CN112018986B

CN112018986B - 致动器

Info

Publication number: CN112018986B
Application number: CN202010439634.2A
Authority: CN
Inventors: 羽多野慎司; 安藤正明
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Instruments Corp
Priority date: 2019-05-30
Filing date: 2020-05-22
Publication date: 2023-02-21
Anticipated expiration: 2040-05-22
Also published as: JP2020195248A; CN112018986A; JP7410655B2

Abstract

一种致动器，使可动体相对于固定体振动，抑制了可动体的意外移动。致动器(1)具有固定体(2)、可动体(3)、使可动体相对于固定体振动的磁驱动机构(6)以及连接固定体和可动体的连接体。连接体具备配置于可动体(3)的轴线(L)方向的一侧(L1侧)的第一连接体(7)和配置于可动体(3)的轴线(L)方向的另一侧(L2侧)的第二连接体(8)。第一连接体(7)是夹在可动体和固定体在可动体的振动方向(轴线L方向)上对置的部位之间的粘弹性部件，第二连接体(8)是在与可动体(3)的振动方向正交的方向上延伸的板簧。第二连接体(8)(板簧)具备抑制可动体(3)向与振动方向正交的方向移动的变形抑制部。

Description

致动器

技术领域

本发明涉及一种使可动体相对于固定体相对移动的致动器。

背景技术

作为致动器，有一种致动器，其具备固定体及可动体和驱动可动体的磁驱动机构，并且通过连接体连接可动体和固定体。专利文献1的致动器(线性致动器)具备连接可动体和固定体的弹簧部件以及配置于可动体和固定体之间的凝胶状减振部件。可动体被弹簧部件支承为能够相对于固定体振动。另外，当可动体振动时，因为凝胶状减振部件沿压扁的方向变形，所以抑制弹簧部件和可动体的共振。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-032417号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1中，在连接可动体和固定体的弹簧部件中，圆环状的固定体侧连接部和配置于固定体侧连接部的外周侧的多个可动体侧连接部通过沿周向延伸的臂连接。在这样的弹簧部件中，因为臂容易挠曲，所以当可动体振动时，由于可动体的重心偏移等，可动体会向与振动方向正交的方向移动。另外，因为与可动体的振动方向正交的方向是凝胶状减振部件向剪切方向而不是压扁的方向变形的方向，所以凝胶状减振部件容易变形。因此，存在可动体向与振动方向正交的方向移动的问题。

鉴于以上问题，本发明的技术问题在于在使可动体相对于固定体振动的致动器中，抑制可动体在与振动方向不同的方向上移动。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明的致动器的特征在于，具有：固定体；可动体；磁驱动机构，所述磁驱动机构使所述可动体相对于所述固定体振动；以及连接体，所述连接体连接所述固定体和所述可动体，所述连接体具备配置于所述可动体的振动方向上的一端侧的第一连接体和配置于所述可动体的振动方向上的另一端侧的第二连接体，所述第一连接体是配置于所述可动体和所述固定体在所述可动体的振动方向上对置的部位之间的粘弹性部件，所述第二连接体是在与所述可动体的振动方向正交的方向上延伸的板簧，所述板簧具备抑制所述可动体向与振动方向正交的方向移动的变形抑制部。

根据本发明，作为连接可动体和固定体的连接体，不仅使用板簧，还使用粘弹性部件。因此，与只使用板簧连接可动体和固定体的情况不同，通过粘弹性部件能够抑制可动体的过度振动。另外，通过设置于板簧的变形抑制部，能够抑制可动体向与振动方向正交的方向的移动。由此，能够抑制可动体和固定体的碰撞，所以能够提高致动器的抗冲击性。另外，因为能够缩小可动体和固定体之间的间隙，所以致动器的设计自由度高，还能够实现致动器的小型化。

在本发明中，理想的是，所述板簧具备：内侧环状部；外侧环状部，所述外侧环状部配置于所述内侧环状部的外周侧；以及多个臂，所述多个臂连接所述内侧环状部和所述外侧环状部，所述内侧环状部和所述外侧环状部中的一方固定于所述可动体上，所述内侧环状部和所述外侧环状部中的另一方固定于所述固定体上，所述多个臂分别具备：内侧连接部，所述内侧连接部与所述内侧环状部连接；外侧连接部，所述外侧连接部与所述外侧环状部连接；以及螺旋部，所述螺旋部从所述内侧连接部朝向所述外侧连接部向周向的一侧延伸，所述变形抑制部是设置于所述螺旋部的弯曲部。这样，通过设置弯曲部可以提高臂的刚性。由此，能够提高板簧的与振动方向交叉的方向上的刚性。因此，能够抑制可动体向与振动方向交叉的方向的移动。

