CN111312841A - 一种抽真空装置及层压系统 - Google Patents

一种抽真空装置及层压系统 Download PDF

Info

Publication number
CN111312841A
CN111312841A CN201811521934.4A CN201811521934A CN111312841A CN 111312841 A CN111312841 A CN 111312841A CN 201811521934 A CN201811521934 A CN 201811521934A CN 111312841 A CN111312841 A CN 111312841A
Authority
CN
China
Prior art keywords
vacuum
communicated
pipeline
buffer
vacuumizing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201811521934.4A
Other languages
English (en)
Inventor
徐俊成
张大鹏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dongjun New Energy Co ltd
Original Assignee
Hanergy Mobile Energy Holdings Group Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hanergy Mobile Energy Holdings Group Co Ltd filed Critical Hanergy Mobile Energy Holdings Group Co Ltd
Priority to CN201811521934.4A priority Critical patent/CN111312841A/zh
Publication of CN111312841A publication Critical patent/CN111312841A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/042PV modules or arrays of single PV cells
    • H01L31/048Encapsulation of modules
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

本发明实施例提供的一种抽真空装置及层压系统,其中抽真空装置包括抽真空设备以及与所述抽真空设备的吸入端连通的多组支路,每组所述支路适于与待抽真空的腔室连通,且每组所述支路包括真空缓存器;第一管路,其第一端与所述抽真空设备连通,第二端与所述真空缓存器连通;第二管路,其第一端与所述真空缓存器连通,第二端与待抽真空的所述腔室连通。真空缓存器内保持一定的真空度可降低抽真空过程中由于抽真空设备的电压、电流的波动影响,由于每组支路上均设有真空缓存器,并且每组支路的抽真空是相互独立的,不同的腔室真空度不一致时不会对其他腔室的抽真空动作造成波动,不同的腔室之间不会互相干扰,抽真空过程快速稳定,效率较高。

