CN117472699A - 一种用于半导体测试的实时监控方法及装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于半导体测试的实时监控方法及装置，实时监控方法包括以下步骤：获取数据存储文件，数据存储文件用于实时接收用于半导体测试的监测数据；基于监测数据的格式，对数据存储文件进行解析，形成数据解析报表；基于数据存储文件和数据解析报表，确定数据解析报表中的增量数据；结合预警规则，分析数据解析报表中的增量数据，对半导体测试过程进行异常报警。本发明可以准确获取测试过程中不同环节的测试数据，并且数据解析及传输实时性高，便于在测试过程中发现问题并进行异常预警。
Description
技术领域
本发明属于半导体测试技术领域，具体涉及一种用于半导体测试的实时监控方法及装置。
背景技术
在对集成电路芯片进行测试过程中，需要对测试数据进行监控、分析，以实现集中处理和分析。测试数据分析是设计公司、晶圆厂、封测厂等发现问题的一个重要手段，并且也常用于CP、FT、PE、TE等阶段。
例如，专利CN115857594A给出一种基于人工智能的芯片制造现场环境智能管控系统，用于解决现有技术中的芯片制造现场环境智能管控系统，无法对制造现场中的制冷加压设备运行状态进行检测，导致制造现场的环境稳定性低下的问题，具体是一种基于人工智能的芯片制造现场环境智能管控系统，包括智能管控平台，智能管控平台通信连接有预检测模块、制造控制模块、实时监控模块、周期管理模块、更新监测模块、切断优化模块以及存储模块；在该方案中，在芯片制造开始之前进行环境预检测分析，并通过鼓风机与冷气空调对制造现场进行降温干燥加压，来将芯片制造现场的所有灰尘全部排除，以保证制造现场的洁净度。
常规的测试数据分析方法是对测试数据进行及时分析，在出现网络问题时，容易使得测试数据分析过程出现中断，甚至导致分析结果出错。
因此，如何提供一种可以实现芯片测试持续监控的方法是本领域亟待解决的问题。
发明内容
针对上述现有技术中存在的缺陷，本发明提供了一种用于半导体测试的实时监控方法及装置。可以准确获取测试过程中不同环节的测试数据，并且数据解析及传输实时性高，便于在测试过程中发现问题并进行异常预警。
第一方面，本发明提供一种用于半导体测试的实时监控方法，具体包括如下步骤：
获取数据存储文件，数据存储文件用于实时接收用于半导体测试的监测数据；
基于监测数据的格式，对数据存储文件进行解析，形成数据解析报表；
基于数据存储文件和数据解析报表，确定数据解析报表中的增量数据；
结合预警规则，分析数据解析报表中的增量数据，对半导体测试过程进行异常报警。
进一步的，获取数据存储文件，具体包括：
自预设实时监控的测试机台，并采集生产产生的测试数据内容，生成对应的数据存储文件；
至少每隔一个半导体测试周期读取一次数据存储文件。
进一步的，实时监控的测试机台包括93K、ultra flex、J750HD、PAXAC和PAX的至少一种，测试数据内容包括每个测试项目的名称、测试值、limit、IC测试顺序和测试bin的至少一种。
进一步的，基于监测数据的格式，对数据存储文件进行解析，形成数据解析报表，具体包括如下步骤：
对获取的数据存储文件进行类型分析，确定数据存储文件的创建状态；
基于数据存储文件的创建状态，在指定文件路径生成与数据存储文件存在映射关系的临时文件；
将数据存储文件中的监测数据同步更新复制至临时文件；
基于监测数据的格式，对临时文件进行解析，生成数据解析报表。
进一步的，数据存储文件的监测数据包括若干段含多字节的数据片段，数据片段包括沿读写顺序排列依次排列的消息长度、消息类型及消息体，消息体包括测试数据、测试对象数据和参数信息。
进一步的，将数据存储文件中的监测数据同步更新复制至临时文件，具体包括如下步骤：
通过数据存储文件的写入位置，在预设时间间隔内实时监测数据存储文件的属性参数变化；
基于属性参数变化情况，比较数据存储文件中消息长度及消息类型的变化，并区划数据存储文件内的增量字节，将增量字节同时同步更新复制至临时文件。
基于监测数据的格式，对临时文件进行解析，生成数据解析报表，包括：
对消息长度进行识别得到消息体的字节长度；
对消息类型进行识别给出消息体的数据类型，以及按读写顺序排列的测试环节；其中，消息类型包括数字类型和文本类型；
根据读写顺序对消息体进行识别，给出数字类型的起始字节和数字类型中测试环节的字节长度；
