement of defects or not directly visible states, e.g. selective electrolytic deposition, bubbles in liquids, light emission, colour change
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/07—Ink jet characterised by jet control
- B41J2/11—Ink jet characterised by jet control for ink spray
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
- G01N15/0606—Investigating concentration of particle suspensions by collecting particles on a support
- G01N15/0612—Optical scan of the deposits
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
- B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
- B41J29/393—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41M—PRINTING, DUPLICATING, MARKING, OR COPYING PROCESSES; COLOUR PRINTING
- B41M3/00—Printing processes to produce particular kinds of printed work, e.g. patterns
- B41M3/003—Printing processes to produce particular kinds of printed work, e.g. patterns on optical devices, e.g. lens elements; for the production of optical devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
- H10K50/115—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers comprising active inorganic nanostructures, e.g. luminescent quantum dots
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
- H10K50/125—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers specially adapted for multicolour light emission, e.g. for emitting white light
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/85—Arrangements for extracting light from the devices
- H10K50/854—Arrangements for extracting light from the devices comprising scattering means
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/1201—Manufacture or treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/38—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising colour filters or colour changing media [CCM]
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
- H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
- H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
- H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/70—Testing, e.g. accelerated lifetime tests
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
- G01N15/075—Investigating concentration of particle suspensions by optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N2015/1481—Optical analysis of particles within droplets
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2360/00—Aspects of the architecture of display systems
- G09G2360/16—Calculation or use of calculated indices related to luminance levels in display data
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
【課題】表示装置の製造装置、液滴測定方法、及び該表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】表示装置の製造装置、液滴測定方法、及び該表示装置の製造方法に係り、吐出部から、液滴を一平面に供給する段階と、液滴(DS)のイメージを撮影する段階と、液滴の平面形状(平面パターンの輪郭)を含む、一平面上の第１領域(AR1)における第１輝度を算出する段階と、第１輝度を基に、液滴に含まれた粒子の濃度を算出する段階と、を含む。【選択図】図７Ａ
Description
本発明は、装置及び方法に係り、さらに詳細には、表示装置の製造装置、液滴測定方法、及び該表示装置の製造方法に関する。
移動性に基づく電子機器が幅広く使用されている。移動用電子機器としては、モバイルフォンといった小型電子機器以外にも、最近になり、タブレットＰＣ（personal computer）が広く使用されている。
そのような移動型電子機器は、多様な機能をユーザに提供するために、すなわち、イメージまたは映像といった視覚情報をユーザに提供するために、表示装置を含む。最近、該表示装置が電子機器にて占める比率が増大しており、平らな状態から、所定の角度を有するように曲げることができる構造も開発されている。
ここで、表示装置は、多様な層を含みうるが、前述の多様な層が形成される際、多様な工程が使用されうる。特に、該表示装置の多様な層のうち、プリンティング工程を介して、少なくとも１層を積層したり、構造物を形成したりすることができる。前述のようなプリンティング工程においては、液滴のパターンをどのように形成するかということにより、該表示装置の解像度といった因子が決定されるので、事前に検査台に液滴を吐出させた後、基板に吐出させるというのが一般的である。
本発明が解決しようとする課題は、少なくとも１つの検査台のイメージを介して、液滴の輝度を測定することにより、液滴の内部に含まれている粒子の濃度を、正確に測定する液滴測定方法を提供することである。
本発明が解決しようとする課題は、また、前述のように正確に測定された粒子の濃度を反映させて、基板に、粒子の濃度が正確な液滴を吐出させるようにする表示装置の製造装置、及び該表示装置の製造方法を提供することである。
本発明の一実施形態は、吐出部から、液滴を一平面に供給する段階と、前記一平面上の前記液滴のイメージを撮影する段階と、前記液滴の平面形状(平面パターンの輪郭)を含む前記一平面の第１領域の第１輝度を算出する段階と、前記第１輝度を基に、前記液滴に含まれた粒子の濃度を算出する段階と、を含む表示装置の製造方法を開示する。
本実施形態において、前記一平面に配置された第２領域における第２輝度を算出する段階をさらに含むのでありうる。
本実施形態において、算出された前記粒子の濃度は、前記第１輝度を前記第２輝度で除した補正輝度を基に算出されうる。
本実施形態において、前記第２領域は、前記液滴が配置されていない領域でありうる。
本実施形態において、前記第２領域の平面形状(平面パターンの輪郭)は、前記第１領域の平面形状と同一でありうる。
本実施形態において、前記第２領域は、前記第１領域を含む前記一平面の全体の領域でありうる。
本実施形態において、前記第１領域は、前記一平面に配置された前記液滴の平面形状の輪郭を含むのでありうる。
本実施形態において、前記第１領域は、前記一平面に配置された前記液滴の平面形状の輪郭が内部に配置され、前記液滴の平面形状より大きい領域でありうる。
本実施形態において、前記第１領域の内部に配置された第３領域の範囲を規定し、前記第３領域を除いた前記第１領域の第１輝度を算出する段階をさらに含むのでありうる。
本実施形態において、前記第３領域は、反射が起こる領域でありうる。
本実施形態において、前記第１輝度は、前記第１領域の平均輝度でありうる。
本実施形態において、前記粒子の濃度により、前記吐出部の作動を制御する段階をさらに含むのでありうる。
本実施形態において、前記一平面は、テスト部材の一平面、またはディスプレイ基板の一平面でありうる。
本実施形態において、算出された粒子の濃度を基に、前記ディスプレイ基板上に、前記液滴を吐出させる段階をさらに含むのでありうる。
本実施形態において、前記液滴は量子点(quantum dots)を含むのでありうる。
本実施形態において、カラーフィルタを形成する段階をさらに含むのでありうる。
本実施形態において、前記ディスプレイ基板の同一部分に、互いに濃度が異なる前記液滴を吐出させる段階をさらに含むのでありうる。
本実施形態において、前記吐出部は、複数個のノズルを具備し、前記液滴の濃度は、前記複数個のそれぞれのノズルごとに算出することができる。
本実施形態において、前記複数個のノズルのうち、吐出する液滴に含まれた粒子の濃度が互いに異なる、互いに異なる少なくとも２個のノズルでもって、前記ディスプレイ基板の同一部分に、液滴を供給することができる。
本実施形態において、前記吐出部は、複数個が具備され、前記液滴の濃度は、前記複数個のそれぞれの吐出部ごとに算出することができる。
本実施形態において、前記複数個の吐出部のうち、吐出する液滴に含まれた粒子の濃度が互いに異なる、互いに異なる少なくとも２個の吐出部でもって、前記ディスプレイ基板の同一部分に、液滴を供給することができる。
本発明の他の実施形態は、複数個のノズルから、一平面に液滴を吐出し、液滴のイメージを撮影する段階と、撮影された前記イメージにおいて、液滴を含む任意の第１領域を設定する段階と、前記第１領域の第１輝度を算出する段階と、前記一平面における、または前記第１領域とは異なる一平面における任意の第２領域を設定し、前記第２領域の第２輝度を算出する段階と、前記第１輝度及び前記第２輝度でもって、補正輝度を算出し、前記補正輝度を基に、前記各ノズルから吐出される液滴に含まれた粒子の濃度を算出する段階と、互いに異なる箇所に配置されて同一の色を発光する、第１発光領域と第２発光領域とに対応する、ディスプレイ基板の第１部分と第２部分とに、それぞれ前記液滴を複数回供給し、前記第１部分に第１層を形成し、前記第２部分に第２層を形成する段階と、前記第１層と前記第２層とを形成する際、前記第１層に含まれた粒子の濃度と、前記第２層に含まれた粒子の濃度とが均一になるように、前記複数個のそれぞれのノズルから吐出される液滴の前記補正輝度を基に、前記複数個のノズルのうち、前記第１発光領域または前記第２発光領域に、前記液滴を供給するノズルを選択する表示装置の製造方法を開示する。
本実施形態において、前記第１領域の内部に配置され、反射が起こる第３領域を除き、前記第１領域の第１輝度を算出する段階をさらに含むのでありうる。
本実施形態において、前記液滴は、量子点を含むのでありうる。
本実施形態において、前記粒子は、散乱体を含むのでありうる。
本実施形態において、前記第１領域は、前記液滴の平面形状が内部に配置されるのであって、前記液滴の平面形状と同一であるか、あるいは前記液滴の平面形状より大きい領域でありうる。
本実施形態において、前記補正輝度は、前記第１輝度を前記第２輝度で除して算出することができる。
本発明のさらに他の実施形態は、吐出された液滴が撃ち込まれて付着するテスト部材または基板が配置された検査台と、前記検査台から離隔されるように配置され、前記基板または前記テスト部材に配置された前記液滴のイメージを撮影する測定部と、前記測定部で撮影された前記液滴のイメージを基に、前記液滴を含む第１領域の第１輝度を算出し、算出された前記第１領域の第１輝度を基に、前記液滴内の粒子濃度を算出する制御部と、を含む表示装置の製造装置を開示する。
本実施形態において、前記制御部は、前記第１輝度を、前記テスト部材の第２領域の第２輝度、または前記基板の第２領域の第２輝度で除した補正輝度を算出し、前記補正輝度を基に算出された前記粒子の濃度を算出することができる。
本実施形態において、前記液滴を吐出させる吐出部をさらに含むのでありうる。
本実施形態において、前記制御部は、算出された前記粒子の濃度により、前記吐出部の作動を制御することができる。
本実施形態において、前記イメージにおける前記液滴の平面形状は、前記第１領域内部に配置されうる。
本実施形態において、前記イメージにおける前記液滴の平面形状は、前記第１領域の平面形状と同一でありうる。
本実施形態において、前記制御部は、前記第１領域内部に配置された第３領域を除き、前記第１領域の輝度を算出することができる。
本実施形態において、前記第３領域は、前記測定部から放出された光が前記液滴に反射され、光の反射が生じる領域でありうる。
本発明のさらに他の実施形態は、一平面に配置された液滴の平面形状を含む第１領域の第１輝度を測定する段階と、前記第１輝度を基に、前記液滴に含まれた粒子の濃度を算出する段階と、を含む液滴測定方法を開示する。
本実施形態において、前記一平面に配置された第２領域の第２輝度を算出する段階をさらに含むのでありうる。
本実施形態において、前記第１輝度を前記第２輝度で除した補正輝度を算出し、前記補正輝度を基に算出された前記粒子の濃度を算出することができる。
本実施形態において、前記イメージにおける前記液滴の平面形状は、前記第１領域内部に配置されうる。
本実施形態において、前記イメージにおける前記液滴の平面形状は、前記第１領域の平面形状と同一でありうる。
本実施形態において、前記第１領域内部に配置された第３領域を除き、前記第１領域の輝度を算出することができる。
前述のところ以外の他の側面、特徴、利点は、以下の図面、特許請求の範囲、及び発明の詳細な説明から明確になるであろう。
そのような一般的であり、具体的な側面は、システム、方法、コンピュータプログラム、またはあるシステム、方法、コンピュータプログラムの組み合わせを使用して実施されうる。
前述のように、本発明の一実施形態によれば、液滴の輝度を基に、精密に液滴内部の粒子濃度を測定することが可能である。また、本発明の一実施形態によれば、リアルタイムで吐出部から吐出される液滴に含まれた粒子の濃度を測定することが可能である。
また、本発明の一実施形態によれば、表示装置の製造装置の精度が向上しうる。そして、表示装置の製造装置の効率が向上しうる。
本発明は、多様な変換を加えることができ、さまざまな実施形態を有しうるが、特定実施形態を図面に例示し、詳細な説明によって詳細に説明する。本発明の効果、特徴、及びそれらを達成する方法は、図面と共に詳細に後述されている実施形態を参照すれば、明確になるであろう。しかしながら、本発明は、以下で開示される実施形態に限定されるものではなく、多様な形態にも具現される。
以下、添付された図面を参照し、本発明の実施形態について詳細に説明するが、図面を参照して説明するとき、同一であるか、あるいは対応する構成要素は、同一図面符号を付し、それに係わる重複説明は、省略する。
以下の実施形態において、第１、第２のような用語は、限定的な意味ではなく、１つの構成要素を他の構成要素と区別する目的に使用されている。
以下の実施形態において、単数の表現は、文脈上明白に異なって意味しない限り、複数の表現を含む。
以下の実施形態において、「含む」または「有する」というような用語は、明細書上に記載された特徴または構成要素が存在するということを意味するものであり、１以上の他の特徴または構成要素が付加される可能性を事前に排除するものではない。
以下の実施形態において、膜、領域、構成要素のような部分が、他の部分の「上」または「上部」にあるとするとき、他の部分の真上にある場合だけではなく、その中間に、さらに他の膜、領域、構成要素などが介在されている場合も含む。
図面においては、説明の便宜のために、構成要素は、その大きさが誇張されてもあり、縮小されてもいる。例えば、図面に示された各構成の大きさ及び厚みは、説明の便宜のために任意に示されているので、本発明は、必ずしも図示されているところに限定されるものではない。
以下の実施形態において、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸は、直交座標系上の三軸に限定されるものではなく、それを含む広い意味にも解釈される。例えば、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸は、互いに直交しもするが、互いに直交せずに、互いに異なる方向を称しうる。
ある実施形態が異なって具現可能である場合、特定の工程順序は、説明される順序と異なるようにも遂行される。例えば、連続して説明される２つの工程が、実質的に同時にも遂行され、説明される順序と反対順序にも進められる。
図１は、本発明の一実施形態による表示装置を示す平面図である。
図１を参照すれば、表示装置１は、イメージを具現する表示領域ＤＡと、イメージを具現しない、例えば、非表示領域ＮＤＡ（非表示領域ＮＤＡは、表示領域ＤＡの周辺に配置されるか、あるいは表示領域ＤＡを取り囲むようにも配置される）と、を含む。表示装置１は、表示領域ＤＡに配置された複数の画素ＰＸから放出される光を利用し、イメージを提供することができる。各画素ＰＸは、それぞれ赤色、緑色、青色または白色の光を放出することができる。ここで、図１においては、画素ＰＸ１個であるようにも図示されているが、それに限定されるものではなく、複数の画素ＰＸが表示領域ＤＡに互いに離隔されるように配置されうる。
表示装置１は、画素を表示する装置であり、ゲーム機、マルチメディア機器、超小型ＰＣ（personal computer）のように、携帯が可能なモバイル機器でありうる。後述する表示装置１は、液晶表示装置（liquid crystal display）、電気泳動表示装置（electrophoretic display）、有機発光表示装置（organic light emitting display）、無機発光表示装置（inorganic light emitting display）、電界放出表示装置（field emission display）、表面伝導電子放出表示装置（surface-conduction electron-emitter display）、量子点表示装置（quantum dot display）、プラズマ表示装置（plasma display）、陰極線管表示装置（cathode ray display）などを含むものでありうる。以下においては、本発明の一実施形態による表示装置の製造装置として製造された表示装置１として、有機発光表示装置を例にして説明するが、本発明の実施形態は、前述のような多様な方式の表示装置の製造に使用されうる。