Description

一种抽真空装置及层压系统
技术领域
本发明实施例涉及封装技术领域,具体涉及一种抽真空装置及层压系统。
背景技术
在太阳能电池组件封装工艺过程中,层压机属于核心工艺设备,层压机主要用于将多层物质(如背板、电池组件、防水胶膜等)按照一定的顺序压合在一起,压合完成的多层物质一般称之为组件。对于异形组件的层压过程,不可采用传统的对组件进行直接加压的方式来完成,因为该方式通常会将组件压碎。因此,异形组件通常的层压方法为:将需层压的异形组件放入一个密闭的腔室内,腔室的上下表面通常由硅胶板组成,硅胶板为软质材料。该密闭腔室同时配备真空抽气口,异形组件放置完毕后,对真空抽气口进行抽气。抽气后的上下硅胶板在大气环境之间的流路压作用下开始变形并贴合在异形组件上,而后在高温高压下完成异形组件的层压过程。因此,腔室的真空需求在层压过程中属于一个关键的技术,同时也需要配备相关的抽真空装置,以保证稳定的真空度。
对于抽真空装置,可用真空泵来完成,而若采用真空泵与真空抽气口直接相连通的话也会存在一些问题,比如真空泵由于受到电压、电流的波动,通常抽真空的过程中会存在一些波动,这种波动会对工艺过程造成一定的影响,同时,抽真空的速率也会受到一定的影响。
发明内容
因此,本发明实施例要解决的技术问题在于克服现有技术中的层压系统抽真空过程速率较慢及容易造成真空度波动的缺陷,从而提供一种抽真空过程快速稳定的抽真空装置及层压系统。
为解决上述技术问题,本发明实施例提供的一种抽真空装置,包括抽真空设备以及与所述抽真空设备的吸入端连通的多组支路,每组所述支路适于与待抽真空的腔室连通,且每组所述支路包括
真空缓存器;
第一管路,其第一端与所述抽真空设备连通,第二端与所述真空缓存器连通;
第二管路,其第一端与所述真空缓存器连通,第二端与待抽真空的所述腔室连通。
所述第二管路上设有控制所述腔室与所述真空缓存器之间的流路导通或断开的第一开关阀。
所述第二管路上还设有控制所述腔室与大气环境之间的流路导通或断开的第二开关阀,且所述第一开关阀与第二开关阀互锁。
所述第一开关为两通电磁阀,所述第二开关阀为先导式电磁阀。
所述抽真空设备的吸入端连通有真空抽取管路,所述真空抽取管路上设有多个对接口,每个所述第一管路的第一端与相应的所述对接口连通。
所述第一管路包括第一柔性连通管,所述第一柔性连通管的第一端与所述对接口连通,第二端与所述真空缓存器的输入端连通。
所述第二管路包括真空输送管路,所述真空输送管路通过第二柔性连通管与所述真空缓存器的输出端连通。
所述第一柔性连通管、第二柔性连通管均为波纹管。
所述真空抽取管路上还设有预留连通口。
所述真空抽取管路和/或所述支路上还设有真空度监测表。
还包括支架,所述支架包括多层固定板,每层所述固定板对应设置一个所述真空缓存器。
本发明实施例还提供一种层压系统,包括上述的一种抽真空装置,以及层压设备,所述层压设备包括多个层压腔室,待抽真空的所述腔室为所述层压腔室,每个所述层压腔室设有真空对接口,所述第二管路的第二端与所述真空对接口连通。
本发明实施例技术方案,具有如下优点:
1.本发明实施例提供的一种抽真空装置,真空缓存器内保持一定的真空度可在工作过程中对待抽真空的腔室快速进行抽真空动作,可降低抽真空过程中由于抽真空设备的电压、电流的波动影响,由于每组支路上均设有真空缓存器,可提高抽真空的效率,并且每组支路的抽真空是相互独立的,不同的腔室真空度不一致时不会对其他腔室的抽真空动作造成波动,不同的腔室之间不会互相干扰,抽真空过程快速稳定,效率较高。
2.本发明实施例提供的一种抽真空装置,所述第二管路上设有控制所述腔室与所述真空缓存器之间的流路导通或断开的第一开关阀,可对每组支路的抽真空进行单独控制,每组支路间不会互相干扰。
3.本发明实施例提供的一种抽真空装置,所述第二管路上还设有控制待抽真空的所述腔室与大气环境之间的流路连通或断开的第二开关阀,且所述第一开关阀与第二开关阀互锁,在抽真空动作执行的过程中第一开关阀打开,第二开关阀关闭,抽真空动作顺利进行,在抽真空动作停止过程中,该过程为破真空阶段,第一开关阀关闭,切断真空缓存器与腔室之间的真空输送通道,第二开关阀打开,腔室通过第二管路与大气环境之间的流路导通,完成破真空过程,有利于控制与配合抽真空过程的工作与停止。