在本发明中，理想的是，所述弯曲部具备相对于周向倾斜的倾斜部分、从所述倾斜部分的一端向所述周向的一侧弯曲的第一弯曲部分及从所述倾斜部分的另一端向周向的另一侧弯曲的第二弯曲部分。这样，因为弯曲部是在板簧的面内弯曲的形状，所以能够在与振动方向交叉的方向上提高臂的刚性。因此，能够在与振动方向的交叉的方向上提高板簧的刚性，所以能够抑制可动体向与振动方向交叉的方向的移动。

在本发明中，理想的是，从径向观察时，设置于不同的所述臂上的多个所述螺旋部彼此重叠。在本发明中，从径向观察时，将沿周向延伸的多个臂各自延伸到与其他臂的螺旋部重叠的位置。因此，因为在周向上的整个范围内配置有多个臂，所以能够在与振动方向交叉的所有方向上提高板簧的刚性。

在本发明中，理想的是，所述多个臂具备：第一臂；第二臂，所述第二臂配置于所述第一臂的所述周向的一侧；以及第三臂，所述第三臂配置于所述第二臂的所述周向的一侧，所述第一臂、所述第二臂及所述第三臂各自具备设置于所述螺旋部的多个所述弯曲部，所述多个所述弯曲部具备：第一弯曲部；第二弯曲部，所述第二弯曲部位于所述第一弯曲部的所述周向的一侧；以及第三弯曲部，所述第三弯曲部位于所述第二弯曲部的所述周向的一侧，设置于不同的臂的所述第一弯曲部、所述第二弯曲部及所述第三弯曲部彼此为相似形，且从内周侧向外周侧依次排列成一排。这样，因为三根臂各自具备三个部位的弯曲部，所以能够提高各臂的刚性。另外，因为弯曲部为相似形，且从内周侧向外周侧排列成一排，并且弯曲部的周向位置对齐，所以不需要将臂彼此之间的间隔增大设置弯曲部的量。因此，能够在不使板簧大型化的情况下提高刚性。

在本发明中，理想的是，在所述多个臂的每一个臂中，所述内侧连接部是从所述内侧环状部向外周侧突出的突出部，以弯曲的形状与所述螺旋部连接，所述外侧连接部是从所述外侧环状部向内周侧突出的突出部，以弯曲的形状与所述螺旋部连接，所述内侧连接部、所述第一弯曲部、所述第二弯曲部、所述第三弯曲部及所述外侧连接部从内周侧向外周侧依次排列成一排。这样，因为五个部位的弯曲部的周向位置对齐，所以不需要将臂彼此之间的间隔增大设置弯曲部的量。因此，能够在不使板簧大型化的情况下提高刚性。

发明效果

根据本发明，作为连接可动体和固定体的连接体，不仅使用板簧，还使用粘弹性部件。因此，与只使用板簧连接可动体和固定体的情况不同，通过粘弹性部件能够抑制可动体的过度振动。另外，通过设置于板簧的变形抑制部，能够抑制可动体向与振动方向正交的方向的移动。由此，因为能够抑制可动体和固定体的碰撞，所以能够提高致动器的抗冲击性。另外，因为能够减小可动体和固定体之间的间隙，所以致动器的设计自由度高，还能够实现致动器的小型化。