画素ＰＸは、スキャン線ＳＬ及びデータ線ＤＬｎにもそれぞれ電気的に連結されうる。スキャン線ＳＬは、ｘ方向に延長され、データ線ＤＬｎは、ｙ方向に延長されうる。
図２は、図１に図示された表示装置の一部を示す断面図である。
図２を参照すれば、基板１００上に、表示層ＤＬ、薄膜封止層５００が配置されうる。表示層ＤＬは、画素回路層ＰＣＬ及び表示要素層ＤＥＬを含むものでありうる。
基板１００は、ガラスや、ポリエーテルスルホン（polyethersulfone）、ポリアリレート（polyarylate）、ポリエーテルイミド（polyetherimide）、ポリエチレンナフタレート（polyethylene naphthalate）、ポリエチレンテレフタレート（polyethylene terephthalate）、ポリフェニレンスルフィド（polyphenylene sulfide）、ポリイミド（polyimide）、ポリカーボネート（polycarbonate）、セルローストリアセテート（cellulose triacetate）、セルロースアセテートプロピオネート（cellulose acetate propionate）のような高分子樹脂を含むものでありうる。
表示層ＤＬと基板１００との間には、バリア層（図示せず）をさらに含むものでありうる。該バリア層は、外部異物の浸透を防止するバリア層であり、シリコン窒化物（ＳｉＮｘ、ｘ＞０）、シリコン酸化物（ＳｉＯｘ、ｘ＞０）のような無機物を含む単層または多層でありうる。
基板１００上には、画素回路層ＰＣＬが配置される。図２は、画素回路層ＰＣＬが、薄膜トランジスタＴＦＴ、並びに薄膜トランジスタＴＦＴの構成要素の下または／及び上に配置されるバッファ層１０１、第１ゲート絶縁層１０２、第２ゲート絶縁層１０３、層間絶縁層１０５及び平坦化層１０７を含むように図示されている。
バッファ層１０１は、シリコン窒化物、シリコン酸窒化物及びシリコン酸化物のような無機絶縁物を含みうるのであり、前述の無機絶縁物を含む単層または多層でありうる。
薄膜トランジスタＴＦＴは、半導体層Ａ１を含み、半導体層Ａ１は、ポリシリコンを含むものでありうる。または、半導体層Ａ１は、非晶質（amorphous）シリコンを含むか、酸化物半導体を含むか、あるいは有機半導体などを含むものでありうる。半導体層Ａ１は、チャネル領域、及びチャネル領域の両側にそれぞれ配置されたドレイン領域及びソース領域を含むものでありうる。
ゲート電極Ｇ１は、チャネル領域と重畳しうる。ゲート電極Ｇ１は、低抵抗金属物質を含むものでありうる。ゲート電極Ｇ１は、モリブデン（Ｍｏ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）などを含む導電物質を含みうるのであり、前述の材料を含む多層（複数層からなる積層）または単層（単一層）に形成されうる。
半導体層Ａ１とゲート電極Ｇ１との間の第１ゲート絶縁層１０２は、シリコン酸化物（ＳｉＯ２）、シリコン窒化物（ＳｉＮｘ）、シリコン酸窒化物（ＳｉＯＮ）、アルミニウム酸化物（Ａｌ２Ｏ３）、チタン酸化物（ＴｉＯ２）、タンタル酸化物（Ｔａ２Ｏ５）、ハフニウム酸化物（ＨｆＯ２）または亜鉛酸化物（ＺｎＯ２）のような無機絶縁物を含むものでありうる。
第２ゲート絶縁層１０３は、前記ゲート電極Ｇ１を覆うように具備されうる。第２ゲート絶縁層１０３は、前記第１ゲート絶縁層１０２と類似し、シリコン酸化物（ＳｉＯ２）、シリコン窒化物（ＳｉＮｘ）、シリコン酸窒化物（ＳｉＯＮ）、アルミニウム酸化物（Ａｌ２Ｏ３）、チタン酸化物（ＴｉＯ２）、タンタル酸化物（Ｔａ２Ｏ５）、ハフニウム酸化物（ＨｆＯ２）または亜鉛酸化物（ＺｎＯ２）のような無機絶縁物を含むものでありうる。
第２ゲート絶縁層１０３上部には、ストレージキャパシタＣｓｔの上部電極Ｃｓｔ２が配置されうる。上部電極Ｃｓｔ２は、その下のゲート電極Ｇ１と重畳しうる。このとき、第２ゲート絶縁層１０３を挟んで重なり合うゲート電極Ｇ１と上部電極Ｃｓｔ２とは、ストレージキャパシタＣｓｔを形成することができる。すなわち、ゲート電極Ｇ１は、ストレージキャパシタＣｓｔの下部電極Ｃｓｔ１として機能することができる。
そのように、ストレージキャパシタＣｓｔと薄膜トランジスタＴＦＴとが重畳されても形成される。一部実施形態において、ストレージキャパシタＣｓｔは、薄膜トランジスタＴＦＴと重畳されないように形成されうる。
上部電極Ｃｓｔ２は、アルミニウム（Ａｌ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、マグネシウム（Ｍｇ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、ネオジム（Ｎｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、クロム（Ｃｒ）、カルシウム（Ｃａ）、モリブデン（Ｍｏ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）及び／または銅（Ｃｕ）を含みうるのであり、前述の物質の単層または多層でありうる。
層間絶縁層１０５は、前記上部電極Ｃｓｔ２を覆うことができる。層間絶縁層１０５は、シリコン酸化物（ＳｉＯ２）、シリコン窒化物（ＳｉＮｘ）、シリコン酸窒化物（ＳｉＯＮ）、アルミニウム酸化物（Ａｌ２Ｏ３）、チタン酸化物（ＴｉＯ２）、タンタル酸化物（Ｔａ２Ｏ５）、ハフニウム酸化物（ＨｆＯ２）または亜鉛酸化物（ＺｎＯ２）などを含むものでありうる。層間絶縁層１０５は、前述の無機絶縁物を含む単層または多層でありうる。
ドレイン電極Ｄ１及びソース電極Ｓ１は、それぞれ層間絶縁層１０５上に位置しうる。ドレイン電極Ｄ１及びソース電極Ｓ１は、伝導性が良好な材料を含むものでありうる。ドレイン電極Ｄ１及びソース電極Ｓ１は、モリブデン（Ｍｏ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）などを含む導電物質を含みうるのであり、前述の材料を含む多層または単層に形成される。一実施形態において、ドレイン電極Ｄ１及びソース電極Ｓ１は、Ｔｉ／Ａｌ／Ｔｉの多層構造を有しうる。
平坦化層１０７は、有機絶縁層を含むものでありうる。平坦化層１０７は、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）やポリスチレン（ＰＳ）のような一般汎用高分子、フェノール系基を有する高分子誘導体、アクリル系高分子、イミド系高分子、アリールエーテル系高分子、アミド系高分子、フッ素系高分子、ｐ－キシレン系高分子、ビニルアルコール系高分子、及びそれらのブレンドのような有機絶縁物を含むものでありうる。
前述の構造の画素回路層ＰＣＬ上には、表示要素層ＤＥＬが配置される。表示要素層ＤＥＬは、有機発光素子３００を含むものの、有機発光素子３００の画素電極３１０は、平坦化層１０７のコンタクトホールを介し、薄膜トランジスタＴＦＴと電気的に連結されうる。
画素ＰＸは、有機発光素子３００及び薄膜トランジスタＴＦＴを含むものでありうる。各画素ＰＸは、有機発光素子３００を介して、例えば、赤色光、緑色光または青色光を放出するか、あるいは赤色、緑色、青色または白色の光を放出することができる。
画素電極３１０は、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、亜鉛酸化物（ＺｎＯ）、インジウム酸化物（Ｉｎ２Ｏ３）、インジウムガリウム酸化物（ＩＧＯ）またはアルミニウム亜鉛酸化物（ＡＺＯ）といった導電性酸化物を含むものでありうる。他の実施形態において、画素電極３１０は、銀（Ａｇ）、マグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、ネオジム（Ｎｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、クロム（Ｃｒ）、またはそれらの化合物を含む反射漠を含むものでありうる。他の実施形態において、画素電極３１０は、前述の反射漠の上下に、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯまたはＩｎ２Ｏ３によって形成された膜をさらに含むものでありうる。
画素電極３１０上には、画素電極３１０の中央部を露出させる開口部１１２ＯＰを有する画素区画膜１１２が配置される。画素区画膜１１２は、有機絶縁物及び／または無機絶縁物を含むものでありうる。開口部１１２ＯＰは、有機発光素子３００から放出される光の発光領域（以下、発光領域ＥＡともする）を定義することができる。例えば、開口部１１２ＯＰの幅が、発光領域ＥＡの幅に該当しうる。
画素区画膜１１２の開口部１１２ＯＰには、有機発光層または量子点発光層を含む中間層３２０が配置されうる。中間層３２０は、所定の色相光を放出する高分子有機物または低分子有機物を含むものでありうる。そのような中間層３２０は、本発明の実施形態である表示装置の製造装置でもって、液滴を吐出して形成されうる。
図示されていないが、中間層３２０の有機発光層の下と上とには、それぞれ第１機能層及び第２機能層が配置されうる。該第１機能層は、例えば、ホール輸送層（ＨＴＬ：hole transport layer）を含むか、あるいはホール輸送層及びホール注入層（ＨＩＬ：hole injection layer）を含むものでありうる。第２機能層は、中間層３２０上に配置される構成要素であり、任意選択的（optional）である。該第２機能層は、電子輸送層（ＥＴＬ：electron transport layer）及び／または電子注入層（ＥＩＬ：electron injection layer）を含むものでありうる。該第１機能層及び／または該第２機能層は、後述する共通電極３３０と同様に、基板１００を全体的にカバーするように形成される共通層でありうる。
中間層３２０が量子点発光層を含む場合、該量子点発光層は、コアとシェルとの構造を有する量子点(量子ドット)を含むものでありうる。該量子点のコアは、II－VI族化合物、III－Ｖ族化合物、IV－VI族化合物、IV族元素、IV族化合物、及びそれらの組み合わせのうちから選択される。
II－VI族化合物は、ＣｄＳｅ、ＣｄＴｅ、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＺｎＴｅ、ＺｎＯ、ＨｇＳ、ＨｇＳｅ、ＨｇＴｅ、ＭｇＳｅ、ＭｇＳ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される二元素化合物；ＡｇＩｎＳ、ＣｕＩｎＳ、ＣｄＳｅＳ、ＣｄＳｅＴｅ、ＣｄＳＴｅ、ＺｎＳｅＳ、ＺｎＳｅＴｅ、ＺｎＳＴｅ、ＨｇＳｅＳ、ＨｇＳｅＴｅ、ＨｇＳＴｅ、ＣｄＺｎＳ、ＣｄＺｎＳｅ、ＣｄＺｎＴｅ、ＣｄＨｇＳ、ＣｄＨｇＳｅ、ＣｄＨｇＴｅ、ＨｇＺｎＳ、ＨｇＺｎＳｅ、ＨｇＺｎＴｅ、ＭｇＺｎＳｅ、ＭｇＺｎＳ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される三元素化合物；並びにＨｇＺｎＴｅＳ、ＣｄＺｎＳｅＳ、ＣｄＺｎＳｅＴｅ、ＣｄＺｎＳＴｅ、ＣｄＨｇＳｅＳ、ＣｄＨｇＳｅＴｅ、ＣｄＨｇＳＴｅ、ＨｇＺｎＳｅＳ、ＨｇＺｎＳｅＴｅ、ＨｇＺｎＳＴｅ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される四元素化合物からなる群のうちから選択されうる。
III－Ｖ族化合物は、ＧａＮ、ＧａＰ、ＧａＡｓ、ＧａＳｂ、ＡｌＮ、ＡｌＰ、ＡｌＡｓ、ＡｌＳｂ、ＩｎＮ、ＩｎＰ、ＩｎＡｓ、ＩｎＳｂ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される二元素化合物；ＧａＮＰ、ＧａＮＡｓ、ＧａＮＳｂ、ＧａＰＡｓ、ＧａＰＳｂ、ＡｌＮＰ、ＡｌＮＡｓ、ＡｌＮＳｂ、ＡｌＰＡｓ、ＡｌＰＳｂ、ＩｎＧａＰ、ＩｎＮＰ、ＩｎＮＡｓ、ＩｎＮＳｂ、ＩｎＰＡｓ、ＩｎＰＳｂ、ＧａＡｌＮＰ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される三元素化合物；並びにＧａＡｌＮＡｓ、ＧａＡｌＮＳｂ、ＧａＡｌＰＡｓ、ＧａＡｌＰＳｂ、ＧａＩｎＮＰ、ＧａＩｎＮＡｓ、ＧａＩｎＮＳｂ、ＧａＩｎＰＡｓ、ＧａＩｎＰＳｂ、ＩｎＡｌＮＰ、ＩｎＡｌＮＡｓ、ＩｎＡｌＮＳｂ、ＩｎＡｌＰＡｓ、ＩｎＡｌＰＳｂ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される四元素化合物からなる群のうちから選択されうる。
IV－VI族化合物は、ＳｎＳ、ＳｎＳｅ、ＳｎＴｅ、ＰｂＳ、ＰｂＳｅ、ＰｂＴｅ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される二元素化合物；ＳｎＳｅＳ、ＳｎＳｅＴｅ、ＳｎＳＴｅ、ＰｂＳｅＳ、ＰｂＳｅＴｅ、ＰｂＳＴｅ、ＳｎＰｂＳ、ＳｎＰｂＳｅ、ＳｎＰｂＴｅ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される三元素化合物；並びにＳｎＰｂＳＳｅ、ＳｎＰｂＳｅＴｅ、ＳｎＰｂＳＴｅ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される四元素化合物からなる群のうちから選択されうる。IV族元素ではＳｉ、Ｇｅ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択されうる。IV族化合物としては、ＳｉＣ、ＳｉＧｅ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される二元素化合物でありうる。
このとき、該二元素化合物、該三元素化合物または該四元素化合物は、均一濃度で粒子内に存在するか、あるいは濃度分布が部分的に異なる状態に分けられ、同一粒子内に存在するものでありうる。また、１つの量子点が他の量子点を取り囲むコア／シェル構造を有しうる。コアとシェルとの界面は、シェルに存在する元素の濃度が中心に行くほど低くなる濃度勾配（gradient）を有しうる。
一部実施形態において、量子点は、前述のナノ結晶を含むコア、及び前記コアを取り囲むシェルを含むコア・シェル構造を有しうる。前記量子点のシェルは、前記コアの化学的変性を防止し、半導体特性を維持するための保護層の役目、及び／または量子点に電気泳動特性を付与するためのチャージング層（charging layer）の役割を行うことができる。前記シェルは、単層または多層でありうる。該コアと該シェルとの界面は、シェルに存在する元素の濃度が中心に行くほど低くなる濃度勾配を有しうる。前記量子点のシェルの例としては、金属または非金属の酸化物、半導体化合物、またはそれらの組み合わせなどを挙げることができる。
例えば、前記金属または前記非金属の酸化物は、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＺｎＯ、ＭｎＯ、Ｍｎ２Ｏ３、Ｍｎ３Ｏ４、ＣｕＯ、ＦｅＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｆｅ３Ｏ４、ＣｏＯ、Ｃｏ３Ｏ４、ＮｉＯのような二元素化合物、またはＭｇＡｌ２Ｏ４、ＣｏＦｅ２Ｏ４、ＮｉＦｅ２Ｏ４、ＣｏＭｎ２Ｏ４などの三元素化合物を例示することができるが、本発明は、それらに制限されるものではない。
また、前記半導体化合物は、ＣｄＳ、ＣｄＳｅ、ＣｄＴｅ、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＺｎＴｅ、ＺｎＳｅＳ、ＺｎＴｅＳ、ＧａＡｓ、ＧａＰ、ＧａＳｂ、ＨｇＳ、ＨｇＳｅ、ＨｇＴｅ、ＩｎＡｓ、ＩｎＰ、ＩｎＧａＰ、ＩｎＳｂ、ＡｌＡｓ、ＡｌＰ、ＡｌＳｂなどを例示することができるが、本発明は、それらに制限されるものではない。
量子点は、約４５ｎｍ以下、望ましくは、約４０ｎｍ以下、さらに望ましくは、約３０ｎｍ以下である、発光波長スペクトルの半値幅（ＦＷＨＭ：full width at half maximum）を有し、その範囲において、色純度や色再現性を向上させることができる。また、そのような量子点を介して発光される光は、全方向に放出されるが、光視野角が向上しうる。
また、量子点の形態は、当分野で一般的に使用する形態のものに特別に限定されるものではないが、さらに具体的には、球形、ピラミッド型、多重枝型（multi-arm）または立方体（cubic）のナノ粒子、ナノチューブ、ナノワイヤ、ナノファイバー、ナノ板状粒子といった形態のものを使用することができる。
量子点は、粒子サイズによって放出される光の色相を調節することができ、それにより、該量子点は、青色、赤色、緑色といった多様な発光色相を有しうる。
前述のような量子点発光層の上面には、図面に図示されていないが、正孔層が配置されうる。そのような正孔層は、正孔輸送層及び／または正孔注入層を含むものでありうる。そのような場合、該正孔層は、有機物または無機物を含むものでありうる。一部実施形態において、該正孔層は、ＣＢＰ、α－ＮＰＤ、ＴＣＴＡ及びＤＮＴＰＤのうちのいずれか一つでありうる。他の実施形態として、正孔層は、ＮｉＯまたはＭｏＯ３でありうる。
また、前述のような量子点発光層の上面と、画素電極３１０との間には、無機電子層が配置されることも可能である。そのような無機電子層は、金属酸化物を含むものでありうるが、ここで、該金属はアルカリ土類金属、遷移金属、１３族金属及び／または１４族金属を含むものでありうる。例えば、前述の金属酸化物における金属は、Ｚｎ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｓｎ、Ｗ、Ｔａ、Ｎｉ、Ｍｏ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｙ、Ａｌ、またはそれらの任意の組み合わせを含むものでありうる。
前述のような量子点発光層は、粒子を含むものでありうる。例えば、該粒子は、散乱体を含むものでありうる。ここで、該散乱体は、ＴｉＯ２を含むものでありうる。
共通電極３３０は、仕事関数が小さい導電性物質から形成されうる。例えば、共通電極３３０は、銀（Ａｇ）、マグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、ネオジム（Ｎｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、クロム（Ｃｒ）、リチウム（Ｌｉ）、カルシウム（Ｃａ）、またはそれらの合金などを含む（半）透明層を含むものでありうる。または、共通電極３３０は、前述の物質を含む（半）透明層上に、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯまたはＩｎ２Ｏ３のような層をさらに含むものでありうる。
一実施形態において、薄膜封止層５００は、少なくとも１つの層の無機封止層、及び少なくとも１つの層の有機封止層を含み、一実施形態として、図２は、薄膜封止層５００が順次に積層された第１無機封止層５１０、有機封止層５２０及び第２無機封止層５３０を含むところを図示する。
第１無機封止層５１０及び第２無機封止層５３０は、アルミニウム酸化物、チタン酸化物、タンタル酸化物、ハフニウム酸化物、亜鉛酸化物、シリコン酸化物、シリコン窒化物、シリコン酸窒化物のうち１以上の無機物を含むものでありうる。有機封止層５２０は、ポリマー系の物質を含むものでありうる。該ポリマー系の素材としては、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリイミド及びポリエチレンなどを含むものでありうる。一実施形態において、有機封止層５２０は、アクリレートを含むものでありうる。