4.本发明实施例提供的一种抽真空装置,所述第一开关为两通电磁阀,所述第二开关阀为先导式电磁阀,先导式电磁阀可缓慢打开,使破真空过程缓慢平稳。
5.本发明实施例提供的一种抽真空装置,所述抽真空设备的吸入端连通有真空抽取管路,所述真空抽取管路上设有多个对接口,每个所述第一管路的第一端与相应的所述对接口连通,方便第一管路与抽真空设备的连通。
6.本发明实施例提供的一种抽真空装置,所述第一管路包括第一柔性连通管,所述第一柔性连通管的第一端与所述对接口连通,第二端与所述真空缓存器的输入端连通,由于对接口、真空缓存器均为刚性结构,因此采用第一柔性连通管方便对接口与真空缓存器的连通,可以降低该抽真空装置的安装难度,并提高抽真空装置的运行稳定性。
7.本发明实施例提供的一种抽真空装置,所述第二管路包括真空输送管路,所述真空输送管路通过第二柔性连通管与所述真空缓存器的输出端连通,方便真空输送管路与真空缓存器的连通。
8.本发明实施例提供的一种抽真空装置,所述第一柔性连通管、第二柔性连通管均为波纹管,降低了该抽真空装置的安装难度,并提高抽真空装置的运行稳定性。
9.本发明实施例提供的一种抽真空装置,所述真空抽取管路上还设有预留连通口,可为其他待抽真空的结构提供真空源,结构简单紧凑。
10.本发明实施例提供的一种抽真空装置,所述真空抽取管路和/或所述支路上还设有真空度监测表,可实时监测该装置的真空度。
11.本发明实施例提供的一种抽真空装置,还包括支架,所述支架包括多层固定板,每层所述固定板对应设置一个所述真空缓存器,方便真空缓存器的固定安装。
12.本发明实施例提供的一种层压系统,包括上述的抽真空装置,以及层压设备,所述层压设备包括多个层压腔室,待抽真空的所述腔室为所述层压腔室,每个所述层压腔室设有真空对接口,所述第二管路的第二端与所述真空对接口连通,该层压系统可同时对多个层压腔室进行抽真空,可降低抽真空过程中由于抽真空设备的电压、电流的波动影响,抽真空过程快速稳定,效率较高。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明实施例的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例的实施例1中提供的一种抽真空装置的结构示意图;
图2为本发明实施例的实施例2中提供的一种层压系统的结构示意图;
附图标记说明:
1-真空缓存器;2-真空抽取管路;3-对接口;4-真空输送管路;51-第一柔性连通管;52-第二柔性连通管;6-两通电磁阀;7-先导式电磁阀;8-预留连通口;9-真空度监测表;10-支架;11-固定板;12-真空泵接口;13-层压设备;14-层压腔室;15-真空对接口。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明实施例一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明实施例中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明实施例保护的范围。
实施例1
本实施例提供一种抽真空装置,如图1所示,包括抽真空设备以及与所述抽真空设备的吸入端连通的多组支路,每组所述支路适于与待抽真空的腔室连通,且每组所述支路包括真空缓存器1、第一管路、第二管路,所述第一管路的第一端与所述抽真空设备连通,第一管路的第二端与所述真空缓存器1连通;所述第二管路的第一端与所述真空缓存器1连通,第二管路的第二端与待抽真空的所述腔室连通。
