CN111627792A - 一种晶圆自动装盘装置 - Google Patents
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Abstract
本发明属于晶圆上片技术领域，提供了一种晶圆自动装盘装置，包括工作台，工作台上滑动安装有驱动装置驱动的定位托板，定位托板上表面设有若干定位销，一端底部固定安装有插杆；工作台沿定位托板的滑动方向还依次设有载具抬升机构、料盘取盖机构、自动上螺丝机构、螺丝供料器和放片机械臂，料盘取盖机构和自动上螺丝机构均位于定位托板的上方，且料盘取盖机构与载具抬升机构对应设置，螺丝供料器与自动上螺丝机构对应设置，放片机械臂末端设有晶圆取放机构；工作台上还开设有摄片孔，工作台的下方固定安装有拍摄机构。本发明不但能够确保晶圆于料盘内精准角度、位置的放置，装盘效率大大提高，且有效避免了在装盘过程中意外划伤晶圆现象的发生。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆上片技术领域，尤其涉及一种晶圆自动装盘装置。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆在生产加工过程中，依据加工工艺需求，需要进行晶圆的ICP刻蚀加工，ICP刻蚀工艺前，通常需要将晶圆排列放置到料盘内，此过程称为晶圆的上片，以便于在刻蚀加工时，将承载有晶圆的整个料盘放入等离子刻蚀机中进行刻蚀加工。
目前，晶圆于料盘内的装盘操作，通常由人工完成，上片工人需要将花篮内的晶圆一片片的放置到料盘内，且于料盘内放置时，需满足特定的放置角度的需求，否则无法将晶圆精确的放置到料盘的晶圆放置槽内，从而大大增加了工人的上片难度，不但劳动强度大，上片效率低，且在上片过程中，由于上片人员操作不细心等各种主观原因，易划伤晶圆，导致晶圆直接报废或降级处理，直接影响晶圆的生产质量及产品合格率。因此，开发一种晶圆自动装盘装置，不但具有迫切的研究价值，也具有良好的经济效益和工业应用潜力，这正是本发明得以完成的动力所在和基础。
发明内容
为了克服上述所指出的现有技术的缺陷，本发明人对此进行了深入研究，在付出了大量创造性劳动后，从而完成了本发明。
具体而言，本发明所要解决的技术问题是：提供一种晶圆自动装盘装置，以解决目前人工进行晶圆装盘效率低，且易划伤晶圆、影响晶圆质量的技术问题。
为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：
一种晶圆自动装盘装置，包括工作台，所述工作台上滑动安装有驱动装置驱动的定位托板，所述定位托板的上表面设有若干用以实现上片载具定位放置的定位销，所述定位托板的一端底部固定安装有插杆；
所述工作台上沿所述定位托板的滑动方向还依次设有载具抬升机构、料盘取盖机构、自动上螺丝机构、螺丝供料器和放片机械臂，所述载具抬升机构位于所述定位托板行程的一端，所述料盘取盖机构和所述自动上螺丝机构均位于所述定位托板的上方，且所述料盘取盖机构与所述载具抬升机构对应设置，所述螺丝供料器位于所述定位托板一侧，且与所述自动上螺丝机构对应设置，所述放片机械臂位于所述定位托板行程的另一端，且所述放片机械臂末端设有晶圆取放机构；
所述工作台上还开设有摄片孔，所述摄片孔靠近所述放片机械臂设置，所述工作台的下方固定安装有与所述摄片孔对应设置的拍摄机构。
作为一种改进的技术方案，所述驱动装置包括固定安装于所述工作台上的第一电缸，所述工作台上还固定安装有与所述第一电缸平行设置的导轨，所述导轨上滑动安装有滑块，所述定位托板与所述滑块、所述第一电缸的滑板固定连接。
作为一种改进的技术方案，所述工作台上还设有用以实现所述导轨平行调节的调节机构，所述调节机构包括固定块和调节螺栓，所述固定块设有三个，且均固定安装于所述工作台上，其中两所述固定块分别位于所述导轨的一侧两端，另外一所述固定块位于所述导轨的另一侧中间位置，所述调节螺栓分别螺纹配合安装于所述固定块上，且所述调节螺栓的螺纹端抵靠所述导轨设置。
作为一种改进的技术方案，所述第一电缸的一侧还设有若干U型光电开关，所述定位托板的底部固定安装有便于所述U型光电开关检测的到位检测片。
作为一种改进的技术方案，所述载具抬升机构包括抬升气缸，所述工作台上固定安装有两个第一安装座，两所述第一安装座分别于所述定位托板的两侧对应设置，所述抬升气缸分别固定安装于所述第一安装座的相对一侧，所述抬升气缸的滑台上固定安装有T形安装板，所述T形安装板的顶部固定安装有载具托杆，两所述载具托杆对应设置，且两所述载具托板间具有与上片载具宽度相适配的间距。
作为一种改进的技术方案，所述料盘取盖机构包括第二电缸，所述工作台上固定安装有一安装架，所述第二电缸竖直固定安装于所述安装架的横梁上，且于所述安装架朝向所述第一安装座的一侧设置，所述第二电缸的滑板固定安装有第一吸盘安装板，所述第一吸盘安装板的底端固定安装有盖板吸盘，所述盖板吸盘的底面沿周向均匀设有若干吸嘴。
作为一种改进的技术方案，所述第二电缸的两侧还分别设有拉伸弹簧，所述安装架上固定安装有用以实现所述拉伸弹簧挂装的第一挂杆，所述盖板吸盘上固定安装有用以实现所述拉伸弹簧挂装的第二挂杆，所述第一挂杆和所述第二挂杆的挂装端对应设置，所述拉伸弹簧分别位于对应设置的所述第一挂杆和所述第二挂杆间，且所述拉伸弹簧的两端分别挂装于所述第一挂杆和所述第二挂杆的挂装端。
作为一种改进的技术方案，所述载具抬升机构与所述料盘取盖机构之间还设有用以防止料盘盖板掉落的盖板防掉机构，所述盖板防掉机构包括分别固定安装于所述第一安装座顶部的伸缩气缸，且两所述伸缩气缸分别于所述第一安装座相对的一侧设置，所述伸缩气缸的活塞轴末端固定安装有盖板托板，两所述盖板托板对应设置，且处于上片状态时，两所述盖板托板的间距与料盘盖板的外径相适配。
作为一种改进的技术方案，所述自动上螺丝机构包括水平固定安装于所述安装架横梁另一侧的第三电缸，所述第三电缸的滑板上竖直固定安装有第四电缸，所述第四电缸的滑板上固定安装有电批，所述电批与所述螺丝供料器对应设置。
作为一种改进的技术方案，所述晶圆取放机构包括固定安装于所述放片机械臂转杆底端的固定座，所述固定座的一侧固定安装有侧板，所述侧板上沿竖直方向滑动安装有第二吸盘安装板，所述第二吸盘安装板的底部固定安装有伯努利吸盘，且所述第二吸盘安装板与所述固定座间设有压缩弹簧，所述压缩弹簧的两端分别与所述第二吸盘安装板、所述固定座相连。
作为一种改进的技术方案，所述固定座的另一侧固定安装有光电传感器。
作为一种改进的技术方案，所述拍摄机构包括相机，所述工作台的下方固定安装有第二安装座，所述相机固定安装于所述第二安装座上，且与所述摄片孔对应设置。
作为一种改进的技术方案，所述第二安装座上还固定安装有光源，所述光源位于所述相机与所述摄片孔之间，且与所述摄片孔对应设置；
所述固定座上还固定安装有反光板，且所述反光板位于所述固定座上方。
采用了上述技术方案后，本发明的有益效果是：
（1）该晶圆自动装盘装置，各机构配合动作，实现晶圆的一体化自动装盘，相较传统的人工进行晶圆装盘的装盘方式，实现了人工劳动力的有效替代，不但能够确保晶圆于料盘内精准角度、位置的放置，装盘效率大大提高，且有效避免了在装盘过程中意外划伤晶圆现象的发生，确保晶圆上片过程中晶圆质量及合格率不受影响。
（2）定位托板端部固定安装有的插杆，便于于料仓内进行上片载具的取放；定位托板上设有的定位销，为上片载具于定位托板上的定位放置提供了便利，确保上片载具在上片及输送过程中不会发生位置偏移，为晶圆的精准放片提供了可靠保障。
（3）设有的调节机构，通过旋拧调节螺栓可实现对导轨的微调，使得导轨与第一电缸间的平行调节操作简单方便。
（4）安装有的U型光电开关及到位检测片，U型光电开关通过对到位检测片的检测实现对定位托板位置的检测，确保定位托板滑动到位的准确性.