附图说明

图1是本发明的实施方式的致动器的剖视图。

图2是从L1侧观察到的图1的致动器的分解立体图。

图3是从L2侧观察到的图1的致动器的分解立体图。

图4是第二连接体的俯视图及其局部放大图。

附图标记说明

1…致动器；2…固定体；3…可动体；4…保持架；6…磁驱动机构；7…第一连接体；8…第二连接体；20…壳体；21…筒状壳体；22…第一盖部件；23…第二盖部件；24…凹部；25…卡止部；26…钩；27…钩；28…卡止凹部；29…环状突出部；30…配重；31…轴；32…第一磁轭；33…第二磁轭；34…第一磁性板；35…第二磁性板；36…第一承接部件；37…第二承接部件；38…第一部件；39…第二部件；42…环状部；43…线圈固定部；44…端子保持部；61…磁体；62…线圈；63…基板；64…端子引脚；70…膜；81…内侧环状部；82…外侧环状部；83…臂；83A…第一臂；83B…第二臂；83C…第三臂；84…内侧连接部；85…外侧连接部；86…螺旋部；87…弯曲部；87A…第一弯曲部；87B…第二弯曲部；87C…第三弯曲部；221…对置面；341…端板部；342…侧板部；361…第一环状槽；371…第二环状槽；381…筒部；382…圆盘部；392…圆盘部；391…筒部；871…倾斜部分；872…第一弯曲部分；873…第二弯曲部分；CCW…周向的一侧；CW…周向的另一侧；L…轴线。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。需要说明的是，在以下的说明中，轴线L是可动体3的中心轴线。另外，将轴线L延伸的方向(轴线L方向)的一侧设为L1、将轴线L方向的另一侧设为L2。

(整体结构)

图1是本发明的实施方式的致动器1的剖视图。图2是从L1侧观察到的图1的致动器1的分解立体图。图3是从L2侧观察到的图1的致动器1的分解立体图。如图1～图3所示，致动器1具备固定体2及可动体3、连接固定体2和可动体3的第一连接体7及第二连接体8、以及使可动体3相对于固定体2在轴线L方向上相对移动的磁驱动机构6。磁驱动机构6具备配置于可动体3上的磁体61和配置于固定体2上的线圈62。需要说明的是，也可以颠倒磁体61和线圈62的配置。

第一连接体7及第二连接体8在沿轴线L方向分开的两个部位连接可动体3和固定体2。在本实施方式中，第一连接体7配置于可动体3的L1侧的端部，第二连接体8配置于可动体3的L2侧的端部。第一连接体7是粘弹性部件，第二连接体8是弹性部件。在本实施方式中，第一连接体7是凝胶状减振部件，第二连接体8是板簧。

第一连接体7夹在可动体3和固定体2在轴线L方向上对置的部位之间。在第一连接体7(粘弹性部件)中，L1侧的端部固定于固定体2，L2侧的端部固定于可动体3。在第二连接体8(板簧)中，内周部固定于可动体3的L2侧的端部，外周部固定于固定体2。因此，第二连接体8将可动体3支承为能够沿轴线L方向移动。

(固定体)

固定体2具备树脂制的壳体20和被壳体20保持的保持架4。壳体20具备筒状壳体21、固定于筒状壳体21的L1侧的端部的第一盖部件22以及固定于筒状壳体21的L2侧的端部的第二盖部件23。如图2、图3所示，筒状壳体21具备从L1侧的端部的内周面突出的三个部位的卡止部25，第一盖部件22具备供卡止部25卡止的钩26。另外，筒状壳体21具备从L2侧的端部突出的三个部位的钩27，第二盖部件23具备供钩26卡止的卡止凹部28。

第一盖部件22具备在轴线L方向上与可动体3的L1侧的端部对置的对置面221。如图3所示，对置面221是设置于第一盖部件22的径向中央的圆形面。第一连接体7的L1侧的端部通过粘接等固定于对置面221。另外，如图3所示，在筒状壳体21的L2侧的端部设置有朝内周侧突出的环状突出部29。环状突出部29配置于第二盖部件23的外周部分的L1侧。第二连接体8的外周部分被环状突出部29和第二盖部件23的外周部分夹在中间并固定在其中。

保持架4具备配置于第一盖部件22的外周部分的L2侧的环状部42和从环状部42的内周部分向L2侧突出的线圈固定部43。线圈62卷绕于线圈固定部43的外周侧。端子引脚64从设置于环状部42的端子保持部44向径向外侧突出。在筒状壳体21上固定有经由端子引脚64与线圈线连接的基板63。基板63配置于设置在筒状壳体21的外周面的凹部24。

(可动体)

可动体3具备：在固定体2的径向中心沿轴线L方向延伸的轴31；固定于轴31的轴线L方向的大致中央的磁体61；在L1侧与磁体61重叠的第一磁轭32；在L2侧与磁体61重叠的第二磁轭33；从L1侧与第一磁轭32抵接的配重30；从L1侧与配重30抵接的第一承接部件36；以及从L2侧与第二磁轭33抵接的第二承接部件37。在可动体3的L1侧的端部，安装有从L1侧嵌入到轴31的L1侧的端部的第一部件38，在可动体3的L2侧的端部，安装有从L2侧嵌入到轴31的L2侧的端部的第二部件39。