基于按读写顺序排列的测试环节、数字类型的起始字节和数字类型中测试环节的字节长度，给出数字类型中所有测试环节对应的字节长度片段；
基于读写顺序对文本类型进行识别，确定文本类型中所有首字节和与首字节对应的尾字节；
基于按读写顺序排列的测试环节，数字类型中所有测试环节对应的字节长度片段，以及文本类型中所有首字节和与首字节对应的尾字节，给出文本类型中所有测试环节对应的字节长度片段；
解析消息体中所有测试环节对应的字节长度片段，并结合消息长度、消息类型和消息体的识别结果，给出数据解析报表。
进一步的，基于数据存储文件和数据解析报表，确定数据解析报表中的增量数据，包括：
根据增量字节的更新复制状态，确定增量字节更新复制的起始节点和终止节点；
基于增量字节更新复制的起始节点和终止节点，确定数据解析报表的更新区间；
根据数据解析报表的更新区间，确定更新区间中测试环节对应的测试数据内容；
其中，确定更新区间中测试环节对应的测试数据内容，满足以下关系包括：
式中，x为某个测试环节，y为数据解析报表的更新区间中搜索后给出的规则行，z为对应更新区间中测试环节对应的测试数据内容，f（）为规则行y与测试环节x之间的函数，F为搜索函数，g（）为测试数据内容与测试环节之间的函数，M为匹配函数，S为规则行总数，row_num为所有测试环节对应的规则行区间，Ti为第i规则行的数据类型，Ty为第y规则行的数据类型，column_num为所有测试环节对应的规则列区间，TLi为第i规则行对应增量字节中的字节长度，TLy为第y规则行对应增量字节中的字节长度。
进一步的，结合预警规则，分析数据解析报表中的增量数据，对半导体测试过程进行异常报警，具体包括如下步骤：
根据预警规则获取不同类型监测数据的预定阈值；
将更新区间中测试环节对应的测试数据内容和预定阈值进行匹配，给出超过预定阈值的测试数据内容；
根据超过预定阈值的测试数据内容，生成对应的预警信息和指令。
进一步的，预警信息包括测试颗数、预定阈值、实际测试值。
进一步的，将更新区间中测试环节对应的测试数据内容和预定阈值进行匹配，包括：
将测试数据内容中的良率与预定区间进行对比，将测试数据内容中Bin在目标Bin列表中出现次数与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中连续出现目标Bin列表中Bin的次数与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中测试项的Mean值与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中良率在不同Site之间的差距与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中测试项的Mean值在不同Site之间的差距与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中测试项的Mean值在一定范围内连续上升的大小与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中测试项的Mean值在一定范围内连续下降的大小与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中混料情况与其对应的预设混料情况进行对比。
进一步的，将更新区间中测试环节对应的测试数据内容和预定阈值进行匹配，还包括：
将测试数据内容所对应测试的集成电路数量与其对应的预定阈值进行对比；
将增量文件的滚动计算与其对应的预定阈值进行对比；
将增量文件中超过预定阈值的数量与其对应的报警次数阈值进行对比。
进一步的，生成对应的预警信息，包括：
对半导体测试信息进行展示，并给出预警提示。
进一步，对半导体测试信息进行展示，并给出预警提示，具体包括：
好品良率、各个次品bin的良率和不同site的好品liang。
第二方面，本发明还提供一种用于半导体测试的实时监控装置，采用上述用于半导体测试的实时监控方法，包括：
采集单元，用于获取数据存储文件，数据存储文件用于实时接收用于半导体测试的监测数据；
分析单元，用于基于监测数据的格式，对数据存储文件进行实时解析，形成数据解析报表；
增量单元，用于基于数据存储文件和数据解析报表，确定数据解析报表中的增量数据；
