CN111694256B - 钟表用部件、钟表用机芯以及钟表 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种装饰性优异的钟表用部件、钟表用机芯以及钟表。例如，作为钟表用部件的擒纵齿轮部(100)具有：基材(8)，其具有第一面(8A)以及与所述第一面(8A)为相反侧的第二面(8B)，且以硅为主要成分；三层结构的光反射层(10)，其被设置在所述基材(8)的所述第一面(8A)上，且所述三层结构的光反射层(10)通过第一氧化硅层(12)、硅层(14)、第二氧化硅层(16)按照此顺序被层压而成。

Description

钟表用部件、钟表用机芯以及钟表
技术领域
本发明涉及一种钟表用部件、钟表用机芯以及钟表。
背景技术
一直以来，虽然通过对金属材料进行机械加工来形成钟表用部件，但是近年来，从轻量化的观点以及加工性的观点出发，成为作为钟表用部件的材料而使用包含硅的基材。
此外，在近年来的钟表用部件中，不仅对于露在钟表的外部而被使用的部件，对于被内置在钟表的内部的部件也要求装饰性。
例如，在专利文献1中公开了能够从表盘侧或者后盖侧对配置在壳体内部的钟表用部件从壳体外部进行目视确认的透视结构的钟表。
在如专利文献1中所记载的那样的以能够从外部对壳体内部进行目视确认的方式构成的透视结构的钟表中，存在希望提高能够从壳体外部进行目视确认的钟表用部件的装饰性这样的需求。此外，即使在现有的钟表中，也谋求进一步提高钟表用部件的装饰性的情况。
专利文献1：日本特开2016-114407号公报
发明内容
本发明的钟表用部件的特征在于，具有：基材，其具有第一面以及与所述第一面为相反侧的第二面，且以硅为主要成分；三层结构的光反射层，其被设置在所述基材的所述第一面上，且由第一氧化硅层、硅层、第二氧化硅层按照此顺序而被层压而成。
在本发明的钟表用部件中，优选为，所述第二氧化硅层的平均厚度小于所述第一氧化硅层的平均厚度。
在本发明的钟表用部件中，优选为，所述硅层的平均厚度为66nm以上且86nm以下。
在本发明的钟表用部件中，优选为，所述第一氧化硅层的平均厚度为100nm以上且400nm以下。
在本发明的钟表用部件中，优选为，在所述基材的所述第二面上，还设置有由第一氧化硅层、硅层、第二氧化硅层按照此顺序而被层压而成的三层结构的光反射层。
在本发明的钟表用部件中，优选为，在所述第一面和所述第二面进行连接的侧面上，还设置有由第一氧化硅层、硅层、第二氧化硅层按照此顺序而被层压而成的三层结构的光反射层。
在本发明的钟表用部件中，优选为，朝向所述光反射层而以入射角度0°使光入射时的波长在400nm以上且780nm以下的范围中的最大反射率为50％以上。
在本发明的钟表用部件中，优选为，所述钟表用部件为，选自由条盒轮、序号轮、擒纵轮、擒纵叉以及摆轮所构成的组中的至少一种。
本发明的钟表用部件的制造方法的特征在于，具有如下工序，即，在具有第一面以及与所述第一面为相反侧的第二面且以硅为主要成分的基材的至少所述第一面上，形成将第一氧化硅层、硅层、第二氧化硅层按照此顺序而层压而成的三层结构的光反射层。
在本发明的钟表用部件的制造方法中，优选为，通过热氧化法来形成所述第一氧化硅层以及所述第二氧化硅层中的至少一方。
在本发明的钟表用部件的制造方法中，通过减压化学汽相淀积(CVD)法来形成所述硅层。
本发明的钟表用机芯的特征在于，具备所述钟表用部件。
本发明的钟表的特征在于，具备所述钟表用部件。
在本发明的钟表中，优选为透视结构的机械式钟表。
附图说明
图1是从表盘侧对第一实施方式所涉及的机械式钟表进行观察的俯视图。
图2是从后盖侧对第一实施方式所涉及的机械式钟表进行观察的俯视图。
图3是第一实施方式所涉及的擒纵齿轮部的俯视图。
图4是沿着图3的A-A线的局部剖视图。
图5是第二实施方式所涉及的擒纵齿轮部的局部剖视图，具体而言是，假设在图3所示的擒纵齿轮部中，光反射层也被设置在基材的第二面上时的、沿着A-A线的局部剖视图。
图6是第三实施方式所涉及的擒纵齿轮部的局部剖视图，具体而言是，假设在图3所示的擒纵齿轮部中，光反射层也被设置在基材的第二面以及侧面上时的、沿着A-A线的局部剖视图。
图7是表示颜色匹配函数的曲线图。
图8是表示在硅基材上形成了一层氧化硅层时的、氧化硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。
图9是表示实施例1的钟表用部件1的波长与反射率之间的关系的曲线图。
图10是表示实施例1的钟表用部件1的观察角度与灰度之间的关系的曲线图。
图11A是表示在实施例2的钟表用部件2中，观察角度0°时的第一氧化硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。
图11B是表示在实施例2的钟表用部件2中，观察角度15°时的第一氧化硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。
图11C是表示在实施例2的钟表用部件2中，观察角度30°时的第一氧化硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。
图11D是表示在实施例2的钟表用部件2中，观察角度45°时的第一氧化硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。
图12A是表示在实施例3的钟表用部件3中，观察角度0°时的硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。
图12B是表示在实施例3的钟表用部件3中，观察角度15°时的硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。
图12C是表示在实施例3的钟表用部件3中，观察角度30°时的硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。
