CN112050634B

CN112050634B - 退火炉进出料小车装置

Info

Publication number: CN112050634B
Application number: CN202010977746.3A
Authority: CN
Inventors: 张朝杰; 周纪伟; 邵胜利; 刘宪标
Original assignee: Henan Hengtong New Materials Co ltd
Current assignee: Henan Hengtong New Materials Co ltd
Priority date: 2020-09-17
Filing date: 2020-09-17
Publication date: 2022-08-09
Anticipated expiration: 2040-09-17
Also published as: CN112050634A

Abstract

本发明公开了退火炉进出料小车装置，包括输送机构和设置在输送机构上的输料小车，所述输送机构上表面沿长度方向中心线上开设有限位导槽，所述输送机构上表面沿长度方向位于限位导槽的两侧对称开设有两个输送槽，所述输料小车包括两个相互平行的输料板。本发明中，该退火炉进出料小车装置，在导料机构上设置有限位导槽，在输料板的下方设置有导向座，且导向座位于限位导槽内，通过导向座的设置，一方面可以将导料机构与输料板进行限位，保证了行走轮与输送链条卡合的稳定性，提高了行走轮在输送链条的驱动下转动的稳定性，防止输送链条卡断，另一方面，使得输料板的重力不会全部施加在输送链条上，进一步提高了输送链条使用的稳定性。

Description

退火炉进出料小车装置

技术领域

本发明涉及退火炉技术领域，尤其涉及退火炉进出料小车装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

现有的退火炉进出料小车装置，输料小车与导料机构缺少限位结构，导致行走轮与输送链条之间易发生偏差，造成行走轮磨损严重，其次易造成输送链条卡断，再有输送小车一般无法进行长度调节，导致其放置固定在小车上的铝卷长度一定，实用性较差，再有铝卷直接固定在出料小车上，铝卷四周透气性较差，导致其受热均匀性较差，故而满足不了使用者的需求。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的退火炉进出料小车装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：退火炉进出料小车装置，包括输送机构和设置在输送机构上的输料小车；

所述输送机构上表面沿长度方向上开设有限位导槽，所述输送机构上表面沿长度方向位于限位导槽的两侧对称开设有两个输送槽；

所述输料小车包括两个相互平行的输料板和螺栓固定在两个输料板之间的伸缩连接机构，所述输料板下表面中心处螺栓固定有配合限位导槽使用的导向座，所述导向座两侧表壁上开设的凹槽内转动连接有第一滚轮，所述导向座下表面开设的凹槽内转动连接有第二滚轮。

优选的，所述输送机构沿长度方向的两侧表壁的两端转动连接有转轴，且转轴的一端延伸到输送槽的内部并焊接有齿轮盘，所述转轴的另一端延伸到输送机构的外侧并焊接有从动齿轮，所述齿轮盘共设置有两个，且两个齿轮盘之间连接有输送链条。

优选的，所述输送机构沿长度方向的两侧外表壁上焊接有电机座，且电机座上螺栓固定有驱动电机，所述驱动电机的输出轴上焊接有主动齿轮，其中主动齿轮与从动齿轮齿轮啮合连接。

优选的，所述伸缩连接机构包括套管、限位块、插接杆，所述插接杆的一端插接到套管的内部并焊接有限位块，所述插接杆上等间距开设有若干个圆形孔洞，所述套管靠近插接杆的一端外表壁上插接有贯穿圆形孔洞的定位销。

优选的，所述输料板上表面螺栓固定有弧形放置座，所述弧形放置座上表面开设有条形槽。

优选的，所述条形槽共开设有若干个，且若干个条形槽相互平行，相邻两条形槽之间的间距相等。

优选的，所述输料板下表面四个拐角处焊接有安装座，且安装座一侧表壁上螺栓固定有配合输送链条使用的行走轮。

优选的，所述转轴共设置有四个，且四个转轴两两一组关于限位导槽相互对称。

与现有技术相比，本发明的有益效果是:

1、本发明中，该退火炉进出料小车装置，在导料机构上设置有限位导槽，在输料板的下方设置有导向座，且导向座位于限位导槽内，通过导向座的设置，一方面可以将导料机构与输料板进行限位，保证了行走轮与输送链条卡合的稳定性，提高了行走轮在输送链条的驱动下转动的稳定性，防止输送链条卡断，另一方面，使得输料板的重力不会全部施加在输送链条上，进一步提高了输送链条使用的稳定性，进一步的导向座的两侧表壁上转动连接有第一滚轮，导向座的底部转动连接有第二滚轮，通过第一滚轮和第二滚轮的设置，使得导向座与限位导槽之间为滚动摩擦，降低摩擦阻力和摩擦损耗。

2、本发明中，该退火炉进出料小车装置，输料小车由两块输料板和设置在两个输料板之间的伸缩连接机构组成，一方面通过改变伸缩连接机构的长度，从而可以改变两个输料板之间的间距，便于通过两个输料板之间固定不同长度的退火铝卷，提高其实用性，另一方面两个输料板之间通过伸缩连接机构的设置，使得两个输料板之间形成空气流动的间隙，提高了铝卷固定在两个输料板之间的受热的均匀性，更进一步的输料板上表面焊接有弧形放置座，提高了退火铝卷放置在输料板上的稳定性，弧形放置座上还开设有条形槽，提高了铝卷与弧形放置座接触的一面的空气流动效果，进一步提高了铝卷受热的均匀性。

附图说明

图1为本发明提出的退火炉进出料小车装置的结构示意图；

图2为本发明提出的退火炉进出料小车装置的导料机构的结构示意图；

图3为本发明提出的退火炉进出料小车装置的输料小车的结构示意图；

图4为本发明提出的退火炉进出料小车装置的输料板的结构示意图；

图5为本发明提出的退火炉进出料小车装置的伸缩连接机构的结构示意图。

图例说明：

1、导料机构；11、限位导槽；12、输送槽；13、转轴；14、齿轮盘；15、从动齿轮；16、主动齿轮；17、驱动电机；18、电机座；19、输送链条；2、输料小车；21、输料板；211、安装座；212、行走轮；213、导向座；214、第一滚轮；215、第二滚轮；22、弧形放置座；221、条形槽；23、伸缩连接机构；231、套管；232、限位块；233、插接管；234、圆形孔洞；235、定位销。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例一：参照图1-5，退火炉进出料小车装置，包括输送机构1和设置在输送机构1上的输料小车2；

输送机构1上表面沿长度方向上开设有限位导槽11，输送机构1上表面沿长度方向位于限位导槽11的两侧对称开设有两个输送槽12；

输料小车2包括两个相互平行的输料板21和螺栓固定在两个输料板21之间的伸缩连接机构23，输料板21下表面中心处螺栓固定有配合限位导槽11使用的导向座213，导向座213两侧表壁上开设的凹槽内转动连接有第一滚轮214，导向座213下表面开设的凹槽内转动连接有第二滚轮215。

实施例二：参照图1和图2，输送机构1沿长度方向的两侧表壁的两端转动连接有转轴13，且转轴13的一端延伸到输送槽12的内部并焊接有齿轮盘14，转轴13的另一端延伸到输送机构1的外侧并焊接有从动齿轮15，齿轮盘14共设置有两个，且两个齿轮盘14之间连接有输送链条19，输送机构1沿长度方向的两侧外表壁上焊接有电机座18，且电机座18上螺栓固定有驱动电机17，驱动电机17的输出轴上焊接有主动齿轮16，其中主动齿轮16与从动齿轮15齿轮啮合连接，使用时，输送机构1嵌设在退火炉内部底板上，输送机构1沿长度方向的两端延伸到退火炉的外侧，电机座18和设置在电机座18上的驱动电机17均位于退火炉的外侧，使用的过程中，驱动电机17通过主动齿轮16和从动齿轮15可以带动转轴13转动，转轴13带动齿轮盘14转动，从而设置在两个齿轮盘14之间的输送链条19开始工作，进行移动输送，转轴13共设置有四个，且四个转轴13两两一组关于限位导槽11相互对称。

实施例三：参照图3和图5，伸缩连接机构23包括套管231、限位块232、插接杆233，插接杆233的一端插接到套管231的内部并焊接有限位块232，插接杆233上等间距开设有若干个圆形孔洞234，套管231靠近插接杆233的一端外表壁上插接有贯穿圆形孔洞234的定位销235，在使用的过程中，套管231的远离插接杆233的一端焊接在一个输料板21上，插接杆233远离套管231的一端焊接在另一个输料板上21，在使用的过程中，通过推动插接杆233插入到套管231的不同深度，便可以调节伸缩连接机构23的长度，调节完成后，通过在套管231靠近插接杆233的一端外表壁上插接贯穿圆形孔洞234的定位销235，便可对套管231与插接杆233进行限位固定。

实施例四：参照图3和图4，输料板21上表面螺栓固定有弧形放置座22，弧形放置座22上表面开设有条形槽221，条形槽221共开设有若干个，且若干个条形槽221相互平行，相邻两条形槽221之间的间距相等，通过弧形放置座22的设置，使得待退火的铝卷可以通过弧形放置座22放置在输料板21上，提高其放置的稳定性。

实施例五：参照图3，输料板21下表面四个拐角处焊接有安装座211，且安装座211一侧表壁上螺栓固定有配合输送链条19使用的行走轮212，使用的过程中，行走轮212卡接在输送链条19上，输送链条19带动行走轮212移动，从而实现带动输料小车2移动。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims

1.退火炉进出料小车装置，其特征在于，包括输送机构（1）和设置在输送机构（1）上的输料小车（2）；

所述输送机构（1）上表面沿长度方向上开设有限位导槽（11），所述输送机构（1）上表面沿长度方向位于限位导槽（11）的两侧对称开设有两个输送槽（12）；

所述输料小车（2）包括两个相互平行的输料板（21）和螺栓固定在两个输料板（21）之间的伸缩连接机构（23），所述输料板（21）下表面中心处螺栓固定有配合限位导槽（11）使用的导向座（213），所述导向座（213）两侧表壁上开设的凹槽内转动连接有第一滚轮（214），所述导向座（213）下表面开设的凹槽内转动连接有第二滚轮（215）。

2.根据权利要求1所述的退火炉进出料小车装置，其特征在于，所述输送机构（1）沿长度方向的两侧表壁的两端转动连接有转轴（13），且转轴（13）的一端延伸到输送槽（12）的内部并焊接有齿轮盘（14），所述转轴（13）的另一端延伸到输送机构（1）的外侧并焊接有从动齿轮（15），所述齿轮盘（14）共设置有两个，且两个齿轮盘（14）之间连接有输送链条（19）。

3.根据权利要求1所述的退火炉进出料小车装置，其特征在于，所述输送机构（1）沿长度方向的两侧外表壁上焊接有电机座（18），且电机座（18）上螺栓固定有驱动电机（17），所述驱动电机（17）的输出轴上焊接有主动齿轮（16），其中主动齿轮（16）与从动齿轮（15）齿轮啮合连接。

4.根据权利要求1所述的退火炉进出料小车装置，其特征在于，所述伸缩连接机构（23）包括套管（231）、限位块（232）、插接杆（233），所述插接杆（233）的一端插接到套管（231）的内部并焊接有限位块（232），所述插接杆（233）上等间距开设有若干个圆形孔洞（234），所述套管（231）靠近插接杆（233）的一端外表壁上插接有贯穿圆形孔洞（234）的定位销（235）。

5.根据权利要求1所述的退火炉进出料小车装置，其特征在于，所述输料板（21）上表面螺栓固定有弧形放置座（22），所述弧形放置座（22）上表面开设有条形槽（221）。

6.根据权利要求5所述的退火炉进出料小车装置，其特征在于，所述条形槽（221）共开设有若干个，且若干个条形槽（221）相互平行，相邻两条形槽（221）之间的间距相等。

7.根据权利要求1所述的退火炉进出料小车装置，其特征在于，所述输料板（21）下表面四个拐角处焊接有安装座（211），且安装座（211）一侧表壁上螺栓固定有配合输送链条（19）使用的行走轮（212）。

8.根据权利要求2所述的退火炉进出料小车装置，其特征在于，所述转轴（13）共设置有四个，且四个转轴（13）两两一组关于限位导槽（11）相互对称。