预警单元，用于结合预警规则，分析数据解析报表中的增量数据，对半导体测试过程进行异常报警。
本发明提供的一种用于半导体测试的实时监控方法及装置，至少包括如下有益效果：
（1）本发明的数据解析及传输实时性高，方便用户在测试过程中发现问题并进行异常预警。并且可以快速准确的从增量数据中获取需要的测试数据内容，提高半导体测试的监控效率。
（2）通过同步更新临时文件，即数据传输采用缓存技术，可以减轻服务器的通讯压力，并且机台客户端支持断线重连。数据存储大部分采用文件流，减轻服务器存储压力。
（3）通过确定测试环节和测试数据内容之间的搜索关系，可以实现快速的测试数据内容的获取。并且该搜索方式可以不用预先对测试数据内容进行全部解析，通过点对点的方式获取对应的测试数据内容的字节片段并进行解析，可以提高实时监控半导体测试的适应能力。
附图说明
图1为本发明提供的一种用于半导体测试的实时监控方法的流程图；
图2为本发明提供的某一实施例的形成数据解析报表的流程图；
图3为本发明提供的某一实施例的对临时文件进行解析的流程图；
图4为本发明提供的一种用于半导体测试的实时监控装置的示意图。
具体实施方式
为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案做详细的说明。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本发明。在本发明实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义，“多种”一般包含至少两种。
还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的商品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种商品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的商品或者装置中还存在另外的相同要素。
如图1所示，本发明提供一种用于半导体测试的实时监控方法，具体包括如下步骤：
获取数据存储文件，数据存储文件用于实时接收用于半导体测试的监测数据；
基于监测数据的格式，对数据存储文件进行解析，形成数据解析报表；
基于数据存储文件和数据解析报表，确定数据解析报表中的增量数据；
结合预警规则，分析数据解析报表中的增量数据，对半导体测试过程进行异常报警。
本发明在对半导体的测试过程进行实时监控时，首先获取数据存储文件，其具体可以包括：
自预设实时监控的测试机台，并采集生产产生的测试数据内容，生成对应的数据存储文件；
至少每隔一个半导体测试周期读取一次数据存储文件。
具体的，根据实际监控需求，预设需要进行监控的测试机台，该测试机台对半导体进行测试得到对应的测试数据内容，并将测试数据内容写入数据存储文件中，以实现数据存储文件的更新。其中，将测试数据写入数据存储文件，可以是持续写入，即测试机台在得到测试数据内容的同时将其写入数据存储文件中，也可以是按照预定周期进行写入，即在测试机台完成对应半导体的全部测试任务后，将其测试得到的测试数据内容写入数据存储文件中。本发明对于获取的数据存储文件，是在根据测试机台对半导体进行测试的测试周期进行间隔性获取，可以是间隔一个半导体测试周期，也可以是间隔两个甚至多个半导体测试周期，该半导体测试周期对应测试机台从对半导体进行测试到对其进行全部测试任务的时间，示例性的，半导体测试周期为测试用的机械臂在料盘吸取芯片放下测试一次到下一次吸取芯片放下的测试间隔，例如，每一次芯片测试过程，如第一次抓取4颗芯片进行测试，第二次又抓取4颗芯片进行测试，第一次和第二次分别从测试开始到测试完成的时间为一个半导体测试周期。进行半导体测试的测试机台可以包括93K、ultra flex、J750HD、PAXAC和PAX的至少一种，测试机台对半导体进行测试得到的测试数据内容可以包括每个测试项目的名称、测试值、limit、IC测试顺序和测试bin的至少一种。其中，数据存储文件为测试机台对半导体进行测试后生成的STDF文件。
参见图2所示，本发明在测试机台将测试数据内容写入数据存储文件后，可以基于监测数据的格式，对数据存储文件进行解析，形成数据解析报表，具体包括如下步骤：
对获取的数据存储文件进行类型分析，确定数据存储文件的创建状态；
基于数据存储文件的创建状态，在指定文件路径生成与数据存储文件存在映射关系的临时文件；
将数据存储文件中的监测数据同步更新复制至临时文件；
基于监测数据的格式，对临时文件进行解析，生成数据解析报表。
本发明在形成数据解析报表时，通过服务器对需要监控的测试机台进行集中处理。在每个测试机台对半导体进行测试生成数据存储文件后，基于半导体测试周期，服务器将测试机台侧的数据存储文件更新的数据通过写入服务器侧的数据存储文件，然后在服务器中进行解析生成数据解析报表。可以避免在测试机台处进行解析，导致需要较大的运行能力，即可以将测试机台处的运行压力转移至服务器，由服务器进行集中处理，提高处理效率。其中，对STDF文档解析后形成ATR、BPS、DTR、EPS、FAR、FTR、GDR、HBR、MIR、MPR、MRR、PCR、PGR、PIR、PLR、PMR、PRR、PTR、RDR、SBR、SDR、TSR、WCR、WIR、WRR等文件格式。
本发明的服务器将测试机台侧的数据存储文件更新的数据通过写入服务器侧的数据存储文件时，即测试机台的数据存储文件存在增量文件时，将数据存储文件中的监测数据同步更新复制至临时文件，具体可以包括如下步骤：
通过数据存储文件的写入位置，在预设时间间隔内实时监测数据存储文件的属性参数变化；
基于属性参数变化情况，比较数据存储文件中消息长度及消息类型的变化，并区划数据存储文件内的增量字节，将增量字节同时同步更新复制至临时文件。
在实际应用场景中，进行数据存储文件的监控更新时，根据后缀名确定数据存储文件，以监控测试机台是否生成数据存储文件，一旦发现数据存储文件被创建，则在指定文件路径创建一个临时文件，改临时文件与数据存储文件的格式相同，创建完成之后将测试机台生成的数据存储文件中数据同步复制到服务器侧的临时文件中。更具体地，时刻监听测试机台的测试过程，检测到STDF文件（数据存储文件）被创建，0KB大小，测试过程中STDF文件实时写入测试数据，通过将写入后文件流位置和写入前的文件流位置比较增量大小，如果有增量，则在临时目录创建一个同名的空临时文件，然后将增量数据写入临时文件中，也可以直接将增量数据写入原有的临时文件中。其中，STDF文件的增量检测：检测到STDF文件被创建0KB大小（文件流位置0），测试过程中STDF文件实时写入测试数据，通过写入后文件流位置和写入前的文件流位置比较增量大小（实时轮次比较，例如0，100，200这3个节点，100和0比较，200和100比较）。
在进行临时文件的更新时，通过时刻监听测试机台的数据存储文件大小，如果数据存储文件大小有改变就将数据存储文件的增量部分数据复制到临时文件里，同时子线程跟踪临时文件，将增量部分数据传输到服务器；对于生产过程中可能发生断开的情况，导致文件没办法同步，可以等恢复网络后将临时文件里没有同步的数据一次性同步到服务器。
本发明中的数据存储文件的监测数据包括若干段含多字节的数据片段，数据片段包括沿读写顺序排列依次排列的消息长度、消息类型及消息体，消息体包括测试数据、测试对象数据和参数信息，数据片段的内容长度包括按顺序排列的多个字节，第一字节和第二字节确定消息长度，第三字节和第四字节确定消息类型以及消息体中的测试环节，内容长度中的其它字节确定消息体；一个半导体测试周期对应一个数据片段的内容长度。在获取数据存储文件时，从数据存储文件的0字节开始读取数据，第一个和第二个字节确定消息内容长度N，第三个和第四个字节确定消息类型和测试环节，后面N个字节确定消息体，N为第一段数据片段获取到的内容长度。在N个长度的消息体之后继续按照次规则读取数据一直循环到整个文件被读取结束。
参见图3所示，基于数据存储文件的数据结构，即基于监测数据的格式，可以对临时文件进行解析，生成数据解析报表，可以包括：
对消息长度进行识别得到消息体的字节长度；
对消息类型进行识别给出消息体的数据类型，以及按读写顺序排列的测试环节；其中，消息类型包括数字类型和文本类型；
根据读写顺序对消息体进行识别，给出数字类型的起始字节和数字类型中测试环节的字节长度；
基于按读写顺序排列的测试环节、数字类型的起始字节和数字类型中测试环节的字节长度，给出数字类型中所有测试环节对应的字节长度片段；
基于读写顺序对文本类型进行识别，确定文本类型中所有首字节和与首字节对应的尾字节；
基于按读写顺序排列的测试环节，数字类型中所有测试环节对应的字节长度片段，以及文本类型中所有首字节和与首字节对应的尾字节，给出文本类型中所有测试环节对应的字节长度片段；
解析消息体中所有测试环节对应的字节长度片段，并结合消息长度、消息类型和消息体的识别结果，给出数据解析报表。
本发明在形成数据解析报表后，可以基于数据存储文件和数据解析报表，确定数据解析报表中的增量数据，其具体包括：
根据增量字节的更新复制状态，确定增量字节更新复制的起始节点和终止节点；
基于增量字节更新复制的起始节点和终止节点，确定数据解析报表的更新区间；
根据数据解析报表的更新区间，确定更新区间中测试环节对应的测试数据内容。
增量字节更新复制的起始节点和终止节点，是由文件大小进行确定，例如，第一次更新复制时，数据存储文件的大小为0kb-100kb，其0kb为起始节点，100kb为终止节点；在第二次更新复制时，其增量字节是从100kb开始更新，假若此时更新200kb，则其起始节点为100kb，终止节点为300kb。
其中，确定更新区间中测试环节对应的测试数据内容，满足以下关系包括：
式中，x为某个测试环节，y为数据解析报表的更新区间中搜索后给出的规则行，z为对应更新区间中测试环节对应的测试数据内容，f（）为规则行y与测试环节x之间的函数，F为搜索函数，g（）为测试数据内容与测试环节之间的函数，M为匹配函数，S为规则行总数，row_num为所有测试环节对应的规则行区间，T1为第1规则行的数据类型，Ti为第i规则行的数据类型，Ty为第y规则行的数据类型，column_num为所有测试环节对应的规则列区间，TLi为第i规则行对应增量字节中的字节长度，TLy为第y规则行对应增量字节中的字节长度。
其中，第1规则行为表1中字段名称为：REC_LEN的所在行，第2规则列中的U和C表示数据类型分别为数字类型和文本类型，数据类型后的数字表示字节长度，每个字节长度最大值为255；U*4表示该数据字段的数据类型为数字类型且为定长数据具有4个字节长度，其最大值为4294967295；C*n表示该数据字段的数据类型为文本类型且为不定长数据，其字节长度n随测试数据的变化而变化。
表1 数据解析报表
以表1为例对上述关系式进行示例说明，若测试环节位于数据解析表的第1规则列，且需要查找的测试环节为RTST_CNT；则基于搜索函数，以测试环节所在规则列和RTST_CNT所在规则行区间为条件，以RTST_CNT为目标，进行搜索RTST_CNT所在的规则行，最终得到y。基于匹配函数，以y及其之前的所有规则行和规则列为条件，以y及其之前的所有规则行和规则列中记载的字节长度为目标，匹配给出y及其之前的所有规则行对应测试环节的字节长度；基于匹配函数，以y和预定规则列为条件，以y和预定规则列对应的数据类型为目标，匹配给出y对应测试环节的数据类型；基于搜索函数，以y及其之前所有规则行对应测试环节的数据类型和字节长度总和为条件，以y对应测试环节的数据类型和字节长度为目标，进行搜索y对应测试环节在更新区间中的测试数据内容z。其中，本发明对于搜索函数和匹配函数的具体函数表示不作限定，只要实现搜索和匹配的功能即可，例如，搜索函数可以为FIND函数、SEARCH函数等，匹配函数可以为index函数等，另外，现有计算机中可以实现搜索和匹配的指令也属于本发明中搜索函数和匹配函数的范围。
本发明在确定数据解析报表中的增量数据，且可以通过数据解析报表获取对应测试环节的测试数据内容后，可以结合预警规则，分析数据解析报表中的增量数据，对半导体测试过程进行异常报警，具体包括如下步骤：
根据预警规则获取不同类型监测数据的预定阈值；
将更新区间中测试环节对应的测试数据内容和预定阈值进行匹配，给出超过预定阈值的测试数据内容；
根据超过预定阈值的测试数据内容，生成对应的预警信息和指令。
其中，将更新区间中测试环节对应的测试数据内容和预定阈值进行匹配，包括：