（5）第二电缸两侧设有的拉伸弹簧，通过拉伸弹簧实现盖板吸盘与安装架之间的挂装连接，在拉伸弹簧的拉力作用下，能够一定程度上抵消盖板吸盘的重力，使得对盖板吸盘的升降驱动更加省力，小功率电缸即可实现，满足了节能降耗的需求。
（6）设有的该盖板防掉机构，盖板吸盘将料盘的盖板吸起后，伸缩气缸驱动盖板托板伸出至盖板下方，在晶圆上片过程中，确保当吸嘴的供气装置发生意外故障时，避免吸住的盖板掉落。
（7）设有的自动上螺丝机构，通过电批从螺丝供料器取螺丝，并在第一电缸对定位托板的位移驱动、以及在第三电缸、第四电缸对电批的位移驱动配合下，将螺丝精确放置到各安装位置并旋拧固定，大大提高了盖板的安装固定效率。
（8）设有的该晶圆取放机构，伯努利吸盘耗气量低且吸附力大，与晶圆存在微小间隙时也能够将晶圆吸起，能够最大限度的减少与晶圆的接触，且对晶圆抓取柔和，第二吸盘安装板与固定座间设有的压缩弹簧，起到取晶圆时的缓冲作用，有效避免了抓取晶圆时对晶圆的损伤。
（9）固定座上安装有的光电传感器，能够检测是否吸到晶圆，避免因未吸取到晶圆而导致的放片缺失现象的发生。
（10）设有的该拍摄机构，放片机械臂通过晶圆取放机构取到晶圆后，将晶圆移动到摄片孔位置处，通过相机拍摄所取晶圆信息，与模板晶圆相对比，并通过放片机械臂进行相应的角度旋转，从而确保能够精确的放置到料盘内，满足晶圆所需特定角度排列放置的需求。
（11）设有的光源及反光板，确保相机有更合适的曝光度，使得相机对所取晶圆的拍摄画面更加清楚。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的另一立体结构示意图；
图3为本发明定位托板的安装结构示意图；
图4为本发明安装架部分的结构示意图；
图5为本发明载具抬升机构和盖板防掉机构的结构示意图；
图6为本发明晶圆取放机构的结构示意图；
图7为本发明拍摄机构的结构示意图；
图8为本发明晶圆装盘用上片载具的结构示意图；
附图标记：1-工作台；101-摄片孔；2-第一电缸；3-导轨；4-滑块；5-定位托板；501-定位销；6-插杆；7-固定块；8-调节螺栓；9-U型光电开关；10-第一安装座；11-抬升气缸；12-T形安装板；13-载具托杆；14-安装架；15-第二电缸；16-第一吸盘安装板；17-盖板吸盘；18-吸嘴；19-第一挂杆；20-第二挂杆；21-拉伸弹簧；22-伸缩气缸；23-盖板托板；24-第三电缸；25-第四电缸；26-电批；27-螺丝供料器；28-放片机械臂；29-固定座；30-侧板；31-第二吸盘安装板；32-伯努利吸盘；33-压缩弹簧；34-光电传感器；35-第二安装座；36-相机；37-光源；38-反光板；39-托盘；3901-托盘定位孔；40-载片板；41-盖板。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本发明进一步说明。但这些例举性实施方式的用途和目的仅用来例举本发明，并非对本发明的实际保护范围构成任何形式的任何限定，更非将本发明的保护范围局限于此。
如图1至图3所示，本实施例提供了一种晶圆自动装盘装置，包括工作台1，工作台1上滑动安装有驱动装置驱动的定位托板5，定位托板5的上表面设有若干用以实现上片载具定位放置的定位销501，定位托板5的一端底部固定安装有插杆6；定位托板5上设有的定位销501，为上片载具于定位托板5上的定位放置提供了便利，确保上片载具在上片及输送过程中不会发生位置偏移，为晶圆的精准放片提供了可靠保障，定位托板5端部固定安装有的插杆6，用以从盛放上片载具的料仓内取放上片载具，为上片载具的取放提供了便利。
工作台1上沿定位托板5的滑动方向还依次设有载具抬升机构、料盘取盖机构、自动上螺丝机构、螺丝供料器27和放片机械臂28，载具抬升机构位于定位托板5行程的一端，料盘取盖机构和自动上螺丝机构均位于定位托板5的上方，且料盘取盖机构与载具抬升机构对应设置，螺丝供料器27位于定位托板5一侧，且与自动上螺丝机构对应设置，放片机械臂28位于定位托板5行程的另一端，且放片机械臂28末端设有晶圆取放机构；本实施例中，放片机械臂28可选用市售的四自由度机械臂，在此不作赘述。
工作台1上还开设有摄片孔101，摄片孔101靠近放片机械臂28设置，工作台1的下方固定安装有与摄片孔101对应设置的拍摄机构。
如图3所示，驱动装置包括固定安装于工作台1上的第一电缸2，工作台1上还固定安装有与第一电缸2平行设置的导轨3，导轨3上滑动安装有滑块4，定位托板5与滑块4、第一电缸2的滑板固定连接。
为便于导轨3安装时调节至与第一电缸2相平行，工作台1上还设有用以实现导轨3平行调节的调节机构，调节机构包括固定块7和调节螺栓8，固定块7设有三个，且均固定安装于工作台1上，其中两固定块7分别位于导轨3的一侧两端，另外一固定块7位于导轨3的另一侧中间位置，调节螺栓8分别螺纹配合安装于固定块7上，且调节螺栓8的螺纹端抵靠导轨3设置；设有的调节机构，通过旋拧调节螺栓8可实现对导轨3的微调，使得导轨3与第一电缸2间的平行调节操作简单方便。
第一电缸2的一侧还设有若干U型光电开关9，定位托板5的底部固定安装有便于U型光电开关9检测的到位检测片，本实施例中，到位检测片未在附图中示出；安装有的U型光电开关9及到位检测片，U型光电开关9通过对到位检测片的检测实现对定位托板5位置的检测，确保定位托板5滑动到位的准确性；本实施例中，U型光电开关9设有三个，其中两个靠近第一电缸2的电机一端相邻安装，另外一个位于第一电缸2的另一端安装，靠近电机安装的一个U型光电开关9，确保定位托板5在有效行程内滑动，不会撞击到第一电缸2的电机，当该U型光电开关9检测到定位托板5底部安装的到位检测片时，第一电缸2急停，避免定位托板5继续滑动，另外两个U型光电开关9，分别为定位托板5行程两端的原点位。
如图4和图5共同所示，载具抬升机构包括抬升气缸11，工作台1上固定安装有两个第一安装座10，两个第一安装座10分别于定位托板5的两侧对应设置，抬升气缸11分别固定安装于第一安装座10的相对一侧，抬升气缸11的滑台上固定安装有T形安装板12，T形安装板12的顶部固定安装有载具托杆13，两个载具托杆13对应设置，且两个载具托杆13间具有与上片载具宽度相适配的间距；抬升气缸11动作，驱动载具托杆13上下运动，实现对上片载具的举升及下放。
如图4所示，料盘取盖机构包括第二电缸15，工作台1上固定安装有一安装架14，安装架14横跨第一电缸2和导轨3，第二电缸15竖直固定安装于安装架14的横梁上，且于安装架14朝向第一安装座10的一侧设置，第二电缸15的滑板固定安装有第一吸盘安装板16，第一吸盘安装板16的底端固定安装有盖板吸盘17，盖板吸盘17的底面沿周向均匀设有若干吸嘴18，吸嘴18与供气装置连通，实现对盖板41的吸放。
第二电缸15的两侧还分别设有拉伸弹簧21，安装架14上固定安装有用以实现拉伸弹簧21挂装的第一挂杆19，盖板吸盘17上固定安装有用以实现拉伸弹簧21挂装的第二挂杆20，第一挂杆19和第二挂杆20的挂装端对应设置，且均开设有供拉伸弹簧21挂装的挂装孔，拉伸弹簧21分别位于对应设置的第一挂杆19和第二挂杆20间，且拉伸弹簧21的两端分别通过挂装孔挂装于第一挂杆19和第二挂杆20的挂装端。设有的拉伸弹簧21，通过拉伸弹簧21实现盖板吸盘17与安装架14之间的挂装连接，在拉伸弹簧21的拉力作用下，能够一定程度上抵消盖板吸盘17的重力，使得对盖板吸盘17的升降驱动更加省力，小功率电缸即可实现，满足了节能降耗的需求。
如图4和图5共同所示，载具抬升机构与料盘取盖机构之间还设有用以防止料盘盖板41掉落的盖板41防掉机构，盖板41防掉机构包括分别固定安装于第一安装座10顶部的伸缩气缸22，且两伸缩气缸22分别于第一安装座10相对的一侧设置，伸缩气缸22的活塞轴末端固定安装有盖板托板23，两个盖板托板23对应设置，且处于上片状态时，两盖板托板23的间距与料盘盖板41的外径相适配；设有的该盖板防掉机构，盖板吸盘17将料盘的盖板41吸起后，伸缩气缸22驱动盖板托板23伸出至盖板41下方，在晶圆上片过程中，确保当吸嘴18的供气装置发生意外故障时，能够避免吸住的盖板41掉落。
如图2所示，自动上螺丝机构包括水平固定安装于安装架14横梁另一侧的第三电缸24，第三电缸24的滑板上竖直固定安装有第四电缸25，第四电缸25的滑板上固定安装有电批26，电批26与螺丝供料器27对应设置；本实施例中，电批26及螺丝供料器27均采用市售产品，为本领域技术人员所共识的，故在此不作赘述。设有的该自动上螺丝机构，通过电批26从螺丝供料器27取螺丝，并在第一电缸2对定位托板5的位移驱动、以及在第三电缸24、第四电缸25对电批26的位移驱动配合下，将螺丝精确放置到各安装位置并旋拧固定，大大提高了盖板41的安装固定效率。
如图6所示，晶圆取放机构包括固定安装于放片机械臂28转杆底端的固定座29，固定座29的一侧固定安装有侧板30，侧板30上沿竖直方向滑动安装有第二吸盘安装板31，第二吸盘安装板31的底部固定安装有伯努利吸盘32，且第二吸盘安装板31与固定座29间设有压缩弹簧33，压缩弹簧33的两端分别与第二吸盘安装板31、固定座29相连；本实施例中，侧板30上固定安装有滑轨，第二吸盘安装板31上开设有与滑轨相适配的滑槽，第二吸盘安装板31通过滑槽和滑轨滑动安装于侧板30上。设有的该晶圆取放机构，伯努利吸盘32耗气量低且吸附力大，与晶圆存在微小间隙时也能够将晶圆吸起，能够最大限度的减少与晶圆的接触，且对晶圆抓取柔和，第二吸盘安装板31与固定座29间设有的压缩弹簧33，起到取晶圆时的缓冲作用，有效避免了抓取晶圆时对晶圆的损伤。
本实施例中，固定座29的另一侧固定安装有光电传感器34；安装有的光电传感器34，能够检测是否吸到晶圆，避免因未吸取到晶圆而导致的放片缺失现象的发生。
如图7所示，拍摄机构包括相机36，工作台1的下方固定安装有第二安装座35，相机36固定安装于第二安装座35上，且与摄片孔101对应设置；设有的该拍摄机构，放片机械臂28通过晶圆取放机构取到晶圆后，将晶圆移动到摄片孔101位置处，通过相机36拍摄所取晶圆信息，与模板晶圆相对比，并通过放片机械臂28进行相应的角度旋转，从而确保能够精确的放置到料盘内，满足晶圆所需特定角度排列放置的需求。
第二安装座35上还固定安装有光源37，光源37位于相机36与摄片孔101之间，且与摄片孔101对应设置，固定座29上还固定安装有反光板38，且反光板38位于固定座29上方，如图6所示；设有的光源37及反光板38，确保相机36有更合适的曝光度，使得相机36对所取晶圆的拍摄画面更加清楚。
如图1、图4和图8共同所示，本实施例中，晶圆装盘用的上片载具包括托盘39和定位卡装于托盘39内的料盘，托盘39的边角位置开设有与定位托板5上定位销501相对应的托盘定位孔3901，用以实现于定位托板5上放置时的定位，托盘39的一侧开设有与料盘相适配的容纳槽，料盘包括载片板40和适配盖合于载片板40上的盖板41，载片板40通过容纳槽卡装于托盘39内，载片板40上均匀开设有若干用以放置晶圆的晶圆放置槽，为实现放置晶圆后，盖板41于载片板40上的固定，载片板40上开设有若干螺栓孔，盖板41上开设有若干与螺栓孔对应设置的沉孔。料盘卡装于托盘39内形成的该上片载具，托盘39实现料盘的定位，且料盘于托盘39内的卡装及取出操作简单方便，上片完成后的上片载具，将料盘从托盘39内顶出即可。
基于上述结构的该晶圆自动装盘装置，通过分别与相机36、第一电缸2、抬升气缸11、伸缩气缸22、第二电缸15、第三电缸24、第四电缸25、放片机械臂28相连的控制器实现各机构的协调控制，控制器可选用市售的PLC控制器；工作时，第一电缸2驱动定位托板5滑动位移，通过定位托板5端部安装的插杆6实现料仓内上片载具的取放，上片载具取至插杆6上后，第一电缸2驱动定位托板5滑动，将插杆6上托放的上片载具移动至载具抬升机构对应位置处，然后抬升气缸11驱动载具托杆13将上片载具托举至定位托板5上方，之后第一电缸2驱动定位托板5位移至上片载具正下方，抬升气缸11驱动载具托杆13下降复位，将上片载具放置到定位托板5上，并在定位托板5上设有的定位销501的作用下，实现上片载具放置后的定位，上片载具于定位托板5上定位放置后，第二电缸15驱动盖板吸盘17下降，通过吸嘴18将料盘的盖板41吸住，并上升复位将盖板41吸起，然后伸缩气缸22驱动盖板托板23伸出，伸出后的盖板托板23位于吸起后盖板41下方，以避免意外盖板41掉落，同时，第一电缸2驱动定位托板5位移，将取下盖板41后的上片载具输送至行程另一端，由放片机械臂28通过晶圆取放机构取放晶圆，将晶圆先移动到摄片孔101位置，通过相机36拍摄所取晶圆信息，与模板晶圆相对比，通过放片机械臂28进行相应的角度旋转后，精确的放置到上片载具内，晶圆放置完毕后，第一电缸2驱动定位托板5将放置完晶圆的上片载具输送至料盘取盖机构，然后伸缩气缸22驱动盖板托板23复位，第二电缸15驱动盖板吸盘17将盖板41重新放置到上片载具上后复位，最后第一电缸2驱动定位托板5将上片载具输送至自动上螺丝机构对应位置处，通过自动上螺丝机构和螺丝供料器27对盖板41进行上螺丝固定，盖板41固定后，第一电缸2驱动定位托板5将上片载具重新输送至载具抬升机构对应位置处，通过抬升机构将上片完成的上片载具抬升后，第一电缸2驱动定位托板5位移至插杆6处于上片载具正下方，抬升电缸驱动载具托杆13将上片载具放置到插杆6上，最终在第一电缸2的驱动下，将上片完成的上片载具原位放置回料仓内，从而实现晶圆的自动装盘。
通过该晶圆自动装盘装置进行晶圆的装盘操作，各机构配合动作，实现晶圆的一体化自动装盘，相较传统的人工进行晶圆装盘的装盘方式，实现了人工劳动力的有效替代，不但能够确保晶圆于料盘内精准角度、位置的放置，装盘效率大大提高，且有效避免了在装盘过程中意外划伤晶圆现象的发生，确保晶圆上片过程中晶圆质量及合格率不受影响。
应当理解，这些实施例的用途仅用于说明本发明而非意欲限制本发明的保护范围。此外，也应理解，在阅读了本发明的技术内容之后，本领域技术人员可以对本发明作各种改动、修改和/或变型，所有的这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种晶圆自动装盘装置，其特征在于：包括工作台，所述工作台上滑动安装有驱动装置驱动的定位托板，所述定位托板的上表面设有若干用以实现上片载具定位放置的定位销，所述定位托板的一端底部固定安装有插杆；
所述工作台上沿所述定位托板的滑动方向还依次设有载具抬升机构、料盘取盖机构、自动上螺丝机构、螺丝供料器和放片机械臂，所述载具抬升机构位于所述定位托板行程的一端，所述料盘取盖机构和所述自动上螺丝机构均位于所述定位托板的上方，且所述料盘取盖机构与所述载具抬升机构对应设置，所述螺丝供料器位于所述定位托板一侧，且与所述自动上螺丝机构对应设置，所述放片机械臂位于所述定位托板行程的另一端，且所述放片机械臂末端设有晶圆取放机构；
所述工作台上还开设有摄片孔，所述摄片孔靠近所述放片机械臂设置，所述工作台的下方固定安装有与所述摄片孔对应设置的拍摄机构。
2.如权利要求1所述的晶圆自动装盘装置，其特征在于：所述驱动装置包括固定安装于所述工作台上的第一电缸，所述工作台上还固定安装有与所述第一电缸平行设置的导轨，所述导轨上滑动安装有滑块，所述定位托板与所述滑块、所述第一电缸的滑板固定连接。
3.如权利要求2所述的晶圆自动装盘装置，其特征在于：所述载具抬升机构包括抬升气缸，所述工作台上固定安装有两个第一安装座，两所述第一安装座分别于所述定位托板的两侧对应设置，所述抬升气缸分别固定安装于所述第一安装座的相对一侧，所述抬升气缸的滑台上固定安装有T形安装板，所述T形安装板的顶部固定安装有载具托杆，两所述载具托杆对应设置。
4.如权利要求3所述的晶圆自动装盘装置，其特征在于：所述料盘取盖机构包括第二电缸，所述工作台上固定安装有一安装架，所述第二电缸竖直固定安装于所述安装架的横梁上，且于所述安装架朝向所述第一安装座的一侧设置，所述第二电缸的滑板固定安装有第一吸盘安装板，所述第一吸盘安装板的底端固定安装有盖板吸盘，所述盖板吸盘的底面沿周向均匀设有若干吸嘴。
5.如权利要求4所述的晶圆自动装盘装置，其特征在于：所述第二电缸的两侧还分别设有拉伸弹簧，所述安装架上固定安装有用以实现所述拉伸弹簧挂装的第一挂杆，所述盖板吸盘上固定安装有用以实现所述拉伸弹簧挂装的第二挂杆，所述第一挂杆和所述第二挂杆的挂装端对应设置，所述拉伸弹簧分别位于对应设置的所述第一挂杆和所述第二挂杆间，且所述拉伸弹簧的两端分别挂装于所述第一挂杆和所述第二挂杆的挂装端。
6.如权利要求5所述的晶圆自动装盘装置，其特征在于：所述载具抬升机构与所述料盘取盖机构之间还设有用以防止料盘盖板掉落的盖板防掉机构，所述盖板防掉机构包括分别固定安装于所述第一安装座顶部的伸缩气缸，且两所述伸缩气缸分别于所述第一安装座相对的一侧设置，所述伸缩气缸的活塞轴末端固定安装有盖板托板，两所述盖板托板对应设置，且处于上片状态时，两所述盖板托板的间距与料盘盖板的外径相适配。
7.如权利要求6所述的晶圆自动装盘装置，其特征在于：所述自动上螺丝机构包括水平固定安装于所述安装架横梁另一侧的第三电缸，所述第三电缸的滑板上竖直固定安装有第四电缸，所述第四电缸的滑板上固定安装有电批，所述电批与所述螺丝供料器对应设置。
8.如权利要求1-7任一项所述的晶圆自动装盘装置，其特征在于：所述晶圆取放机构包括固定安装于所述放片机械臂转杆底端的固定座，所述固定座的一侧固定安装有光电传感器，所述固定座的另一侧固定安装有侧板，所述侧板上沿竖直方向滑动安装有第二吸盘安装板，所述第二吸盘安装板的底部固定安装有伯努利吸盘，且所述第二吸盘安装板与所述固定座间设有压缩弹簧，所述压缩弹簧的两端分别与所述第二吸盘安装板、所述固定座相连。
9.如权利要求8所述的晶圆自动装盘装置，其特征在于：所述拍摄机构包括相机，所述工作台的下方固定安装有第二安装座，所述相机固定安装于所述第二安装座上，且与所述摄片孔对应设置。
10.如权利要求9所述的晶圆自动装盘装置，其特征在于：所述第二安装座上还固定安装有光源，所述光源位于所述相机与所述摄片孔之间，且与所述摄片孔对应设置；
所述固定座上还固定安装有反光板，且所述反光板位于所述固定座上方。
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