他の実施形態において、薄膜封止層５００は、基板１００、及び透明な部材である上部基板８００（図３）が密封部材によって結合され、基板１００と上部基板８００との間の内部空間が密封される構造でありうる。このとき、該内部空間には、吸湿剤や充填材などが位置しうる。該密封部材は、シーラントでありうるのであり、他の実施形態において、密封部材は、レーザによって硬化される物質によって構成されうる。例えば、該密封部材は、フリット（frit）でありうる。具体的には、該密封部材は、有機シーラントであるウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、または無機シーラントであるシリコンなどから形成されうる。該ウレタン系樹脂としては、例えば、ウレタンアクリレートなどを使用することができる。該アクリル系樹脂では、例えば、ブチルアクリレート、エチルヘクシルアクレートなどを使用することができる。一方、該密封部材は、熱によって硬化される物質によって構成されうる。
薄膜封止層５００上には、タッチ電極を含むタッチ電極層（図示せず）が配置され、該タッチ電極層上には、光学的機能層（図示せず）が配置されうる。該タッチ電極層は、外部の入力、例えば、タッチイベントによる座標情報を獲得することができる。該光学的機能層は、外部から表示装置１に向けて入射する光（外部光）の反射率を低下させることができ、かつ／あるいは表示装置１から放出される光の色純度を向上させることができる。一実施形態において、該光学的機能層は、位相遅延子（retarder）及び偏光子（polarizer）を含むものでありうる。該位相遅延子は、フィルムタイプまたは液晶コーティングタイプでもあり、λ／２位相遅延子及び／またはλ／４位相遅延子を含むものでありうる。該偏光子も、フィルムタイプまたは液晶コーティングタイプでありうる。該フィルムタイプは、延伸型合成樹脂フィルムを含み、該液晶コーティングタイプは、所定の配列に配列された液晶を含むものでありうる。該位相遅延子及び該偏光子は、保護フィルムをさらに含むものでありうる。
他の実施形態において、光学的機能層は、ブラックマットリックスとカラーフィルタとを含むものでありうる。該カラーフィルタは、表示装置１の画素それぞれから放出される光の色相を考慮しても配列される。該カラーフィルタそれぞれは、赤色、緑色または青色の顔料や染料を含むものでありうる。または、該カラーフィルタそれぞれは、前述の顔料や染料以外に、量子点をさらに含むものでありうる。または、該カラーフィルタのうち一部は、前述の顔料や染料を含まず、酸化チタンのような粒子（例えば、散乱体）を含むものでありうる。前述のようなカラーフィルタは、本発明の実施形態である表示装置の製造装置でもって、液滴を吐出して形成されうる。
他の実施形態において、光学的機能層は、相殺干渉構造物を含むものでありうる。該相殺干渉構造物は、互いに異なる層の上に配置された第１反射層と第２反射層とを含むものでありうる。該第１反射層及び該第２反射層でそれぞれ反射された第１反射光と第２反射光は、相殺干渉され、それにより、外部光反射率が低下されうる。
前記タッチ電極層と前記光学的機能層との間には、接着部材が配置されうる。前記接着部材には、当技術分野に知られた一般的なものを、制限なしに採用することができる。前記接着部材は、感圧接着剤（ＰＳＡ：pressure sensitive adhesive）でありうる。
図３は、本発明の他の実施形態による表示装置の一部を示す断面図である。
図３を参照すれば、表示装置（図示せず）は、表示領域ＤＡと非表示領域（図示せず）とを含むものでありうる。このとき、前記非表示領域は、前述の図１及び図２に図示されたところと同一であるか、あるいは類似しているので、表示領域ＤＡにおいて、異なる部分について詳細に説明する。
前記表示装置は、バッファ層１０１と追加バッファ層１０２’とを含むものでありうる。このとき、バッファ層１０１と追加バッファ層１０２’は、シリコン酸化物（ＳｉＯ２）、シリコン窒化物（ＳｉＮｘ）、シリコン酸窒化物（ＳｉＯＮ）、アルミニウム酸化物（Ａｌ２Ｏ３）、チタン酸化物（ＴｉＯ２）、タンタル酸化物（Ｔａ２Ｏ５）、ハフニウム酸化物（ＨｆＯ２）または亜鉛酸化物（ＺｎＯ２）などを含むものでありうる。
バッファ層１０１と追加バッファ層１０２’との間には、薄膜トランジスタＴ１に対応するように、バイアス電極ＢＳＭが配置されうる。すなわち、バイアス電極ＢＳＭは、薄膜トランジスタＴ１の半導体層Ａ１と重畳されるように形成されうる。バイアス電極ＢＳＭには、電圧が印加されうる。バイアス電極ＢＳＭは、外部光が、半導体層Ａ１に逹することを防止する役割を行うことができる。それにより、薄膜トランジスタＴ１の特性が安定化されうる。なお、バイアス電極ＢＳＭは、場合によっては、省略されうる。
薄膜トランジスタＴ１は、半導体層Ａ１、ゲート電極Ｇ１、ソース電極Ｓ１、ドレイン電極Ｄ１を含む。このとき、半導体層Ａ１は、非晶質シリコンを含むか、あるいはポリシリコンを含むものでありうる。他の実施形態において、半導体層Ａ１は、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、スズ（Ｓｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、バナジウム（Ｖ）、ハフニウム（Ｈｆ）、カドミウム（Ｃｄ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、セシウム（Ｃｓ）、セリウム（Ｃｅ）及び亜鉛（Ｚｎ）を含む群のうちから選択された少なくとも１つ以上の物質の酸化物を含むものでありうる。一部実施形態において、半導体層Ａ１は、Ｚｎ酸化物系物質であり、Ｚｎ酸化物、Ｉｎ－Ｚｎ酸化物、Ｇａ－Ｉｎ－Ｚｎ酸化物などによっても形成される。さらに他の実施形態において、半導体層Ａ１は、ＺｎＯに、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、スズ（Ｓｎ）のような金属が含有されたＩＧＺＯ（Ｉｎ－Ｇａ－Ｚｎ－Ｏ）半導体、ＩＴＺＯ（Ｉｎ－Ｓｎ－Ｚｎ－Ｏ）半導体またはＩＧＴＺＯ（Ｉｎ－Ｇａ－Ｓｎ－Ｚｎ－Ｏ）半導体でありうる。半導体層Ａ１は、第１チャネル領域と、前記チャネル領域の両側に配置されたソース領域及びドレイン領域とを含むものでありうる。また、半導体層Ａ１は、単層または多層に構成されうる。
前述のような半導体層Ａ１上には、第１ゲート絶縁層１０３’、ゲート電極Ｇ１、第２ゲート絶縁層１０５’、層間絶縁層１０７’、第１平坦化層１０９、及び第２平坦化層１１１が、順次に積層されうる。ここで、第１ゲート絶縁層１０３’、第２ゲート絶縁層１０５’及び層間絶縁層１０７’は、図２で説明した、第１ゲート絶縁層１０２、第２ゲート絶縁層１０３及び層間絶縁層１０５と同一であり、第１平坦化層１０９と第２平坦化層１１１は、図２で説明した平坦化層１０７と同一でありうる。
半導体層Ａ１上には、半導体層Ａ１と、少なくとも一部重畳されるように、第１ゲート絶縁層１０３上にゲート電極Ｇ１が配置される。ゲート電極Ｇ１は、モリブデン（Ｍｏ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）などを含み、単層または多層に形成されうる。ゲート電極Ｇ１と同一層に、ストレージキャパシタＣｓｔの下部電極（図示せず）が配置されうる。前記下部電極は、ゲート電極Ｇ１と同一物質によって形成されうる。
また、第２平坦化層１１１上には、有機発光素子３００が配置されうる。そのような有機発光素子３００は、複数の画素Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３を形成することができる。このとき、各画素Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３に配置された有機発光素子３００の中間層３２０は、共通して具備されうる。従って、各画素Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３に含まれた有機発光素子３００は、同一色相の光を放出することができる。例えば、中間層３２０は、青色の光を放出する蛍光物質またはリン光物質を含む有機発光層を含むものでありうる。前記有機発光層の下及び上には、ホール輸送層（ＨＴＬ）、ホール注入層（ＨＩＬ）、電子輸送層（ＥＴＬ）及び電子注入層（ＥＩＬ）のような機能層が選択的にさらに配置されうる。
前述のような有機発光素子３００の画素電極３１０上には、画素区画膜１１２が配置されうる。また、各画素Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３及び画素区画膜１１２の上には、中間層３２０と共通電極３３０とが表示領域ＤＡ全面にも配置される。
前述のような有機発光素子３００上には、薄膜封止層５００が配置されうる。このとき、薄膜封止層５００は、第１無機封止層５１０、有機封止層５２０及び第２無機封止層５３０を含むものでありうる。
薄膜封止層５００の上部には、基板１００と対向するように配置される光学的機能部材（図示せず）が配置されうる。このとき、前記光学的機能部材は、基板１００と対向するように配置された上部基板８００、上部基板８００上に配置された色変換層ＱＤ１，ＱＤ２、透過層ＴＷ及び光遮断パターン８１０を含むものでありうる。このとき、各色変換層ＱＤ１，ＱＤ２と透過層ＴＷは、１つの発光領域を形成することができる。
色変換層ＱＤ１，ＱＤ２は、有機発光素子３００から出射される光の色を鮮明にさせるか、あるいは色を他の色に変換させる層でありうる。色変換層ＱＤ１，ＱＤ２は、量子点を含み、量子変換層によっても構成される。阿木量子点は、直径が２ないし１０ｎｍに過ぎない半導体粒子であり、特異な電気的性質、光学的性質を有する粒子であり、該量子点は、光に露出されれば、粒子の大きさ及び物質の種類などにより、特定周波数の光を放出することができる。例えば、該量子点は、粒子の大きさ及び／または物質の種類により、光を受ければ、赤色、緑色及び青色の光を発光する。
量子点のコアは、II－VI族化合物、III－Ｖ族化合物、IV－VI族化合物、IV族元素、IV族化合物、及びそれらの組み合わせのうちから選択されうる。
II－VI族化合物は、ＣｄＳｅ、ＣｄＴｅ、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＺｎＴｅ、ＺｎＯ、ＨｇＳ、ＨｇＳｅ、ＨｇＴｅ、ＭｇＳｅ、ＭｇＳ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される二元素化合物；ＡｇＩｎＳ、ＣｕＩｎＳ、ＣｄＳｅＳ、ＣｄＳｅＴｅ、ＣｄＳＴｅ、ＺｎＳｅＳ、ＺｎＳｅＴｅ、ＺｎＳＴｅ、ＨｇＳｅＳ、ＨｇＳｅＴｅ、ＨｇＳＴｅ、ＣｄＺｎＳ、ＣｄＺｎＳｅ、ＣｄＺｎＴｅ、ＣｄＨｇＳ、ＣｄＨｇＳｅ、ＣｄＨｇＴｅ、ＨｇＺｎＳ、ＨｇＺｎＳｅ、ＨｇＺｎＴｅ、ＭｇＺｎＳｅ、ＭｇＺｎＳ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される三元素化合物；並びにＨｇＺｎＴｅＳ、ＣｄＺｎＳｅＳ、ＣｄＺｎＳｅＴｅ、ＣｄＺｎＳＴｅ、ＣｄＨｇＳｅＳ、ＣｄＨｇＳｅＴｅ、ＣｄＨｇＳＴｅ、ＨｇＺｎＳｅＳ、ＨｇＺｎＳｅＴｅ、ＨｇＺｎＳＴｅ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される四元素化合物からなる群のうちから選択されうる。
III－Ｖ族化合物は、ＧａＮ、ＧａＰ、ＧａＡｓ、ＧａＳｂ、ＡｌＮ、ＡｌＰ、ＡｌＡｓ、ＡｌＳｂ、ＩｎＮ、ＩｎＰ、ＩｎＡｓ、ＩｎＳｂ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される二元素化合物；ＧａＮＰ、ＧａＮＡｓ、ＧａＮＳｂ、ＧａＰＡｓ、ＧａＰＳｂ、ＡｌＮＰ、ＡｌＮＡｓ、ＡｌＮＳｂ、ＡｌＰＡｓ、ＡｌＰＳｂ、ＩｎＧａＰ、ＩｎＮＰ、ＩｎＮＡｓ、ＩｎＮＳｂ、ＩｎＰＡｓ、ＩｎＰＳｂ、ＧａＡｌＮＰ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される三元素化合物；並びにＧａＡｌＮＡｓ、ＧａＡｌＮＳｂ、ＧａＡｌＰＡｓ、ＧａＡｌＰＳｂ、ＧａＩｎＮＰ、ＧａＩｎＮＡｓ、ＧａＩｎＮＳｂ、ＧａＩｎＰＡｓ、ＧａＩｎＰＳｂ、ＩｎＡｌＮＰ、ＩｎＡｌＮＡｓ、ＩｎＡｌＮＳｂ、ＩｎＡｌＰＡｓ、ＩｎＡｌＰＳｂ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される四元素化合物からなる群のうちから選択されうる。
IV－VI族化合物は、ＳｎＳ、ＳｎＳｅ、ＳｎＴｅ、ＰｂＳ、ＰｂＳｅ、ＰｂＴｅ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される二元素化合物；ＳｎＳｅＳ、ＳｎＳｅＴｅ、ＳｎＳＴｅ、ＰｂＳｅＳ、ＰｂＳｅＴｅ、ＰｂＳＴｅ、ＳｎＰｂＳ、ＳｎＰｂＳｅ、ＳｎＰｂＴｅ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される三元素化合物；並びにＳｎＰｂＳＳｅ、ＳｎＰｂＳｅＴｅ、ＳｎＰｂＳＴｅ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される四元素化合物からなる群のうちから選択されうる。IV族元素としては、Ｓｉ、Ｇｅ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択されうる。IV族化合物としては、ＳｉＣ、ＳｉＧｅ、及びそれらの混合物からなる群のうちから選択される二元素化合物でありうる。
このとき、二元素化合物、三元素化合物または四元素化合物は、均一濃度で粒子内に存在するか、あるいは濃度分布が部分的に異なる状態に分けられ、同一粒子内に存在するものでありうる。また、１つの量子点が他の量子点を取り囲むコア／シェル構造を有しうる。該コアと該シェルとの界面は、シェルに存在する元素の濃度が中心に行くほど低くなる濃度勾配を有しうる。
いくつかの実施形態において、量子点は、前述のナノ結晶を含むコア、及び前記コアを取り囲むシェルを含むコア・シェル構造を有しうる。前記量子点のシェルは、前記コアの化学的変性を防止し、半導体特性を維持するための保護層の役割、及び／または量子点に電気泳動特性を付与するためのチャージング層の役割を行うことができる。前記シェルは、単層または多層でありうる。該コアと該シェルとの界面は、シェルに存在する元素の濃度が中心に行くほど低くなる濃度勾配を有しうる。前記量子点のシェルの例としては、金属または非金属の酸化物、半導体化合物、またはそれらの組み合わせなどを挙げることができる。
例えば、前記金属または前記非金属の酸化物は、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＺｎＯ、ＭｎＯ、Ｍｎ２Ｏ３、Ｍｎ３Ｏ４、ＣｕＯ、ＦｅＯ、Ｆｅ２Ｏ３、Ｆｅ３Ｏ４、ＣｏＯ、Ｃｏ３Ｏ４、ＮｉＯのような二元素化合物、またはＭｇＡｌ２Ｏ４、ＣｏＦｅ２Ｏ４、ＮｉＦｅ２Ｏ４、ＣｏＭｎ２Ｏ４といった三元素化合物を例示することができるが、本発明は、それらに制限されるものではない。
また、前記半導体化合物は、ＣｄＳ、ＣｄＳｅ、ＣｄＴｅ、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＺｎＴｅ、ＺｎＳｅＳ、ＺｎＴｅＳ、ＧａＡｓ、ＧａＰ、ＧａＳｂ、ＨｇＳ、ＨｇＳｅ、ＨｇＴｅ、ＩｎＡｓ、ＩｎＰ、ＩｎＧａＰ、ＩｎＳｂ、ＡｌＡｓ、ＡｌＰ、ＡｌＳｂなどを例示することができるが、本発明は、それらに制限されるものではない。
量子点は、約４５ｎｍ以下、望ましくは、約４０ｎｍ以下、さらに望ましくは、約３０ｎｍ以下の発光波長スペクトルの半値幅（ＦＷＨＭ）を有し、この範囲において、色純度や色再現性を向上させることができる。また、そのような量子点を介して発光される光は、全方向に放出されるが、光視野角が向上しうる。
また、量子点の形態は、当分野で一般的に使用する形態のものに特別に限定されるものではないが、さらに具体的には、球形、ピラミッド型、多重枝型または立方体のナノ粒子、ナノチューブ、ナノワイヤ、ナノファイバー、ナノ板状粒子などの形態のものを使用することができる。
色変換層ＱＤ１，ＱＤ２は、画素区画膜１１２の開口部ＯＰによって範囲が規定される発光領域に、少なくとも一部が対応するように配置されうる。例えば、第１色変換層ＱＤ１は、第１画素Ｐ１の発光領域に対応するように配置されうるのであり、第２色変換層ＱＤ２は、第２画素Ｐ２の発光領域に対応するように配置されうる。第３画素Ｐ３の発光領域には、色変換層が対応せず、透過層ＴＷが配置されうる。透過層ＴＷは、第３画素Ｐ３の有機発光素子３００から発光される光の波長変換なしに光が放出されうる有機物質によって具備されうる。しかしながら、それに限定されるものではない。第３画素Ｐ３の発光領域ＥＡにも、色変換層が配置されうるということは、言うまでもない。
色変換層ＱＤ１，ＱＤ２及び透過層ＴＷには、粒子が分布されているのでありうる。それにより、色広がり性が均一になりうる。ここで、該粒子は、散乱体を含むものでありうる。例えば、該散乱体は、ＴｉＯ２を含むものでありうる。
色変換層ＱＤ１，ＱＤ２と透過層ＴＷとの間には、光遮断パターン８１０が配置されうる。光遮断パターン８１０は、ブラックマットリックスであり、色鮮明度及びコントラストを向上させるための部材でありうる。光遮断パターン８１０は、各画素Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３の発光領域間に配置されうる。光遮断パターン８１０は、可視光線を吸収するブラックマトリックスによっても具備されるるが、隣接画素の発光領域によって出光される光の混色を防止し、視認性及びコントラストを向上させることができる。
一部実施形態において、複数の有機発光素子３００は、いずれも青色の光を発光させることができる。その場合、第１色変換層ＱＤ１は、赤色の光が出光される量子点を含むものでもあり、第２色変換層ＱＤ２は、緑色の光が出光される量子点を含むものでありうる。それにより、ディスプレイ装置外部に出射される光は、赤色、緑色及び青色にもなり、そのような色相の組み合わせにより、多様な色表現が可能でありうる。
基板１００と前記上部基板８００との間には、充填材６１０がさらに配置されうる。充填材６１０は、外部圧力などに対し、緩衝作用を行うことができる。充填材６１０は、メチルシリコーン(methyl silicone)、フェニルシリコーン(phenyl silicone)、及びポリイミドといった有機物質から形成されうる。しかしながら、それらに限定されるものではなく、充填材６１０は、有機シーラントであるウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、もしくはアクリル系樹脂、または、無機シーラントであるシリコーン樹脂などから形成されうる。
図４は、本発明のさらに他の実施形態による表示装置の一部を示す断面図である。
図４を参照すれば、表示装置は、図３に図示された表示装置と類似するのでありうる。以下においては、図３に図示された表示装置と異なる点を中心に詳細に説明する。
複数の画素Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３に含まれた有機発光素子３００は、複数の中間層３２０ａ，３２０ｂ、及び複数の共通電極３３０ａ，３３０ｂが積層されて具備されうる。
例えば、有機発光素子３００は、画素電極３１０上に、第１中間層３２０ａ、第１共通電極３３０ａ、第２中間層３２０ｂ及び第２共通電極３３０ｂが順次に積層されても具備される。第１中間層３２０ａ及び第２中間層３２０ｂは、赤色、緑色、青色または白色の光を放出する蛍光物質またはリン光物質を含む有機発光層を含むものでありうる。該有機発光層は、低分子有機物または高分子有機物でもあり、該有機発光層の下及び上には、ホール輸送層（ＨＴＬ）、ホール注入層（ＨＩＬ）、電子輸送層（ＥＴＬ）及び電子注入層（ＥＩＬ）のような機能層が選択的にさらに配置されうる。一部実施形態において、第１中間層３２０ａ及び第２中間層３２０ｂは、青色を放出する有機発光層を含むものでありうる。