将测试数据内容中的良率与预定区间进行对比，将测试数据内容中Bin在目标Bin列表中出现次数与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中连续出现目标Bin列表中Bin的次数与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中测试项的Mean值与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中良率在不同Site之间的差距与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中测试项的Mean值在不同Site之间的差距与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中测试项的Mean值在一定范围内连续上升的大小与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中测试项的Mean值在一定范围内连续下降的大小与其对应的预定阈值对比，将测试数据内容中混料情况与其对应的预设混料情况进行对比。
其中，Bin包括softbin和hardbin，分别表示软判定和硬判定，软判定指根据测试结果对芯片进行分类或分级，但不会直接影响芯片的物理处理或标记。软判定可以根据芯片在测试中的性能指标、功能缺陷等因素来进行分类。softbin的目的是为了帮助进一步分析和改进产品质量，提供有关芯片特性的信息以供后续处理和决策。硬判定是指根据测试结果将芯片直接分配到特定的物理容器或位置，由设备自动执行。硬判定是通过测试机台将芯片分配给不同的生产线、批次或质量等级，以便将来采取相应的行动，例如重新测试、修复或报废。所以，在半导体测试和品质控制领域，Softbin和Hardbin用于描述芯片在测试过程中的分类或分级。Mean值表示测试文件中某一测试项的平均值。Site表示测试机台。
将更新区间中测试环节对应的的测试数据内容和预定阈值进行匹配，还包括：
将测试数据内容所对应测试的集成电路数量与其对应的预定阈值进行对比；
将增量文件的滚动计算与其对应的预定阈值进行对比；其中，滚动计算类似医院窗口滚动大屏1-10,2-11,3-12...；
将增量文件中超过预定阈值的数量与其对应的报警次数阈值进行对比。
在给出超过预定阈值的测试数据内容后，可以生成对应的预警信息，具体包括：
对半导体测试信息进行展示，并给出预警提示。展示的信息为：好品良率、各个次品bin的良率和不同site的好品liang。预警提示的具体内容：包含测试颗数、设置具体阈值、实际测试值。
在给出超过预定阈值的测试数据内容后，可以生成对应的预警指令，具体包括：
根据超过预定阈值的测试数据内容，给出其对应的测试环节；
基于给出的测试环节，控制对应的测试机台对对半导体执行多次该测试环节，以获取多次测试数据内容并进行与预定阈值的比对；
将多次比对结果跟随预警信息进行展示。
生成对应的预警指令，还可以包括：
根据超过预定阈值的测试数据内容，给出其对应的测试环节；
基于给出的测试环节，确定半导体的缺陷数据；
基于缺陷数据调节半导体的生产工艺。
其中，基于缺陷数据调节半导体的生产工艺，可以通过学习模型进行学习拟合，将缺陷数据作为输入，将与缺陷数据对应的优化生产工艺片段作为输出，以此实现半导体生产工艺的优化调整。
参见图4所示，本发明还提供一种用于半导体测试的实时监控装置，采用上述用于集成电路测试的实时监控方法，包括：
采集单元，用于获取数据存储文件，数据存储文件用于实时接收用于半导体测试的监测数据；
分析单元，用于基于监测数据的格式，对数据存储文件进行解析，形成数据解析报表；
增量单元，用于基于数据存储文件和数据解析报表，确定数据解析报表中的增量数据；
预警单元，用于结合预警规则，分析数据解析报表中的增量数据，对半导体测试过程进行异常报警。
尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (10)
1.一种用于半导体测试的实时监控方法，其特征在于，具体包括如下步骤：
获取数据存储文件，数据存储文件用于实时接收用于半导体测试的监测数据；
基于监测数据的格式，对数据存储文件进行解析，形成数据解析报表；
基于数据存储文件和数据解析报表，确定数据解析报表中的增量数据；
结合预警规则，分析数据解析报表中的增量数据，对半导体测试过程进行异常报警。
2.如权利要求1所述用于半导体测试的实时监控方法，其特征在于，获取数据存储文件，具体包括：
自预设实时监控的测试机台，并采集生产产生的测试数据内容，生成对应的数据存储文件；
至少每隔一个半导体测试周期读取一次数据存储文件。
3.如权利要求2所述用于半导体测试的实时监控方法，其特征在于，实时监控的测试机台包括93K、ultra flex、J750HD、PAXAC和PAX的至少一种，测试数据内容包括每个测试项目的名称、测试值、limit、IC测试顺序和测试bin的至少一种。
