CN111697043B - 显示面板和显示面板的制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种显示面板和显示面板的制备方法，该显示面板包括：显示发光层，用于发出显示光，其中，显示发光层包括透光孔；支撑单元，设置在透光孔内；封装层，层叠设置于显示发光层的显示发光侧，覆盖透光孔。通过在显示发光层的透光孔内设置支撑单元，能够减小显示面板在透光孔位置的厚度与显示区的厚度差异，防止因显示面板在透光孔位置的封装膜层凹陷深度过大，导致显示面板在所述透光孔位置呈现的环形痕迹，从而降低了对透光孔位置的光透过率的影响，同时减轻了光线的衍射现象。

Description

显示面板和显示面板的制备方法

技术领域

本申请涉及显示技术领域，具体涉及一种显示面板和显示面板的制备方法。

背景技术

显示面板行业对屏占比的要求越来越高，在显示面板上设置透光盲孔以提供摄像头拍摄所需的光是目前应用较广的解决方案，盲孔屏作为从窄边框屏到全面屏的过渡产品，越来越多的应用在各款手机、平板等电子产品中。但薄膜封装后的盲孔屏在盲孔处的膜厚明显小于显示区的膜厚，导致在盲孔处膜层呈现凹陷的形态，从而导致在凹陷处折射率和反射率的差异，视觉上在盲孔处呈现环形的痕迹，从而影响摄像头在显示面板的投影位置上的透过率，且容易导致衍射现象。

发明内容

有鉴于此，本申请实施例提供了一种显示面板和显示面板的制备方法，解决了视觉上摄像头在显示面板的投影位置呈现环形的痕迹，从而影响摄像头在显示面板的投影位置上的光透过率，且容易导致衍射现象的问题。

根据本申请的一个方面，本申请的实施例提供了一种显示面板，包括：显示发光层，用于发出显示光，其中，所述显示发光层包括透光孔；支撑单元，设置在所述透光孔内；封装层，层叠设置于所述显示发光层的显示发光侧，覆盖所述透光孔。

在一实施例中，所述显示面板还包括：过渡单元，设置于所述透光孔的侧壁和所述支撑单元之间；其中，所述过渡单元在所述透光孔轴向上的厚度大于或等于所述支撑单元在所述透光孔轴向上的厚度。

在一实施例中，所述过渡单元在所述透光孔径向截面上的投影为环状。

在一实施例中，所述显示面板包括多个过渡单元；其中，所述多个过渡单元以环形嵌套的方式组合设置。

在一实施例中，所述多个过渡单元在所述透光孔轴向的厚度由所述透光孔侧壁向所述透光孔径向中心方向依次减小；或所述多个过渡单元在所述透光孔轴向的厚度变化，在与所述封装层的接触面形成凹凸结构。

在一实施例中，所述显示面板还包括：区域定义层，层叠设置于所述过渡单元靠近所述封装层的端面；其中，所述区域定义层包括区域定义孔，所述区域定义孔的孔径不大于所述透光孔的孔径。

在一实施例中，所述区域定义层的材料与阴极材料相同。

在一实施例中，所述支撑单元和所述过渡单元的形成材料包括负性光刻胶。

根据本申请的另一个方面，本申请的实施例提供了一种显示面板的制备方法，包括如下步骤：提供衬底；在衬底上制备支撑单元和具有透光孔的显示发光层，所述透光孔包围所述支撑单元，在所述显示发光层远离所述衬底的一侧制备封装层，覆盖所述透光孔；或在衬底上制备具有透光孔的显示发光层，在所述透光孔内制备支撑单元，在所述显示发光层远离所述衬底的一侧制备封装层，覆盖所述透光孔。

在一实施例中，所述在衬底上制备支撑单元包括：在所述衬底上同时制备所述支撑单元和过渡单元，其中，所述过渡单元在所述透光孔轴向上的厚度大于或等于所述支撑单元在所述透光孔轴向上的厚度；所述在所述透光孔内制备支撑单元包括：在所述透光孔内同时制备所述支撑单元和过渡单元，其中，所述过渡单元在所述透光孔轴向上的厚度大于或等于所述支撑单元在所述透光孔轴向上的厚度。

本申请实施例提供的一种显示面板和显示面板的制备方法，通过在显示发光层的透光孔内设置支撑单元，减小显示面板在透光孔位置的厚度与显示区的厚度差异，减小显示面板在透光孔位置的封装膜层凹陷深度，即减小了凹陷导致的折射率和反射率的差异，减轻了视觉上显示面板在透光孔位置呈现的环形痕迹，从而降低了对透光孔位置的光透过率的影响，同时减轻了光的衍射现象。

附图说明

图1所示为本申请一实施例提供的一种显示面板结构示意图。

图2A所示为现有技术中的显示面板结构示意图。

图2B所示为图2A中的显示面板结构在A-A方向的截面示意图。

图3所示为本申请另一实施例提供的一种显示面板结构示意图。

图4所示为图3中的显示面板结构在B-B方向的截面示意图。

图5A所示为本申请另一实施例提供的一种显示面板结构示意图。

图5B所示为图5A中的显示面板结构在C-C方向的截面示意图。

图6所示为本申请另一实施例提供的一种显示面板结构示意图。

图7所示为本申请另一实施例提供的一种显示面板结构示意图。

图8所示为本申请一实施例提供的一种显示面板制备方法流程图。

图9A所示为本申请一实施例提供的支撑单元和显示发光层制备完成后的结构示意图。

图9B所示为本申请一实施例提供的封装层制备完成后的结构示意图。

图9C所示为本申请一实施例提供的剥离衬底后的结构示意图。

图10所示为本申请另一实施例提供的一种显示面板制备方法流程图。

图11A所示为本申请另一实施例提供的显示发光层制备完成后的结构示意图。

图11B所示为本申请另一实施例提供的支撑单元制备完成后的结构示意图。

图11C所示为本申请另一实施例提供的封装层制备完成后的结构示意图。

图11D所示为本申请另一实施例提供的剥离衬底后的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的各个图示中，为了便于图示，结构或部分的某些尺寸会相对于其它结构或部分夸大，因此，仅用于图示本申请的主题的基本结构。

另外，本文使用的例如“上”、“下”等表示空间相对位置的术语是出于便于说明的目的来描述如附图中所示的一个单元或特征相对于另一个单元或特征的关系。

图1所示为本申请一实施例提供的一种显示面板结构示意图。如图1所示，该显示面板包括：显示发光层11，用于发出显示光，其中，显示发光层11的包括透光孔；支撑单元13，设置在透光孔内；封装层12，层叠设置于显示发光层11的显示发光侧，覆盖透光孔。

图2A所示为现有技术中的显示面板结构示意图。图2B所示为图2A中的显示面板结构在A-A方向的截面示意图。如图2A和图2B所示，在一实施例中，透光孔111用于透过感光组件如摄像头等所需的光。由于在摄像头在显示面板的投影位置102处，需要有光透过以保证摄像头的拍摄功能，所以显示发光层11在摄像头在显示面板的投影位置102处包括透光孔111。现有技术中透光孔111中无任何物质，因此，摄像头在显示面板的投影位置102的厚度小于显示区101部分的厚度，导致摄像头在封装层12的投影位置处产生凹陷，凹陷深度为3um-11um，3um-11um的凹陷深度导致凹陷处的折射率和反射率的差异较大，从而视觉上在凹陷处呈现环形的痕迹，导致衍射现象，进而影响集成在显示面板下方的感光组件如摄像头的成像质量。

本申请图1所示的显示面板，通过在显示发光层11的透光孔111内设置支撑单元13，减小了显示面板在透光孔111位置102的厚度与显示区101的厚度差异，减小了显示面板在透光孔111位置102的封装膜层凹陷深度，从而减小了凹陷导致的折射率和反射率的差异，减轻了视觉上显示面板在透光孔111位置102呈现的环形痕迹，从而降低了对显示面板在透光孔111位置的光透过率的影响，同时减轻了衍射现象。在一实施例中，透光孔111用于透过摄像头所需的光，因此，保证了集成在显示面板下方的摄像头的透光率的需求。

在一实施例中，显示面板可以是柔性显示面板。显示发光层11可以包括：层叠设置的驱动层、发光层和偏光片，其中驱动层可以包括多层金属膜层和多层无机绝缘膜层，发光层可以包括阳极、有机发光层和阴极。封装层12可以是薄膜封装层。透光孔111可以是通孔，即透光孔111贯穿显示发光层11的所有膜层；也可以是包括透明物的盲孔，即透光孔111贯穿显示发光层11的部分不透光膜层。其中，透明物可以是氧化硅，可以是氮化硅，也可以是其它透明的绝缘层，本申请对透明物的材料不做具体限定。

在一实施例中，显示面板还可以是具有触控功能的显示面板，显示发光层11可以包括：驱动层、发光层、偏光片以及触控层，该触控层在透光孔11的对应位置无金属走线以及透光孔贯穿偏光片，其中驱动层可以包括多层金属膜层和多层无机绝缘膜层，发光层可以包括阳极、有机发光层和阴极。

在一实施例中，支撑单元13的材料可以是负性光刻胶。负性光刻胶是一种透明的光刻胶，具有很好的热稳定和化学稳定性。使用负性光刻胶作为支撑单元13的材料，设置于透光孔111内，即能起到对封装层12的支撑作用，又不会影响透光孔111透光。同时，在使用负性光刻胶制作支撑单元13时，由于负性光刻胶在曝光过程中表面的固化效果可能会优于低层，因此经过刻蚀后制作出的支撑单元13轴向截面可以是梯形，且梯形的靠近封装层的一边比远离封装层12的一边要宽。其中，支撑单元13的轴向是与显示发光层11垂直的方向。通过形成这种轴向截面为梯形的支撑单元13，支撑单元13靠近封装层的一端与透光孔111的侧壁间隙较小，因此封装层12在沉积到显示区101上时，并不会因陷入支撑单元13与透光孔111的侧壁的间隙中而形成凹陷，从而避免了这种凹陷导致的折射率和反射率的差异，减轻了视觉上透光孔位置的环形痕迹，从而降低了对光透过率的影响，同时减轻了衍射现象。另外，在负性光刻胶曝光充分的情况下，负性光刻胶在被刻蚀形成支撑单元13后，支撑单元13的轴向截面也可以呈矩形，从而使得支撑单元13靠近封装层的整个侧面可与透光孔111的侧壁能更好的贴合，支撑单元13靠近封装层的一端与透光孔111的侧壁间隙也会较小，同样可以避免上述凹陷导致的折射率和反射率的差异。

应当理解，支撑单元13的材料可根据具体的应用需求进行选择，只要是不影响透光孔111透光的透明材料，且制作出的支撑单元13能够起到支撑作用即可，本申请对支撑单元13的材料不做具体限定。

图3所示为本申请另一实施例提供的一种显示面板结构示意图。如图3所示，在图1所示实施例中，显示面板还包括：过渡单元14，设置于透光孔111的侧壁和支撑单元13之间；其中，过渡单元14在透光孔111轴向上的厚度大于或等于支撑单元13在透光孔111轴向上的厚度。通过设置过渡单元14，并使过渡单元14在透光孔111轴向上的厚度大于或等于支撑单元13在透光孔111轴向上的厚度，可选的，过渡单元14在透光孔111轴向上的厚度等于透光孔111的深度，支撑单元在透光孔111轴向上的厚度小于或等于透光孔111的深度，过渡单元14和支撑单元13在透光孔111轴向上的厚度差小于1um。因此，即能实现对封装层12的支撑，使凹陷深度小于1um，减小了凹陷导致的折射率和反射率的差异，从而减轻视觉上透光孔111位置处呈现的环形痕迹，降低透光孔111位置处的光透过率的影响，同时减轻光线衍射现象，又能使封装层12的在透光孔111位置处保留小于1um的凹陷深度，从而避免因对显示面板在透光孔111位置的摩擦产生划痕，保证了显示面板在透光孔111位置的透光度。在一实施例中，透光孔111用于透过摄像头所需的光，因此，保证了摄像头在显示面板的透光孔111位置的透光率需求。

在一实施例中，过渡单元14的材料可以是负性光刻胶。使用负性光刻胶作为过渡单元14的材料，与支撑单元13的材料相同，可以通过一道工序同时制备，简化了显示面板的制备工艺。

图4所示为图3中的显示面板结构在B-B方向的截面示意图。如图4所示，图4所示实施例中的过渡单元14在透光孔111径向截面上的投影为环状。通过使过渡单元14在透光孔111径向截面上的投影为环状，使过渡单元14围绕透光孔111的凹陷处，从而进一步避免因对显示面板在透光孔111位置的摩擦产生划痕，进一步保证了透光孔111的光透过率。在一实施例中，透光孔111可用于透过感光组件如摄像头所需的光。

应当理解，过渡单元14在透光孔111径向截面上的投影可以是圆环状、可以是矩形环状，也可以是任意直线和曲线组成的封闭环状，只要过渡单元14在透光孔111径向截面上的投影是环状即可，本申请对过渡单元14在透光孔111径向截面上的投影形状不作就具体限定。

图5A所示为本申请另一实施例提供的一种显示面板结构示意图。图5B所示为图5A中的显示面板结构在C-C方向的截面示意图。如图5A和图5B所示，显示面板包括多个过渡单元14；其中，多个过渡单元以环形嵌套的方式组合设置。多个过渡单元在透光孔轴向的厚度变化，在与封装层的接触面形成凹凸结构，且多个过渡单元14在透光孔111轴向的厚度大小差异小于1um。在透光孔111轴向的厚度变化的多个过渡单元14可以增加与封装层12的接触面积，提高了封装的可靠性。且多个过渡单元14在透光孔111轴向的厚度大小差异小于1um，不会形成环形痕迹。

图6所示为本申请另一实施例提供的一种显示面板结构示意图。如图6所示，多个过渡单元14在透光孔111轴向的厚度由透光孔侧壁向透光孔径向中心方向依次减小。其中，多个过渡单元14在透光孔111轴向的厚度减小的总尺寸小于1um。通过使多个过渡单元14在透光孔111轴向的厚度由透光孔侧壁向透光孔径向中心方向依次减小，使多个过渡单元14在透光孔111轴向的厚度由透光孔侧壁向透光孔径向中心方向的厚度逐渐由厚变薄，增加多个过度单元14与封装层12的接触面积，提高了封装的可靠性。且多个过渡单元14在透光孔111轴向的厚度减小的总尺寸小于1um，不会形成环形痕迹。

图7所示为本申请另一实施例提供的一种显示面板结构示意图。如图7所示，显示面板还包括：区域定义层15，层叠设置于过渡单元14靠近封装层的端面；其中，区域定义层15包括区域定义孔151，区域定义孔151的孔径不大于透光孔111的孔径。在一实施例中，区域定义孔151位于摄像头在显示面板的投影位置102，区域定义孔151的孔径用于确定摄像头在显示面板的投影位置102的具体大小。

在一实施例中，区域定义层15的形成材料与阴极的形成材料相同，可以通过一道工序同时制备区域定义层15和阴极，简化了显示面板的制备工艺。同时，由于阴极材料为金属，可以减少开孔处的漏光，其金属特性可以屏蔽静电对显示发光层11中的驱动层信号的干扰。

应当理解，区域定义层15的形成材料可以是与阴极的形成材料相同的金属，也可以是黑胶，只要是非透明材料即可，本申请对区域定义层15的材料不做具体限定。

图8所示为本申请一实施例提供的一种显示面板的制备方法流程图。如图8所示，图1所述本申请实施例中的显示面板可以通过以下具体步骤实现：

步骤801：提供衬底，并在衬底10上制备支撑单元13和具有透光孔111的显示发光层11，其中，透光孔111包围支撑单元13。图9A所示为本申请一实施例提供的支撑单元和显示发光层制备完成后的结构示意图。在一实施例中，支撑单元13制备在摄像头在衬底上的正投影的位置。通过制备支撑单元13，减小透光孔的厚度与显示区101的厚度差异，减小透光孔相对于发光显示层的凹陷深度，从而减小凹陷导致的折射率和反射率的差异，从而降低对透光孔位置的光透过率的影响，同时减轻光线衍射现象。

具体地，衬底10的材料可以是聚酰亚胺，也可以是其它柔性材料，衬底10的材料可根据具体应用场景进行选择。支撑单元13的材料可以是负性光刻胶。使用负性光刻胶作为支撑单元13的材料，设置于透光孔111内，即能起到对封装层12的支撑作用，又不会影响透光孔111透光。

应当理解，支撑单元13的材料可根据具体的应用需求进行选择，只要是不影响透光孔111透光的透明材料，且制作出的支撑单元13能够起到支撑作用即可，本申请对支撑单元13的材料不做具体限定。

具体地，显示发光层11可以包括驱动层和发光层，其中驱动层可以包括多层金属膜层和多层无机绝缘膜层，发光层可以包括阳极、有机发光层和阴极。透光孔111可以是通孔，也可以是包括透明物的盲孔，其中，透明物可以是氧化硅，可以是氮化硅，也可以是其它透明的绝缘层，本申请对透明物的材料不做具体限定。

在一实施例中，显示面板可以是有触控功能的显示面板，显示发光层11可以包括：在透光孔位置处无金属走线的触控层、在透光孔位置处开孔的偏光片、驱动层和发光层，其中驱动层可以包括多层金属膜层和多层无机绝缘膜层，发光层可以包括阳极、有机发光层和阴极。

可选的实施例中，具有透光孔111的显示发光层11可以先通过沉积或蒸镀的方式在衬底10与支撑单元13同侧的表面以及支撑单元13远离衬底10的表面制备，然后可以通过激光灰化、刻蚀或胶带粘等方式去除显示发光层11中支撑单元13上远离衬底10表面的所有膜层或者只去除不透光或透光性差的膜层，例如，可以只去除金属层。

当显示发光层11可以包括驱动层和发光层，其中驱动层可以包括多层金属膜层和多层无机绝缘膜层，发光层可以包括阳极、有机发光层和阴极时，可以每制作一层，选择是否去除显示发光层11中支撑单元13上远离衬底10表面的膜层。

在一实施例中，还可以在衬底10上同时制备支撑单元13和过渡单元14，其中，过渡单元14在透光孔轴向上的厚度大于或等于支撑单元13在透光孔轴向上的厚度。

步骤802：在显示发光层11远离衬底的一侧制备封装层12，覆盖透光孔111。图9B所示为本申请一实施例提供的封装层制备完成后的结构示意图。

具体地，封装层12可以是薄膜封装层。

在一可选的实施例中，该显示面板的制备方法还包括步骤803：剥离衬底10。图9C所示为本申请一实施例提供的剥离衬底后的结构示意图。

具体地，当衬底10是聚酰亚胺衬底时，由于聚酰亚胺是有颜色的，影响光透过率，所以需要剥离；但是当衬底是显示发光层本身的玻璃衬底或其他透明的衬底时，可不进行步骤803。

图10所示为本申请另一实施例提供的一种显示面板制备方法流程图。如图10所示，图1所述本申请实施例中的显示面板可以通过以下具体步骤实现：

步骤1001：提供衬底，并在衬底10上制备具有透光孔111的显示发光层11。图11A所示为本申请另一实施例提供的显示发光层制备完成后的结构示意图。

具体地，衬底10的材料可以是聚酰亚胺，也可以是其它柔性材料，衬底10的材料可根据具体应用场景进行选择。显示发光层11可以包括驱动层和发光层，其中驱动层可以包括多层金属膜层和多层无机绝缘膜层，发光层可以包括阳极、有机发光层和阴极。透光孔111可以是通孔，也可以是包括透明物的盲孔，其中，透明物可以是氧化硅，可以是氮化硅，也可以是其它透明的绝缘层，本申请对透明物的材料不做具体限定。

在一实施例中，显示面板可以是有触控功能的显示面板，显示发光层11可以包括：在透光孔位置处无金属走线的触控层、在透光孔位置处开孔的偏光片、驱动层和发光层，其中驱动层可以包括多层金属膜层和多层无机绝缘膜层，发光层可以包括阳极、有机发光层和阴极。

可选的实施例中，具有透光孔111的显示发光层11可以先通过沉积或蒸镀的方式在衬底10上制备显示发光层11，然后可以通过激光灰化或刻蚀等方式去除显示发光层11中的所有膜层或者去除不透光或透光性差的膜层，已形成透光孔，例如，可以只去除金属层。

步骤1002：在透光孔111内制备支撑单元13。图11B所示为本申请另一实施例提供的支撑单元制备完成后的结构示意图。通过在透光孔中制备支撑单元13，能够减小显示面板在透光孔111位置102的厚度与显示区101的厚度差异，减小了显示面板在透光孔111位置102的封装膜层凹陷深度，从而减小凹陷导致的折射率和反射率的差异，减轻视觉上显示面板在透光孔111位置102呈现的环形痕迹，从而降低了对显示面板在透光孔111位置的光透过率的影响，同时减轻了光线衍射现象。在一实施例中，透光孔111用于透过摄像头所需的光，因此，保证了摄像头在显示面板的透光孔111位置的透光率需求。

具体地，支撑单元13的材料可以是负性光刻胶。使用负性光刻胶作为支撑单元13的材料，设置于透光孔111内，即能起到对封装层12的支撑作用，又不会影响透光孔111透过摄像头所需的光。

应当理解，支撑单元13的材料可根据具体的应用需求进行选择，只要是不影响透光孔111透光的透明材料，且制作出的支撑单元13能够起到支撑作用即可，本申请对支撑单元13的材料不做具体限定。

在一实施例中，步骤1002还可以是在透光孔111内同时制备支撑单元13和过渡单元14，其中，过渡单元14在透光孔轴向上的厚度大于或等于支撑单元13在透光孔轴向上的厚度。

步骤1003：在显示发光层11远离衬底10的一侧制备封装层12，覆盖透光孔111。图11C所示为本申请另一实施例提供的封装层制备完成后的结构示意图。

具体地，封装层12可以是薄膜封装层。

步骤1004：剥离衬底10。图11D所示为本申请另一实施例提供的剥离衬底后的结构示意图。

具体地，当衬底10是聚酰亚胺衬底时，由于聚酰亚胺是有颜色的，影响透光率，所以需要剥离；但是当衬底是显示发光层本身的玻璃衬底或其他透明的衬底时，可不进行步骤1004。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种显示面板，其特征在于，包括：

显示发光层，用于发出显示光，其中，所述显示发光层包括透光孔；

支撑单元，设置在所述透光孔内；

封装层，层叠设置于所述显示发光层的显示发光侧，覆盖所述透光孔；

所述显示面板还包括：

过渡单元，设置于所述透光孔的侧壁和所述支撑单元之间；

其中，所述过渡单元在所述透光孔轴向上的厚度大于所述支撑单元在所述透光孔轴向上的厚度，所述支撑单元的材料和所述过渡单元的材料均是透明材料。

2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述过渡单元在所述透光孔径向截面上的投影为环状。

3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，包括多个所述过渡单元；

其中，所述多个过渡单元以环形嵌套的方式组合设置。

4.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述多个过渡单元在所述透光孔轴向的厚度由所述透光孔侧壁向所述透光孔径向中心方向依次减小；或

多个所述过渡单元在所述透光孔轴向的厚度变化，在与所述封装层的接触面形成凹凸结构。

5.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，还包括：

区域定义层，层叠设置于所述过渡单元靠近所述封装层的端面；

其中，所述区域定义层包括区域定义孔，所述区域定义孔的孔径不大于所述透光孔的孔径。

6.根据权利要求5所述的显示面板，其特征在于，所述区域定义层的形成材料与阴极的形成材料相同。

7.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述支撑单元和所述过渡单元的材料包括负性光刻胶。

8.一种显示面板的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供衬底；

在所述衬底上制备支撑单元和具有透光孔的显示发光层，其中，所述透光孔包围所述支撑单元；在所述显示发光层远离所述衬底的一侧制备封装层，且覆盖所述透光孔；或，

在所述衬底上制备具有透光孔的显示发光层；在所述透光孔内制备支撑单元；在所述显示发光层远离所述衬底的一侧制备封装层，且覆盖所述透光孔；

其中，所述在所述衬底上制备支撑单元的步骤包括：

在所述衬底上同时制备所述支撑单元和过渡单元，其中，所述过渡单元在所述透光孔轴向上的厚度大于所述支撑单元在所述透光孔轴向上的厚度；

所述在所述透光孔内制备支撑单元的步骤包括：

在所述透光孔内同时制备所述支撑单元和过渡单元，其中，所述过渡单元在所述透光孔轴向上的厚度大于所述支撑单元在所述透光孔轴向上的厚度，所述支撑单元的材料和所述过渡单元的材料均是透明材料。