图12D是表示在实施例3的钟表用部件3中，观察角度45°时的硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。
图13A是表示在实施例4的钟表用部件4中，观察角度0°时的第二氧化硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。
图13B是表示在实施例4的钟表用部件4中，观察角度15°时的第二氧化硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。
图13C是表示在实施例4的钟表用部件4中，观察角度30°时的第二氧化硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。
图13D是表示在实施例4的钟表用部件4中，观察角度45°时的第二氧化硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。
图14是表示实施例5的钟表用部件5的、波长与反射率之间的关系的曲线图。
图15是表示实施例5的钟表用部件5的、观察角度与灰度之间的关系的曲线图。
图16是表示实施例6的钟表用部件6的、波长与反射率之间的关系的曲线图。
图17是表示实施例6的钟表用部件6的、观察角度与灰度之间的关系的曲线图。
具体实施方式
钟表用部件
本发明的钟表用部件是指，除了露出于钟表的外部而被使用的钟表用外装部件之外，还包含钟表用内装部件、以及用于对钟表的结构部件进行固定的螺钉的概念。
作为钟表用外装部件，可以列举出例如钟表壳体、钟表表带、表盘、钟表指针、表圈、表冠、按钮、表镜、表镜外圈、表盘环、分隔板、以及密封件等。作为钟表壳体，可以列举出例如壳身、后盖、和壳身以及后盖被一体化的单体式(one-piece)壳体等。在钟表表带中包含有表带表扣、用于表带的装拆的部件、以及用于表镯(bangle)的装拆的部件。作为表圈，可以列举出例如旋转表圈等。作为表冠，可以列举出例如螺丝锁式表冠等。
作为钟表用内装部件，可以列举出例如条盒轮、序号轮、擒纵轮、擒纵叉、摆轮组件、以及发条等。
其中，从更加表现装饰性的观点出发，钟表用部件也优选为钟表用内装部件，更加优选为，选自由条盒轮、序号轮、擒纵轮、擒纵叉、以及摆轮所构成的组中的至少一种。
即，从更加表现装饰性的观点出发，优选为，钟表用部件被搭载在能够对钟表的内部的机构进行目视确认的透视结构的钟表上。
第一实施方式
参照附图，来对本发明的第一实施方式进行说明。
在第一实施方式中，作为钟表用部件，以构成擒纵轮的擒纵齿轮部为示例而进行说明。而且，作为搭载了擒纵齿轮部的钟表，列举出机械式钟表为示例而进行说明。
图1是从表盘侧对第一实施方式所涉及的机械式钟表1进行观察的俯视图。图2是从后盖侧对第一实施方式所涉及的机械式钟表1进行观察的俯视图。另外，关于用于对钟表的结构部件进行固定的螺钉90，仅对一部分标记了符号。
机械式钟表1成为能够从表盘侧以及后盖侧对机芯40的一部分进行目视确认的透视结构。
参照图1、图2，来对从表盘侧观察机械式钟表1的俯视图进行说明。
机械式钟表1具有圆筒状的外装壳体5，并且在外装壳体5的内周侧，设置有圆盘状的表盘3。在表盘3上，设置有窗48A。机械式钟表1被构成为，通过该窗48A，目视确认到机芯40的一部分。
外装壳体5的两个开口之中，表面侧的开口被表镜封闭，在后面侧的开口处安装有后盖35。
机械式钟表1具备被收纳于外装壳体5内的机芯40、显示时刻信息的时针44A、分针44B、对发条的持续时间进行指示的动力储备针44C、以及小秒针44D。
时针44A、分针44B、动力储备针44C、以及小秒针44D被安装在机芯40的指针轴上，且通过机芯40而被驱动。
在外装壳体5的侧面设置有表冠7。通过对表冠7进行操作，从而能够实施与操作相应的输入。
在图1中，能够从表盘侧透过被设置于该表盘3上的窗48A，而对构成机芯40的一部分的擒纵轮101、擒纵叉28、摆轮27、以及游丝29等进行目视确认。擒纵轮101具备：作为第一实施方式所涉及的钟表用部件的擒纵齿轮部100、轴部件102。
对于擒纵齿轮部100的结构，在下文记述。
参照图1、图2，来对从后盖侧观察机械式钟表1的俯视图进行说明。
后盖35由形成外周部分的环状的框架部件46和窗48B构成，所述窗48B被嵌入于该框架部件46中并由透明部件形成。
机芯40具备：轮系45、摆轮夹板13、手动上弦机构60、以及自动上弦机构50等。
轮系45具备：被设置在主夹板的后盖侧的条盒轮21、二号轮、三号轮、四号轮51、擒纵轮101、擒纵叉28、以及摆轮27等。在图2中，示出了条盒轮21、四号轮51、擒纵轮101、擒纵叉28、以及摆轮27。擒纵轮101以及擒纵叉28构成擒纵器80，摆轮27以及游丝29构成调速器70。
手动上弦机构60具备：柄轴、立轮、离合轮、小钢轮61、大钢轮传动轮62、以及大钢轮63等。在图2中，示出了小钢轮61、大钢轮传动轮62、以及大钢轮63。
自动上弦机构50具备旋转锤、轴承、偏心轮、棘爪杆、以及传动轮52等。在图2中，示出了传动轮52。
在图2中，能够从后盖侧透过被设置在该后盖35上的窗48B，而对构成机芯40的一部分的条盒轮21、擒纵轮101、擒纵叉28、摆轮27、小钢轮61、大钢轮传动轮62、大钢轮63、偏心轮、以及传动轮52等进行目视确认。
在机械式钟表1中，从表盘侧或者后盖侧对机芯40的构成部件进行目视确认的方式并不限定于上述方式。
例如，也可以设为，通过适当地对窗48A、48B的设计、大小、配置位置以及窗的数量等进行变更，从而能够对机芯40的所希望的构成部件进行目视确认。
此外，既可以设为由透明部件来形成表盘3的整体，从而能够从表盘侧对机芯40的整体进行目视确认，也可以设为由透明部件来形成后盖35的整体，从而能够从后盖侧对机芯40的整体进行目视确认。
接下来，对第一实施方式所涉及的擒纵齿轮部100的结构详细地进行说明。
图3是第一实施方式所涉及的擒纵齿轮部100的俯视图。图4是沿着图3的A-A线的局部剖视图。
第一实施方式的擒纵齿轮部100具有以硅为主要成分的基材8。基材8具有第一面8A以及与所述第一面8A为相反侧的第二面8B。