第１共通電極３３０ａ及び第２共通電極３３０ｂは、透光性電極または反射電極でありうる。一部実施形態において、共通電極３３０は、透明電極または半透明電極でもあり、Ｌｉ、Ｃａ、ＬｉＦ／Ｃａ、ＬｉＦ／Ａｌ、Ａｌ、Ａｇ、Ｍｇ、及びそれらの化合物を含む仕事関数が小さい金属薄膜によっても形成される。また、金属薄膜上に、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯまたはＩｎ２Ｏ３のようなＴＣＯ（transparent conductive oxide）膜がさらに配置されうる。第１共通電極３３０ａは、フローティング電極でありうる。
第１中間層３２０ａ、第２中間層３２０ｂ、第１共通電極３３０ａ及び第２共通電極３３０ｂは、複数の画素に一体に形成されうる。
本実施形態において、上部基板８００上には、カラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３が具備されうる。カラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３は、フルカラー映像の具現、色純度向上、及び野外視認性を向上させるために導入したものでありうる。
カラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３は、上部基板８００上において、各画素Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３の発光領域に対応するようにも配置される。前記カラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３間には、光遮断パターン８１０が配置されうる。
保護層２２０は、光遮断パターン８１０及びカラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３を覆うようにも具備される。保護層２２０は、シリコン酸化物（ＳｉＯ２）、シリコン窒化物（ＳｉＮｘ）、シリコン酸窒化物（ＳｉＯＮ）、アルミニウム酸化物（Ａｌ２Ｏ３）、チタン酸化物（ＴｉＯ２）、タンタル酸化物（Ｔａ２Ｏ５）、ハフニウム酸化物（ＨｆＯ２）または亜鉛酸化物（ＺｎＯ２）のような無機物を含むものでありうる。保護層２２０は、ポリイミド、エポキシのような有機物を含んでもよい。
第１色変換層ＱＤ１、第２色変換層ＱＤ２及び透過層ＴＷは、前記保護層２２０を挟み、それぞれ前述の第１カラーフィルタＣＦ１、第２カラーフィルタＣＦ２及び第３カラーフィルタＣＦ３と重なるように配置されうる。上部基板８００上には、第１色変換層ＱＤ１、第２色変換層ＱＤ２及び透過層ＴＷを覆うように、追加保護層２３０がさらに具備されうる。追加保護層２３０は、有機物質または無機物質によって具備されうる。
第１色変換層ＱＤ１及び第２色変換層ＱＤ２は、互いに異なる色を発光する量子点が含まれうる。例えば、第１色変換層ＱＤ１は、赤色光を発光することができ、第２色変換層ＱＤ２は、緑色光を発光することができる。また、透過層ＴＷは、第３画素Ｐ３の有機発光素子３００によって発光する青色を透過させることができる。
その場合、第１カラーフィルタＣＦ１は、赤色カラーフィルタであり、第２カラーフィルタＣＦ２は、緑色カラーフィルタであり、第３カラーフィルタＣＦ３は、青色カラーフィルタでありうる。
図５は、本発明の一実施形態による表示装置の製造装置を示す斜視図である。図６は、図５に図示された検査台を示す斜視図である。図７Ａないし図７Ｃは、図６に図示されたテスト部材の一部を示す平面図である。図８Ａないし図８Ｄは、粒子濃度と補正輝度との関係を示すグラフである。
図５ないし図８Ｄを参照すれば、表示装置の製造装置１０００は、ステージ１１００、第１ガントリ２０００、移動部３０００、液滴吐出部４０００、液滴測定部５０００及び制御部６０００を含むのでありうる。
ステージ１１００は、ガイド部材１２００及び基板移動部材１３００を含むものでありうる。ステージ１１００は、ディスプレイ基板Ｓを整列させるためのアラインマーク（図示せず）を含むのでありうる。
ここで、ディスプレイ基板Ｓは、製造中の表示装置でありうる。例えば、ディスプレイ基板Ｓは、図２ないし図４に図示された基板１００から画素区画膜１１２までの層を含む製造中の表示装置でありうる。そのような場合、該表示装置の製造装置１０００は、ディスプレイ基板Ｓに、粒子を含む有機発光層を形成することができる。他の実施形態において、ディスプレイ基板Ｓは、図３に図示された上部基板８００と光遮断パターン８１０を含むか、あるいは図４に図示された上部基板８００、光遮断パターン８１０、カラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３、保護層２２０を含む製造中の表示装置でありうる。ここで、表示装置の製造装置１０００は、ディスプレイ基板Ｓに、粒子を含む色変換層ＱＤ１，ＱＤ２を、光遮断パターン８１０間に配置されうる。さらに他の実施形態において、ディスプレイ基板Ｓは、図４に図示された上部基板８００と光遮断パターン８１０とを含む製造中の表示装置でありうる。ここで、表示装置の製造装置１０００は、上部基板８００上に、粒子を含むカラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３を形成することができる。以下においては、説明の便宜のために、ディスプレイ基板Ｓは、上部基板８００と光遮断パターン８１０を含む製造中の表示装置であり、ディスプレイ基板Ｓ上に、色変換層ＱＤ１，ＱＤ２を形成する場合を中心に、詳細に説明する。
左右のガイド部材１２００は、基板移動部材１３００を挟み、左右両側（例えば、図５のｘ軸方向に互いに離隔される方向）へと離隔されて配置されうる。ガイド部材１２００の長さは、ディスプレイ基板Ｓのエッジ長よりもさらに長いのでありうる。ここで、ガイド部材１２００の長さと、ディスプレイ基板Ｓのエッジ長は、図５のｙ方向に測定されうる。
ガイド部材１２００には、第１ガントリ２０００が配置されうる。一実施形態において、ガイド部材１２００は、第１ガントリ２０００がガイド部材１２００の長手方向に沿って線形運動が可能になるように、ある一定のレールを含むのでありうる。特に、ガイド部材１２００は、リニアモーションレール（linear motion rail）を含むのでありうる。
基板移動部材１３００は、ステージ１１００上に配置されうるのであって、基板回転部材１４００を含むものでありうる。基板移動部材１３００は、ガイド部材１２００の長手方向（例えば、図５のｙ軸方向）に沿って延長されうる。例えば、図５を参照すれば、基板移動部材１３００は、ｙ方向に沿って延長されうる。また、基板移動部材１３００は、基板回転部材１４００が線形移動可能になるように、レールを含むのでありうる。特に、基板移動部材１３００は、リニアモーションレールを含むのでありうる。
基板回転部材１４００は、基板移動部材１３００上にて回転することができる。基板回転部材１４００が回転すれば、基板回転部材１４００上に配置されたディスプレイ基板Ｓが回転しうる。一実施形態において、基板回転部材１４００は、ディスプレイ基板Ｓが据え付けられるステージ１１００の一面に対して垂直である回転軸を中心に回転することができる。基板回転部材１４００は、ディスプレイ基板Ｓが据え付けられているステージ１１００の一面に対して垂直な回転軸を中心に回転すれば、基板回転部材１４００上に配置されたディスプレイ基板Ｓも、ディスプレイ基板Ｓが据え付けられるステージ１１００の一面に対して垂直な回転軸を中心に回転しうる。
第１ガントリ２０００は、ガイド部材１２００上に配置されうる。すなわち、第１ガントリ２０００は、基板移動部材１３００を挟んだ両側に離隔されて配置されたガイド部材１２００上に配置されうる。
第１ガントリ２０００は、ガイド部材１２００の長手方向に沿って移動することができる。一実施形態において、第１ガントリ２０００は、手動で線形運動するか、あるいは、モータシリンダなどを具備することで、自動的に線形運動することができる。例えば、第１ガントリ２０００は、リニアモーションレールに沿って移動するリニアモーションブロック（linear motion block）を含むことで、自動的に線形運動することができる。
移動部３０００、及び液滴ＤＳを吐出させる液滴吐出部４０００は、第１ガントリ２０００上に配置されうる。一実施形態において、移動部３０００は、第１ガントリ２０００上で線形運動することができる。例えば、第１ガントリ２０００は、移動部３０００が線形運動するように、ある一定のレールを含むのでありうる。
移動部３０００は、少なくとも１つのノズル移動ユニットを含み、液滴吐出部４０００は、少なくとも１つの吐出部は、多様な方式に配置されうる。ここで、移動部３０００は、第１ガントリ２０００上にて線形運動することができ、液滴吐出部４０００は、移動部３０００に配置され、液滴ＤＳをディスプレイ基板Ｓに供給することができる。例えば、ノズル移動ユニットと吐出部は、それぞれ一つずつ具備されうる。そのような場合、該吐出部は、液滴ＤＳを吐出させるノズルヘッドを、少なくとも１つ以上具備することができる。
他の例として、吐出部は、少なくとも１つ以上具備され、ノズル移動ユニットは、一つが具備されうる。ここで、吐出部が複数個に具備される場合、複数個の吐出部が１つのノズル移動ユニットに配置され、ノズル移動ユニットの移動により、複数個の吐出部が同時に移動することも可能である。
さらに他の例として、ノズル移動ユニットと吐出部とは、それぞれ複数個が具備されうる。ここで、１つのノズル移動ユニットには、少なくとも１つ以上の吐出部が配置されうる。以下においては、説明の便宜のために、１つのノズル移動ユニットには、１つの吐出部が配置される場合を中心に、詳細に説明する。
移動部３０００は、複数個のノズル移動ユニットを含むものでありうる。一実施形態において、移動部３０００は、第１ノズル移動ユニット３０００ａ、第２ノズル移動ユニット３０００ｂ及び第３ノズル移動ユニット３０００ｃを含むものでありうる。ここで、第２ノズル移動ユニット３０００ｂは、第１ノズル移動ユニット３０００ａと、第３ノズル移動ユニット３０００ｃとの間に配置されうる。他の実施形態において、移動部３０００は、少なくとも１つのノズル移動ユニットを含むか、あるいは４個以上のノズル移動ユニットを含むものであるりう。ただし、説明の便宜のために、移動部３０００は、第１ノズル移動ユニット３０００ａ、第２ノズル移動ユニット３０００ｂ及び第３ノズル移動ユニット３０００ｃを含む場合を中心に、詳細に説明する。
一実施形態において、第１ノズル移動ユニット３０００ａと第２ノズル移動ユニット３０００ｂとの間隔は、第２ノズル移動ユニット３０００ｂと第３ノズル移動ユニット３０００ｃとの間隔と同一になるように、離隔されて配置されうる。他の実施形態において、第１ノズル移動ユニット３０００ａと第２ノズル移動ユニット３０００ｂとの間隔と、第２ノズル移動ユニット３０００ｂと第３ノズル移動ユニット３０００ｃとの間隔は、異なりうる。
移動部３０００は、第１ガントリ２０００上で線形運動させることができる。具体的には、移動部３０００は、第１ガントリ２０００の長手方向に沿って移動することができる。例えば、第１ノズル移動ユニット３０００ａ、第２ノズル移動ユニット３０００ｂ及び第３ノズル移動ユニット３０００ｃのうちの少なくとも一つは、ｘ方向に沿って、または－ｘ方向に沿って移動することができる。
一実施形態において、移動部３０００は、手動で線形運動させることができる。他の実施形態において、移動部３０００は、モータ、シリンダなどを具備することで、自動的に線形運動を行わせることができる。例えば、移動部３０００は、リニアモーションレールに沿って移動するリニアモーションブロックを含むものでありうる。
液滴吐出部４０００の吐出部は、移動部３０００のノズル移動ユニットに配置されうる。ここで、液滴吐出部４０００の吐出部は、ディスプレイ基板Ｓに液滴ＤＳを供給することができる。そのような場合、液滴吐出部４０００の吐出部は、多様な物質をディスプレイ基板Ｓに供給することが可能である。例えば、第１吐出部４０００ａは、第１ノズル移動ユニット３０００ａに配置されうる。他の例として、第２吐出部４０００ｂは、第２ノズル移動ユニット３０００ｂに配置されうる。さらに他の例として、第３吐出部４０００ｃは、第３ノズル移動ユニット３０００ｃに配置されうる。
前述のような場合、第１吐出部４０００ａないし第３吐出部４０００ｃのうちの少なくとも一つは、液滴ＤＳを吐出させる吐出ホールが、少なくとも一つ具備されうる。以下においては、説明の便宜のために、第１吐出部４０００ａないし第３吐出部４０００ｃのそれぞれは、１つの吐出ホールを含む場合を中心に詳細に説明する。
液滴吐出部４０００は、ディスプレイ基板Ｓまたは検査台１０に液滴ＤＳを吐出させることができる。ここで、液滴ＤＳは、粒子を含む液晶、粒子を含む配向液、または、溶媒に顔料粒子（例えば、粒子）が混合された赤色、緑色、青色のインクでありうる。他の実施形態において、液滴ＤＳは、スキャッタを含む、有機発光表示装置の有機発光層に該当する高分子または低分子有機物でありうる。さらに他の実施形態において、液滴ＤＳは、粒子を含む色変換層物質、または、粒子を含むカラーフィルタ物質を含むものでありうる。さらに他の実施形態において、液滴ＤＳは、量子点及び粒子を含むものでありうる。以下においては、説明の便宜のために、液滴ＤＳが、粒子及び量子点を含む場合を中心に詳細に説明する。
第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃは、それぞれ独立して、液滴ＤＳの吐出される量が調節されうる。ここで、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃは、制御部６０００と、それぞれ電気的に連結されうる。従って、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃは、制御部６０００により、吐出される液滴ＤＳの吐出される量が、それぞれ調節されうる。
液滴測定部５０００は、液滴吐出部４０００によって吐出された液滴ＤＳを測定することができる。具体的には、液滴吐出部４０００によって吐出され、ディスプレイ基板Ｓに撃ち込まれて付着した液滴ＤＳのイメージを撮影することができる。
液滴測定部５０００は、検査台１０、測定部２０、第２ガントリ３０を含むものでありうる。
検査台１０は、ステージ１１００上に配置されうる。ここで、検査台１０は、左右のガイド部材１２００の間に配置されうる。本実施形態において、表示装置の製造装置１０００は、少なくとも１つの検査台１０を含むものでありうる。例えば、表示装置の製造装置１０００は、複数の検査台１０を含むものでありうる。従って、複数の吐出部から吐出される液滴ＤＳの量を同時に検査することができ、液滴ＤＳ検査の効率が向上しうる。
検査台１０は、フィルム供給部１１及びフィルム回収部１２を含むのでありうる。フィルム供給部１１及びフィルム回収部１２は、互いに離隔されて配置されうる。本実施形態において、フィルム供給部１１とフィルム回収部１２とは、ガイド部材１２００の長手方向に、互いに離隔されているのでありうる。例えば、フィルム供給部１１とフィルム回収部１２とは、ｙ方向に離隔されているのでありうる。ここで、フィルム供給部１１及びフィルム回収部１２は、地面、建物の内面などに連結されて固定されうる。
フィルム供給部１１は、テスト部材１３を供給することができる。ここで、テスト部材１３は、フィルムの形態でありうる。テスト部材１３は、フィルム供給部１１に、ロールの形式にて配置されうる。言い換えれば、テスト部材１３は、フィルム供給部１１に巻き取られているのでありうる。フィルム供給部１１は、第１軸１１ａを含みうるのであり、第１軸１１ａは、回転することで、テスト部材１３を供給することができる。第１軸１１ａは、駆動部と連結されうる。ここで、前記駆動部は、モータを含むのでありうる。他の実施形態として、前記駆動部は、シリンダと、カム構造を含むことも可能である。そのような場合、前記駆動部は、前述のところに限定されるものではなく、第１軸１１ａと連結され、第１軸１１ａを回転させる全ての構造及び装置を含むのでありうる。従って、第１軸１１ａは、駆動部によって回転させることができる。
フィルム回収部１２は、テスト部材１３を回収することができる。具体的には、フィルム回収部１２は、フィルム供給部１１が供給したテスト部材１３を回収することができる。テスト部材１３は、フィルム回収部１２に、ロール形式にて配置されうる。すなわち、吐出された液滴ＤＳの測定が終わったテスト部材１３は、フィルム回収部１２に巻き取られうる。フィルム回収部１２は、第２軸１２ａを含みうるのであり、第２軸１２ａは、回転することで、テスト部材１３を回収することができる。第２軸１２ａは、駆動部と連結されうる。この駆動部は、第１軸１１ａに連結された駆動部と同一あるいは類似のものでありうる。従って、第２軸１２ａは、駆動部によって回転させることができる。
テスト部材１３は、フィルム供給部１１によって供給され、フィルム回収部１２によって回収されうる。従って、テスト部材１３のうちの一部分の上に吐出された液滴ＤＳついての検査が終われば、フィルム供給部１１とフィルム回収部１２は、テスト部材１３のうちの一部分を移動させることにより、テスト部材１３のうちの他の部分が液滴吐出部４０００に対向するように、テスト部材１３の位置を可変させることができる。ここで、テスト部材１３は、ディスプレイ基板Ｓと同一または類似の材質を含ものでありうる。例えば、テスト部材１３は、ガラスフィルムであるか、ポリエーテルスルホン、ポリアリレート、ポリエーテルイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンスルフィド、ポリイミド、ポリカーボネート（ＰＣ）、セルローストリアセテート（ＴＡＣ）、セルロースアセテートプロピオネートといった高分子樹脂を含むフィルムでありうる。
本実施形態において、検査台１０は、フィルム供給部１１及びフィルム回収部１２を含むものとして説明されているが、他の実施形態において、検査台１０は、検査基板を含むのでありうる。そのような場合、検査基板は、ロボットアームによって交換されうる。該検査基板は、ディスプレイ基板Ｓまたはテスト部材１３と同一または類似の物質を含むのでありうる。
測定部２０は、照明光の下で、テスト部材１３上の液滴ＤＳを撮影することができる。測定部２０は、制御部６０００と電気的に連結され、撮影されたイメージを制御部６０００に伝送することができる。
測定部２０は、共焦点顕微鏡（confocal microscope）または干渉顕微鏡（interferometric microscope）でありうる。該共焦点顕微鏡は、対象物を互いに異なる深さに、いくつかの二次元イメージを得ることができ、それを基に、対象物の三次元構造を再構成する顕微鏡である。該共焦点顕微鏡としては、例えば、色共焦点顕微鏡法(chromatic confocal microscope、chromatic line confocal microscope)などでありうる。該干渉顕微鏡は、対象物の微細構造凹凸の変化、位相の変化などを観察し、定量測定する顕微鏡である。該干渉顕微鏡としては、例えば、レーザ干渉顕微鏡（laser interferometric microscope）、白色光干渉顕微鏡（white light interferometric microscope）などでありうる。他の実施形態として、測定部２０は、前述の照明光の出射部（図示せず）、レンズ（図示せず）及びカメラ（図示せず）を含むのでありうる。ここで、測定部２０は、液滴ＤＳに近い部分から、前述の照明光の出射部、レンズ及びカメラが順に備えられた形態として配置されうる。測定部２０は、前述のところに限定されるものではなく、テスト部材１３上の液滴ＤＳのイメージを撮影する全ての装置及び構造を含むのでありうる。以下においては、説明の便宜のために、測定部２０が、前述照明、前記レンズ及び前記カメラを含む場合を中心に、詳細に説明する。
液滴測定部５０００は、少なくとも１つの測定部２０を含むのでありうる。例えば、液滴測定部５０００は、複数個の測定部２０を含むものでありうる。従って、複数の吐出部から吐出される液滴ＤＳの量を同時に検査することができ、液滴ＤＳ検査の効率が向上しうる。
測定部２０は、第２ガントリ３０に沿って線形運動することができ、第２ガントリ３０と共に線形移動することができる。具体的には、測定部２０は、第２ガントリ３０の長手方向に沿って移動することができる。例えば、測定部２０は、図５のｘ方向または－ｘ方向に沿って移動することができる。また、測定部２０は、第２ガントリ３０が移動するにつれ、第２ガントリ３０と共に線形移動することができる。例えば、測定部２０は、第２ガントリ３０と共に、図５のｙ方向または－ｙ方向に沿って移動することができる。
第２ガントリ３０は、ガイド部材１２００に配置されうる。すなわち、第２ガントリ３０は、第１ガントリ２０００と同様に、検査台１０を挟むように、左右両側に離隔されて配置された左右のガイド部材１２００に掛け渡すように配置されうる。
第２ガントリ３０は、ガイド部材１２００の長手方向に沿って移動することができる。一実施形態において、第２ガントリ３０は、手動で線形運動させるか、あるいはモータ、シリンダなどを具備することで、自動的に線形運動させることができる。例えば、第２ガントリ３０は、リニアモーションレールに沿って移動するリニアモーションブロックを含み、自動的に線形運動することができる。
測定部２０は、第２ガントリ３０と連結されているように図示されているが、他の実施形態において、第１ガントリ２０００及び第２ガントリ３０は、一体に具備されうる。そのような場合、測定部２０は、移動部３０００と離隔されて配置されるか、あるいは測定部２０が、液滴吐出部４０００と同様に移動部３０００に配置されうる。しかしながら、説明の便宜のために、表示装置の製造装置１０００が第２ガントリ３０を具備しており、測定部２０が第２ガントリ３０に連結された場合を中心に、詳細に説明する。
制御部６０００は、測定部２０で撮影された液滴ＤＳのイメージを利用し、液滴ＤＳの輝度を算出することができる。また、制御部６０００は、算出された液滴ＤＳの輝度を基に、液滴ＤＳに含まれた粒子の濃度を算出することができる。一実施形態として、制御部６０００は、撮影された液滴ＤＳの輝度を、液滴ＤＳが存在しないテスト部材１３の一部分の輝度で除した後、またはイメージ全体の輝度を調整した後、液滴ＤＳの輝度を算出し、それを基に、液滴ＤＳに含まれた粒子の濃度を算出することも可能である。ここで、制御部６０００は、撮影された液滴ＤＳの輝度について、液滴ＤＳの全面にわたっての平均を出し、それを基に、液滴ＤＳに含まれた粒子の濃度を算出することも可能である。または、制御部６０００は、撮影された液滴ＤＳのイメージにおいて、反射が生じた領域を除いた液滴ＤＳの残りの部分の輝度を算出した後、それを基に、液滴ＤＳに含まれた粒子の濃度を算出することも可能である。または、制御部６０００は、液滴ＤＳの平面形状（または、平面面積）を含む一定領域の輝度を平均し、それを基に、液滴ＤＳに含まれた粒子の濃度を算出することも可能である。
以下、表示装置の製造装置１０００の作動、表示装置の製造装置１０００を利用した液滴測定方法、及び該表示装置の製造装置１０００を利用した表示装置の製造方法について詳細に説明する。
前述のような表示装置の製造装置１０００は、前述のところのように、液滴ＤＳに含まれた粒子の濃度を測定することができる。
具体的には、第１ガントリ２０００は、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃを、テスト部材１３が配置された位置に対応するように、ガイド部材１２００上にて線形運動させることができる。また、第１ノズル移動ユニット３０００ａ、第２ノズル移動ユニット３０００ｂ、及び第３ノズル移動ユニット３０００ｃは、第１ガントリ２０００上にて線形運動することにより、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃを、テスト部材１３に対応するように配置することができる。その後、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃから、液滴ＤＳをテスト部材１３に供給することができる。
前述のような過程が完了すれば、第２ガントリ３０が作動し、測定部２０を液滴ＤＳ上に配置することができる。測定部２０は、テスト部材１３に配置された液滴ＤＳを撮影することができる。この際、前記照明を作動させた状態で、液滴ＤＳのイメージを撮影することができる。撮影された液滴ＤＳのイメージは、測定部２０から制御部６０００に伝送されうる。
制御部６０００は、撮影された液滴ＤＳのイメージを基に、液滴ＤＳに含まれた粒子の濃度を算出することができる。
一実施形態として図７Ａを参照すれば、液滴ＤＳのイメージが制御部６０００に伝送されれば、制御部６０００は、液滴ＤＳの平面形状を規定することができる。例えば、制御部６０００は、液滴ＤＳの平面形状の輪郭を液滴ＤＳと判断することができる。
液滴ＤＳのイメージを分析し、液滴ＤＳの平面形状の全体輝度の平均値を算出することができる。ここで、制御部６０００は、伝送されるイメージにおいて、イメージのそれぞれの部分ごとに輝度を算出することができる。すなわち、制御部６０００は、伝送されたイメージを、複数個の格子区画に区分した後、各格子区画の輝度を算出する方式を使用することができる。制御部６０００は、液滴ＤＳの輝度について、それぞれの格子区画の輝度を平均した平均値として算出することができる。制御部６０００は、前述のような液滴ＤＳの輝度を、液滴ＤＳが配置されていないテスト基板１００の輝度と比較することができる。例えば、制御部６０００は、撮影されたイメージから、液滴ＤＳが配置されていないテスト基板１００の輝度を算出することができる。すなわち、制御部６０００は、液滴ＤＳの輪郭の領域によって範囲が規定される第１領域ＡＲ１の輝度と、液滴ＤＳが配置されていないテスト部材１３の領域である、第２領域ＡＲ２の輝度とを算出することができる。ここで、第２領域ＡＲ２の輝度を算出する方式は、第１領域ＡＲ１の輝度と同様に、第２領域ＡＲ２を、複数個の格子区画に区分し、それぞれの格子区画の輝度を算出した後、それぞれの格子区画の輝度を平均することで算出することができる。ここで、第２領域ＡＲ２の平面形状は、第１領域ＡＲ１の平面形状とほぼ同一でありうる。すなわち、制御部６０００は、第２領域ＡＲ２を選定する際、液滴ＤＳが配置されていないテスト部材１３の一面において、液滴ＤＳの平面形状と同一であるか、あるいはほぼ類似である領域（例えば、平面領域または平面形状）を、第２領域ＡＲ２として選定することができる。前述のように、第１領域ＡＲ１の輝度と、第２領域ＡＲ２の輝度とを算出した後、第１領域ＡＲ１の輝度を、第２領域ＡＲ２の輝度に補正することができる。具体的には、制御部６０００は、第１領域ＡＲ１の輝度を、第２領域ＡＲ２の輝度で除し、第１領域ＡＲ１の補正輝度を算出することができる。前述のような場合、制御部６０００は、第１領域ＡＲ１の補正輝度を基に、予め設定(既設定)された輝度値と比較することができる。制御部６０００は、第１領域ＡＲ１の補正輝度と、既設定の輝度値とを比較し、当該液滴ＤＳの粒子濃度を算出することができる。この際、制御部６０００には、前述のように、既設定の輝度値に対応する粒子の濃度が設定された状態でありうる。他の実施形態として、既設定の輝度値による粒子の濃度は、制御部６０００に数式の形態で保存されることも可能である。前述のような場合、制御部６０００は、第１領域ＡＲ１の補正輝度が算出されれば、液滴ＤＳに含まれた粒子の濃度を算出することができる。
他の実施形態として、図７Ｂを参照すれば、制御部６０００は、第１領域ＡＲ１を、液滴ＤＳの輪郭を含む領域として範囲を規定することができる。例えば、制御部６０００は、液滴ＤＳの平面形状の輪郭を取り囲むように、第１領域ＡＲ１の範囲を規定することができる。そのような場合、第１領域ＡＲ１は、多様な形態を有しうる。例えば、第１領域ＡＲ１の平面形状は、円形、多角形または楕円形でありうる。他の実施形態として、第１領域ＡＲ１の平面形状は、星状といった非定形でありうる。そのような場合、第１領域ＡＲ１は、前述のところに限定されるのではなく、液滴ＤＳの平面形状を含む全ての形状を含むのでありうる。
制御部６０００は、前述のような第１領域ＡＲ１の補正輝度を算出することができる。具体的には、制御部６０００は、第１領域ＡＲ１の輝度の平均値を算出することができる。第１領域ＡＲ１の輝度の平均値は、液滴ＤＳの平面形状の輝度だけではなく、液滴ＤＳが配置されていないテスト部材１３の部分の輝度も、共に含まれるのでありうる。
制御部６０００は、第２領域ＡＲ２の輝度の平均値を算出した後、第１領域ＡＲ１の輝度の平均値を、第２領域ＡＲ２の輝度の平均値で除することで、第１領域ＡＲ１の補正輝度を算出することができる。
さらに他の実施形態として制御部６０００は、図７Ｃに図示されているように、液滴ＤＳの平面形状のうちの一部を除き、液滴ＤＳの補正輝度を算出することも可能である。
具体的には、制御部６０００は、イメージから、液滴ＤＳの平面形状を、第１領域ＡＲ１と、第１領域ＡＲ１の内部の第３領域ＡＲ３とに区分することができる。そのような場合、第３領域ＡＲ３は、液滴ＤＳの平面形状において、前記照明から放出された光が反射する領域であり、液滴ＤＳの平面形状において、輝度が液滴ＤＳの平面形状の一部分より相対的にはるかに高い液滴ＤＳの平面形状の他の領域でありうる。制御部６０００は、液滴ＤＳの平面形状から、第３領域ＡＲ３を除くようにして、第１領域ＡＲ１の範囲を規定することができる。前述のような場合、異常に輝度が高い第３領域ＡＲ３を除くことにより、制御部６０００で算出される液滴ＤＳの補正輝度が、第３領域ＡＲ３によって歪曲されることを防止することができる。前述のような場合、図面に図示されていないが、第１領域ＡＲ１の輪郭は、図７Ｂで説明されたように、円形、多角形または楕円形など、多様に選択されて決定されうる。
他の実施形態として、前述のような補正輝度は、撮影されたイメージの輝度を補正して算出することも可能である。例えば、制御部６０００は、撮影されたイメージを基に、テスト部材１３の表面の輝度と、既設定の輝度とが同一であるか否かということを判断することができる。この際、撮影されたイメージのテスト部材１３の表面の輝度は、前記照明の強度、前記照明の位置、レンズの位置、テスト部材１３の表面などにより、撮影するたびに可変しうる。そのような場合、制御部６０００は、撮影されたイメージからテスト部材１３の表面の輝度を算出した後、既設定の輝度に対応するように、全体のイメージの輝度を調節することができる。そのような場合、制御部６０００は、前述の図７Ａないし図７Ｃに図示された第１領域ＡＲ１の輝度を算出することができ、そのような第１領域ＡＲ１の輝度は、補正輝度でありうる。
前述のように、第１領域ＡＲ１の補正輝度が算出されれば、制御部６０００は、第１領域ＡＲ１の補正輝度に対応する液滴に含まれた粒子の濃度を算出することができる。この際、制御部６０００は、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃのそれぞれにつき、前述の過程を進めることにより、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃのそれぞれから吐出される液滴ＤＳに含まれた粒子の濃度を算出することができる。
制御部６０００は、算出された液体に含まれた粒子の濃度を保存した後、第１ガントリ２０００を、ガイド部材１２００上で線形運動させることにより、第１ノズル移動ユニット３０００ａ、第２ノズル移動ユニット３０００ｂ、及び第３ノズル移動ユニット３０００ｃを、ディスプレイ基板Ｓに対応するように配置することができる。
その後、制御部６０００は、第１ノズル移動ユニット３０００ａ、第２ノズル移動ユニット３０００ｂ、及び第３ノズル移動ユニット３０００ｃを、第１ガントリ２０００上で線形運動させることにより、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃを、ディスプレイ基板Ｓに対応するように配置することができる。
第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃは、液滴ＤＳをディスプレイ基板Ｓに供給することができる。具体的には、制御部６０００は、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃを制御し、ディスプレイ基板Ｓの対応する位置に配置された液滴ＤＳを、ディスプレイ基板Ｓに供給することができる。そのような場合、制御部６０００は、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃの位置を制御することにより、ディスプレイ基板Ｓの１ヵ所に落下された複数個の液滴ＤＳに含まれる全体(トータル)の粒子の濃度を制御することができる。
具体的には、制御部６０００には、ディスプレイ基板Ｓの各位置に落下して配置される液滴ＤＳの総量が定められている。例えば、ディスプレイ基板Ｓの一の位置には、液滴ＤＳが、Ｎ（ここで、Ｎは、自然数である）回落下して、１つの層を形成することができる。例えば、液滴ＤＳが落下して、ディスプレイ基板Ｓに形成される１つの層は、図３の有機発光層、図４の色変換層、図５の色変換層、または図５のカラーフィルタでありうる。この際、ディスプレイ基板Ｓに配置された１つの層を形成するために、ディスプレイ基板Ｓの一定の位置に、何回、液滴ＤＳを供給しなければならないかということについて、制御部６０００に設定された状態でありうる。また、ディスプレイ基板Ｓに配置される１つの層に含まれなければならない粒子の量は、制御部６０００に既設定の状態でありうる。特に、ディスプレイ基板Ｓに配置された１つの層に含まれなければならない粒子の濃度について、制御部６０００に既設定された状態でありうる。
そのために、制御部６０００は、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃを、ディスプレイ基板Ｓの一辺と平行な方向に往復運動させることで、液滴ＤＳをディスプレイ基板Ｓに供給することができる。
前述のような場合、制御部６０００は、ディスプレイ基板Ｓに１つの層を形成するための液滴ＤＳに含まれた粒子の総濃度に対応するように、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃの位置を調節することができる。例えば、一般的に、ディスプレイ基板の１つの層に形成するために、複数個の吐出部のうち、同一の吐出部が複数回往復しながら、ディスプレイ基板の同一の部分に、液滴を供給することができる。そのような場合、複数個の吐出部のうちの一つから吐出される液滴に含まれる粒子の濃度は、常に一定であるので、複数個の吐出部のうちの一つから吐出される液滴に含まれた粒子の濃度が、最初に制御部６０００にて設定された濃度と異なる場合、ディスプレイ基板に配置された１つの層を形成する液滴に含まれた粒子の総濃度を合わせることができない場合が生じてしまう。そのような問題を解決するために、制御部６０００は、ディスプレイ基板Ｓの同一の部分に吐出される液滴ＤＳを、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃのうちの一つに選択することが可能である。具体的には、ディスプレイ基板Ｓに配置された１つの層に含まれた粒子の総濃度を合わせるために、一方向に、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃが動く際に、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃのうちの一つでもって、ディスプレイ基板Ｓの一地点に液滴ＤＳを吐出し、反対方向に、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃが動く際に、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃのうちの同一の吐出部が、ディスプレイ基板Ｓの一地点を通過する場合、液滴ＤＳを吐出しないのである。例えば、一方向に、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃが動く際に、第１吐出部４０００ａが液滴を吐出したディスプレイ基板Ｓ領域に、さらに第１吐出部４０００ａが配置されれば、第１吐出部４０００ａから液滴ＤＳを吐出しないのである。また、第２吐出部４０００ｂまたは第３吐出部４０００ｃが、移動することで、第１吐出部４０００ａから液滴ＤＳを吐出したディスプレイ基板Ｓの部分に対応するように位置すれば、制御部６０００は、液滴ＤＳを吐出させるように、第２吐出部４０００ｂまたは第３吐出部４０００ｃを制御することができる。他の実施形態として、ディスプレイ基板Ｓの同一領域に、第１吐出部４０００ａから、Ｍ（ここで、Ｍは、自然数である）回の吐出を行わなければならない場合、制御部６０００は、ディスプレイ基板Ｓの同一領域に、第１吐出部４０００ａが、（Ｍ－１）回液滴ＤＳを吐出するように、第１吐出部４０００ａを制御した後、第２吐出部４０００ｂまたは第３吐出部４０００ｃが、第１吐出部４０００ａが液滴を吐出したディスプレイ基板Ｓの領域に配置されれば、液滴ＤＳを吐出させるように、第２吐出部４０００ｂまたは第３吐出部４０００ｃを制御することができる。
従って、制御部６０００は、前述のところで算出した各吐出部における粒子濃度を基に、ディスプレイ基板Ｓに配置された１つの層に含まれるべき粒子の総濃度になるように、第１吐出部４０００ａ、第２吐出部４０００ｂ及び第３吐出部４０００ｃのうちの一つを選択し、ディスプレイ基板Ｓの同一領域に、粒子の濃度が互いに異なる液滴ＤＳを選択的に供給することができる。
なお、前述のような表示装置の製造方法及び液滴測定方法の場合であると、実際に液滴ＤＳに含まれた粒子の濃度を、ある程度、実際と類似するように類推することが可能である。
具体的には、図８Ａないし図８Ｄを参照すれば、測定部２０を介して測定された輝度値を基にした補正輝度による粒子の濃度と、顕微鏡などを介して測定された粒子の濃度とを比較したものである。ここで、Row１、Row２、Row３及びRow４は、実際のデータを意味し、ＮＪＩは、測定部２０を介して測定された輝度値を基にした補正輝度を意味する。また、グラフのＸ軸は、ノズルの番号を意味し、左側のＹ軸は、粒子の実際の濃度を意味し、右側のＹ軸は、補正輝度を意味する。
そのような内容について述べれば、補正輝度値と、顕微鏡などを介して測定された粒子の濃度とは、各グラフにて互いに類似していると確認することができる。特に、該補正輝度は、顕微鏡などを介して測定された粒子の濃度との相関関係が、およそ０．９２以上であることを確認することができる。すなわち、算出された補正輝度を、実際に測定した粒子の濃度に対応させる場合、ノズル別に、ほぼ同一の傾向性を有するということが分かる。このとき、該相関関係が１に近いほど、実際の値と、測定されて算出された結果の値とが同一であるということを意味しうる。例えば、図８Ａに図示された実施形態１の場合、相関関係が０．９８であり、図８Ｂに図示された実施形態２の場合、相関関係が０．９７であり、図８Ｃに図示された実施形態３の場合、相関関係が０．９８であり、図８Ｄに図示された実施形態４の場合、相関関係が０．９５であるということを確認することができる。