在第一承接部件36和轴31的外周面之间，设置有向L1侧开口的第一环状槽361。另外，在第二承接部件37和轴31的外周面之间，设置有向L2侧开口的第二环状槽371。第一部件38具备轴31的端部嵌入其中的筒部381和从筒部381的L1侧的端部向外周侧扩展的圆盘部382，筒部381嵌入到第一承接部件36的第一环状槽361。圆盘部382在轴线L方向上与设置于第一盖部件22的径向中央的对置面221对置，第一连接体7(粘弹性部件)的L2侧的端部通过粘接等固定于圆盘部382。

第二部件39具备轴31的端部嵌入其中的筒部391和从筒部391的L2侧的端部向外周侧扩展的圆盘部392，筒部391嵌入到第二承接部件37的第二环状槽371。第二连接体8(板簧)的内周部部分夹在第二承接部件37的L2侧的端部和圆盘部392的内周部分之间的间隙中并固定在其中。

磁体61为圆筒状，且被磁化为使其在轴线L方向上极化为N极和S极。轴31在固定体2的径向中心沿轴线L方向延伸。在磁体61的外周侧，设置于保持架4上的线圈固定部43与磁体61同轴配置。因此，磁体61和线圈62同轴配置。

第一磁轭32是外径尺寸略微大于磁体61的外径尺寸的磁性板。第一磁轭32的外周面从磁体61的外周面向径向外侧伸出。第一磁轭32通过粘接等方法固定到磁体61的L1侧的表面。第二磁轭33由两张磁性板(第一磁性板34、第二磁性板35)构成。第一磁性板34具备配置于磁体61的L2侧的端板部341和从端板部341的外缘向L1侧延伸的圆筒状的侧板部342。侧板部342配置于线圈固定部43的外周侧。第二磁性板35是略微小于第一磁性板34的端板部341的圆盘状。第二磁性板35在L2侧与第一磁性板34的端板部341层叠，并焊接到端板部341。第二磁轭33的第二磁性板35通过粘接等方法固定到磁体61的L2侧的表面。

(第一连接体)

第一连接体7是圆柱状的粘弹性部件。如上所述，在本实施方式中，第一连接体7是凝胶状减振部件。例如，作为第一连接体7，可以使用针入度为90度～110度的硅凝胶。如图2、图3所示，在第一连接体7(粘弹性部件)的L1侧的端面及L2侧的端面分别接合有膜70。在第一连接体7中，L1侧的端部经由膜70通过粘接等固定于第一盖部件22的对置面221，并且L2侧的端部经由膜70通过粘接等固定于第一部件38的圆盘部382。

(第二连接体)

图4是第二连接体8的俯视图及其局部放大图。第二连接体8是圆形的板簧，相对于轴线L垂直配置(参照图1)。当可动体3在轴线L方向上振动时，第二连接体8(板簧)在轴线L方向上弹性变形。如图4所示，第二连接体8具备内侧环状部81及外侧环状部82以及配置于内侧环状部81和外侧环状部82之间的多个臂83。内侧环状部81固定于可动体3，外侧环状部82固定于固定体2。第二连接体8具备第一臂83A、相对于第一臂83A配置于周向的一侧CCW的第二臂83B以及相对于第二臂83B配置于周向的一侧CCW的第三臂83C这三根臂。

三根臂83(第一臂83A、第二臂83B以及第三臂83C)分别具备与内侧环状部81连接的内侧连接部84、与外侧环状部82连接的外侧连接部85及从内侧连接部84朝向外侧连接部85向周向的一侧CCW延伸的螺旋部86。内侧连接部84是从内侧环状部81向外周侧突出的突出部。内侧连接部84和螺旋部86以弯曲的形状连接。另外，外侧连接部85是从外侧环状部82向内周侧突出的突出部。外侧连接部85和螺旋部86以弯曲的形状连接。

三根臂83的螺旋部86横跨大于一周的角度范围(360°)的角度范围沿周向延伸。因此，在第二连接体8中，从径向观察时，无论在哪个角度位置，四个螺旋部86都重叠。因此，在第二连接体8中，因为在与轴线L方向交叉的所有方向上配置有四个螺旋部86，所以在与轴线L方向交叉的所有方向上提高了第二连接体8(板簧)的刚性。

各臂83的螺旋部86具备在周向上分开的多个弯曲部87。在本实施方式中，在各臂83的螺旋部86，作为多个弯曲部87设置有在周向上最靠近内侧连接部84的第一弯曲部87A、位于第一弯曲部87A的周向的一侧CCW的第二弯曲部87B及位于第二弯曲部87B的周向的一侧CCW的第三弯曲部87C。

设置于各臂83的三个部位的弯曲部87分别具备相对于周向倾斜的倾斜部分871、从倾斜部分871的一端(外周侧的端部)向周向的一侧CCW弯曲的第一弯曲部分872以及从倾斜部分871的另一端(内周侧的端部)向周向的另一侧CW弯曲的第二弯曲部分873。第一弯曲部87A、第二弯曲部87B及第三弯曲部87C为相似形，倾斜部分871的长度按照第一弯曲部87A、第二弯曲部87B、第三弯曲部87C的顺序逐渐增大。

如上所述，因为弯曲部87是在与轴线L方向正交的面内弯曲的形状，所以通过设置弯曲部87，各臂83的与轴线L方向正交的方向的刚性高。因此，第二连接体8的与轴线L方向正交的方向上的刚性高。

三根臂83(第一臂83A、第二臂83B以及第三臂83C)在周向上以等间隔配置。另外，在各臂83中，三个部位的弯曲部87(第一弯曲部87A、第二弯曲部87B以及第三弯曲部87C)在周向上以等间隔配置。在本实施方式中，三根臂83在周向上以120°的间隔配置，并且，在各臂83中，三个部位的弯曲部87(第一弯曲部87A、第二弯曲部87B以及第三弯曲部87C)在周向上以120°的间隔配置。而且，内侧连接部84和第一弯曲部87A以120°的间隔配置，第三弯曲部87C和外侧连接部85以120°的间隔配置。

通过这样的配置，在第二连接体8中，彼此设置于不同的臂83上的第一弯曲部87A、第二弯曲部87B以及第三弯曲部87C从内周侧向外周侧排列成一排。而且，因为在第一弯曲部87A的内周侧配置有内侧连接部84，在第三弯曲部87C的外周侧配置有外侧连接部85，所以五个部位的弯曲部从内周侧向外周侧排列成一排。五个部位的弯曲部从内周侧向外周侧排列成一排的结构在第二连接体8中以等角度间隔设置于三个部位。

(本实施方式的主要效果)

如上所述，本实施方式的致动器1具有固定体2、可动体3、使可动体3相对于固定体2振动的磁驱动机构6以及连接固定体2和可动体3的连接体。连接体具备配置于可动体3的振动方向(轴线L方向)上的一端侧(L1侧)的第一连接体7和配置于可动体3的振动方向(轴线L方向)上的另一端侧(L2侧)的第二连接体8。第一连接体7是夹在可动体3和固定体2在可动体3的振动方向(轴线L方向)上对置的部位之间的粘弹性部件，第二连接体8是向与可动体3的振动方向(轴线L方向)正交的方向延伸的板簧。第二连接体8(板簧)具备抑制可动体3向与振动方向正交的方向移动的变形抑制部(臂83的弯曲部87)。

在本实施方式的致动器1中，作为连接可动体3和固定体2的连接体，不仅使用板簧还使用粘弹性部件。因为粘弹性部件夹在可动体3和固定体2在振动方向(轴线L方向)上对置的部位之间，所以当可动体3振动时，粘弹性部件作为减振部件发挥作用。因此，与只使用板簧连接可动体3和固定体2的情况不同，通过粘弹性部件能够抑制可动体3的过度振动。这样，因为能够抑制可动体3和固定体2的碰撞，所以能够提高致动器1的抗冲击性。另外，因为能够减小可动体3和固定体2之间的间隙，所以致动器1的设计自由度高，可以实现致动器1的小型化。而且，通过调节粘弹性部件的弹簧常数、形状，还可以调节可动体3的共振频率。

另外，在本实施方式中，通过设置于板簧的变形抑制部(臂83的弯曲部87)，能够抑制可动体3向与振动方向(轴线L方向)正交的方向的移动。因此，在使可动体3振动时，能够抑制可动体3向意外的方向移动。由此，可以抑制可动体3和固定体2的碰撞，并且能够提高致动器1的抗冲击性。另外，因为能够减小可动体3和固定体2之间的间隙，所以致动器1的设计的自由度高，也能够实现致动器1的小型化。

在本实施方式中，第二连接体8(板簧)具备内侧环状部81、配置于内侧环状部81的外周侧的外侧环状部82及连接内侧环状部81和外侧环状部82的多个臂83，内侧环状部81固定于可动体3，外侧环状部82固定于固定体2。多个臂83各自具备与内侧环状部81连接的内侧连接部84、与外侧环状部82连接的外侧连接部85及从内侧连接部84朝向外侧连接部85向周向的一侧延伸的螺旋部86，作为变形抑制部，具备设置于螺旋部86的弯曲部87。这样，因为通过设置弯曲部87提高了臂83的刚性，所以第二连接体8(板簧)的与振动方向(轴线L方向)交叉的方向上的刚性高。因此，能够抑制可动体3向与振动方向(轴线L方向)交叉的方向的移动。

需要说明的是，在本实施方式中，因为固定体2配置于可动体3的外周侧，所以内侧环状部81固定于可动体3，外侧环状部82固定于固定体2，但在采用互换可动体3和固定体2的配置的结构的情况下，将内侧环状部81固定于固定体2，将外侧环状部82固定于可动体3即可。

在本实施方式中，弯曲部87具备相对于周向倾斜的倾斜部分871、从倾斜部分871的一端向周向的一侧CCW弯曲的第一弯曲部分872及从倾斜部分871的另一端向周向的另一侧CW弯曲的第二弯曲部分873。这样，通过在螺旋部86的中途设置在与轴线L方向正交的面内弯曲的曲柄形状的弯曲部87，可以提高臂83的与轴线L方向正交的方向上的刚性。因此，因为第二连接体8(板簧)的与振动方向(轴线L方向)交叉的方向上的刚性高，所以能够抑制可动体3向与振动方向(轴线L方向)交叉的方向的移动。

在本实施方式的第二连接体8中，从径向观察时，设置于不同的臂83的多个螺旋部86彼此重叠。即，在第二连接体8中，多个臂83各自延伸到配置其他臂83的周向位置，从径向观察时，多个臂83的螺旋部86重叠。这样，通过在周向的整个范围内配置多个臂83，能够在与振动方向(轴线L方向)交叉的所有方向上提高第二连接体8(板簧)的刚性。因此，能够抑制可动体3向与振动方向(轴线L方向)交叉的方向的移动。

在本实施方式中，多个弯曲部87(第一弯曲部87A、第二弯曲部87B及第三弯曲部87C)为相似形，且彼此设置于不同的臂83上的多个弯曲部87从内周侧向外周侧排列成一排。这样，通过将弯曲部87设为相似形，且排列成一排并且使周向上的位置对齐，不需要将臂83彼此之间的间隔增大设置弯曲部87的量。因此，能够在不使第二连接体8(板簧)大型化的情况下提高刚性。

在本实施方式的第二连接体8中，作为多个臂83，具备第一臂83A、配置于第一臂83A的周向的一侧的第二臂83B以及配置于第二臂83B的周向的一侧的第三臂83C。第一臂83A、第二臂83B及第三臂83C各自具备设置于螺旋部86的多个弯曲部87，多个弯曲部87具备第一弯曲部87A、位于第一弯曲部87A的周向的一侧的第二弯曲部87B以及位于第二弯曲部87B的周向的一侧的第三弯曲部87C。而且，因为设置于不同的臂83的第一弯曲部87A、第二弯曲部87B及第三弯曲部87C彼此为相似形，并且从内周侧朝外周侧依次排列成一排。这样，因为三根臂83各自具备三个部位的弯曲部87，所以各臂83的刚性高。另外，因为互不相同的臂83的弯曲部87从内周侧向外周侧排列成一排，所以第二连接体8(板簧)的刚性在与振动方向交叉的所有方向上都高。因此，能够抑制可动体3向与振动方向(轴线L方向)交叉的方向的移动。另外，因为将弯曲部87设为相似形，且排列成一排并使周向上的位置对齐，所以不需要将臂83彼此之间的间隔增大设置弯曲部87的量。因此，能够在不使第二连接体8(板簧)大型化的情况下提高刚性。

在本实施方式中，在多个臂83的每一个臂中，内侧连接部84是从内侧环状部81向外周侧突出的突出部，且以弯曲的形状与螺旋部86连接，外侧连接部85是从外侧环状部82向内周侧突出的突出部，且以弯曲的形状与螺旋部86连接，内侧连接部84、第一弯曲部87A、第二弯曲部87B、第三弯曲部87C及外侧连接部85从内周侧向外周侧依次排列成一排。这样，因为使五个部位的弯曲部的周向位置对齐，所以不需要将臂83彼此之间的间隔增大设置弯曲部87的量。因此，能够在不使第二连接体8(板簧)大型化的情况下提高刚性。

(变形例)

(1)在上述实施方式中，第二连接体8是圆形的板簧，但板簧的形状也可以是圆形以外的形状。例如，也可以是矩形。另外，板簧的材质也可以是金属，也可以是金属以外的材质。例如，也可以是树脂。

(2)在上述实施方式中，第一连接体7是圆柱状的粘弹性部件，但第一连接体7的形状也可以是圆柱状以外的形状。例如，也可以是棱柱状。

Claims

1.一种致动器，其特征在于，具有：

固定体；

可动体；

磁驱动机构，所述磁驱动机构使所述可动体相对于所述固定体振动；以及

连接体，所述连接体连接所述固定体和所述可动体，

所述连接体具备配置于所述可动体的振动方向上的一端侧的第一连接体和配置于所述可动体的振动方向上的另一端侧的第二连接体，

所述第一连接体是配置于所述可动体和所述固定体在所述可动体的振动方向上对置的部位之间的粘弹性部件，

所述第二连接体是在与所述可动体的振动方向正交的方向上延伸的板簧，

所述板簧具备抑制所述可动体向与振动方向正交的方向移动的变形抑制部，

所述板簧具备：内侧环状部；外侧环状部，所述外侧环状部配置于所述内侧环状部的外周侧；以及多个臂，所述多个臂连接所述内侧环状部和所述外侧环状部，

所述内侧环状部和所述外侧环状部中的一方固定于所述可动体上，所述内侧环状部和所述外侧环状部中的另一方固定于所述固定体上，

所述多个臂分别具备：内侧连接部，所述内侧连接部与所述内侧环状部连接；外侧连接部，所述外侧连接部与所述外侧环状部连接；以及螺旋部，所述螺旋部从所述内侧连接部朝向所述外侧连接部向周向的一侧延伸，

所述变形抑制部是设置于所述螺旋部的弯曲部，

所述多个臂各自的螺旋部横跨大于一周的角度范围的角度范围沿周向延伸。

2.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于，

所述弯曲部具备相对于周向倾斜的倾斜部分、从所述倾斜部分的一端向所述周向的一侧弯曲的第一弯曲部分及从所述倾斜部分的另一端向周向的另一侧弯曲的第二弯曲部分。

3.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于，

从径向观察时，设置于不同的所述臂上的多个所述螺旋部彼此重叠。

4.根据权利要求2所述的致动器，其特征在于，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的致动器，其特征在于，

所述多个臂具备：第一臂；第二臂，所述第二臂配置于所述第一臂的所述周向的一侧；以及第三臂，所述第三臂配置于所述第二臂的所述周向的一侧，

所述第一臂、所述第二臂及所述第三臂各自具备设置于所述螺旋部的多个所述弯曲部，

所述多个所述弯曲部具备：第一弯曲部；第二弯曲部，所述第二弯曲部位于所述第一弯曲部的所述周向的一侧；以及第三弯曲部，所述第三弯曲部位于所述第二弯曲部的所述周向的一侧，

设置于不同的臂的所述第一弯曲部、所述第二弯曲部及所述第三弯曲部彼此为相似形，且从内周侧向外周侧依次排列成一排。

6.根据权利要求5所述的致动器，其特征在于，

在所述多个臂的每一个臂中，

所述内侧连接部是从所述内侧环状部向外周侧突出的突出部，且以弯曲的形状与所述螺旋部连接，

所述外侧连接部是从所述外侧环状部向内周侧突出的突出部，且以弯曲的形状与所述螺旋部连接，

所述内侧连接部、所述第一弯曲部、所述第二弯曲部、所述第三弯曲部及所述外侧连接部从内周侧向外周侧依次排列成一排。