在基材8的第一面8A上设置有，第一氧化硅层12、硅层14、第二氧化硅层16按照该顺序而被层压的三层结构的光反射层10。
在本说明书中，基材的第一面的含义是指，在钟表上搭载了钟表用部件时，钟表用部件被目视确认到的一侧的面。
在钟表上搭载了钟表用部件时，在钟表用部件从钟表的后盖侧被目视确认到的情况下，基材的第一面的含义是指，位于钟表的后盖侧的面。但是，在钟表用部件既可以从钟表的表盘侧又可以从后盖侧被目视确认到的情况下，基材的第一面是指，设为位于钟表的表盘侧的面。
由于在本实施方式的情况下，作为钟表用部件的擒纵齿轮部100既可以从机械式钟表1的表盘侧又可以从后盖侧被目视确认，因此基材8的第一面8A是指位于所述表盘侧的面，基材8的第二面8B是指位于所述后盖侧的面。
在本说明书中，基材的含义是指，未形成有光反射层的状态的钟表用部件。在本实施方式的情况下，基材8的含义是指，未形成有光反射层10的状态的擒纵齿轮部。
在本说明书中，“以硅为主要成分”的含义是指，硅的质量相对于基材整体的含有量为质量百分比80％以上。该硅的含有量优选为质量百分比90％以上，更加优选为质量百分比95％以上。
在以下的说明中，有时将以硅作为主要成分的基材8称为硅制的基材8。
基材
基材8以硅作为主要成分。硅的种类并未被特别地限定，从加工性的观点出发能够选择适当的种类。作为硅，可以列举出单晶硅、多晶硅等。这些既可以单独使用一种又可以并用两种以上。
由于硅制的基材8能够通过例如光刻技术以及蚀刻技术来制造，因此能够形成复杂的形状。
光反射层
光反射层10具有第一氧化硅层12、硅层14、第二氧化硅层16按照此顺序而被层压在基材8的第一面8A上的三层结构。
光反射层10具有如下功能，即，通过第二氧化硅层16的与硅层14为相反侧的表面、第二氧化硅层16与硅层14之间的界面、硅层14与第一氧化硅层12之间的界面、以及基材8的第一面8A中的至少某个面，而能够自由地调节光的透射、反射。
如图4所示，光反射层10的最表层为第二氧化硅层16。由此，提高了擒纵齿轮部100的保护性。
虽然光反射层10的平均厚度根据要显色的颜色而被调节，但是从生产率的观点出发，优选为265nm以上且885nm以下。
第一氧化硅层
第一氧化硅层12被设置在基材8的第一面8A上。
虽然第一氧化硅层12的平均厚度根据要显色的颜色而被调节，但是通常为100nm以上且450nm以下，优选为100nm以上且400nm以下。当第一氧化硅层12的平均厚度为100nm以上时，易于对厚度进行控制。当第一氧化硅层12的平均厚度为400nm以下时，由于能够缩短成膜时间，从而会提高生产率。
例如，在使擒纵齿轮部100显色为蓝色的情况下，第一氧化硅层12的平均厚度优选为20nm以上且100nm以下，或者180以上且290nm以下，或者330nm以上，更加优选为210nm以上且280nm以下。另外，从生产率的观点出发，上限值优选为450nm以下。第一氧化硅层12的平均厚度的优选的范围能够通过例如后述的实施例中所记载的光学计算来而进行计算。
第一氧化硅层12优选为通过热氧化法而形成的热氧化硅层。当通过热氧化法来形成热氧化硅层12时，易于获得均匀性较高的硅层。因此，易于使擒纵齿轮部100以相同的颜色均匀地进行显色。
硅层
硅层14被设置在第一氧化硅层12上。
硅层14的平均厚度优选为66nm以上且86nm以下。
当硅层14的平均厚度为66nm以上且86nm以下时，易于对色调进行控制。
例如，在使擒纵齿轮部100显色为蓝色的情况下，从抑制由于观察角度而产生的显色的差的观点出发，硅层14的平均厚度优选为70nm以上且84nm以下。硅层14的平均厚度的优选的范围，例如能够通过后述的实施例中所记载的光学计算来进行计算。
虽然硅层14既可以为非晶层又可以为多晶硅层，但是优选为多晶硅层。
第二氧化硅层
第二氧化硅层16被设置在硅层14上。
例如，在使擒纵齿轮部100显色为蓝色的情况下，第二氧化硅层16的平均厚度优选为100nm以上且200nm以下，或者250nm以上360nm以下，或者400nm以上，并且从抑制因观察角度而产生的显色的差的观点出发，更加优选为130nm以上且200nm以下，或者310nm以上且360nm以下。另外，从生产率的观点出发，上限值优选为500nm以下。第二氧化硅层16的平均厚度的优选的范围能够通过例如后述的实施例中所记载的光学计算来进行计算。
第二氧化硅层16优选为通过热氧化法而形成的热氧化硅层。由于热氧化硅层与在通常情况下通过蒸镀法而形成的氧化硅层相比较，机械特性优异，因此能够通过将第二氧化硅层16设为热氧化硅层，从而更加提高基材8的保护性。特别是，在具有与其他部位接触的接触部位的擒纵齿轮部100等齿轮中，期望提高接触部位的机械强度。
虽然第二氧化硅层16的平均厚度根据要显色的颜色而被调节，但是优选为，小于第一氧化硅层12的平均厚度。
在热氧化法中，通过例如对先于第二氧化硅层16的形成而被形成的硅层进行氧化从而形成第二氧化硅层16。在这种情况下，由于硅层由非晶层、多晶硅层而被形成，因此难以对第二氧化硅层16的厚度进行控制。在通常情况下，由于对于层厚的控制来说越薄则越容易进行，因此优选为，第二氧化硅层16的层厚较薄。因此，优选为，第二氧化硅层16的平均厚度小于第一氧化硅层12的平均厚度。
第一氧化硅层12、硅层14、以及第二氧化硅层16的平均厚度能够通过以下的方法来进行测量。
切下作为钟表用部件的擒纵齿轮部100的一部分，并作为试片。利用SEM(扫描电子显微镜)而对试片的截面进行观察，且在任意的十个点，对测量对象层的厚度进行测量，并将其平均值设为“测量对象层的平均厚度”。
测量对象层为，第一氧化硅层12、硅层14、以及第二氧化硅层16的任意的层。
作用效果
由于第一实施方式的擒纵齿轮部100具有作为相对低折射率层的氧化硅层和作为相对高折射率层的硅层在硅制的基材8的第一面8A上交替地被层压了三层的光反射层10，因此与在基材8的第一面8A上层压了一层氧化硅层的情况相比，能够显色性良好地进行装饰。其结果为，可以实现装饰性优异的擒纵齿轮部100。
