CN111856249A - 一种芯片测试监控方法、客户端及系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种芯片测试监控方法、客户端及系统，该方法包括S1：客户端实时监控预设路径下预设文件名的目标文件是否有变化；S2：当监控到目标文件变化时，判断目标文件名与上一次解析文件是否相同；如果相同，记录上一次解析停止点，对目标文件新增加的部分进行解析，得到解析后的数据；如果不相同，目标文件为新文件，对新文件进行解析，得到解析后的数据；S3：将解析后的数据发送给数据库；循环执行步骤S1‑S3。本申请中，增量解析算法保证了解析的高效，快速，减少了系统内存消耗。而且实时监控芯片测试过程中产生的测试数据，一旦发现超标则触发立即报警事件，对测试机立即停机，避免大量的异常测试造成芯片批量报废。

Description

一种芯片测试监控方法、客户端及系统

技术领域

本发明涉及芯片测试领域，具体而言，涉及一种芯片测试监控方法、客户端及系统。

背景技术

半导体集成电路芯片的供应链中，晶圆测试(Chip Probe)和成品测试(FinalTest)是非常重要的两个检测环节，测试环节主要实现两个作用：一是芯片电性及功能仿真测试；二是芯片性能优化，电性参数修调(Trim)，功能配置(config)，标记码烧录(code)等，其中优化过程是有风险的，如果优化过程异常会导致芯片大批量报废。经过测试确定为良品的芯片才可以装配到各种电子设备终端中。

因为测试环节如此重要，所以测试过程中需要对测试数据进行分析，以确定芯片良率，参数分布，性能优化结果等。其中，晶圆测试(CP)是以圆片为单位的，每批有25片晶圆(6寸，8寸，12寸等)。每个圆片测试结束测试机(ATE)会产生一份完整的测试数据。成品测试(FT)是以批为单位的，每批芯片数量从几千颗到几十万颗不等，每批测试结束测试机(ATE)会产生一份完整的测试数据。但目前对于测试数据的分析耗费大量的系统及人工。

发明内容

为了解决目前芯片测试数据分析耗费大量的系统及人工的问题，本申请实施例提供了一种芯片测试监控方法、客户端及系统。

第一方面，本申请实施例提供了一种芯片测试监控方法，包括步骤：

S1：客户端实时监控预设路径下预设文件名的目标文件是否有变化；

S2：当监控到所述目标文件变化时，判断目标文件名与上一次解析文件是否相同；

如果相同，所述目标文件为旧文件，记录上一次解析停止点，对所述目标文件新增加的部分进行解析，得到解析后的数据；

如果不相同，所述目标文件为新文件，对所述新文件进行解析，得到解析后的数据；

S3：将所述解析后的数据发送给数据库；

循环执行步骤S1-S3。

其中，所述步骤S1：客户端实时监控预设路径下预设文件名的目标文件是否有变化之前还包括：客户端启动。

其中，所述步骤S1：客户端实时监控预设路径下预设文件名的目标文件是否有变化，包括：

客户端实时监控预设路径下，已有的预设文件名的目标文件大小是否有变化，以及实时监控预设路径下是否有新增加的目标文件。

其中，所述如果不相同，所述目标文件为新文件，包括：如果不相同，所述目标文件为新文件，将上一次解析停止点清零。

第二方面，本申请提供了一种芯片测试监控客户端，所述芯片测试监控客户端用于执行上述任一项所述方法的步骤。

第三方面，本申请提供了一种测试机，所述测试机用于执行上述任一项所述方法的步骤，

第四方面，本申请实施例提供了一种芯片测试监控系统，包括上述芯片测试监控客户端，还包括数据库、服务器、报警装置、智能手指控制系统、机械手按指系统；

所述芯片测试监控客户端用于解析芯片测试数据，将解析得到的数据发送给所述数据库；

所述数据库用于接收、存储所述芯片测试监控客户端发送的解析得到的数据，对解析得到的数据进行校验；

所述服务器用于根据预设的不同产品卡控参数及卡控标准，实时分析所述数据库中的数据，发现超标就向所述智能手指控制系统及所述报警装置发送报警信息；

所述智能手指控制系统用于接收所述报警信息，传递立即停机的指令给所述机械手按指系统；

所述机械手按指系统包括机械手按指模块，所述机械手按指模块安装于所述芯片测试监控客户端停机键正上方，所述机械手按指系统用于控制机械手按指模块弹出一次并收回，以按压客户端的停机键。