前述のような補正輝度を基に、定量値回帰分析を行えば、補正輝度と粒子濃度との間には、比例関係を得ることができる。このことを介して、前述のように、補正輝度を制御部６０００にて算出する場合、制御部６０００は、補正輝度を基に、各液滴ＤＳに含まれた粒子の濃度を確認することが可能である。
従って、表示装置の製造方法、及び液滴測定方法は、液滴ＤＳに含まれた粒子の濃度を正確に測定することができる。また、表示装置の製造方法、及び液滴測定方法は、粒子の濃度を正確に合わせることが可能である。表示装置の製造方法、及び液滴測定方法は、液滴ＤＳに含まれた粒子の濃度を正確に測定し、表示装置の製造装置１０００の作動を制御することにより、精密な工程の遂行が可能である。
図９は、本発明の他の実施形態による表示装置の製造装置を示す斜視図である。図１０は、図１に図示された第１吐出部を示す背面図である。
図９及び図１０を参照すれば、表示装置の製造装置１０００は、ステージ１１００、第１ガントリ２０００、移動部３０００、液滴吐出部４０００、測定部２０及び制御部６０００を含むのでありうる。ここで、ステージ１１００、第１ガントリ２０００、移動部３０００、液滴吐出部４０００及び制御部６０００は、前述の図５にて説明したところと同一であるか、あるいは類似しているので、詳細な説明は省略する。
測定部２０は、第１ガントリ２０００に移動可能に連結されうる。ここで、測定部２０は、移動部３０００に連結され、液滴吐出部４０００と共に動くことが可能である。他の実施形態として、測定部２０は、第１ガントリ２０００に、移動部３０００と類似した別途の移動部を具備し、そのような移動部３０００に配置され、第１ガントリ２０００に沿って線形運動することが可能である。ただし、以下においては、説明の便宜のために、測定部２０は、移動部３０００に配置される場合を中心に、詳細に説明する。
測定部２０は、少なくとも一つが具備されうる。例えば、測定部２０は、一つが具備され、１つの測定部２０は、第１ノズル移動ユニット３０００ａ、第２ノズル移動ユニット３０００ｂまたは第３ノズル移動ユニット３０００ｃに配置されうる。他の実施形態として、測定部２０は、複数個が具備され、複数個の測定部２０は、各ノズル移動ユニットに配置されうる。例えば、測定部２０は、第１ノズル移動ユニット３０００ａに配置される第１測定部２０ａ、第２ノズル移動ユニット３０００ｂに配置される第２測定部２０ｂ、及び第３ノズル移動ユニット３０００ｃに配置される第３測定部２０ｃを含むのでありうる。そのような場合、第１測定部２０ａは、第１吐出部４０００ａと共に移動し、第２測定部２０ｂは第２吐出部４０００ｂと共に移動し、第３測定部２０ｃは第３吐出部４０００ｃと共に移動するのでありうる。以下においては、説明の便宜のために、測定部２０が、第１測定部２０ａないし第３測定部２０ｃを含む場合を中心に、詳細に説明する。
前述のような第１吐出部４０００ａないし第３吐出部４０００ｃは、ディスプレイ基板(例えば、OLEDを形成する前のTFT基板、または、これに組み合わされる対向基板)Ｓに、液滴（図示せず）をそれぞれ供給することができる。一実施形態として、前記液滴を供給する方式は、ディスプレイ基板Ｓが固定された状態で、第１吐出部４０００ａないし第３吐出部４０００ｃが、一方向（例えば、図９のｙ軸方向）に往復運動しながら、前記液滴をディスプレイ基板Ｓに供給することができる。また、第１吐出部４０００ａないし第３吐出部４０００ｃは、第１ガントリ２０００の長手方向に、一定の間隔で離隔された後、前述のところで説明した方向と同一方向（例えば、図９のｙ軸方向）にさらに移動しながら、ディスプレイ基板Ｓの他の領域に、前記液滴を供給することができる。他の実施形態として、第１吐出部４０００ａないし第３吐出部４０００ｃが、ディスプレイ基板Ｓ上において、図９のｘ軸方向に移動するとともに、ディスプレイ基板Ｓがｙ軸方向に移動する際に、前記液滴をディスプレイ基板Ｓに供給することも可能である。以下においては、説明の便宜のために、ディスプレイ基板Ｓが、図９のｙ軸方向に往復運動するとともに、第１吐出部４０００ａないし第３吐出部４０００ｃは、図９のｘ軸方向に一定間隔で移動しながら、前記液滴をディスプレイ基板Ｓに供給するという場合を中心に、詳細に説明する。
前述のような第１吐出部４０００ａないし第３吐出部４０００ｃのそれぞれは、ノズルを含むのでありうる。ここで、第１吐出部４０００ａないし第３吐出部４０００ｃは、互いに、同一または同様に形成されるので、第１吐出部４０００ａを中心に詳細に説明する。
前述のような第１吐出部４０００ａは、少なくとも１つの第１ノズル４１００ａを含むのでありうる。例えば、第１吐出部４０００ａは、図面に図示されていないが、１つの第１ノズル４１００ａを含むのでありうる。他の実施形態として、第１吐出部４０００ａは、複数個の第１ノズル４１００ａを含むのでありうる。そのような場合、複数個の第１ノズル４１００ａは、互いに離隔されるようにも配置され、ジグザグの形態に配列されうる。例えば、複数個の第１ノズル４１００ａは、図１０の下部に示された第１列Ｍ１に配置される第１－１ノズル４１１０ａを含むのでありうる。また、複数個の第１ノズル４１００ａは、第２列Ｍ２に配置される第１－２ノズル４１２０ａを含むのでありうる。複数個の第１ノズル４１００ａは、第３列Ｍ３に配置される第１－３ノズル４１３０ａと、第４列Ｍ４に配置される第１－４ノズル４１４０ａと、を含むのでありうる。前述のような場合、第１－１ノズル４１１０ａないし第１－４ノズル４１４０ａは、１つのノズルグループを形成し、該ノズルグループは、複数個が具備され、図１０のｘ軸方向に互いに離隔されるように配置されうる。また、複数個のノズルグループは、図１０のｙ軸方向に互いに離隔されるように配置されうる。そのような場合、図１０のｙ軸方向に互いに離隔されるそれぞれのノズルグループにおける第１－１ノズル４１１０ａは、ｙ軸方向に一直線に配列されず、ｘ軸方向とｙ軸方向との間の斜線方向に配列されうる。図示の一具体例において、ｙ軸方向から３～２５°または５～２０°だけｘ軸方向へと傾いた方向に沿って配列される。前述のような場合、それぞれのノズルグループにおける第１－２ノズル４１２０ａ、第１－３ノズル４１３０ａ及び第１－４ノズル４１４０ａも、第１－１ノズル４１１０ａと同一または同様に、斜線方向に沿って配列されうる。すなわち、ｘ軸方向及びｙ軸方向へとマトリクス状に配列される一連のノズルグループにおいて、対応するノズル(例えば第１－１ノズル４１１０ａ)は、ｘ軸方向に一列に配列され、ｙ軸方向には、一列に配列されず、ｘ軸とｙ軸との間の方向(斜線方向)に、一列に配列されうる。
前述のような各ノズルグループの第１－１ノズル４１１０ａないし第１－４ノズル４１４０ａは、それぞれ、ディスプレイ基板Ｓの互いに異なる領域に、前記液滴を供給することができる。他の実施形態として、各ノズルグループの第１－１ノズル４１１０ａないし第１－４ノズル４１４０ａのうちの少なくとも２個は、ディスプレイ基板Ｓの同一領域に、前記液滴を供給することができる。さらに他の実施形態として、互いに異なる第１ノズルグループの第１－１ノズル４１１０ａないし第１－４ノズル４１４０ａのうちの少なくとも一つと、第２ノズルグループの第１－１ノズル４１１０ａないし第１－４ノズル４１４０ａのうちの少なくとも一つとは、ディスプレイ基板Ｓの同一領域に、前記液滴を供給することができる。以下においては、説明の便宜のために、１つのノズルグループの第１－１ノズル４１１０ａないし第１－４ノズル４１４０ａのうちの一つが、ディスプレイ基板Ｓの１つの領域に、前記液滴を供給する場合を中心に詳細に説明する。
前述のような表示装置の製造装置１０００は、ディスプレイ基板Ｓをステージ１１００に配置した後、第１吐出部４０００ａないし第３吐出部４０００ｃを介して、それぞれ前記液滴をディスプレイ基板Ｓに供給し、測定部２０を介し、ディスプレイ基板Ｓのイメージを撮影した後、前記液滴に含まれた粒子の濃度を算出することができる。この際、前記液滴に含まれた粒子の濃度を算出する方法は、前述の図５で説明したところと同一であるか、あるいはそれと類似しているので、詳細な説明は省略する。
前述のような場合、粒子の濃度を算出するために、ディスプレイ基板Ｓの全体の領域、またはディスプレイ基板Ｓの一定の領域に、全ての吐出部の全てのノズルから液滴を供給した後、測定部でもって測定することにより、各ノズルから吐出される前記液滴に含まれた、粒子の濃度を測定することができる。
前述のように、測定された濃度を基に、各ノズルから吐出される回数、ディスプレイ基板Ｓの一領域に供給されるノズルの番号を変更することができる。具体的には、ディスプレイ基板Ｓの一領域に、前記液滴を供給しなければならない場合、前記液滴を落とす回数、及び、ディスプレイ基板Ｓの一領域を通過するノズルについて、制御部６０００に事前に設定されうる。例えば、ディスプレイ基板Ｓの一領域へと、所望する体積の液滴を供給するために、前記液滴は、前記一領域へと１０回落下されるように、制御部６０００に設定された状態でありうる。このような場合、制御部６０００には、次のように設定されうる。すなわち、前記液滴を供給するディスプレイ基板Ｓ上の前記一領域には、第１－１ノズル４１１０ａが５回配置され、第１－３ノズル４１３０ａが５回配置されるとともに、第１－１ノズル４１１０ａ及び第１－３ノズル４１３０ａは、前記液滴を供給しなければならないディスプレイ基板Ｓ上の前記一領域上に配置されるごとに、１回ずつ、前記液滴をディスプレイ基板Ｓに供給するというように、制御部６０００に設定されうる。前述のような場合、制御部６０００は、各ノズルから供給される前記液滴に含まれた粒子の濃度に応じて、前述のように、例えば、第１－１ノズル４１１０ａから、前記液滴をディスプレイ基板Ｓに供給する回数を３回に調整するとともに、第１－３ノズル４１３０ａから、前記液滴をディスプレイ基板Ｓに供給する回数を７回に調整するといったことを行うことができる。他の実施形態として、制御部６０００は、第１－１ノズル４１１０ａが、前記液滴が供給されなければならないディスプレイ基板Ｓの前記一領域上に配置された際に、既設定のように、５回前記液滴をディスプレイ基板Ｓに供給するように制御するとともに、第１－３ノズル４１３０ａの代わりに、第１－１ノズル４１１０ａ、第１－２ノズル４１２０ａ及び第１－４ノズル４１４０ａのうちの少なくとも一つが、前記液滴を供給すべくディスプレイ基板Ｓ上に配置されるごとに、第１－１ノズル４１１０ａ、第１－２ノズル４１２０ａ及び第１－４ノズル４１４０ａのうちの少なくとも一つが、前記液滴をディスプレイ基板Ｓに供給するようにすることも可能である。すなわち、このように供給されるように、第１－１ノズル４１１０ａ、第１－２ノズル４１２０ａ及び第１－４ノズル４１４０ａのうちの少なくとも一つを制御することも可能である。それだけではなく、前述のような過程は、それぞれの吐出部別に遂行されうる。また、１つの吐出部内の複数個のノズルグループにわたってのノズルを選択して進めることも可能である。そのような場合、制御部６０００は、ディスプレイ基板Ｓの１つの領域（例えば、画素区画膜の開口部内部の有機発光層、各色変換層、各カラーフィルタ）を形成する際、設定された濃度を有する層を形成するだけではなく、ディスプレイ基板Ｓの全体の領域に均一に分布された、前記液滴によって形成された層において、粒子の濃度を均一化させることが可能である。このようであると、前記液滴でもって形成された層(パターン)は、互いに離隔されるように配置されうるのであり、前記液滴に含まれた粒子の濃度が相異なることによって生じるモアレ現象を防止することができる。
一方、前述のような作業は、１つのディスプレイ基板Ｓにて使用されることも可能であるが、複数個のディスプレイ基板Ｓにて遂行されることも可能である。例えば、１つのディスプレイ基板Ｓに、前述のような作業を遂行し、それを基に、他のディスプレイ基板Ｓにおいて、吐出部４０００の運動を制御することができる。それだけではなく、そのような内容は、１つのディスプレイ基板Ｓの作業が完了した後、制御部６０００にフィードバックすることにより、各吐出部、または各吐出部のノズルから吐出される前記液滴に含まれた粒子の濃度を、リアルタイムでモニタリングすることが可能である。
従って、表示装置の製造装置１０００は、粒子の濃度が全面において、均一になるように制御することが可能である。
図１１Ａ及び図１１Ｂは、本発明の一実施形態による表示装置の製造方法を示す順序図である。
図１１Ａ及び図１１Ｂを参照すれば、図５または図９に図示された表示装置の製造装置１０００は、量子点発光層を含む中間層３２０を形成する際に使用することが可能である。この場合、中間層３２０は、第１吐出部４０００ａないし第３吐出部４０００ｃのうちの少なくとも一つから、液滴ＤＳを供給することによって形成することができる。そのような液滴ＤＳには、粒子（例えば、散乱体）がさらに含まれる形態でありうる。前述のような表示装置の製造装置１０００は、粒子（例えば、散乱体）を含む量子点発光層を、開口部１１２ＯＰに吐出することも可能である。ただし、以下においては、説明の便宜のために、表示装置の製造装置１０００は、粒子を含む量子点発光層を、開口部１１２ＯＰに配する場合を中心に、詳細に説明する。
前述のような場合、第１吐出部４０００ａないし第３吐出部４０００ｃのそれぞれは、互いに異なる色を発光する量子点発光層を含む液滴ＤＳを供給することができる。例えば、第１吐出部４０００ａないし第３吐出部４０００ｃのうちの一つは、赤色量子点発光層を含む液滴ＤＳを供給することができる。第１吐出部４０００ａないし第３吐出部４０００ｃのうちの他の一つは、緑色量子点発光層を含む液滴ＤＳを供給することができる。第１吐出部４０００ａないし第３吐出部４０００ｃのうちのさらに他の一つは、青色量子点発光層を含む液滴ＤＳを供給することができる。
前述のような場合、同一色を発光する中間層３２０を形成するために、第１吐出部４０００ａないし第３吐出部４０００ｃのうちの少なくとも一つを使用することができる。以下においては、説明の便宜のために、同一色を発光する中間層３２０の形成時、第１吐出部４０００ａの第１ノズル４１００ａを使用する場合を中心に、詳細に説明する。
第１吐出部４０００ａの第１ノズル４１００ａは、液滴ＤＳをディスプレイ基板Ｓへと供給しうる。そのような液滴ＤＳは、画素区画膜１１２の開口部１１２ＯＰ上に挿入されうる。ここでのディスプレイ基板Ｓは、積層構造において、ベースをなす基板１００から、画素区画膜１１２までの範囲を意味しうる。
前述のような場合、中間層３２０内部に含まれた粒子の濃度を、既設定の濃度と同一または類似となるようにさせるだけではなく、ディスプレイ基板Ｓにおいて、同一色を発光する各画素の中間層３２０に含まれた粒子の濃度が均一になるように、前述のところで説明されているように、制御することができる。すなわち、開口部１１２ＯＰへと液滴ＤＳを供給するノズルを変更するか、あるいはノズルから供給される液滴ＤＳの供給回数などを制御することができる。
具体的には、該表示装置は、複数個の画素を含み、該複数個の画素は、互いに異なる色を発光することができる。例えば、該複数個の画素は、赤色、緑色及び青色を発光する画素を含むものでありうる。そのような場合、該赤色画素、該緑色画素及び該青色画素のうちの少なくとも一つは、複数個が具備されうる。以下においては、説明の便宜のために、赤色画素、緑色画素及び青色画素が、それぞれ複数個具備されるということを前提として、複数の青色画素を形成する方法について詳細に説明する。
前述のような場合、複数個の青色画素を形成するとき、各青色画素に液滴ＤＳを供給するノズルは、互いに異なりうる。例えば、複数個の青色画素のうち、第１青色画素を形成するノズルは、図１０で説明された第１－１ノズル及び第１－２ノズルでありうる。これに対し、第１青色画素と異なる位置に配置される複数個の青色画素のうちの、第２青色画素を形成するノズルは、図１０で説明された第１－２ノズル及び第１－３ノズルでありうる。そのような場合、第１－１ノズル、第１－２ノズル、第１－３ノズルのそれぞれから吐出される液滴ＤＳの濃度が互いに異なることにより、液滴ＤＳを第１青色画素に供給して形成された中間層３２０に含まれた粒子の濃度と、第２青色画素に供給して形成された中間層３２０に含まれた粒子の濃度とが異なるのでありうる。そのようなことは、互いに同一色を発光する複数個の画素で反復的に起こりうるのであり、粒子の濃度が互いに同一となっている中間層３２０のドットパターンは、移動部３０００（図５、図９）液滴吐出部４０００（図５、図９）の運動方向、またはディスプレイ基板Ｓの運動方向に沿って、一列に配列されうる。一方、ディスプレイ基板Ｓの運動方向と異なる方向に配列されるようにして、互いに隣接した画素は、互いに粒子の濃度が異なるものとなりうる。そのような場合、互いに隣接しながら、互いに異なる列を形成する同一色を発光する画素は、濃度差により、発光層による発光時または光の入射時、縞模様が視認される問題が生じうる。
前述のような問題を解決するために、前述のように、測定された各ノズルから吐出される液滴ＤＳの輝度を算出し、それを基に、各画素に対応する位置に供給される総液滴に含まれた粒子の濃度を調節することができる。
例えば、液滴吐出部４０００が、第１青色画素に液滴ＤＳを供給するにあたり、第１－１ノズルと第１－２ノズルとから、液滴ＤＳを同一の回数だけ供給するというならば、第２青色画素に液滴ＤＳを供給するにあたり、第１－２ノズルと第１－３ノズルとから、液滴を供給するのではなく、第１－１ノズルが第２青色画素上に配置されるように制御して、第１－１ノズルから液滴ＤＳを供給した後、第１－２ノズルが、第２青色画素上に配置された際に、液滴ＤＳを供給することができる。
他の実施形態として、前述のような場合、第２青色画素上に、第１－１ノズルから液滴ＤＳを供給した後、第１－２ノズル、第１－３ノズルから、液滴ＤＳを順次に供給するようにしうる。
さらに他の実施形態として、前述のような場合、第２青色画素上に、まず第１－４ノズルから液滴ＤＳを供給した後、引き続いて第１－１ノズル、第１－２ノズル及び第１－３ノズルのうちの、少なくとも一つから、液滴ＤＳを供給するようにすることも可能である。
前述のような作業は、前述のところに限定されるものではなく、各ノズルから一度に吐出される量を制御するか、あるいは各ノズルから、定められた部分へと吐出される液滴ＤＳの吐出回数を減らすことにより、各画素に配置された中間層３２０に含まれた粒子の濃度を制御することも可能である。また、前述の場合以外にも、液滴吐出部４０００の経路を可変させることにより、前述の制御を行うことも可能である。
従って、表示装置の製造方法は、ディスプレイ基板Ｓに配置され、同一色を発光する画素に配置された中間層に含まれた粒子の濃度を、ディスプレイ基板Ｓの全面にわたって均一にすることができる。
一方、前述のようにして青色の画素のための中間層３２０のドットパターンを形成した後、ディスプレイ基板Ｓに配置された他色の中間層のドットパターンを形成することができる。そのような場合、互いに異なる色を具現する中間層のドットパターンには、互いに異なるノズルを使用するか、あるいは互いに異なる吐出部を使用することができる。
その後、中間層３２０が形成されたディスプレイ基板Ｓに、共通電極３３０、第１無機封止層５１０、有機封止層５２０及び第２無機封止層５３０を順次に形成し、表示装置の製造を完了することができる。
図１２Ａ及び図１２Ｂは、本発明の他の実施形態による表示装置の製造方法を示す順序図である。
図１２Ａ及び図１２Ｂを参照すれば、ディスプレイ基板Ｓは、上部基板８００、光遮断パターン８１０を含むものでありうる。
前述のようなディスプレイ基板Ｓは、図５または図９に図示されたステージ１１００上に配置された後、格子状の光遮断パターン８１０による開口部（格子区画内）に、色変換層ＱＤ１，ＱＤ２及び透過層ＴＷのうちの少なくとも１つの層のパターンを形成することができる。以下においては、説明の便宜のために、第２色変換層ＱＤ２のパターンを形成する場合を中心に、詳細に説明する。また、第２色変換層ＱＤ２のパターンについて、第１吐出部４０００ａの第１ノズル４１００ａを介して形成する場合を中心に、詳細に説明する。
第２色変換層ＱＤ２を形成するために、第１吐出部４０００ａの第１ノズル４１００ａから液滴ＤＳが供給される際、制御部６０００は、複数個の第１ノズル４１００ａから吐出される液滴ＤＳに含まれた粒子の濃度を基に、第２色変換層ＱＤ２を形成するために使用される液滴ＤＳの体積、及び第２色変換層ＱＤ２に含まれなければならない粒子の濃度に対応するように、複数個の第１ノズル４１００ａのうちの、液滴ＤＳを供給しなければならない第１ノズル４１００ａを選択する。そして、選択された第１ノズル４１００ａが、第２色変換層ＱＤ２を形成しなければならないディスプレイ基板Ｓの部分を通過するように、第１吐出部４０００ａの位置を調節することができる。また、制御部６０００は、選択された第１ノズル４１００ａから吐出される液滴ＤＳの吐出回数を調節することができる。制御部６０００は、選択された第１ノズル４１００ａから１回で供給される液滴ＤＳの吐出量を調節することも可能である。そのような内容は、制御部６０００に、テーブルの形態で保存されるか、あるいは別途のプログラムを介して算出される数式などが保存された状態でありうる。
前述のような過程は、ディスプレイ基板Ｓの他の位置に配置された第２色変換層ＱＤ２においても、同一に遂行されうる。ここで、前述のような過程は、第２色変換層ＱＤ２以外にも、第１色変換層ＱＤ１及び透過層ＴＷにおいて、同一に遂行されうる。
このように行うことで、同一色を発光する画素に対応する複数個の第１色変換層ＱＤ１のそれぞれに含まれた粒子の濃度、複数個の第２色変換層ＱＤ２のそれぞれに含まれた粒子の濃度、または複数個の透過層ＴＷのそれぞれに含まれた粒子の濃度は、ディスプレイ基板Ｓの全面にわたって均一になりうる。
前述のように、光遮断パターン８１０の上（形成後）に、色変換層ＱＤ１，ＱＤ２の形成が完了すれば、色変換層ＱＤ１，ＱＤ２及び透過層ＴＷを覆うように充填材６１０を配置してから、表示パネルと結合し、表示装置の製造を完了することができる。ここで、表示パネルとは、積層構造において、ベースをなす基板１００から第２無機封止層５３０までを含む概念でありうる。
図１３Ａ及び図１３Ｂは、本発明のさらに他の実施形態による表示装置の製造方法を示す順序図である。
図１３Ａ及び図１３Ｂを参照すれば、ディスプレイ基板Ｓは、上部基板８００、光遮断パターン８１０、カラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３及び保護層２２０を含む概念でありうる。ここで、ディスプレイ基板Ｓは、上部基板８００上に、格子状の光遮断パターン８１０を形成した後、光遮断パターン８１０による開口部（格子区画内）にカラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３を配置してから、カラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３及び光遮断パターン８１０を覆うように保護層２２０を形成することで、製造することができる。
前述のようなディスプレイ基板Ｓは、図５または図９に図示された表示装置の製造装置１０００を介し、色変換層ＱＤ１，ＱＤ２及び透過層ＴＷのうち少なくとも１層を形成することができる。以下においては、説明の便宜のために、ディスプレイ基板Ｓ上に第２色変換層ＱＤ２を形成する場合を中心に詳細に説明する。また、第２色変換層ＱＤ２は、第１吐出部４０００ａの第１ノズル４１００ａを介して形成する場合を中心に詳細に説明する。
前述のようなディスプレイ基板Ｓ上に、第１ノズル４１００ａを介して液滴ＤＳを供給することにより、第２色変換層ＱＤ２を形成することができる。この際、制御部６０００は、第２色変換層ＱＤ２に含まれなければならない粒子の濃度になるように、第２色変換層ＱＤ２が配置されるべきディスプレイ基板Ｓの部分を通過するノズルの番号、液滴ＤＳの吐出回数などを制御することができる。
前述のような場合、制御部６０００は、既設定の複数個の第１ノズル４１００ａのうちの一つの代わりに、複数個の第１ノズル４１００ａのうちの他の一つが、第２色変換層ＱＤ２が配置されるべきディスプレイ基板Ｓの部分を通過するように、移動部３０００を制御することができる。他の実施形態として、制御部６０００は、第２色変換層ＱＤ２が配置されるべきディスプレイ基板Ｓの部分を、既設定の複数個の第１ノズル４１００ａのうちの一つが通過する際に、複数個の第１ノズル４１００ａのうちの一つを作動させず、既設定の複数個の第１ノズル４１００ａのうちの他の一つが、第２色変換層ＱＤ２が配置されるべきディスプレイ基板Ｓの部分を通過する際に、複数個の第１ノズル４１００ａのうちの前記他の一つを作動させることも可能である。また、第２色変換層ＱＤ２が配置されるべきディスプレイ基板Ｓの部分に対応して配置される、複数個の第１ノズル４１００ａのうちの一つから吐出する吐出の回数も調節することが可能である。
前述のような作業は、ディスプレイ基板Ｓの全面にわたって、反復して遂行されることにより、ディスプレイ基板Ｓ上に、複数個の第２色変換層ＱＤ２を形成することができる。そのような場合、各第２色変換層ＱＤ２に含まれた粒子の濃度は、ディスプレイ基板Ｓの全面にわたって、ほぼ同一になりうる。
また、前述のような作業は、第１色変換層ＱＤ１及び透過層ＴＷのドットパターンについて、同一に遂行される。
従って、前述のような過程を介し、同一色を発光する色変換層ＱＤ１，ＱＤ２のドットパターンを形成する際に、同一色を発光する色変換層ＱＤ１，ＱＤ２の内部に含まれた粒子の濃度を、ディスプレイ基板Ｓの全面にわたって、均一になるように調節することが可能である。
前述のように、ディスプレイ基板Ｓに、色変換層ＱＤ１，ＱＤ２及び透過層ＴＷのドットパターンを形成した後、色変換層ＱＤ１，ＱＤ２及び透過層ＴＷを覆うように、追加保護層２３０を形成するか、あるいは追加保護層２３０及び充填材６１０を形成してから、ディスプレイ基板Ｓを表示パネル（図示せず）と結合させることができる。ここで、前記表示パネルは、図１３Ｂの積層構造において、ベースをなす基板１００から第２無機封止層５３０までを含む概念でありうる。
なお、前述のところにおいては、色変換層ＱＤ１，ＱＤ２を形成することを中心に詳細に説明したが、カラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３を、図５または図９の表示装置の製造装置１０００にて形成することも可能である。そのような場合、ディスプレイ基板Ｓは、上部基板８００及び光遮断パターン８１０を含む概念でありうる。ここで、カラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３に粒子が含まれる場合、カラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３に含まれた粒子の濃度は、前述のところと同一または同様に調節することができる。
前述のようにしてカラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３を形成した後、ディスプレイ基板Ｓ上、及びカラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３上に、保護層２２０から追加保護層２３０までを形成するか、あるいは保護層２２０から充填材６１０までを形成してから、表示パネルに結合させることができる。
従って、前述のような場合、同一色のカラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３は、ディスプレイ基板Ｓ上において、同一色のカラーフィルタＣＦ１，ＣＦ２，ＣＦ３内部に含まれた粒子の濃度が均一でありうる。
以上のように、本発明は、図面に図示された一実施形態を参照して説明されたが、それらは、例示的なものに過ぎず、当該分野において通常の知識を有する者であるならば、それらから、多様な変形、及び実施形態の変形が可能であるという点を理解するであろう。従って、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって定められるべきである。
好ましい実施形態によると、下記のとおりである。
本件の背景及び課題は下記(i)～(vi)のとおりである。
(i) 有機発光表示装置(OLED)や液晶表示装置(LCD)などの画像を表示できる表示装置を製造するにあたり、光散乱層、色変換層、カラーフィルタ層などのパターンを形成するのに、インクジェット技術を適用または開発が行われている。
(ii) インクジェット技術を用いる場合、画素ドットごとの発光領域(OLEDなど)や光透過・反射領域(LCDなど)などの光出射領域内、特には、格子状の画素区画膜により区切られる各領域内に、ドット状に光機能層パターンを形成することができる。また、ほぼ全面に光機能層を形成する場合も、形成することができる。
(iii) しかし、光散乱層、色変換層、カラーフィルタ層などのドット状パターンを形成する際、光散乱体の粒子、量子ドット(量子点)を含有する粒子、顔料(pigment)などの光機能性粒子が、インクジェットのインク中に均一に分散される必要がある。一方、微細なパターンを効率的に形成するためには、インクの粘度を低く保つ必要がある。
(iv) そのため、インクジェットヘッドの内部またはこれに連結されるインク溜り中などで、光機能性粒子が部分的に沈殿して濃度が所定の値からずれることがありうる。そのため、光機能層のパターンを形成した場合、光機能層パターンにおける光機能性粒子の塗布密度（単位面積あたりの光機能性粒子の数または質量、または、単位面積あたりの光機能活性）が、画像表示面内で不均一になりうる。特には、画像表示面にモアレ縞などの視認可能な不具合が生じることがありうる。
(v) インクジェットヘッドの内部に形成されるインク供給経路の形状などを工夫することにつき、種々の提案がなされている。しかし、このようにインク供給経路などについての構造的な工夫を行ったとしても、ほぼ完全に均一な状態を維持することが困難になる場合がありうる。また、インクジェットヘッドなどの装置的なコストの上昇を招く可能性がある。
(vi) 塗布の後に、乾燥、または乾燥及び硬化を行ってから、形成された光機能性層の塗布密度（特には、単位面積あたりの光機能活性の密度）をチェックしてフィードバックを行うことが考えられる。すなわち、インクジェットヘッドの吐出面内における吐出口（ノズル）の位置によって塗布密度のばらつきが生じている場合、それに応じた対策を行うことが考えられる。しかし、塗布密度をチェックしてフィードバックを行うまでに、ある程度の時間を要してしまう。また、塗布密度の低い箇所に、追加の塗布を行うといったことは、工程上難しいと考えられる。
そこで、本件発明者らは、鋭意検討を行う中で、下記Ａ１～Ａ３，Ａ１～Ａ４，Ａ１～Ａ５またはＡ１～Ａ６とすべきという着想を得るとともに、その有用性を実験的に確かめた。また、好ましくは下記Ａ６～Ａ１１のいずれか、または任意の組み合わせを選択して行うことができる。
Ａ１ ＜基板・基材上にある液滴(DS)の撮像＞
インクジェット塗布工程にて、製造途中の基板（ディスプレイ基板S）、または、テスト用の帯状基材または基板（テスト部材10またはテスト基板）における、液滴(DS)が打ち込まれて付着した箇所を、撮像する。すなわち、乾燥などが行われる前に、基板または帯状基材の上に撃ち込まれた状態のままの液滴を、そのまま撮像する。
インクジェット塗布工程にて、製造途中の基板（ディスプレイ基板S）、または、テスト用の帯状基材または基板（テスト部材10またはテスト基板）における、液滴(DS)が打ち込まれて付着した箇所を、撮像する。すなわち、乾燥などが行われる前に、基板または帯状基材の上に撃ち込まれた状態のままの液滴を、そのまま撮像する。
Ａ２ ＜液滴(DS)の箇所の輝度＞
この撮像は、特定の照明光（特定の着色光、白色光またレーザー光）を所定の方向から照射して行うのであり、撮像されたイメージから、各液滴(DS)の領域（各液滴の輪郭内の領域）における輝度、または、それぞれに液滴(DS)の輪郭を包み込む所定領域（特には、画素ドットごとの光出射領域、またはこれを包含する格子状の各区画）における輝度（第１輝度）を求める。この際、撮像から、所定の一つまたは複数の波長域の成分を選択して、そのような波長域の成分における輝度を用いることもできる。
この撮像は、特定の照明光（特定の着色光、白色光またレーザー光）を所定の方向から照射して行うのであり、撮像されたイメージから、各液滴(DS)の領域（各液滴の輪郭内の領域）における輝度、または、それぞれに液滴(DS)の輪郭を包み込む所定領域（特には、画素ドットごとの光出射領域、またはこれを包含する格子状の各区画）における輝度（第１輝度）を求める。この際、撮像から、所定の一つまたは複数の波長域の成分を選択して、そのような波長域の成分における輝度を用いることもできる。
Ａ３ ＜輝度のバックグラウンド補正＞
液滴(DS)に覆われずに露出している領域での輝度（第２輝度）を同様に求め、このようなバックグラウンドの輝度（第２輝度：一種のノイズ）に基づき、液滴(DS)の近傍について求められた上述の輝度（第１輝度）を補正する。このように補正された輝度（補正輝度）を用いて、非活性粒子の塗布密度を推定する。この補正輝度は、例えば、第１輝度の値を第２輝度の値により割り算を行うことで求めることができる。
この第２輝度の測定を行うバックグラウンドの領域は、一例にて、液滴(DS)のに近接しつつ液滴(DS)の輪郭から離間した領域とすることができる。また、液滴(DS)の箇所の輝度（第１輝度）の測定領域と、バックグラウンドの輝度（第２輝度）の測定領域とは、同一または類似の面積を有するように選択することができ、また、同一または同様の形状をも有するように選択することができる。
液滴(DS)に覆われずに露出している領域での輝度（第２輝度）を同様に求め、このようなバックグラウンドの輝度（第２輝度：一種のノイズ）に基づき、液滴(DS)の近傍について求められた上述の輝度（第１輝度）を補正する。このように補正された輝度（補正輝度）を用いて、非活性粒子の塗布密度を推定する。この補正輝度は、例えば、第１輝度の値を第２輝度の値により割り算を行うことで求めることができる。
この第２輝度の測定を行うバックグラウンドの領域は、一例にて、液滴(DS)のに近接しつつ液滴(DS)の輪郭から離間した領域とすることができる。また、液滴(DS)の箇所の輝度（第１輝度）の測定領域と、バックグラウンドの輝度（第２輝度）の測定領域とは、同一または類似の面積を有するように選択することができ、また、同一または同様の形状をも有するように選択することができる。
Ａ４ ＜輝度の反射点補正＞
光散乱体粒子などを含むインクを用いる場合などに、基板または基材上の液滴の中央部分などで、強い反射が見られることがありうる。このような場合に、ある閾(しきい)値以上の光出射を行う一部の領域を除外しうる。
光散乱体粒子などを含むインクを用いる場合などに、基板または基材上の液滴の中央部分などで、強い反射が見られることがありうる。このような場合に、ある閾(しきい)値以上の光出射を行う一部の領域を除外しうる。
Ａ５ ＜濃度の推定＞
このように求められた輝度に基づき、特定の光機能性粒子の塗布密度を推定する。この推定は、例えば、ランベルト・ベールの法則(Lambert-Beer law)に則り、光散乱体などの光機能性粒子の濃度と、反射などによる特定方向への出射光の量との関係を仮定することにより行うことができる。
このように求められた輝度に基づき、特定の光機能性粒子の塗布密度を推定する。この推定は、例えば、ランベルト・ベールの法則(Lambert-Beer law)に則り、光散乱体などの光機能性粒子の濃度と、反射などによる特定方向への出射光の量との関係を仮定することにより行うことができる。
Ａ６ ＜フィードバック＞
そして、この推定された塗布密度による、インクジェット塗布工程へのフィードバックを行う。すなわち、基板上の特定の箇所(特には、特定の画素ドット)へと吐出されるインクの量（体積）またはインク中の光機能性粒子の濃度を増減するようにする。
そして、この推定された塗布密度による、インクジェット塗布工程へのフィードバックを行う。すなわち、基板上の特定の箇所(特には、特定の画素ドット)へと吐出されるインクの量（体積）またはインク中の光機能性粒子の濃度を増減するようにする。
Ａ７ ＜較正曲線の確認＞
予め、輝度（特には、上述の補正輝度）と、光機能性粒子の塗布密度との間の関係を確認することで、一種の較正曲線を決定しておくことができる。
この確認のためには、共焦点顕微鏡（confocal microscope）や干渉顕微鏡（interferometric microscope）などの、深さレイヤーごとの観察が可能な顕微鏡を用いて液滴(DS)をし、画像解析プログラムなどを用いて、光機能性粒子の数を計測することができる。
本願図８Ａ～８Ｂには、光散乱機能を有する二酸化チタンのサブミクロン粒子（例えばD50が約480nmのルチル型球状粒子）を用いた場合について、上述のように輝度から一次的に推定して得た較正曲線(NJI)と、実際に液滴中の光機能粒子の数について顕微鏡を用いて計測することで得られた較正曲線(Row1～Row4)とを対比して示す。本願図８Ａ～８Ｂは、相当に高い相関関係の存在を示す。
予め、輝度（特には、上述の補正輝度）と、光機能性粒子の塗布密度との間の関係を確認することで、一種の較正曲線を決定しておくことができる。
この確認のためには、共焦点顕微鏡（confocal microscope）や干渉顕微鏡（interferometric microscope）などの、深さレイヤーごとの観察が可能な顕微鏡を用いて液滴(DS)をし、画像解析プログラムなどを用いて、光機能性粒子の数を計測することができる。
本願図８Ａ～８Ｂには、光散乱機能を有する二酸化チタンのサブミクロン粒子（例えばD50が約480nmのルチル型球状粒子）を用いた場合について、上述のように輝度から一次的に推定して得た較正曲線(NJI)と、実際に液滴中の光機能粒子の数について顕微鏡を用いて計測することで得られた較正曲線(Row1～Row4)とを対比して示す。本願図８Ａ～８Ｂは、相当に高い相関関係の存在を示す。
Ａ８ ＜一つのインクジェット塗布工程中でのリアルタイムフィードバック＞
一つの画素ドットなどの一つの微小領域に対して、インクジェットヘッドの複数のノズルから、順次に液滴の打ち込み・塗布が行われるようにする。このような場合に、最初のノズル（第１ノズル）または最初のグループのノズル（例えば第１～２ノズル）から、一つの微小領域へと塗布が行われた後に、上述のような輝度の測定に基づく光機能性粒子の濃度の推定を行う。そして、この結果に基づき、残りのノズル（第２ノズル及びこれ以降、または、第２グループのノズル）による塗布の量について、必要に応じて増減させる。
一つの画素ドットなどの一つの微小領域に対して、インクジェットヘッドの複数のノズルから、順次に液滴の打ち込み・塗布が行われるようにする。このような場合に、最初のノズル（第１ノズル）または最初のグループのノズル（例えば第１～２ノズル）から、一つの微小領域へと塗布が行われた後に、上述のような輝度の測定に基づく光機能性粒子の濃度の推定を行う。そして、この結果に基づき、残りのノズル（第２ノズル及びこれ以降、または、第２グループのノズル）による塗布の量について、必要に応じて増減させる。
Ａ９ ＜残りのノズルの選択＞
一つの微小領域に対して塗布を順次に行う一連のノズルのうち、上記の輝度測定の後の残りのノズルは、輝度測定の結果に基づいて、適したものを選択するように制御することができる。例えば、輝度測定までの最初の段階での塗布の結果、設計された塗布密度を下回った場合、塗布密度の高いノズルを、一連のノズルのうちの残りのノズルとして選択することができる。このためには、インクジェットヘッドまたはこれを搭載する支持部材（第２ガントリ３０、第１ガントリ２０００）を適宜に水平方向に移動させるか、または、製造途中の基板（ディスプレイ基板S）を適宜に水平方向に移動させることができる。