此外，由于擒纵齿轮部100中，基材8为硅制，而且光反射层10的各层由包含硅的材料而构成，因此认为基材8以及第一氧化硅层12之间、并且光反射层10的各层之间的紧密性良好。其结果为，在基材8以及光反射层10之间不需要通常设置的紧贴层，从而整体上成为提高了耐用性的结构。
此外，由于擒纵齿轮部100中，在最表层上配置有作为氧化硅层的第二氧化硅层16，从而成为进一步提高了基材8的保护性的结构。认为，物理上和化学上均稳定的第二氧化硅层16能够兼有作为基材8的保护材料的功能。
这种基材8以及光反射层10全部包含有硅、并且能够显色性良好地进行装饰的擒纵齿轮部100为，现有技术中所没有的结构。
钟表用部件的特性
第一实施方式的擒纵齿轮部100通过分别对光反射层10的各层的平均厚度进行调节，从而能够显色为所需的颜色。
虽然作为所需的颜色并未被特别地限定，但是能够显色为例如蓝色、绿色、红色、黄色、粉色、蓝绿色、以及其他混合色。
·最大反射率的测量
第一实施方式的擒纵齿轮部100中，朝向光反射层10以入射角度0°使光入射时的波长在400nm以上且780nm以下的范围中的最大反射率优选为50％以上，更加优选为60％以上，进一步优选为70％以上。另外，入射角度0°是指，入射光相对于光反射层的法线方向的角度。
能够使用试片，在以下的条件下对擒纵齿轮部100的最大反射率进行测量。试片根据测量装置的规格而既可以使用擒纵齿轮部100自身，也可以使用从擒纵齿轮部100上以能够进行测量的大小切下的试片。
测量条件
·装置：显微分光测定仪(奥林巴斯公司制，USPM-RU-W)
·测量环境：25℃
·入射角度0°
在擒纵齿轮部100显色为蓝色的情况下的所述最大反射率，在波长400nm以上且550nm以下的范围中，优选为50％以上，更加优选为60％以上，进一步更加优选为70％以上。
在擒纵齿轮部100显色为红色的情况下的所述最大反射率，在波长600nm以上且800nm以下的范围中，优选为50％以上，更加优选为60％以上，进一步优选为70％以上。
在擒纵齿轮部100显色为绿色的情况下的所述最大反射率，在波长400nm以上且600nm以下的范围中，优选为50％以上，更加优选为60％以上，进一步优选为70％以上。
擒纵齿轮部100也优选为，显色为蓝绿色以及粉色等的混合色。
第一实施方式的钟表用部件的制造方法
第一实施方式的擒纵齿轮部100的制造方法至少具有，在硅制的基材8的第一面8A上形成将第一氧化硅层12、硅层14、第二氧化硅层16按照此顺序层压而成的三层结构的光反射层10的工序。
根据第一实施方式的制造方法，可制造出装饰性优异的擒纵齿轮部100。
形成光反射层的工序
形成光反射层10的工序具有：在基材8的第一面8A上形成第一氧化硅层12的工序、在第一氧化硅层12上形成硅层14的工序、在硅层14上形成第二氧化硅层16的工序。
基材8既可以使用所制造的部件，也可以使用所获得的部件。
基材8能够通过例如光刻技术以及蚀刻技术来制造。此外，通过使用硅制的基材8，从而与使用金属制的基材的情况相比，实现了擒纵齿轮部100的轻量化。此外，能够通过光刻技术以及蚀刻技术，而形成复杂的形状。
形成第一氧化硅层的工序
作为第一氧化硅层12的形成方法，可以列举出例如热氧化法、物理气相沉积法(PVD法)、化学气相沉积法(CVD法)以及使这些方法进行组合而成的方法等。
作为热氧化法，可以列举出例如使用了水的湿式氧化法、以及使用了氧的干式氧化法。
作为PVD法，可以列举出例如阴极真空喷镀法、离子镀法、真空蒸镀法等。作为CVD法，可以列举出例如等离子体化学气相沉积法、热化学气相沉积法、光化学气相沉积法等。
作为第一氧化硅层12的形成方法，优选为，使用了水的热氧化法或者使用了氧的干式氧化法。
在通过热氧化法而形成第一氧化硅层12的情况下，从生产率的观点出发，优选为利用立式炉或者卧式炉的热氧化炉。
第一氧化硅层12的形成条件优选为，根据基材8的形状、以及设为目标的厚度等而适当地进行调节。
形成硅层的工序
作为硅层14的形成方法，可以列举出例如PVD法、CVD法、以及使这些方法进行组合而成的方法等。
作为PVD法以及CVD法，可以列举出与在形成第一氧化硅层12的工序中所例示出的方法相同的方法。
硅层14优选为通过低压CVD法来形成。
例如，在低压CVD法中，能够通过将成膜温度控制在500℃以上且700℃以下，且在低压下使甲硅烷气体流动，从而至少在基材8的第一面8A上形成硅层14。当通过低压CVD法而形成硅层14时，能够根据成膜温度，而将硅层的层质控制为从非晶硅至多晶硅。
在通过低压CVD法来形成硅层14的情况下，从生产率的观点出发，优选为利用立式炉或者卧式炉的低压CVD炉。
硅层14的形成条件优选为，根据基材8的形状、以及设为目标的厚度等而适当地进行调节。
形成第二氧化硅层的工序
作为第二氧化硅层16的形成方法，可以列举出与第一氧化硅层12的形成方法相同的方法，且优选的方法也相同。
即使在其中，优选为，如后述的实施例7那样，第二氧化硅层16通过对硅层14的一部分进行热氧化而形成。由此，认为更加表现了第二氧化硅层16的作为保护材料的功能。
第二氧化硅层16的形成条件优选为，根据基材8的形状、设为目标的厚度等而适当地进行调节。
在第一实施方式的制造方法中，优选为通过热氧化法来形成第一氧化硅层12以及第二氧化硅层16中的至少一方，且更加优选为通过热氧化法来形成第一氧化硅层12以及第二氧化硅层16的双方。
第二实施方式
对于第二实施方式，以与第一实施方式的不同点为中心而进行说明，对于相同的事项省略其说明。
第二实施方式所涉及的擒纵齿轮部中，在基材的所述第二面上，还设置有由第一氧化硅层、硅层、第二氧化硅层按照此顺序而被层压而成的三层结构的光反射层，除了这一点之外，与第一实施方式所涉及的擒纵齿轮部100相同。
图5是第二实施方式所涉及的擒纵齿轮部200的局部剖视图，具体而言是假设在图3所示的擒纵齿轮部100中，光反射层10也被设置在基材8的第二面8B上时的、沿着A-A线的局部剖视图。
如图5所示，擒纵齿轮部200在基材8的第一面8A以及第二面8B上，具有由第一氧化硅层12、22、硅层14、24、第二氧化硅层16、26按照此顺序而被层压而成的三层结构的光反射层10、20。
虽然第二实施方式中的第一氧化硅层22、硅层24、以及第二氧化硅层26的平均厚度分别既可以与第一氧化硅层12、硅层14、以及第二氧化硅层16相同也可以不同，但是从抑制由于光反射层10、20的层应力而导致的基材8的变形的观点出发，优选为分别相同。
作用效果
根据第二实施方式，获得与第一实施方式相同的效果。此外，也获得以下的效果。
在基材的一个面上形成了三层的光反射层的情况下，通常情况下，被层压的层的应力成为课题的情况较多。由于在擒纵齿轮部等的齿轮中，基材的厚度为100μm左右，因此例如仅在齿轮的一个面上形成了光反射层的情况下，会有因光反射层的应力而导致齿轮发生变形的情况。
针对于此，由于第二实施方式的擒纵齿轮部200在第一面8A以及第二面8B上设置有三层结构的光反射层10、20，因此抑制了因光反射层10、20的层应力而导致的基材8的变形。另外，通过被设置在最表层上的第二氧化硅层16、26，从而提高了基材8的第一面8A以及第二面8B双面的保护性。其结果为，实现了耐用性更加优异的擒纵齿轮部200。
另外，在将擒纵齿轮部200搭载在如图1、图2那样的透视结构的机械式钟表1上的情况下，由于擒纵齿轮部200即从表盘侧也从后盖侧均被目视确认到，因此能够使机械式钟表1的装饰性更加提高。即，第二实施方式的擒纵齿轮部200在使机械式钟表1的装饰性提高的这一点上是有效的。
第二实施方式的擒纵齿轮部的制造方法
第二实施方式的擒纵齿轮部200的制造方法除了第一实施方式的制造工序以外，还具有形成光反射层20的工序，除这一点之外，与第一实施方式的制造方法相同。光反射层20能够通过与第一实施方式中的光反射层10相同的方法来形成。
第二实施方式的擒纵齿轮部200优选为，通过在基材8的第一面8A以及第二面8B上同时形成第一氧化硅层12、22，接着同时形成硅层14、24，接着同时形成第二氧化硅层16、26，从而被制造出。
作为同时形成的方法，可以列举出例如，使用立式炉或者卧式炉，并仅将基材8的外周放置在炉内的舟皿上，并且分别同时形成光反射层10、20的各层的方法。
由于通过同时形成各层，从而第一氧化硅层12、22、硅层14、24、以及第二氧化硅层16、26的平均厚度分别成为相同的程度，因此能够获得抑制了由于光反射层10、20的层应力而导致的基材8的变形的擒纵齿轮部200。
在此，由于使用了硅制的基材8的擒纵齿轮部200与使用了金属制的基材的擒纵齿轮部相比具有较脆的倾向，因此通常情况下，在基材8的第一面8A以及第二面8B上形成光反射层10、20对于装置运送、处理这一点是困难的。
针对于此，由于在光反射层10、20的形成中，在使用了立式炉或者卧式炉的情况下，能够以用手插入的方式将基材8放置，因此即使基材8较脆，也能够在基材8的第一面8A以及第二面8B上一次性地分别形成第一氧化硅层12、22、硅层14、24、以及第二氧化硅层16、26。此外，通过该方法，能够将工序数减半。
另外，在同时形成各层的情况下，第一氧化硅层12、22以及第二氧化硅层16、26的至少一方优选为通过热氧化法来形成，硅层14、24优选为通过低压CVD法来形成。
第三实施方式
对于第三实施方式，以与第二实施方式的不同点为中心而进行说明，对于相同的事项省略其说明。
第三实施方式所涉及的擒纵齿轮部中，在基材的第一面和第二面进行连接的侧面上还设置有第一氧化硅层、硅层、第二氧化硅层按照该顺序而被层压的三层结构的光反射层，除了这一点之外，与第二实施方式所涉及的擒纵齿轮部200相同。
图6是第三实施方式所涉及的擒纵齿轮部300的局部剖视图，具体而言是假设在图3所示的擒纵齿轮部100中，光反射层10也被设置在基材8的第二面8B以及侧面8C上时的、沿着A-A线的局部剖视图。
如图6所示，擒纵齿轮部300在基材8的第一面8A、第二面8B以及侧面8C上，具有由第一氧化硅层12、22、32、硅层14、24、34、第二氧化硅层16、26、36按照此顺序而被层压而成的三层结构的光反射层10、20、30。
作用效果
根据第三实施方式，实现与第二实施方式相同的效果。此外，也实现以下的效果。
由于第三实施方式的擒纵齿轮部300中，光反射层10、20、30被设置在基材8的第一面8A、第二面8B以及侧面8C上、即，光反射层10、20、30被设置在基材8的表面整体上，因此更加抑制基材8的变形，提高了基材8整体的保护性。其结果为，实现了耐用性进一步优异的擒纵齿轮部300。
特别是，由于在具有与其他部件进行接触的接触部位的擒纵齿轮部300等的齿轮中，通过基材8的侧面8C被光反射层30所覆盖，从而对接触部位进行保护，因此能够提高齿轮的抗破坏性。
第三实施方式的钟表用部件的制造方法
第三实施方式的擒纵齿轮部300的制造方法除了第二实施方式的制造工序之外，还具有形成光反射层30的工序，除了这一点之外，与第二实施方式的制造方法相同。光反射层30能够通过与第一实施方式中的光反射层10相同的方法来形成。
第三实施方式的擒纵齿轮部300优选为，通过在基材8的第一面8A、第二面8B以及侧面8C上同时形成第一氧化硅层12、22、32，接着同时形成硅层14、24、34，接着同时形成第二氧化硅层16、26、36，从而被制造出。
作为同时形成的方法，可以列举出如下方法，即，通过与第二实施方式相同的方法，使用立式炉或者卧式炉，并且仅将基材8的外周放置在炉内的舟皿上，分别同时形成光反射层10、20、30的各层法。
由于通过同时形成各层，从而第一氧化硅层12、22、32、硅层14、24、34、以及第二氧化硅层16、26、36的平均厚度分别成为相同的程度，因此能够获得更加抑制了由于光反射层10、20、30的层应力而导致的基材8的变形的擒纵齿轮部300。
另外，在同时形成各层的情况下，优选为，通过热氧化法来形成第一氧化硅层12、22、32以及第二氧化硅层16、26、36中的至少一方，且优选为，通过低压CVD法来形成硅层14、24、34。
其他实施方式
本发明并不限定于上述的实施方式，在可以进行能够实现本发明的目的的范围内的变形、改良等。
虽然在上述的实施方式中，作为钟表用部件对擒纵齿轮部100、以及搭载了该擒纵齿轮部100的机械式钟表1进行了说明，但是并不限定于此。
例如，第一实施方式所涉及的机械式钟表1只要至少具备一个以上本发明的钟表用部件即可。
所述的实施方式所涉及的擒纵齿轮部100也可以在不损害装饰性的范围内，在最表层上具有：具有透明性的防污层或者抗静电层。由此，对擒纵齿轮部100赋予了防污功能或者抗静电功能。
此外，在所述的实施方式所涉及的擒纵齿轮部100的制造方法中，根据需要也能够追加任意目的的工序。例如也可以在各工序之间实施清洗等中间处理。此外，也可以在形成第二氧化硅层的工序之后，具有形成防污层的工序或者形成抗静电层的工序。也可以对基材，实施切割、研磨、抛光以及珩磨等的前处理。
钟表用机芯
本实施方式所涉及的钟表用机芯至少具备一个上述的实施方式所涉及的任意的钟表用部件。根据本实施方式，实现了装饰性优异、且设计性较高的钟表用机芯。
钟表
本实施方式所涉及的钟表至少具备一个上述的实施方式所涉及的任意的钟表用部件。
根据本实施方式所涉及的钟表，实现了装饰性优异、且设计性较高的钟表。
作为钟表并未被特别地限定，可以列举出例如石英钟表、机械式钟表、以及电子控制式机械式钟表等。即使在其中，从更加表现钟表用部件的装饰性的观点出发，作为钟表，优选为透视结构的机械式钟表。
实施例
以下，虽然通过实施例来对本发明更加具体地进行说明，但是只要本发明不超出其主旨，则并不限定于以下的实施例。
氧化硅层的厚度与灰度之间的关系
关于在硅基材上形成了一层氧化硅层的结构，通过光学计算来求出了氧化硅层的厚度与灰度之间的关系。该结构为现有的结构。对于光学计算详细地进行说明。
首先，使用硅基材以及第一氧化硅层的各自的、对于波长在400nm以上且800nm以下的折射率n和消光系数k,通过计算来求出了使第一氧化硅层的厚度变化时的反射光谱。
接下来，使用下述式(1A)～(1C)以及下述式(2)，将反射率R(λ)和图7所示的颜色匹配函数转换为三刺激值XYZ，接着，使用下述式(3)以及下述式(4A)～(4C)，而转换为256灰度的RGB值。
如此，将反射光谱转换为RGB值。另外，不进行γ补正而设为γ＝1。
接下来，基于RGB值而制作了表示氧化硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。将制作的曲线图在图8中示出。
如图8所示，可知在硅基材上形成了一层氧化硅层的情况下，即使对氧化硅层的厚度进行变更，R、G以及B而言灰度都仅上升至120左右为止。上述情况示出了氧化硅层自身的反射率较低，显色性不充分的情况。
【数学式1】
Figure BDA0002407546320000181
Figure BDA0002407546320000182
Figure BDA0002407546320000183
K：系数
S(λ)：光源的光谱分数
Figure BDA0002407546320000184
颜色匹配函数
R(λ)：反射率
【数学式2】
Figure BDA0002407546320000185
【数学式3】
Figure BDA0002407546320000186
【数学式4】
Figure BDA0002407546320000191
Figure BDA0002407546320000192
Figure BDA0002407546320000193
使用上述的光学计算，分别对以下的钟表用部件1～4的显色性进行了评价。
在下文中，有时将硅基材称为“Si基材”、将第一氧化硅层称为“第一SiO2层”、将硅层称为“Si层”、将第二氧化硅层称为“第二SiO2层”。
实施例1
将在硅基材上形成了由第一氧化硅层220nm、硅层76nm、以及第二氧化硅层140nm组成的光反射层时的层压体设为钟表用部件1。
如果对钟表用部件1的结构示意性地进行表示，则如下。
Si基材/第一SiO2层(220nm)/Si层(76nm)/第二SiO2层(140nm)
对于钟表用部件1，使观察角度变换为0°、15°、30°以及45°，并且针对每个观察角度而求出了反射光谱。此外，通过上述的方法，将求出的反射光谱转换为256灰度的RGB值。
具体而言，使用Si基材、第一SiO2层、Si层、以及第二SiO2层的各自的、对于波长400nm以上且800nm以下的折射率n和消光系数k，通过计算来求出了使第一SiO2层、Si层、以及第二SiO2层的厚度分别进行变化时的反射光谱(参照图9)。接着，通过与上述相同的方法，将反射光谱转换为256灰度的RGB灰度。
图9为表示钟表用部件1的、波长与反射率之间的关系的曲线图。
从图9可知，在波长为400nm以上且550nm以下的蓝色区域中，示出了70％的最大反射率，在波长超过550nm且750nm左右的波长区域中，能够将反射率抑制在20％左右。
图10是表示钟表用部件1的、观察角度与灰度之间的关系的曲线图。
从图10可知，B增加至200灰度附近。另外，G以及R在50灰度以下进行推移。
此外，关于观察角度的依赖性可知，直到超过45°为止，B保持150灰度以上。
因此，根据钟表用部件1，与在硅基材上形成了一层氧化硅层的现有的钟表用部件的结构相比，能够实现显色性良好的蓝色。
另外根据钟表用部件1，即使使观察角度发生变化，也能够实现显色性良好的蓝色。
实施例2
使第一氧化硅层的厚度在10nm以上且500nm以下的范围内每10nm地进行变化，除此之外，设为与钟表用部件1相同的层压体。将这些多个层压体总称为钟表用部件2。
对于钟表用部件2，实施了与钟表用部件1相同的操作。
如果对钟表用部件2的结构示意性地进行表示，则如下。
Si基材/第一SiO2层(10nm以上且500nm以下)/Si层(76nm)/第二SiO2层(140nm)
图11A～图11D是表示在钟表用部件2中，观察角度0°、15°、30°以及45°之时的第一氧化硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。
从图11A～图11D可知，R、G以及B而言，灰度均与第一氧化硅层的厚度相应地周期性地进行变化。