其中，所述智能手指控制系统通过WIFI无线方式，传递立即停机的指令给所述机械手按指系统。

其中，所述报警装置包括三色灯、蜂鸣器，所述报警装置用于接收报警信息，触发三色灯闪烁及蜂鸣器报警。

第五方面，本申请提供了一种芯片测试监控方法，包括：

通过上述任一项所述芯片测试监控方法，所述芯片测试监控客户端解析芯片测试数据，将解析得到的数据发送给所述数据库；

所述数据库接收、存储所述芯片测试监控客户端发送的解析得到的数据，对解析得到的数据进行校验；

所述服务器根据预设的不同产品卡控参数及卡控标准，实时分析所述数据库中的数据，发现超标就向所述智能手指控制系统及所述报警装置发送报警信息；

所述智能手指控制系统接收所述报警信息，传递立即停机的指令给所述机械手按指系统；

所述机械手按指系统包括机械手按指模块，所述机械手按指模块安装于所述芯片测试监控客户端停机键正上方，所述机械手按指系统控制机械手按指模块弹出一次并收回，以按压客户端的停机键。

本申请实施例芯片测试监控方法、客户端及系统具有如下有益效果：

本申请包括S1：客户端实时监控预设路径下预设文件名的目标文件是否有变化；S2：当监控到目标文件变化时，判断目标文件名与上一次解析文件是否相同；如果相同，目标文件为旧文件，记录上一次解析停止点，对目标文件新增加的部分进行解析，得到解析后的数据；如果不相同，目标文件为新文件，对新文件进行解析，得到解析后的数据；S3：将解析后的数据发送给数据库；循环执行步骤S1-S3。本申请中，增量解析算法保证了解析的高效，快速，减少了系统内存消耗。

附图说明

图1为本申请实施例芯片测试监控方法流程示意图；

图2为本申请实施例芯片测试监控客户端的结构示意图；

图3为本申请实施例芯片测试监控系统的结构示意图；

图4为本申请实施例应用于芯片测试监控系统的芯片测试监控方法流程示意图；

图5为本申请实施例芯片测试监控系统的机械手按指系统的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请进行进一步的介绍。

在下述介绍中，术语“第一”、“第二”仅为用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。下述介绍提供了本发明的多个实施例，不同实施例之间可以替换或者合并组合，因此本申请也可认为包含所记载的相同和/或不同实施例的所有可能组合。因而，如果一个实施例包含特征A、B、C，另一个实施例包含特征B、D，那么本申请也应视为包括含有A、B、C、D的一个或多个所有其他可能的组合的实施例，尽管该实施例可能并未在以下内容中有明确的文字记载。

下面的描述提供了示例，并且不对权利要求书中阐述的范围、适用性或示例进行限制。可以在不脱离本申请内容的范围的情况下，对描述的元素的功能和布置做出改变。各个示例可以适当省略、替代或添加各种过程或组件。例如所描述的方法可以以所描述的顺序不同的顺序来执行，并且可以添加、省略或组合各种步骤。此外，可以将关于一些示例描述的特征组合到其他示例中。

半导体集成电路芯片的供应链中，晶圆测试(Chip Probe)和成品测试(FinalTest)是非常重要的两个检测环节，测试环节主要实现两个作用:a.芯片电性及功能仿真测试；b.芯片性能优化，电性参数修调(Trim)，功能配置(config)，标记码烧录(code)等，其中优化过程是有风险的，如果优化过程异常会导致芯片大批量报废。经过测试确定为良品的芯片才可以装配到各种电子设备终端中。

因为测试环节如此重要，所以测试过程中需要对测试数据进行定期分析，以确定芯片良率，参数分布，性能优化结果等。其中，晶圆测试(CP)是以圆片为单位的，每批有25片晶圆(6寸，8寸，12寸等)。每个圆片测试结束测试机(ATE)会产生一份完整的测试数据。成品测试(FT)是以批为单位的，每批芯片数量从几千颗到几十万颗不等，每批测试结束测试机(ATE)会产生一份完整的测试数据。

目前对测试数据分析能做到的及时性节点就是晶圆测试(CP)每片测完分析，成品测试(FT)每批测完分析，分析耗费大量的系统及人工，由上可知，也存在滞后性，当发现异常数据时，可能异常已经持续了多个小时(最小分析节点时间)，造成了大量的芯片报废。

基于以上分析，对于测试过程中的参数实时监控和立即停机功能就变得尤其重要。

如图1所示，本申请一种芯片测试监控方法，包括步骤S1-S3，下面介绍步骤S1-S3。

S1：客户端实时监控预设路径下预设文件名的目标文件是否有变化。

客户端程序实时监控指定路径下(可配置)指定后缀文件名(可配置)的变动情况。客户端软件在后台一直运行，实时监控指定路径下指定后缀格式的文件变动情况，只要测试机在测试产品，就会持续地产生出测试数据。

在一些实施例中，本步骤包括：客户端实时监控预设路径下，已有的预设文件名的目标文件大小是否有变化，以及实时监控预设路径下是否有新增加的目标文件。

S2：当监控到目标文件变化时，判断目标文件名与上一次解析文件是否相同；如果相同，目标文件为旧文件，记录上一次解析停止点，对目标文件新增加的部分进行解析，得到解析后的数据；如果不相同，目标文件为新文件，对新文件进行解析，得到解析后的数据。

测试数据的产生会带来目标文件的变化，目标文件的变化例如包括：目标文件大小有变化，有新增加的目标文件。增量解析算法保证了解析的高效，快速，减少了系统内存消耗。

解析算法是按照业界STDF(Standard Test Data File，标准测试数据文件)标准手册开发，对二进制文件进行关键字段匹配，并解析相关有效测试信息，该信息包括lotnumber、start time、end time、part id、X坐标、Y坐标、Site、Pass/Fail、Soft bin、HardBin、Test Time、test id、test name、test value等等。

S3：将解析后的数据发送给数据库；单次解析完成，继续回到监控节点，循环下一次解析，即循环执行步骤S1-S3。

在一些实施例中，步骤S1：客户端实时监控预设路径下预设文件名的目标文件是否有变化之前还包括：客户端启动。客户端启动后，软件会根据预设定的扫描文件类型，扫描路径，配置文件等进行自动配置。配置文件主要是设定扫描过程中要提取的参数项目及参数名称。

在一些实施例中，如果不相同，目标文件为新文件，包括：如果不相同，目标文件为新文件，将上一次解析停止点清零。

如图2所示，本申请还提供了一种芯片测试监控客户端，包括：监控单元201，用于实时监控预设路径下预设文件名的目标文件是否有变化；判断解析单元202，用于当监控到目标文件变化时，判断目标文件名与上一次解析文件是否相同；如果相同，目标文件为旧文件，记录上一次解析停止点，对目标文件新增加的部分进行解析，得到解析后的数据；如果不相同，目标文件为新文件，对新文件进行解析，得到解析后的数据；发送单元203，用于将解析后的数据发送给数据库。本申请芯片测试监控客户端用于执行上述任一项方法的步骤。

本申请还提供了一种测试机，该测试机用于执行上述任一项方法的步骤。

如图3所示，本申请还提供了一种芯片测试监控系统，包括上述芯片测试监控客户端301，图3中一共示出了三个客户端，即芯片测试监控客户端301、芯片测试监控客户端302、芯片测试监控客户端303，客户端的数量根据实际需要调整，这里的客户端也指测试机。芯片测试监控系统还包括数据库304、服务器305、报警装置306、智能手指控制系统307、机械手按指系统308，机械手按指系统309、机械手按指系统310，机械手按指系统与测试机一一对应。

芯片测试监控客户端301用于解析芯片测试数据，将解析得到的数据发送给数据库304；客户端实现测试数据(STDF格式)实时解析并上传，可以通过软件程序实现，该程序运行于每个测试机电脑上，并实时监控特定的测试数据字节大小及时间变动状况，一旦侦测到文件变化，触发解析流程，将最新变化部分的数据解析并上传。

数据库304用于接收、存储芯片测试监控客户端发送的解析得到的数据，对解析得到的数据进行校验，例如针对一些关键信息进行正确性校验。

服务器305用于根据预设的不同产品卡控参数及卡控标准，实时分析数据库中的数据，发现超标就向智能手指控制系统及报警装置发送报警信息；例如一旦发现超标则触发立即报警事件，包括:a.发送邮件；b.触发现场三色灯及蜂鸣器报警；c.触发AI-Finger手指控制程序。

智能手指控制系统307用于接收报警信息，传递立即停机的指令给机械手按指系统；智能手指控制系统307能够无线控制多个智能终端(机械手指等)，该系统能够接受来自服务器305发送的报警及停机要求，然后通过WIFI等无线方式，传递立即停机的指令给智能终端(机械手指等)。

机械手按指系统308包括机械手按指模块，机械手按指模块安装于芯片测试监控客户端停机键正上方，机械手按指系统用于根据停机指令控制机械手按指模块弹出一次并收回，以按压客户端的停机键。机械手按指模块可通过吸盘或绑扎带等安装于测试机设备的停机键(物理按键)正上方，要求该按指正对着停机按键，距离2cm之内。

如图5所示，机械手按指系统308包括WIFI接收模块、单片机模块(或者PLC模块)、直流电机模块、电源模块及机械手按指模块。电源/电池模块用于提供工作电源；直流电机模块用于提供继电器及机械手指驱动电路；单片机模块用于实现片上系统编程及功能配置；WIFI模块：能配置终端并进行无线WIFI联网，联网后具备唯一MAC地址和IP地址。可由MAC地址或TCP/IP方式实现编程控制开和关。机械手按指系统308控制原理：WIFI接收模块接收到停止信号后，触发单片机模块(或者PLC模块)，单片机(或者PLC)控制直流电机启动，直流电机启动后控制机械手指弹出(行程2.2cm)一次并收回，该动作实现了模拟人员在现场按下测试机停机键的动作，实现了测试机立即停机。

机械手按指系统308具备软件接口DLL文件，DLL被包进实时数据分析系统服务器(RTMS Server)，服务器会实时监控多台测试机数据，发现超标时则调用智能手指接口发送停机指令给该机台唯一对应的MAC地址和IP地址的终端(机械手按指系统308)。终端接收到停机指令后，机械手指弹出一次并收回，实现类似于人员按下STOP停机键的动作，实现对Prober,Handler等测试设备的停机。

在一些实施例中，智能手指控制系统通过WIFI无线方式，传递立即停机的指令给机械手按指系统。报警装置包括三色灯、蜂鸣器，报警装置用于接收报警信息，触发三色灯闪烁及蜂鸣器报警。报警装置包括USB控制电路、三色灯、蜂鸣器三个主要部分，一旦收到服务器发送的报警指令，即实现实时三色灯闪烁及蜂鸣器报警，提醒技术人员发现异常，介入处理。现场技术人员被通知后，能够第一时间停止设备生产，避免大量的异常测试造成批量报废。

本申请对芯片测试过程中产生的测试数据实时监控，一旦发现超标则触发立即报警事件，对测试机立即停机，避免大量的异常测试造成芯片批量报废。

如图4所示，本申请一种应用于芯片测试监控系统的芯片测试监控方法，包括：步骤S101，通过上述任一项芯片测试监控方法，芯片测试监控客户端解析芯片测试数据，将解析得到的数据发送给数据库；步骤S103，数据库接收、存储芯片测试监控客户端发送的解析得到的数据，对解析得到的数据进行校验；步骤S105，服务器根据预设的不同产品卡控参数及卡控标准，实时分析数据库中的数据，发现超标就向智能手指控制系统及报警装置发送报警信息；步骤S107，智能手指控制系统接收报警信息，传递立即停机的指令给机械手按指系统；步骤S109，机械手按指系统包括机械手按指模块，机械手按指模块安装于芯片测试监控客户端停机键正上方，机械手按指系统控制机械手按指模块弹出一次并收回，以按压客户端的停机键。

本申请中，应用于芯片测试监控系统的芯片测试监控方法实施例与芯片测试监控系统实施例基本相似，相关之处请参考芯片测试监控系统实施例的介绍。

本申请具有以下优点：针对半导体芯片测试实时监控及控制停机要求，提出了全新的完整的解决方案；避免业界供应商只能提供部分或不完全服务之困扰；通过智能终端机械手的实现，由业界传统的软件控制停机(SECS协议)变为硬件控制方式，解决了大部分设备不支持SECS协议而无法控制的问题；且该智能终端机械手应用场景广阔，涵盖制造，工业设备，厂务等大量设备控制领域。本解决方案的软件程序和控制方式打破了国外巨头公司的垄断，为公司节省了千万元以上的资金投入。

本领域的技术人员可以清楚地了解到本发明实施例的技术方案可借助软件和/或硬件来实现。本说明书中的“单元”和“模块”是指能够独立完成或与其他部件配合完成特定功能的软件和/或硬件，其中硬件例如可以是FPGA(Field－Programmable Gate Array，现场可编程门阵列)、IC(Integrated Circuit，集成电路)等。

本发明实施例的各处理单元和/或模块，可通过实现本发明实施例所述的功能的模拟电路而实现，也可以通过执行本发明实施例所述的功能的软件而实现。

本发明实施例还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现上述芯片测试监控方法步骤。其中，计算机可读存储介质可以包括但不限于任何类型的盘，包括软盘、光盘、DVD、CD-ROM、微型驱动器以及磁光盘、ROM、RAM、EPROM、EEPROM、DRAM、VRAM、闪速存储器设备、磁卡或光卡、纳米系统(包括分子存储器IC)，或适合于存储指令和/或数据的任何类型的媒介或设备。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，如：多个单元或组件可以结合，或可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另外，所显示或讨论的各组成部分相互之间的耦合、或直接耦合、或通信连接可以是通过一些接口，设备或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性的、机械的或其它形式的。

在本发明各实施例中的各功能单元可以全部集成在一个处理单元中，也可以是各单元分别单独作为一个单元，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中；上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用硬件加软件功能单元的形式实现。

以上介绍仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种芯片测试监控方法，其特征在于，包括步骤：

S1：客户端实时监控预设路径下预设文件名的目标文件是否有变化；

S2：当监控到所述目标文件变化时，判断目标文件名与上一次解析文件是否相同；

如果相同，所述目标文件为旧文件，记录上一次解析停止点，对所述目标文件新增加的部分进行解析，得到解析后的数据；

如果不相同，所述目标文件为新文件，对所述新文件进行解析，得到解析后的数据；

S3：将所述解析后的数据发送给数据库；

循环执行步骤S1-S3。

2.根据权利要求1所述芯片测试监控方法，其特征在于，所述步骤S1：客户端实时监控预设路径下预设文件名的目标文件是否有变化之前还包括：客户端启动。

3.根据权利要求1或2所述芯片测试监控方法，其特征在于，所述步骤S1：客户端实时监控预设路径下预设文件名的目标文件是否有变化，包括：

客户端实时监控预设路径下，已有的预设文件名的目标文件大小是否有变化，以及实时监控预设路径下是否有新增加的目标文件。

4.根据权利要求1或2所述芯片测试监控方法，其特征在于，所述如果不相同，所述目标文件为新文件，包括：如果不相同，所述目标文件为新文件，将上一次解析停止点清零。

5.一种芯片测试监控客户端，其特征在于，所述芯片测试监控客户端用于执行权利要求1-4任一项所述方法的步骤。

6.一种测试机，其特征在于，所述测试机用于执行权利要求1-4任一项所述方法的步骤。

7.一种芯片测试监控系统，其特征在于，包括权利要求5所述芯片测试监控客户端，还包括数据库、服务器、报警装置、智能手指控制系统、机械手按指系统；

所述芯片测试监控客户端用于解析芯片测试数据，将解析得到的数据发送给所述数据库；

所述数据库用于接收、存储所述芯片测试监控客户端发送的解析得到的数据，对解析得到的数据进行校验；

所述服务器用于根据预设的不同产品卡控参数及卡控标准，实时分析所述数据库中的数据，发现超标就向所述智能手指控制系统及所述报警装置发送报警信息；

所述智能手指控制系统用于接收所述报警信息，传递立即停机的指令给所述机械手按指系统；

所述机械手按指系统包括机械手按指模块，所述机械手按指模块安装于所述芯片测试监控客户端停机键正上方，所述机械手按指系统用于控制机械手按指模块弹出一次并收回，以按压客户端的停机键。

8.根据权利要求7所述芯片测试监控系统，其特征在于，所述智能手指控制系统通过WIFI无线方式，传递立即停机的指令给所述机械手按指系统。

9.根据权利要求7或8所述芯片测试监控系统，其特征在于，所述报警装置包括三色灯、蜂鸣器，所述报警装置用于接收报警信息，触发三色灯闪烁及蜂鸣器报警。

10.一种芯片测试监控方法，其特征在于，包括：

通过所述权利要求1-4中任一项所述芯片测试监控方法，所述芯片测试监控客户端解析芯片测试数据，将解析得到的数据发送给所述数据库；

所述数据库接收、存储所述芯片测试监控客户端发送的解析得到的数据，对解析得到的数据进行校验；

所述服务器根据预设的不同产品卡控参数及卡控标准，实时分析所述数据库中的数据，发现超标就向所述智能手指控制系统及所述报警装置发送报警信息；

所述智能手指控制系统接收所述报警信息，传递立即停机的指令给所述机械手按指系统；

所述机械手按指系统包括机械手按指模块，所述机械手按指模块安装于所述芯片测试监控客户端停机键正上方，所述机械手按指系统控制机械手按指模块弹出一次并收回，以按压客户端的停机键。

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