在本实施例中,所述抽真空设备为真空泵,真空缓存器1为真空罐。真空抽取管路2通过真空泵接口12与真空泵的吸入端连通,为方便第一管路与真空泵的连通,真空抽取管路2上设有多个对接口3,每个所述第一管路的第一端与相应的所述对接口3连通,第一管路包括第一柔性连通管51,第一柔性连通管51的第一端与所述对接口3连通,第二端与所述真空缓存器1的输入端连通,由于对接口、真空缓存器1均为刚性结构,因此采用第一柔性连通管51方便对接口与真空缓存器1的连通,可以降低该抽真空装置的安装难度,并提高抽真空装置的运行稳定性。所述第二管路包括真空输送管路,由于真空输送管路、真空缓存器1均为刚性结构,为方便两者的连通,所述真空输送管路通过第二柔性连通管52与所述真空缓存器1的输出端连通,在本实施例中,第一柔性连通管51、第二柔性连通管52均为波纹管。所述真空输送管路上设有控制所述腔室与所述真空缓存器1之间的流路导通或断开的第一开关阀,所述真空输送管路的T型旁路上设有控制所述腔室与大气环境之间的流路导通或断开的第二开关阀,在本实施例中,所述第一开关为两通电磁阀6,所述第二开关阀为先导式电磁阀7,且所述第一开关阀与第二开关阀互锁,互锁指两个电气开关互相控制,将一个电磁阀的继电器的常闭触点接入另一个电磁阀的线圈控制回路里,这样一个继电器得电动作,另一个继电器线圈上就不可能形成闭合回路。在抽真空动作执行的过程中第一开关阀打开,第二开关阀关闭,抽真空动作顺利进行,在抽真空动作停止过程中,该过程为破真空阶段,第一开关阀关闭,切断真空缓存器1与腔室之间的真空输送通道,第二开关阀打开,腔室通过第二管路与大气环境之间的流路连通,完成破真空过程,有利于控制与配合抽真空过程的工作与停止。为便于对其他工位上待抽取真空的结构提供真空源,在所述真空抽取管路2上还设有可与其他待抽真空的结构提供真空源的预留连通口8。为便于实时监控该装置的真空度,所述真空抽取管路2上还设有真空度监测表9。为便于多个真空缓存器1的安装,该抽真空装置还包括支架10,所述支架10包括多层固定板11,每层所述固定板11对应设置一个所述真空缓存器1。
在进行抽真空时,将每组支路上的第一开关阀打开,由于第一开关阀和第二开关阀互锁,第一开关阀打开时,第二开关阀关闭,真空泵工作可同时对多个待抽真空的腔室进行抽真空,抽真空效率较高,由于每一组支路上均设有真空缓存器1,真空缓存器1具有一定的真空度,可避免真空泵直接与腔室连通而造成波动,每一组支路的抽真空过程相互独立,不同的腔室真空度不一致时不会对其他腔室的抽真空动作造成波动,不同的腔室之间不会互相干扰,抽真空过程快速稳定,效率较高。在其中一组支路或多组支路抽真空完成后,将第一开关阀关闭,第二开关阀打开,真空输送管路与真空缓存器1之间的真空输送通道被切断,真空输送管路通过第二开关阀与大气环境之间的流路连通,完成破真空过程。
在可替换的实施例中,所述第一管路的第一端直接与抽真空设备连通。
在可替换的实施例中,所述波纹管可替换为其他的柔性连通管。
在可替换的实施例中,所述真空罐可替换为其他的结构作为真空缓存器1,在对待抽真空的腔室进行抽真空前,先对真空缓存器1进行抽真空,使其具有一定的真空度,然后再开启第一开关阀门对腔室进行抽真空。
在可替换的实施例中,所述两通电磁阀6可替换为其他的开关阀结构。
在可替换的实施例中,所述先导式电磁阀7可替换为其他的开关阀结构。
在可替换的实施例中,所述真空泵可替换为其他可进行抽真空的设备,比如水力式喷射器、蒸汽式喷射器等。
在可替换的实施例中,所述真空度监测表9设在所述支路上。
实施例2
本实施例提供一种层压系统,如图2所示,包括上述实施例中提供的抽真空装置,以及层压设备13,所述层压设备13包括多个层压腔室14,待抽真空的所述腔室为所述层压腔室14,每个所述层压腔室14设有真空对接口15,所述第二管路的第二端与所述真空对接口15连通。
该层压系统可同时对多个层压腔室14进行抽真空,可降低抽真空过程中由于抽真空设备的电压、电流的波动影响,抽真空过程快速稳定,效率较高。在抽真空完成后,腔室内的上下硅胶板在大气环境之间的流路压的作用下变形贴合到太阳能电池组件上,而后在高温高压下完成太阳能电池组件的层压过程。
显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明实施例创造的保护范围之中。