由于为了例如使蓝色进行显色，希望将B设为150灰度以上，将G以及R设为100灰度以下，因此根据图11A～图11D可知第一氧化硅层的厚度优选为20nm以上且100nm以下，或者180以上且290nm以下，或者330nm以上且500nm以下。特别是由于在220nm附近存在有B示出较高的灰度、并且G以及R示出较低的灰度的区域，因此可知第一氧化硅层的厚度更加优选为210nm以上且280nm以下。
实施例3
除了使硅层的厚度在60nm以上且94nm以下的范围内每2nm进行变化之外，设为与钟表用部件1相同的层压体。将这些多个层压体总称为钟表用部件3。
对于钟表用部件3，实施与钟表用部件1相同的操作。
如果对钟表用部件3的结构示意性地进行表示，则如下所示。
Si基材/第一SiO2层(220nm)/Si层(60nm以上且94nm以下)/第二SiO2层(140nm)
图12A～图12D是表示在钟表用部件3中，观察角度0°、15°、30°以及45°时的硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。
由于为了使例如蓝色显色，希望将B设为150灰度以上、将G以及R设为100灰度以下，因此从图12A～图12D可知，硅层的厚度在66nm以上且86nm以下为最佳。当进一步考虑到观察角度为45°时，可知硅层的厚度在70nm以上且84nm以下为更加最佳。
实施例4
除了使第二氧化硅层的厚度在80nm以上且650nm以下的范围内每10nm地进行变化之外，设为与钟表用部件1相同的层压体。将这些多个层压体总称为钟表用部件4。
对于钟表用部件4，实施了与钟表用部件1相同的操作。
如果对钟表用部件4的结构示意性地进行表示，则如下所示。
Si基材/第一SiO2层(220nm)/Si层(76nm)/第二SiO2层(80nm以上且650nm以下)
图13A～图13D是表示在钟表用部件4中，观察角度0°、15°、30°以及45°时的第二氧化硅层的厚度与灰度之间的关系的曲线图。
从图13A～图13D可知，灰度对于R、G以及B中的任意一种而言，均与第二氧化硅层的厚度相应地周期性地进行变化。
由于为了例如使蓝色显色，希望将B设为150灰度以上、将G以及R设为100灰度以下，因此从图13A～图13D可知，第二氧化硅层的厚度在100nm以上且200nm以下、或者250nm以上且360nm以下、或者400nm以上且550nm以下为最佳。当进一步考虑到观察角度为45°时，可知第二氧化硅层的厚度在130nm以上且200nm以下、或者310nm以上且360nm以下为更加最佳。
实施例5
将在硅基材上形成了由第一氧化硅层150nm、硅层110nm、以及第二氧化硅层70nm组成的光反射层时的层压体设为钟表用部件5。
对于钟表用部件5，实施了与钟表用部件1相同的操作。
如果对钟表用部件5的结构示意性地进行表示，则如下所示。
Si基材/第一SiO2层(150nm)/Si层(110nm)/第二SiO2层(70nm)
图14为表示钟表用部件5中的波长与反射率之间的关系的曲线图。
根据图14，在波长为600nm以上且800nm以下的红色区域中，示出了70％的最大反射率。
图15是表示钟表用部件5的、观察角度与灰度之间的关系的曲线图。
从图15可知，R增加至250灰度附近，B以及G在大约100灰度以下进行推移。
因此，根据钟表用部件5，能够实现显色性良好的红色。
实施例6
将在硅基材上形成了由第一氧化硅层330nm、硅层76nm、以及第二氧化硅层140nm组成的光反射层时的层压体设为钟表用部件6。另外，钟表用部件6为钟表用部件2的一个示例。
对于钟表用部件6，实施了与钟表用部件1相同的操作。
如果对钟表用部件6的结构示意性地进行表示，则如下。
Si基材/第一SiO2层(330nm)/Si层(76nm)/第二SiO2层(140nm)
图16是表示钟表用部件6的、波长与反射率之间的关系的曲线图。
从图16可以，在波长为400nm以上且550nm以下的蓝色区域以及波长为400nm以上且600nm以下的绿色区域中，观察到了两个最大反射率超过50％的峰值。
图17是表示钟表用部件6的、观察角度与灰度之间的关系的曲线图。
从图17可知，成为B的灰度较高，其次G的灰度较高，而R的灰度在60以下进行推移。
因此，根据钟表用部件6，能够实现显色性良好的蓝绿色。
接下来，为了对通过上述的光学计算而获得的模拟结果进行验证，从而实际上制造了与图3所示的擒纵齿轮部相同的擒纵齿轮部，并对擒纵齿轮部的显色性进行了评价。
实施例7
擒纵齿轮部的基材的制造
准备硅晶片，通过旋涂法在硅晶片的一侧的面上涂覆光刻胶，并在另一侧的面上配置背面掩膜材料，并且将这些光刻胶以及背面掩膜材料进行固化。
接下来，在利用光刻技术而对光刻胶进行曝光之后，实施显影，从而形成了与擒纵齿轮部的基材的俯视观察的外形相对应的光刻胶图案。
接下来，将光刻胶图案作为掩模而对硅晶片实施蚀刻，从而形成了具有伸出部、弹性部、以及齿圈部的擒纵齿轮部的基材的外形。
接下来，将光刻胶图案以及背面掩膜材料去除，从而制造出与图3所示的擒纵齿轮部的基材相同的结构的擒纵齿轮部的基材。
擒纵齿轮部的制造
·第一SiO2层的形成工序
在立式的热氧化炉中，设置擒纵齿轮部的基材，在加热至1050℃之后，保持17分钟。
如此，在基材的表面整体、即，基材的第一面、第二面、以及侧面上，形成厚度为220nm的第一SiO2层，从而获得了层压体1(基材/第一SiO2层(220nm))。
·Si层的形成工序
在立式的减压CVD炉中，将层压体1(基材/第一SiO2层(220nm))的外周设置在石英舟皿的爪上。利用干泵，对炉进行减压，并且将所述基材加热至625℃。然后，使甲硅烷气体流动19分30秒。
如此，在第一SiO2层的表面整体上，形成厚度为138nm的Si层，从而获得了层压体2(基材/第一SiO2层(220nm)/Si层(138nm))。
·第二SiO2层的形成工序
将层压体2(基材/第一SiO2层(220nm)/Si层(138nm))设置在立式的热氧化炉中，在加热至950℃之后，保持33分钟。
如此，在Si层的表面整体上，形成厚度为140nm的第二SiO2层，从而获得了与图3所示的擒纵齿轮部相同的结构的擒纵齿轮部。
另外，第二SiO2层是通过对层压体2的Si层进行热氧化从而形成。
在对Si层进行热氧化从而形成第二SiO2层的情况下，层压体2的Si层大约被消耗44.6％。因此，层压体2的Si层大约被消耗62nm，从而成为76nm。
如果对擒纵齿轮部的结构示意性地进行表示，则如下。
基材/第一SiO2层(220nm)/Si层(76nm)/第二SiO2层(140nm)
第一氧化硅层、硅层、以及第二氧化硅层的平均厚度
通过如上所述的方法来对第一氧化硅层、硅层、以及第二氧化硅层的平均厚度进行了测量。
其结果为，确认了通过如上所述的方法而测量到的第一氧化硅层、硅层、以及第二氧化硅层的平均厚度与在实施例7中专门形成的第一氧化硅层、硅层、以及第二氧化硅层的厚度一致。
显色性的评价
对于通过实施例7而制造出的擒纵齿轮部的显色性，通过目视确认来进行了评价。
擒纵齿轮部在0°、15°、30°以及45°的任何的观察角度中，均呈现出显色性良好的蓝色。
因此，上述的模拟结果验证了实际上被制造出的擒纵齿轮部的评价结果。
根据实施例7，能够获得装饰性优异的擒纵齿轮部。
符号说明
1…机械式钟表；3…表盘；5…外装壳体；7…表冠；8…基材；8A…第一面；8B…第二面；8C…侧面；10、20、30…光反射层；12、22、32…第一氧化硅层；14、24、34…硅层；16、26、36…第二氧化硅层；21…条盒轮；27…摆轮；28…擒纵叉；29…游丝；35…后盖；40…机芯；44A…时针；44B…分针；44C…动力储备针；44D…小秒针；45…轮系；46…框架部件；48A…窗；48B…窗；50…自动上弦机构；51…四号轮；52…传动轮；60…手动上弦机构；61…小钢轮；62…大钢轮传动轮；63…大钢轮；70…调速器；80…擒纵器；100、200、300…擒纵齿轮部；101…擒纵轮；102…轴部件。

Claims (23)

1.一种钟表用部件，其特征在于，具有：
基材，其具有第一面以及与所述第一面为相反侧的第二面，且以硅为主要成分；
三层结构的光反射层，其被设置在所述基材的所述第一面上，且由第一氧化硅层、硅层、第二氧化硅层按照此顺序而被层压而成。
2.如权利要求1所述的钟表用部件，其特征在于，
所述第二氧化硅层的平均厚度小于所述第一氧化硅层的平均厚度。
3.如权利要求1所述的钟表用部件，其特征在于，
所述硅层的平均厚度为66nm以上且86nm以下。
4.如权利要求2所述的钟表用部件，其特征在于，
所述硅层的平均厚度为66nm以上且86nm以下。
5.如权利要求1所述的钟表用部件，其特征在于，
所述第一氧化硅层的平均厚度为100nm以上且400nm以下。
6.如权利要求2所述的钟表用部件，其特征在于，
所述第一氧化硅层的平均厚度为100nm以上且400nm以下。
7.如权利要求3所述的钟表用部件，其特征在于，
所述第一氧化硅层的平均厚度为100nm以上且400nm以下。
8.如权利要求1所述的钟表用部件，其特征在于，
在所述基材的所述第二面上，还设置有由第一氧化硅层、硅层、第二氧化硅层按照此顺序而被层压而成的三层结构的光反射层。
9.如权利要求2所述的钟表用部件，其特征在于，
在所述基材的所述第二面上，还设置有由第一氧化硅层、硅层、第二氧化硅层按照此顺序而被层压而成的三层结构的光反射层。
10.如权利要求3所述的钟表用部件，其特征在于，
在所述基材的所述第二面上，还设置有由第一氧化硅层、硅层、第二氧化硅层按照此顺序而被层压而成的三层结构的光反射层。
11.如权利要求1所述的钟表用部件，其特征在于，
在所述第一面和所述第二面进行连接的侧面上，还设置有由第一氧化硅层、硅层、第二氧化硅层按照此顺序而被层压而成的三层结构的光反射层。
12.如权利要求2所述的钟表用部件，其特征在于，
在所述第一面和所述第二面进行连接的侧面上，还设置有由第一氧化硅层、硅层、第二氧化硅层按照此顺序而被层压而成的三层结构的光反射层。
13.如权利要求3所述的钟表用部件，其特征在于，
在所述第一面和所述第二面进行连接的侧面上，还设置有由第一氧化硅层、硅层、第二氧化硅层按照此顺序而被层压而成的三层结构的光反射层。
14.如权利要求1所述的钟表用部件，其特征在于，
朝向所述光反射层而以入射角度0°使光入射时的波长在400nm以上且780nm以下的范围内的最大反射率为50％以上，
所述入射角度0°是指，入射光相对于所述光反射层的法线方向的角度。
15.如权利要求1至7中任一项所述的钟表用部件，其特征在于，
所述钟表用部件为，选自由条盒轮、擒纵轮、擒纵叉以及摆轮所构成的组中的至少一种。
16.如权利要求1所述的钟表用部件，其特征在于，
所述第一氧化硅层的平均厚度为20nm以上且100nm以下、或者180nm以上且290nm以下，
所述第二氧化硅层的平均厚度为100nm以上且200nm以下、或者250nm以上且360nm以下。
17.如权利要求1所述的钟表用部件，其特征在于，
朝向所述光反射层而以入射角度0°使光入射时的波长在400nm以上且550nm以下的范围内的最大反射率为50％以上，
所述入射角度0°是指，入射光相对于所述光反射层的法线方向的角度。
18.一种钟表用部件的制造方法，其特征在于，
具有如下工序，即，在具有第一面以及与所述第一面为相反侧的第二面且以硅为主要成分的基材的至少所述第一面上，形成将第一氧化硅层、硅层、第二氧化硅层按照此顺序层压而成的三层结构的光反射层。
19.如权利要求18所述的钟表用部件的制造方法，其特征在于，
通过热氧化法来形成所述第一氧化硅层以及所述第二氧化硅层中的至少一方。
20.如权利要求18所述的钟表用部件的制造方法，其特征在于，
通过减压化学汽相淀积法来形成所述硅层。
21.一种钟表用机芯，其特征在于，
具备权利要求1所述的钟表用部件。
22.一种钟表，其特征在于，
具备权利要求1所述的钟表用部件。
23.如权利要求22所述的钟表，其特征在于，
所述钟表为透视结构的机械式钟表。
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