一つの微小領域に対して塗布を順次に行う一連のノズルのうち、上記の輝度測定の後の残りのノズルは、輝度測定の結果に基づいて、適したものを選択するように制御することができる。例えば、輝度測定までの最初の段階での塗布の結果、設計された塗布密度を下回った場合、塗布密度の高いノズルを、一連のノズルのうちの残りのノズルとして選択することができる。このためには、インクジェットヘッドまたはこれを搭載する支持部材（第２ガントリ３０、第１ガントリ２０００）を適宜に水平方向に移動させるか、または、製造途中の基板（ディスプレイ基板S）を適宜に水平方向に移動させることができる。
Ａ１０ ＜ノズルのジグザグ配列＞
図１０に示すように、例えば、赤色、緑色、青色及び白色の画素ドットにそれぞれ対応する４つのノズル（４１１０ａ～４１４０ａ）を一つのノズルグループ（４１００ａ）にまとめて、インクジェットヘッドの塗布面内にて、互いに近接して配置する。この際、４つのノズル（４１１０ａ～４１４０ａ）は、ｘ軸方向に並ぶものの、ｙ軸方向の位置が順次ずらされている。特には、４つのノズルを線で結ぶとクランク状になるように、ジグザグに配置されている。
このようなジグザグの配置により、隣り合うノズル同士の間の間隔をなるべく大きく取ることができ、ノズルを高密度で配置することができる。
図１０に示すように、例えば、赤色、緑色、青色及び白色の画素ドットにそれぞれ対応する４つのノズル（４１１０ａ～４１４０ａ）を一つのノズルグループ（４１００ａ）にまとめて、インクジェットヘッドの塗布面内にて、互いに近接して配置する。この際、４つのノズル（４１１０ａ～４１４０ａ）は、ｘ軸方向に並ぶものの、ｙ軸方向の位置が順次ずらされている。特には、４つのノズルを線で結ぶとクランク状になるように、ジグザグに配置されている。
このようなジグザグの配置により、隣り合うノズル同士の間の間隔をなるべく大きく取ることができ、ノズルを高密度で配置することができる。
Ａ１１ ＜ノズルグループの斜め配列＞
図１０に示すように、多数のノズルグループを、概ねｘ軸方向及びｙ軸方向に沿って並ぶようにマトリクス状に配列するにあたり、ｙ軸方向からずれた斜め方向に配列されるようにする。ここで、ｘ軸方向からはずれずに、ｘ軸方向に整列されるようにすることができる。このように斜めに配列されることで、ｙ軸方向に隣り合うノズルグループ同士の間で、対応するノズル（例えば第１ノズル）についてのｘ軸方向の位置を少しずつずらすことができる。この結果、インクジェットヘッドの内部における、チャネル供給経路とノズルとの間の位置関係をずらすことができる。その結果、例えば、一連のノズルグルーブにそれぞれ属する第１ノズルにより、赤色画素ドットへと塗布を行う場合、塗布密度が適当なバラツキを有するようになることがあり得る。したがって、上記Ａ８～Ａ９のようなフィードバックによる残りのノズルの選択が容易になると判断される。ここでの斜め方向の傾きは、例えば、ｙ軸方向から５°以上、８°以上、１０°以上、１５°以上、または２０°以上とすることができ、また、４５°未満、４０°以下、３５°以下、３０°以下、２５°以下、２０°以下または１５°以下とすることができ、特には５～１５°、１０°～２０°などとすることができる。
図１０に示すように、多数のノズルグループを、概ねｘ軸方向及びｙ軸方向に沿って並ぶようにマトリクス状に配列するにあたり、ｙ軸方向からずれた斜め方向に配列されるようにする。ここで、ｘ軸方向からはずれずに、ｘ軸方向に整列されるようにすることができる。このように斜めに配列されることで、ｙ軸方向に隣り合うノズルグループ同士の間で、対応するノズル（例えば第１ノズル）についてのｘ軸方向の位置を少しずつずらすことができる。この結果、インクジェットヘッドの内部における、チャネル供給経路とノズルとの間の位置関係をずらすことができる。その結果、例えば、一連のノズルグルーブにそれぞれ属する第１ノズルにより、赤色画素ドットへと塗布を行う場合、塗布密度が適当なバラツキを有するようになることがあり得る。したがって、上記Ａ８～Ａ９のようなフィードバックによる残りのノズルの選択が容易になると判断される。ここでの斜め方向の傾きは、例えば、ｙ軸方向から５°以上、８°以上、１０°以上、１５°以上、または２０°以上とすることができ、また、４５°未満、４０°以下、３５°以下、３０°以下、２５°以下、２０°以下または１５°以下とすることができ、特には５～１５°、１０°～２０°などとすることができる。
１ 表示装置
１０ 検査台
２０ 測定部
３０ 第２ガントリ
１００ 基板
１０００ 表示装置の製造装置
１１００ ステージ
１２００ ガイド部材
１３００ 基板移動部材
１４００ 基板回転部材
２０００ 第１ガントリ
３０００ 移動部
３０００ａ 第１ノズル移動ユニット
３０００ｂ 第２ノズル移動ユニット
３０００ｃ 第３ノズル移動ユニット
４０００ 液滴吐出部
５０００ 液滴測定部
１０ 検査台
２０ 測定部
３０ 第２ガントリ
１００ 基板
１０００ 表示装置の製造装置
１１００ ステージ
１２００ ガイド部材
１３００ 基板移動部材
１４００ 基板回転部材
２０００ 第１ガントリ
３０００ 移動部
３０００ａ 第１ノズル移動ユニット
３０００ｂ 第２ノズル移動ユニット
３０００ｃ 第３ノズル移動ユニット
４０００ 液滴吐出部
５０００ 液滴測定部
Claims (41)
- 吐出部から、液滴を一平面に供給する段階と、
前記液滴のイメージを撮影する段階と、
前記液滴の平面形状を含む、前記一平面の第１領域の第１輝度を算出する段階と、
前記第１輝度を基に、前記液滴に含まれた粒子の濃度を算出する段階と、を含む、表示装置の製造方法。 - 前記一平面に配置された第２領域の第２輝度を算出する段階をさらに含む、請求項１に記載の表示装置の製造方法。
- 算出された前記粒子の濃度は、前記第１輝度を前記第２輝度で除した補正輝度を基に算出される、請求項２に記載の表示装置の製造方法。
- 前記第２領域は、前記液滴が配置されていない領域である、請求項２に記載の表示装置の製造方法。
- 前記第２領域の平面形状は、前記第１領域の平面形状と同一である、請求項４に記載の表示装置の製造方法。
- 前記第２領域は、前記第１領域を含む前記一平面の全体の領域である、請求項２に記載の表示装置の製造方法。
- 前記第１領域は、前記一平面に配置された前記液滴の平面形状の輪郭を含む、請求項１に記載の表示装置の製造方法。
- 前記第１領域は、前記一平面に配置された前記液滴の平面形状の輪郭が内部に配置されている、前記液滴の平面形状よりも大きい領域である、請求項１に記載の表示装置の製造方法。
- 前記第１領域の内部に配置された第３領域の範囲を規定し、前記第３領域を除いた前記第１領域の第１輝度を算出する段階をさらに含む、請求項１に記載の表示装置の製造方法。
- 前記第３領域は、反射が起こる領域である、請求項４に記載の表示装置の製造方法。
- 前記第１輝度は、前記第１領域の平均輝度である、請求項１に記載の表示装置の製造方法。
- 前記粒子の濃度により、前記吐出部の作動を制御する段階をさらに含む、請求項１に記載の表示装置の製造方法。
- 前記一平面は、テスト部材の一平面、またはディスプレイ基板の一平面である、請求項１に記載の表示装置の製造方法。
- 算出された粒子の濃度を基に、前記ディスプレイ基板上に、前記液滴を吐出させる段階をさらに含む、請求項１３に記載の表示装置の製造方法。
- 前記液滴は、量子点を含む、請求項１４に記載の表示装置の製造方法。
- カラーフィルタを形成する段階をさらに含む、請求項１４に記載の表示装置の製造方法。
- 前記ディスプレイ基板の同一部分に、互いに濃度が異なる前記液滴を吐出させる段階をさらに含む、請求項１４に記載の表示装置の製造方法。
- 前記吐出部は、複数個のノズルを具備し、
前記液滴の濃度は、前記複数個のそれぞれのノズルごとに算出する、請求項１４に記載の表示装置の製造方法。 - 前記複数個のノズルのうちの、吐出する液滴に含まれた粒子の濃度が互いに異なる、相異なる少なくとも２個のノズルでもって、前記ディスプレイ基板の同一部分へと、液滴を供給する、請求項１８に記載の表示装置の製造方法。
- 前記吐出部は、複数個が具備され、
前記液滴の濃度は、前記複数個のそれぞれの吐出部ごとに算出する、請求項１４に記載の表示装置の製造方法。 - 前記複数個の吐出部のうち、吐出する液滴に含まれた粒子の濃度が互いに異なる、相異なる少なくとも２個の吐出部でもって、前記ディスプレイ基板の同一部分へと、液滴を供給する、請求項２０に記載の表示装置の製造方法。
- 複数個のノズルから、一平面に液滴を吐出し、液滴のイメージを撮影する段階と、
撮影された前記イメージにおいて、液滴を含む任意の第１領域を設定する段階と、
前記第１領域の第１輝度を算出する段階と、
前記一平面における、または前記第１領域とは異なる一平面における任意の第２領域を設定し、前記第２領域の第２輝度を算出する段階と、
前記第１輝度及び前記第２輝度でもって、補正輝度を算出し、前記補正輝度を基に、前記各ノズルから吐出される液滴に含まれた粒子の濃度を算出する段階と、
互いに異なるところに配置され、同一色を発光する第１発光領域と第２発光領域とに対応するディスプレイ基板の第１部分と第２部分とに、それぞれ前記液滴を複数回供給し、前記第１部分に第１層を形成し、前記第２部分に第２層を形成する段階と、
前記第１層と前記第２層とを形成する際、前記第１層に含まれた粒子の濃度と、前記第２層に含まれた粒子の濃度とが均一になるように、前記複数個のそれぞれのノズルから吐出される液滴の前記補正輝度を基に、前記複数個のノズルのうち、前記第１発光領域または前記第２発光領域に、前記液滴を供給するノズルを選択する段階とを、含む、表示装置の製造方法。 - 前記第１領域の内部に配置され、反射が起こる第３領域を除き、前記第１領域の第１輝度を算出する段階をさらに含む、請求項２２に記載の表示装置の製造方法。
- 前記液滴は、量子点を含む、請求項２２に記載の表示装置の製造方法。
- 前記粒子は、散乱体を含む、請求項２２に記載の表示装置の製造方法。
- 前記第１領域は、前記液滴の平面形状が内部に配置され、前記液滴の平面形状と同一であるか、あるいは前記液滴の平面形状よりも大きい領域である、請求項２２に記載の表示装置の製造方法。
- 前記補正輝度は、前記第１輝度を前記第２輝度で除して算出する、請求項２２に記載の表示装置の製造方法。
- 吐出された液滴が撃ち込まれて付着するテスト部材または基板が配置された検査台と、
前記検査台から離隔されるように配置され、前記基板または前記テスト部材に配置された前記液滴のイメージを撮影する測定部と、
前記測定部で撮影された前記液滴のイメージを基に、前記液滴を含む第１領域の第１輝度を算出し、算出された前記第１領域の第１輝度を基に、前記液滴内の粒子濃度を算出する制御部と、を含む、表示装置の製造装置。 - 前記制御部は、前記第１輝度を、前記テスト部材の第２領域の第２輝度、または前記基板の第２領域の第２輝度で除した補正輝度を算出し、前記補正輝度を基に算出された前記粒子の濃度を算出する、請求項２８に記載の表示装置の製造装置。
- 前記液滴を吐出させる吐出部をさらに含む、請求項２８に記載の表示装置の製造装置。
- 前記制御部は、算出された前記粒子の濃度に応じて、前記吐出部の作動を制御する、請求項３０に記載の表示装置の製造装置。
- 前記イメージにおける前記液滴の平面形状は、前記第１領域の内部に配置された、請求項２８に記載の表示装置の製造装置。
- 前記イメージにおける前記液滴の平面形状は、前記第１領域の平面形状と同一である、請求項２８に記載の表示装置の製造装置。
- 前記制御部は、前記第１領域の内部に配置された第３領域を除き、前記第１領域の輝度を算出する、請求項２８に記載の表示装置の製造装置。
- 前記第３領域は、前記測定部から放出された光が前記液滴に反射され、光の反射が生じる領域である、請求項３４に記載の表示装置の製造装置。
- 一平面に配置された液滴の平面形状を含む第１領域の第１輝度を測定する段階と、
前記第１輝度を基に、前記液滴に含まれた粒子の濃度を算出する段階と、を含む、液滴測定方法。 - 前記一平面に配置された第２領域の第２輝度を算出する段階をさらに含む、請求項３６に記載の液滴測定方法。
- 前記第１輝度を前記第２輝度で除した補正輝度を算出し、前記補正輝度を基に算出された前記粒子の濃度を算出する、請求項３７に記載の液滴測定方法。
- 前記イメージにおける前記液滴の平面形状は、前記第１領域の内部に配置された、請求項３６に記載の液滴測定方法。
- 前記イメージにおける前記液滴の平面形状は、前記第１領域の平面形状と同一である、請求項３６に記載の液滴測定方法。
- 前記第１領域内部に配置された第３領域を除き、前記第１領域の第１輝度を算出する、請求項３５に記載の液滴測定方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210091225A KR20230010892A (ko) | 2021-07-12 | 2021-07-12 | 표시 장치의 제조장치, 액적 측정 방법, 및 표시 장치의 제조방법 |
| KR10-2021-0091225 | 2021-07-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2023011533A true JP2023011533A (ja) | 2023-01-24 |
Family
ID=84792780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022111225A Pending JP2023011533A (ja) | 2021-07-12 | 2022-07-11 | 表示装置の製造装置、液滴測定方法、及び該表示装置の製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20230012042A1 (ja) |
| JP (1) | JP2023011533A (ja) |
| KR (1) | KR20230010892A (ja) |
| CN (2) | CN218299760U (ja) |
| TW (1) | TW202317389A (ja) |
-
2021
- 2021-07-12 KR KR1020210091225A patent/KR20230010892A/ko unknown
-
2022
- 2022-07-08 US US17/861,019 patent/US20230012042A1/en active Pending
- 2022-07-11 JP JP2022111225A patent/JP2023011533A/ja active Pending
- 2022-07-11 CN CN202221884728.1U patent/CN218299760U/zh active Active
- 2022-07-11 CN CN202210853617.2A patent/CN115692248A/zh active Pending
- 2022-07-12 TW TW111126179A patent/TW202317389A/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW202317389A (zh) | 2023-05-01 |
| KR20230010892A (ko) | 2023-01-20 |
| CN115692248A (zh) | 2023-02-03 |
| CN218299760U (zh) | 2023-01-13 |
| US20230012042A1 (en) | 2023-01-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11621305B2 (en) | Display device | |
| KR102561178B1 (ko) | 표시 장치 | |
| US11296159B2 (en) | Display device comprising a first partition wall and a second partition wall | |
| US20200335562A1 (en) | Display apparatus including a plurality of banks and a method of manufacturing the same | |
| US11943987B2 (en) | Color conversion substrate | |
| KR102675479B1 (ko) | 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법 | |
| US20200395543A1 (en) | Ink droplet volume measuring apparatus and ink droplet volume measuring method using the same, and thin film layer forming apparatus using the measuring apparatus, and manufacturing method of display apparatus using the thin film layer forming apparatus | |
| US11737335B2 (en) | Display apparatus and method of manufacturing the same | |
| JP2023011533A (ja) | 表示装置の製造装置、液滴測定方法、及び該表示装置の製造方法 | |
| US11631722B2 (en) | Display device | |
| US20230009760A1 (en) | Method of manufacturing display apparatus | |
| KR20240012661A (ko) | 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 | |
| KR20220135275A (ko) | 디스플레이 장치 | |
| US20230371340A1 (en) | Display apparatus | |
| US11849627B2 (en) | Apparatus and method of manufacturing display device | |
| KR20210129309A (ko) | 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
| KR20230160674A (ko) | 표시 장치 | |
| CN220422357U (zh) | 显示装置 | |
| CN117082935A (zh) | 显示装置 | |
| US20230005996A1 (en) | Display apparatus | |
| US20230209958A1 (en) | Display device | |
| US20230172024A1 (en) | Display apparatus and method of manufacturing the same | |
| US20230029597A1 (en) | Display panel and electronic device including the same | |
| US20220173168A1 (en) | Display device and method of repairing the display device | |
| US20240155906A1 (en) | Display apparatus |