Claims (11)

1.一种抽真空装置,其特征在于,包括抽真空设备以及与所述抽真空设备的吸入端连通的多组支路,每组所述支路适于与待抽真空的腔室连通,且每组所述支路包括
真空缓存器(1);
第一管路,其第一端与所述抽真空设备连通,第二端与所述真空缓存器(1)连通;
第二管路,其第一端与所述真空缓存器(1)连通,第二端与待抽真空的所述腔室连通。
2.根据权利要求1所述的一种抽真空装置,其特征在于,所述第二管路上设有控制所述腔室与所述真空缓存器(1)之间的流路导通或断开的第一开关阀。
3.根据权利要求2所述的一种抽真空装置,其特征在于,所述第二管路上还设有控制所述腔室与大气环境之间的流路导通或断开的第二开关阀,且所述第一开关阀与第二开关阀互锁。
4.根据权利要求3所述的一种抽真空装置,其特征在于,所述第一开关为两通电磁阀(6),所述第二开关阀为先导式电磁阀(7)。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种抽真空装置,其特征在于,所述抽真空设备的吸入端连通有真空抽取管路(2),所述真空抽取管路(2)上设有多个对接口(3),每个所述第一管路的第一端与相应的所述对接口(3)连通。
6.根据权利要求5所述的一种抽真空装置,其特征在于,所述第一管路包括第一柔性连通管(51),所述第一柔性连通管(51)的第一端与所述对接口(3)连通,第二端与所述真空缓存器(1)的输入端连通。
7.根据权利要求6所述的一种抽真空装置,其特征在于,所述第二管路包括真空输送管路(4),所述真空输送管路(4)通过第二柔性连通管(52)与所述真空缓存器(1)的输出端连通。
8.根据权利要求5所述的一种抽真空装置,其特征在于,所述真空抽取管路(2)上还设有预留连通口(8)。
9.根据权利要求5所述的一种抽真空装置,其特征在于,所述真空抽取管路(2)和/或所述支路上还设有真空度监测表(9)。
10.根据权利要求1-4中任一项所述的一种抽真空装置,其特征在于,还包括支架(10),所述支架(10)包括多层固定板(11),每层所述固定板(11)对应设置一个所述真空缓存器(1)。
11.一种层压系统,其特征在于,包括权利要求1-10中任一项所述的一种抽真空装置,以及层压设备(13),所述层压设备(13)包括多个层压腔室(14),待抽真空的所述腔室为所述层压腔室(14),每个所述层压腔室(14)设有真空对接口(15),所述第二管路的第二端与所述真空对接口(15)连通。
CN201811521934.4A 2018-12-12 2018-12-12 一种抽真空装置及层压系统 Pending CN111312841A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811521934.4A CN111312841A (zh) 2018-12-12 2018-12-12 一种抽真空装置及层压系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811521934.4A CN111312841A (zh) 2018-12-12 2018-12-12 一种抽真空装置及层压系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111312841A true CN111312841A (zh) 2020-06-19

Family

ID=71161605

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811521934.4A Pending CN111312841A (zh) 2018-12-12 2018-12-12 一种抽真空装置及层压系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111312841A (zh)

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19700406A1 (de) * 1997-01-09 1998-07-16 Leybold Ag Verfahren zum Betreiben einer Vakuum-Beschichtungsanlage und Vakuum-Beschichtungsanlage zu seiner Durchführung
JP2006075850A (ja) * 2004-09-08 2006-03-23 Toyota Motor Corp 真空装置及び真空引き方法
US20090208649A1 (en) * 2006-04-18 2009-08-20 Christopher Mark Bailey Vacuum Pumping System
KR20100030776A (ko) * 2008-09-11 2010-03-19 (주)리드 태양 전지 모듈 제조를 위한 라미네이트 시스템 및 라미네이트 방법
WO2012086767A1 (ja) * 2010-12-22 2012-06-28 株式会社アルバック 真空排気装置及び真空処理装置及び真空排気方法
CN105892355A (zh) * 2016-03-31 2016-08-24 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司 瞬间真空提供装置
CN206217320U (zh) * 2016-10-31 2017-06-06 阿特斯阳光电力集团有限公司 光伏组件层压系统
CN107961603A (zh) * 2018-01-02 2018-04-27 浙江迦南科技股份有限公司 一种湿法混合制粒机过滤系统
CN209298136U (zh) * 2018-12-12 2019-08-23 汉能移动能源控股集团有限公司 一种抽真空装置及层压系统