4.如权利要求1所述用于半导体测试的实时监控方法，其特征在于，基于监测数据的格式，对数据存储文件进行解析，形成数据解析报表，具体包括如下步骤：
对获取的数据存储文件进行类型分析，确定数据存储文件的创建状态；
基于数据存储文件的创建状态，在指定文件路径生成与数据存储文件存在映射关系的临时文件；
将数据存储文件中的监测数据同步更新复制至临时文件；
基于监测数据的格式，对临时文件进行解析，生成数据解析报表。
5.如权利要求4所述用于半导体测试的实时监控方法，其特征在于，数据存储文件的监测数据包括若干段含多字节的数据片段，数据片段包括沿读写顺序排列依次排列的消息长度、消息类型及消息体，消息体包括测试数据、测试对象数据和参数信息。
6.如权利要求5所述用于半导体测试的实时监控方法，其特征在于，将数据存储文件中的监测数据同步更新复制至临时文件，具体包括如下步骤：
通过数据存储文件的写入位置，在预设时间间隔内实时监测数据存储文件的属性参数变化；
基于属性参数变化情况，比较数据存储文件中消息长度及消息类型的变化，并区划数据存储文件内的增量字节，将增量字节同时同步更新复制至临时文件。
7.如权利要求6所述用于半导体测试的实时监控方法，其特征在于，基于监测数据的格式，对临时文件进行解析，生成数据解析报表，包括：
对消息长度进行识别得到消息体的字节长度；
对消息类型进行识别给出消息体的数据类型，以及按读写顺序排列的测试环节；其中，消息类型包括数字类型和文本类型；
根据读写顺序对消息体进行识别，给出数字类型的起始字节和数字类型中测试环节的字节长度；
基于按读写顺序排列的测试环节、数字类型的起始字节和数字类型中测试环节的字节长度，给出数字类型中所有测试环节对应的字节长度片段；
基于读写顺序对文本类型进行识别，确定文本类型中所有首字节和与首字节对应的尾字节；
基于按读写顺序排列的测试环节，数字类型中所有测试环节对应的字节长度片段，以及文本类型中所有首字节和与首字节对应的尾字节，给出文本类型中所有测试环节对应的字节长度片段；
解析消息体中所有测试环节对应的字节长度片段，并结合消息长度、消息类型和消息体的识别结果，给出数据解析报表。
8.如权利要求6或7所述用于半导体测试的实时监控方法，其特征在于，基于数据存储文件和数据解析报表，确定数据解析报表中的增量数据，包括：
根据增量字节的更新复制状态，确定增量字节更新复制的起始节点和终止节点；
基于增量字节更新复制的起始节点和终止节点，确定数据解析报表的更新区间；
根据数据解析报表的更新区间，确定更新区间中测试环节对应的测试数据内容；
其中，确定更新区间中测试环节对应的测试数据内容，满足以下关系包括：
；
；
；
式中，x为某个测试环节，y为数据解析报表的更新区间中搜索后给出的规则行，z为对应更新区间中测试环节对应的测试数据内容，f（）为规则行y与测试环节x之间的函数，F为搜索函数，g（）为测试数据内容与测试环节之间的函数，M为匹配函数，S为规则行总数，row_num为所有测试环节对应的规则行区间，Ti为第i规则行的数据类型，Ty为第y规则行的数据类型，column_num为所有测试环节对应的规则列区间，TLi为第i规则行对应增量字节中的字节长度，TLy为第y规则行对应增量字节中的字节长度。
9.如权利要求8所述用于半导体测试的实时监控方法，其特征在于，结合预警规则，分析数据解析报表中的增量数据，对半导体测试过程进行异常报警，具体包括如下步骤：
根据预警规则获取不同类型监测数据的预定阈值；
将更新区间中测试环节对应的测试数据内容和预定阈值进行匹配，给出超过预定阈值的测试数据内容；
根据超过预定阈值的测试数据内容，生成对应的预警信息和指令。
10.一种用于半导体测试的实时监控装置，其特征在于，采用如权利要求1-9任一所述用于半导体测试的实时监控方法，包括：
采集单元，用于获取数据存储文件，数据存储文件用于实时接收用于半导体测试的监测数据；
分析单元，用于基于监测数据的格式，对数据存储文件进行解析，形成数据解析报表；
增量单元，用于基于数据存储文件和数据解析报表，确定数据解析报表中的增量数据；
预警单元，用于结合预警规则，分析数据解析报表中的增量数据，对半导体测试过程进行异常报警。
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