CN111386028A - 基板处理系统 - Google Patents

Abstract

本公开提供一种基板处理系统，具有处理装置、存储装置以及管理装置。处理装置对多个基板依次进行处理。存储装置存储处理装置中的多个基板的处理的数据。管理装置从存储装置读出所指定的第一基板的数据和在第一基板的前一个进行了处理的第二基板的数据，并显示于显示部的相同画面。

Description

基板处理系统

技术领域

本公开涉及具备对多个基板依次进行处理的处理装置的基板处理系统。

背景技术

生产在基板上安装了部件的安装基板的部件安装系统，通过将在基板上印刷焊料的焊料印刷装置、在基板上安装部件的部件安装装置、对安装于基板的部件的状态进行检查的安装检查装置等对基板进行处理的处理装置连结而构成。而且，当在安装检查装置中检测到部件的安装不合格时，进行发生了不合格的装置的调查等原因分析。在专利文献1所记载的部件安装生产线中，当在安装检查装置中检测到安装不合格时，一边利用多个部件安装装置依次输送后面的基板一边进行安装作业，在安装作业后由各个部件安装装置所具备的相机拍摄与检测到安装不合格的部位相同的部位，并排列显示在安装检查装置的显示部上，从而能够进行原因分析。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-225905号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，在专利文献1所记载的基板检查方法中，在由多个部件安装装置对拍摄对象的基板进行作业之后，开始原因分析。因此，弄清楚原因需要时间，在发现了安装不合格的基板与拍摄对象的基板之间生产的安装基板中，有发生安装不合格的可能性。

因此，本公开的目的在于，提供一种能够在短时间内进行处理不合格的原因分析的基板处理系统。

用于解决课题的手段

本公开的基板处理系统具有处理装置、存储装置以及管理装置。

处理装置对多个基板依次进行处理。

存储装置存储处理装置中的多个基板的处理的数据。

管理装置从存储装置读出所指定的第一基板的数据和在第一基板的前一个进行了处理的第二基板的数据，并显示于显示部的相同画面。

本公开的另一基板处理系统具有处理装置、存储装置以及管理装置。

处理装置对多个基板依次进行处理。

存储装置存储处理装置中的多个基板的处理的数据。

管理装置从存储装置读出所指定的第一基板的数据和在第一基板的后一个进行了处理的第三基板的数据，并显示于显示部的相同画面。

发明效果

根据本公开，能够在短时间内进行处理不合格的原因分析。

附图说明

图1是实施方式的部件安装系统的结构说明图。

图2是表示实施方式的管理计算机(管理装置)的结构的框图。

图3是表示实施方式的管理计算机(管理装置)的显示部所显示的检查结果显示画面的一例的图。

图4是表示实施方式的管理计算机(管理装置)的显示部所显示的印刷工序的检查结果显示画面的一例的图。

图5是表示实施方式的管理计算机(管理装置)的显示部所显示的搭载工序的检查结果显示画面的一例的图。

图6是表示实施方式的管理计算机(管理装置)的显示部所显示的检查结果选择显示画面的一例的图。

图7是实施方式的管理计算机(管理装置)中的检查结果显示方法的流程图。

符号说明

1：部件安装系统，

2：通信网络，

3：管理计算机(管理装置)，

10：处理部，

11：生产监视部，

12：检查结果取得部，

13：作业结果取得部，

14：显示处理部，

15：生产计划存储部，

15a：生产计划信息，

15b：生产数据，

16：生产履历存储部，

16a：部件信息，

16b：检查结果信息，

16c：作业结果信息，

16d：检查不合格信息，

17：输入部，

18：显示部，

18a：显示画面(画面)，

20：检查结果表，

21：检查结果表，

22：按钮，

23a：检查图像，

23b：检查图像，

24：焊盘，

26：检查结果表，

27：按钮，

28a：检查图像，

28b：检查图像，

28c：栏，

29：焊盘，

30：部件，

31：检查结果选择表，

31a：下拉按钮，

32：图像框，

33：图像框，

34：图像框，

35：图像框，

B：基板，

D：部件，

M1：焊料印刷装置(处理装置)，

M2：印刷检查装置(处理装置)，

M3～M5：部件安装装置(处理装置)，

M6：搭载后检查装置(处理装置)，

M7：回流装置(处理装置)，

M8：回流后检查装置(处置装置)。

具体实施方式

以下，使用附图，对本发明的一个实施方式进行详细地说明。以下所述的结构、形状等是用于说明的例示，能够根据部件安装系统的规格而适当变更。以下，在所有附图中对于对应的要素标注相同的符号，并省略重复的说明。

首先，参照图1，对部件安装系统1的结构进行说明。部件安装系统1从基板输送方向的上游侧(纸面左侧)朝向下游侧(纸面右侧)，将焊料印刷装置M1、印刷检查装置M2、部件安装装置M3～M5、搭载后检查装置M6、回流装置M7、回流后检查装置M8等生产设备串联连结而构成。各个生产设备经由通信网络2与管理计算机3连接。

部件安装系统1是如下基板处理系统：对于搬入到焊料印刷装置M1的基板B，在依次进行输送的同时由各个生产设备进行处理，生产在基板B上安装了部件D的安装基板。而且，各个生产设备是对多个基板B依次进行处理的处理装置。

在图1中，焊料印刷装置M1执行如下的印刷作业，在形成于从上游侧搬入的基板B的焊盘上，通过往复移动的刮板对供给至掩模上的焊料进行印刷(转印)。印刷作业中的印刷时刻、刮板的移动方向(前方、后方)等作业结果被发送至管理计算机3。印刷检查装置M2具备焊料检查相机(拍摄部)，执行对印刷于基板B的焊料的状态进行检查的印刷检查作业。印刷检查装置M2按照根据安装基板的生产机型而设定的检查位置和检查基准，检查印刷在基板B上的焊料的状态的优劣。印刷检查结果以及拍摄到的印刷检查图像被发送到管理计算机3。

部件安装装置M3～M5包括供给搭载至基板B的部件D的多个供给器、和装配了多个对部件D进行保持的吸附嘴的搭载头。并且，部件安装装置M3～M5执行部件搭载作业，使搭载头移动而用吸附嘴取出由供给器供给的部件D，并移送至基板B的安装位置。此外，部件安装装置M3～M5具备从下方对吸附嘴所保持的部件D进行拍摄的部件识别相机(拍摄部)。部件安装装置M3～M5按照预先设定的检查基准，针对每个部件D检查吸附嘴所保持的部件D的保持状态的优劣。此外，部件安装装置M3～M5基于根据拍摄结果计算出的修正值，修正搭载头的位置、吸附嘴的旋转角度，将部件D搭载于基板B。

部件搭载作业中的部件D的搭载时刻、搭载头编号、吸附嘴类型、吸附嘴地址、供给器地址、修正值等作业结果、由部件识别相机拍摄到的部件识别图像被发送到管理计算机3。另外，部件安装系统1所具备的部件安装装置M3、M5、M5并不限定于3台，可以是1～2台，也可以是4台以上。

在图1中，搭载后检查装置M6具备搭载后检查相机(拍摄部)，执行对搭载于基板B的部件D的状态进行检查的搭载后检查作业。搭载后检查装置M6按照根据安装基板的生产机型而设定的检查位置和检查基准，检查搭载于基板B的部件D的状态的优劣，计算所搭载的部件D从安装位置的偏移量。包含部件D的偏移量的搭载后检查结果以及拍摄到的搭载后检查图像被发送到管理计算机3。回流装置M7执行回流作业，通过基板加热部对搬入到装置内的基板B进行加热，在使基板B上的焊料熔化后使其固化，执行使基板B的焊盘与部件D的电极接合。

回流后检查装置M8具备回流后检查相机(拍摄部)，执行对搭载于基板B的部件D的回流后的状态进行检查的回流后检查作业。回流后检查装置M8按照根据安装基板的生产机型而设定的检查位置和检查基准，检查搭载于基板B的部件D的回流后的状态的优劣。回流后检查结果以及拍摄到的回流后检查图像被发送到管理计算机3。

如上所述，印刷检查装置M2、搭载后检查装置M6、回流后检查装置M8是具备对基板B进行拍摄的拍摄部的处理装置。此外，印刷检查装置M2是进行印刷有焊料的基板B的检查的印刷检查装置。此外，搭载后检查装置M6和回流后检查装置M8是进行安装有部件D的基板B的检查的安装检查装置。而且，在从处理装置向管理计算机3发送的数据中包括由处理装置的拍摄部拍摄到的图像。

接下来，参照图2，对与显示基于部件安装系统1所具备的处理装置的基板B的检查结果等的管理计算机3的功能相关的结构进行说明。管理计算机3除了处理部10、作为存储装置的生产计划存储部15、生产履历存储部16之外，还具有输入部17和显示部18。处理部10是CPU等数据处理装置，作为内部处理部具备生产监视部11、检查结果取得部12、作业结果取得部13以及显示处理部14。另外，管理计算机3未必由一个计算机构成，也可以由多个设备构成。例如，存储装置也可以是与通信网络2连接的文件服务器。

输入部17是键盘、或者触摸面板、或者鼠标等输入装置，在输入操作指令或数据时等被使用。显示部18是液晶面板等显示装置，除了显示生产计划存储部15和生产履历存储部16存储的各种数据之外，还显示用于输入部17的操作的操作画面、检查结果显示画面等各种信息。

在图2中，在生产计划存储部15中存储有生产计划信息15a和生产数据15b等。在生产计划信息15a中，按照确定由部件安装系统1生产的安装基板的机型的每个生产机型名，存储有包括安装基板的生产片数、生产的开始预定时刻和结束预定时刻等的生产计划。在生产数据15b中，按照每个生产机型名存储有安装于基板B的部件D的部件名、安装位置(XY坐标)、安装角度等。

在生产履历存储部16中存储有部件信息16a、检查结果信息16b、作业结果信息16c、检查不合格信息16d等。在部件信息16a中，存储有分别确定由部件安装装置M3～M5的供给器供给而向基板B安装的部件D的部件编号。部件编号是组合了部件名、批号、在托盘中被收纳的位置、在载带中被收纳的顺序等的部件识别信息。

在图2中，生产监视部11监视由部件安装系统1生产的安装基板(处理的基板B)的处理状况、处理结果，从部件安装系统1所具备的处理装置依次取得检查结果、检查图像、作业结果等数据。生产监视部11将从印刷检查装置M2、搭载后检查装置M6、回流后检查装置M8取得的检查结果、检查图像作为检查结果信息16b存储在生产履历存储部16中。

此外，生产监视部11将从焊料印刷装置M1、部件安装装置M3～M5、回流装置M7取得的作业结果作为作业结果信息16c存储在生产履历存储部16中。即，生产履历存储部16是存储处理装置中的处理的数据的存储装置。另外，处理装置中的处理的数据也可以由处理装置所具备的存储装置来存储。

生产监视部11针对每个处理后的基板B，将确定基板B的基板识别信息与检查结果信息16b或者作业结果信息16c相关联地存储于生产履历存储部16中。基板识别信息是将基板B搬入焊料印刷装置M1的顺序、在基板B上通过条形码、二维码显示的基板编号等。基板编号通过在将基板B搬入焊料印刷装置M1之前，利用省略图示的基板编号读取装置读取基板B上的条形码等来取得。

当生产监视部11判断为在基板B中发生了检查不合格时，处理部10使显示部18显示后述的检查结果显示画面等。生产监视部11将至少规定片数(例如3片)的数据存储于生产履历存储部16中，还包括不是检查不合格的基板B的信息。具体地说，生产监视部11在生产履历存储部16的存储容量有富余的情况下，使生产履历存储部16存储全部的基板B的数据。另一方面，生产监视部11在生产履历存储部16的存储容量没有富余的情况下，若生产履历存储部16所存储的数据超过规定片数，则从旧的基板B的数据开始依次从检查结果信息16b、作业结果信息16c中删除。

在图2中，当生产监视部11检测到发生了检查不合格时，检查结果取得部12从检查结果信息16b取得显示处理部14使显示部18显示的数据。或者，在检查结果信息16b中没有需要的数据的情况下，从处理装置所具备的存储装置取得需要的检查结果等。当生产监视部11检测到发生了检查不合格时，作业结果取得部13从作业结果信息16c取得显示处理部14使显示部18显示的数据。或者，在作业结果信息16c中没有需要的数据的情况下，从处理装置所具备的存储装置取得需要的作业结果等。

显示处理部14在生产监视部11检测到发生了检查不合格时，基于检查结果取得部12取得的检查结果、作业结果取得部13取得的作业结果，使显示部18显示后述的检查结果显示画面。此外，显示处理部14将由输入部17(输入装置)指定的基板B的数据、或者安装有指定的部件识别信息的部件D的基板B的数据，作为后述的检查结果选择显示画面显示于显示部18。即，管理计算机3(管理装置)基于来自处理装置的信息指定显示数据的基板B，或者从输入装置指定显示数据的基板B，从存储装置读出所指定的基板B的数据并显示于显示部18。

在此，参照图3～图5，对通过显示处理部14显示于显示部18的检查结果显示画面的例子进行说明。在图3所示的显示部18的显示画面18a中，显示有包括检测出检查不合格的基板B的数据的检查结果表20。在检查结果表20中，设置有检查结果编号、日期、生产机型名、基板编号、部件名、部件编号、安装坐标、安装角度、印刷工序、吸附工序、搭载工序、回流工序的栏。检查结果编号是按检测到检查不合格的顺序赋予的编号。日期是对检测出检查不合格的基板B进行了处理的日期。生产机型名是检测出检查不合格的基板B的机型名。

基板编号是确定检测出检查不合格的基板B的信息。部件名以及部件编号是在检测出检查不合格的部位要安装或者已安装的部件D的部件名以及部件识别信息。安装坐标以及安装角度是在检测出检查不合格的部位要安装或者已安装的部件D的安装坐标(XY坐标)以及安装角度(旋转角度)。在印刷工序的栏中，设置有印刷时刻、印刷方向、印刷检查图像的栏。印刷时刻以及印刷方向是在焊料印刷装置M1中发现了检查不合格的基板B上印刷了焊料的时刻以及印刷时的刮板的移动方向(前、后)。

在图3中，在吸附工序的栏中设置有搭载时刻、搭载头编号、吸附嘴地址、吸附嘴类型、供给器地址、部件识别图像、修正值的栏。搭载时刻是在部件安装装置M3～M5中发现了检查不合格的基板B上搭载了部件D的时刻。搭载头编号是确定在发现了检查不合格的位置搭载了部件D的搭载头的信息，组合了确定部件安装装置M3～M5的信息和确定装置内的位置的信息。例如，检查结果编号为“1”的搭载头编号(“H1F”)组合了确定部件安装装置M3的信息“1”和确定前侧的信息“F”。在此，“前侧”是指图1中的近前侧。“后侧”是指图1中的里侧。

吸附嘴地址以及吸附嘴类型是确定在发现了检查不合格的部位搭载了部件D的吸附嘴于搭载头中被装配的位置的信息、以及确定所装配的吸附嘴的类型的信息。供给器地址是确定供给了搭载于发现了检查不合格的部位的部件D的供给器被装配的位置的信息。修正值是在发现了检查不合格的部位搭载部件D时使用的修正值(XY坐标、旋转角度)。

在图3中，在搭载工序的栏中设置有搭载后检查图像和偏移量的栏。偏移量是搭载于发现了由搭载后检查装置M6检查出的检查不合格的部位的部件D的X方向、Y方向、θ方向的位置偏移量。在回流工序的栏中设置有回流后检查图像的栏。

在印刷检查图像的栏中，以符号显示由印刷检查装置M2对发现了检查不合格的部位进行拍摄的检查图像的有无、检查结果。在搭载后检查图像的栏中，以符号显示由搭载后检查装置M6对发现了检查不合格的部位进行拍摄的检查图像的有无、检查结果。在回流后检查图像的栏中，以符号显示由回流后检查装置M8对发现了检查不合格的部位进行拍摄的检查图像的有无、检查结果。在部件识别图像的栏中，以符号显示由部件安装装置M3～M5的部件识别相机对搭载于发现了检查不合格的部位的部件D进行拍摄的识别图像的有无、吸附嘴的保持状态的优劣。

在图3中，印刷检查图像、搭载后检查图像、回流后检查图像、部件识别图像栏中显示的符号是相同的，以下说明其例子。“○”表示检查图像或者识别图像已完成拍摄，并且检查结果或者保持状态被判定为良。“●”表示检查图像或者识别图像已完成拍摄，并且检查结果或者保持状态被判定为不合格。检测出不合格而显示的“●”被闪烁显示，直至如后述那样操作该符号而转移到工序的详细的检查结果显示画面为止。由此，能够一目了然地识别出不合格部位的详细确认尚未完成。

“△”表示检查结果或者保持状态被判定为不合格的基板B在前工序中处于处理中，等待检查图像或者识别图像的拍摄。例如，在检查结果编号为“2”的回流后检查图像的栏中显示有“△”。这是因为，在搭载后检查装置M6中检测出搭载不合格的基板B在回流装置M7中处于回流作业中，基板B的回流后检查图像未拍摄。当在回流后检查装置M8中拍摄基板B的回流后检查图像时，回流后检查图像的栏的显示从“△”自动地变化为“○”或者“●”。

在图3中，若使用输入部17对印刷检查图像、或者搭载后检查图像、或者回流后检查图像、或者部件识别图像的栏中所显示的符号进行操作，则显示后述的印刷工序的检查结果显示画面、或者搭载工序的检查结果显示画面、或者省略说明的回流工序的检查结果显示画面、或者吸附工序的检查结果显示画面。在各工序的检查结果显示画面中，除了检测出检查不合格的基板B之外，还显示包括在该基板B的前一个进行了处理的基板(以下称为“前面紧邻的基板”)和在该基板B的后一个进行了处理的基板(以下称为“后面紧随的基板”)的图像的数据。此外，将检测出检查不合格的基板B作为指定的基板(第一基板)，将在基板B的前一个进行了处理的基板作为第二基板，将在基板B的后一个进行了处理的基板作为第三基板。

接下来，参照图4，对通过显示处理部14显示在显示部18的印刷工序的检查结果显示画面的例子进行说明。图4表示刚刚操作了在图3的检查结果表20中检查结果编号为“1”的印刷检查图像的栏中显示的符号(“●”)之后的显示部18的显示画面18a。在显示画面18a中显示有印刷工序的检查结果表21和“返回”按钮22。在印刷工序的检查结果表21中，除了检测出印刷不合格的基板B之外，还显示在基板B的前后进行了印刷作业的基板B的数据、即3片基板B的数据，使得能够容易地进行比较。若使用输入部17操作“返回”按钮22，则返回图3所示的检查结果显示画面。

在图4中，在印刷工序的检查结果表21中，设置有检查结果编号、日期、生产机型名、基板编号、部件名、部件编号、安装坐标、安装角度、印刷时刻、印刷方向、印刷检查图像的栏。检查结果编号、日期、生产机型名、基板编号、部件名、部件编号、安装坐标、安装角度、印刷时刻、印刷方向与图3所示的检查结果表20是相同的。检查结果编号为“前面紧邻”是在检测出检查不合格的基板B的前一个进行了处理(印刷作业)的基板，“后面紧随”是在检查到检查不合格的基板B的后一个进行了处理的基板。具体地说，检查结果编号为“1”是检测出检查不合格的基板编号为“BB022”的基板B，检查结果编号为“前面紧邻”是基板编号为“BB021”的基板，检查结果编号为“后面紧随”是基板编号为“BB023”的基板。

在印刷检查图像的栏中，显示了印刷检查装置M2拍摄到的检测出检查不合格的部位的检查图像23a～23c。在检查图像23a～23c中，包括检测出检查不合格的部位的焊盘24、前面紧邻的基板和后面紧随的基板的位于相同部位的焊盘24、以及被印刷的焊料25。前面紧邻的基板和后面紧随的基板被印刷的焊料25相对于焊盘24的位置、印刷状态满足检查基准，检查结果被判定为良。另一方面，在检测出检查不合格的基板B中，检查图像23b中的左侧的焊料25比检查基准少，判定为检查结果不合格(焊料不足)。

在图4中，在该例子中，检查结果为良的前面紧邻的基板和后面紧随的基板的印刷方向均为“后”，检查结果为不合格的基板B的印刷方向为“前”。由此，能够推测为处理不合格的原因起因于印刷时的刮板的方向。这样，管理计算机3(管理装置)从生产履历存储部16(存储装置)读出检测出检查不合格的基板B和前一个进行了处理的基板(前面紧邻的基板)以及后一个进行了处理的基板(后面紧随的基板)的数据，并显示于显示部18的相同画面(显示画面18a)。由此，能够在短时间内进行处理不合格的原因分析。

接下来，参照图5，对通过显示处理部14显示于显示部18的搭载工序的检查结果显示画面的例子进行说明。图5表示刚刚操作了在图3的检查结果表20中检查结果编号为“2”的搭载后检查图像的栏中显示的符号(“●”)之后的显示部18的显示画面18a。在显示画面18a上显示有搭载工序的检查结果表26和“返回”按钮27。在搭载工序的检查结果表26中，除了检测出搭载不合格的基板B之外，还显示了在基板B的前后进行了部件搭载作业的基板的数据、即3片基板的数据，使得能够容易地进行比较。若使用输入部17操作“返回”按钮27，则返回图3所示的检查结果显示画面。

在图5中，在搭载工序的检查结果表26中，代替印刷时刻、印刷方向、印刷检查图像的栏，设置了搭载时刻、搭载头编号、吸附嘴地址、吸附嘴类型、供给器地址、修正值、偏移量、搭载后检查图像的栏，除此之外与图4所示的印刷工序的检查结果表21相同。在检查结果编号为“前面紧邻”的搭载后检查图像的检查图像28a中，包括与搭载不合格的部件30搭载于相同部位的部件和连接该部件的焊盘29。在检查结果编号为“2”的搭载后检查图像的检查图像28b中，包括搭载不合格的部件30和连接部件30的焊盘29。

在检查结果编号为“后面紧随”的搭载后检查图像的栏28c中，由于搭载后检查装置M6尚未拍摄后面紧随的基板的搭载后检查图像，因此未显示检查图像。另外，若由搭载后检查装置M6拍摄了后面紧随的基板的搭载后检查图像，则在栏28c中自动地显示检查图像。这样，在搭载工序的检查结果表26中，检测到搭载不合格的基板B和前面紧邻的基板、后面紧随的基板的数据显示于相同画面(显示画面18a)，因此能够在短时间内进行搭载不合格(处理不合格)的原因分析。

在图2中，生产监视部11在检测到发生了检查不合格时，将从处理装置取得的检查不合格的基板B的作业结果以及检查结果，与在检测出检查不合格的部位要安装的部件D或者已安装的部件D的部件识别信息建立关联，作为检查不合格信息16d存储于生产履历存储部16。另外，生产监视部11也可以将前面紧邻的基板和后面紧随的基板的数据也存储为检查不合格信息16d。这样，生产履历存储部16(存储装置)将部件识别信息与数据建立关联地存储。

显示处理部14基于在生产履历存储部16中存储的检查不合格信息16d，使与所指定的检查不合格部位相关的数据显示于检查结果选择显示画面。在此，参照图6，对通过显示处理部14显示于显示部18的检查结果选择显示画面的例子进行说明。在显示画面18a中显示有检查结果选择表31、“印刷检查结果”图像框32、“吸附检查结果”图像框33、“搭载后检查结果”图像框34以及“回流后检查结果”图像框35。

在图6中，设置有检查结果选择表31的栏与图3所示的检查结果显示画面的检查结果表20几乎相同，但以下方面不同。即，在检查结果编号、日期、生产机型名、基板编号、部件名、部件编号的栏中设置有下拉按钮31a。通过操作下拉按钮31a来显示列表。通过选择所显示的列表的信息，能够选择在检查结果选择表31中显示的数据。在该例子中，与图3的检查结果表20相同，选择了部件编号(部件识别信息)为“D351-C14086”的数据。

此外，代替检查结果表20中的印刷检查图像、部件识别图像、搭载后检查图像、回流后检查图像的栏，设置有印刷检查结果、部件识别结果、搭载后检查结果、回流后检查结果的栏，检查图像或者识别图像显示于图像框32～35。而且，在印刷检查结果、部件识别结果、搭载后检查结果、回流后检查结果的栏中，显示检查结果或者保持状态不合格的“不合格”、良好的“良”。

检查结果选择显示画面在部件安装系统1中的安装基板的生产结束后，在对生产时的数据进行核对的跟踪时等使用。例如，在完成的安装基板通过电特性检查而成为不合格的情况下，在检查结果选择显示画面中对生产时的数据进行核对。例如，在图6所示的基板编号为“BB022”的安装基板因电特性检查而成为不合格时，通过参照检查结果选择显示画面，能够推断原因为在完成后的外观检查中无法发现的印刷工序中的焊料不足。

这样，管理计算机3(管理装置)从生产履历存储部16(存储装置)读出安装有指定的部件编号(部件识别信息)的部件D的基板B的数据并显示于显示部18。此外，显示部18将指定的基板B的多个处理装置(在此为焊料印刷装置M1、印刷检查装置M2、部件安装装置M3～M5、搭载后检查装置M6、回流后检查装置M8)中的数据显示于相同画面(显示画面18a)。

接下来，按照图7的流程，对管理计算机3(管理装置)的检查结果显示方法进行说明。在部件安装系统1中的安装基板的生产中，当生产监视部11检测到检查不合格时(在ST1中为是)，显示处理部14使显示部18在相同的显示画面18a中显示检测到不合格的基板B和前面紧邻的基板的数据(ST2)。接下来，若后面紧随的基板的检查工序(印刷工序、吸附工序、搭载工序、回流工序)结束而取得检查结果、检查图像、作业结果等数据(在ST3中为是)，则显示处理部14在显示画面18a上追加显示后面紧随的基板的数据(ST4)。

这样，若在生产履历存储部16(存储装置)中存储有后面紧随的基板(后一个进行了处理的基板)的数据，则管理计算机3(管理装置)从存储装置读出该数据，与检测出处理不合格的基板B(被指定的基板)一起显示于显示部18的相同画面(显示画面18a)。由此，能够在短时间内进行处理不合格的原因分析。

如上述说明的那样，部件安装系统1是具备对多个基板B依次进行处理的处理装置、存储处理装置中的处理的数据的存储装置(生产履历存储部16)、以及从存储装置读出所指定的基板B和在该基板的前一个进行了处理的基板(前面紧邻的基板)的数据并使其显示于显示部18的相同画面(显示画面18a)的管理装置(管理计算机3)的基板处理系统。由此，能够在短时间内进行印刷不合格、搭载不合格等处理不合格的原因分析。

另外，在上述说明中，基板处理系统是生产在印刷基板(基板B)上安装了部件D的安装基板的部件安装系统1，但基板处理系统并不限定于此。例如，也可以是在玻璃基板(基板B)上安装(处理)驱动器等部件D来生产液晶面板、有机EL面板的液晶面板生产系统。在该情况下，处理装置是向玻璃基板压接搭载部件D的接合装置、对压接后的痕跡、位置偏移进行检查的检查装置等。

产业上的可利用性

本公开的基板处理系统具有能够在短时间内进行处理不合格的原因分析的效果，在向基板安装部件的领域中是有用的。

Claims (13)

1.一种基板处理系统，具备：

处理装置，对多个基板依次进行处理；

存储装置，存储所述处理装置中的所述多个基板的处理的数据；以及

管理装置，从所述存储装置读出所指定的第一基板的数据和在所述第一基板的前一个进行了处理的第二基板的数据，并显示于显示部的相同画面。

2.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，

所述管理装置从所述存储装置读出在所述第一基板的后一个进行了处理的第三基板的数据，并显示于所述显示部。

3.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，

所述处理装置具备对基板进行拍摄的拍摄部，

所述数据包括由所述拍摄部拍摄到的图像。

4.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，

所述基板处理系统还具备输入装置，该输入装置对所述管理装置指定显示所述数据的基板。

5.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，

所述管理装置基于来自所述处理装置的信息，指定显示所述数据的基板。

6.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，

所述处理装置是进行印刷有焊料的基板的检查的印刷检查装置。

7.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，

所述处理装置是进行安装有部件的基板的检查的安装检查装置。

8.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，

所述存储装置将部件识别信息与所述数据建立关联地存储。

9.根据权利要求8所述的基板处理系统，其中，

所述管理装置从所述存储装置读出安装有所述部件识别信息的部件的基板的所述数据，并显示于所述显示部。

10.根据权利要求1～9中的任一项所述的基板处理系统，其中，

所述处理装置是多个处理装置中的一个，

所述显示部将所指定的基板在所述多个处理装置中的所述数据显示于相同画面。

11.一种基板处理系统，具备：

处理装置，对多个基板依次进行处理；

存储装置，存储所述处理装置中的所述多个基板的处理的数据；以及

管理装置，从所述存储装置读出所指定的第一基板的数据和在所述第一基板的后一个进行了处理的第三基板的数据，并显示于显示部的相同画面。

12.根据权利要求11所述的基板处理系统，其中，

所述管理装置基于来自所述处理装置的信息，指定显示所述数据的基板。

13.根据权利要求11或12所述的基板处理系统，其中，

若所述存储装置中存储有在所述第一基板的后一个进行了处理的所述第三基板的所述数据，则所述管理装置从所述存储装置读出所述第三基板的所述数据并显示于所述显示部。

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