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19700406A1 (de) * 1997-01-09 1998-07-16 Leybold Ag Verfahren zum Betreiben einer Vakuum-Beschichtungsanlage und Vakuum-Beschichtungsanlage zu seiner Durchführung
JP2006075850A (ja) * 2004-09-08 2006-03-23 Toyota Motor Corp 真空装置及び真空引き方法
US20090208649A1 (en) * 2006-04-18 2009-08-20 Christopher Mark Bailey Vacuum Pumping System
KR20100030776A (ko) * 2008-09-11 2010-03-19 (주)리드 태양 전지 모듈 제조를 위한 라미네이트 시스템 및 라미네이트 방법
WO2012086767A1 (ja) * 2010-12-22 2012-06-28 株式会社アルバック 真空排気装置及び真空処理装置及び真空排気方法
CN105892355A (zh) * 2016-03-31 2016-08-24 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司 瞬间真空提供装置
CN206217320U (zh) * 2016-10-31 2017-06-06 阿特斯阳光电力集团有限公司 光伏组件层压系统
CN107961603A (zh) * 2018-01-02 2018-04-27 浙江迦南科技股份有限公司 一种湿法混合制粒机过滤系统
CN209298136U (zh) * 2018-12-12 2019-08-23 汉能移动能源控股集团有限公司 一种抽真空装置及层压系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102713287B (zh) 真空排气装置、真空排气方法及基板处理装置
CN102259455A (zh) 一种太阳能组件层压机及其层压方法
JPWO2012086767A1 (ja) 真空排気装置及び真空処理装置及び真空排気方法
CN114645265B (zh) 抽真空系统、半导体工艺设备及抽真空的方法
CN211774911U (zh) 一种新型玻璃幕墙
CN111312841A (zh) 一种抽真空装置及层压系统
CN102336044B (zh) 太阳电池组件的层压方法
CN209298136U (zh) 一种抽真空装置及层压系统
CN110218003B (zh) 一种真空玻璃抽气装置及方法
CN107579017A (zh) 太阳能双玻组件的制备方法
CN217077778U (zh) 卷对卷镀膜系统用的抽真空机组
CN204570028U (zh) 真空镀膜设备
CN110332097B (zh) 一种真空玻璃抽气方法及抽气装置
CN102909936A (zh) 层压机的真空压力控制装置
CN210139684U (zh) 一种层压机
CN209338656U (zh) 真空缓冲装置、连接装置和柔性太阳能电池生产设备
CN106032085A (zh) 一种机电一体化的光伏层压机增压系统
CN202903565U (zh) 一种膜式液基薄层细胞制片机的压力控制装置
CN210419762U (zh) 一种真空玻璃的生产装置
CN218547279U (zh) 一种层压机的层压控制系统
CN215319042U (zh) 一种用于真空吸附过程的除水装置
WO2019001311A1 (zh) 一种抽真空装置及抽真空方法
CN201408646Y (zh) 变压器的抽真空装置
CN210687109U (zh) 一种一拖二真空设备用三向真空阀门
CN214395846U (zh) 双工位夹层玻璃生产设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20210111

Address after: 101400 Yanqi Street, Yanqi Economic Development Zone, Huairou District, Beijing

Applicant after: Beijing Huihong Technology Co., Ltd

Address before: Room 107, building 2, Olympic Village street, Chaoyang District, Beijing

Applicant before: HANERGY MOBILE ENERGY HOLDING GROUP Co.,Ltd.

TA01 Transfer of patent application right
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20211026

Address after: No.31 Yanqi street, Yanqi Economic Development Zone, Huairou District, Beijing

Applicant after: Dongjun new energy Co.,Ltd.

Address before: 101400 Yanqi Street, Yanqi Economic Development Zone, Huairou District, Beijing

Applicant before: Beijing Huihong Technology Co., Ltd

TA01 Transfer of patent application right
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination