CN111226040B - 真空泵 - Google Patents

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Abstract

本发明通过简便的机构高效地将润滑油供给至轴承构件。真空泵具有第一壳体、第二壳体、转子轴、润滑油刮板和轴承构件。上述第二壳体安装于上述第一壳体，与上述第一壳体一起形成贮存润滑油的空间部。上述转子轴贯通上述第一壳体。上述润滑油刮板收容于上述空间部，并安装于上述转子轴。上述轴承构件固定于上述第一壳体，将上述转子轴以能旋转的方式进行支承。在上述第一壳体设置有能向上述轴承构件供给上述润滑油的供给口。上述第二壳体具有供由上述润滑油刮板刮起的上述润滑油碰触的内壁上部。上述第二壳体在上述内壁上部设置有能使上述润滑油移动至上述供给口上的凹部。

Description

真空泵
技术领域
本发明涉及能进行真空容器的真空排气的真空泵。
背景技术
以旋转泵、机械增压泵等为代表的真空泵需要相对于对转子的转子轴进行支承的轴承构件进行润滑。故而，在收容轴承构件的壳体贮存润滑油，在转子轴的运转时使刮起润滑油的刮板旋转，从而将刮入壳体内的润滑油供给至轴承构件(例如，参照专利文献1)。
(在先技术文献)
(专利文献)
专利文献1：JP特开2012-162989号公报
发明内容
(发明要解决的课题)
在这样的真空泵中，如何通过简便的机构来对轴承构件高效地供给润滑油成为课题。
鉴于以上那样的事实，本发明的目的在于，提供一种真空泵，通过简便的机构高效地将润滑油供给至轴承构件。
(用于解决课题的技术方案)
为了达成上述目的，本发明的一形态所涉及的真空泵具备第一壳体、第二壳体、转子轴、润滑油刮板以及轴承构件。上述第二壳体安装于上述第一壳体，并与上述第一壳体一起形成贮存润滑油的空间部。上述转子轴贯通上述第一壳体。上述润滑油刮板收容于上述空间部，并安装于上述转子轴。上述轴承构件固定于上述第一壳体，并将上述转子轴以能旋转的方式进行支承。在上述第一壳体设置有供给口，通过上述供给口，能向上述轴承构件供给上述润滑油。上述第二壳体具有供由上述润滑油刮板刮起的上述润滑油碰触的内壁上部。上述第二壳体在上述内壁上部设置有凹部，通过所述凹部，能使上述润滑油移动至上述供给口上。
若是这样的真空泵，则由于在第二壳体的内壁上部设置有使润滑油移动至上述供给口上的凹部，因此由润滑油刮板刮起的润滑油在碰到内壁上部后，经由凹部而被引导至供给口上。由此，变得无需在第二壳体安装将润滑油引导至供给口上的油引导构件，能通过简便的机构高效地将润滑油供给至轴承构件。
在上述记载的真空泵，上述凹部可以具有第一凹部和第二凹部。上述第二凹部可以在与上述转子轴的轴向正交的第一方向上与上述第一凹部并排。上述第二凹部沿上述第一方向的宽度可以小于上述第一凹部沿上述第一方向的宽度。上述第一凹部的深度可以构成为从上述润滑油刮板往上述轴承构件而越来越浅。
若是这样的真空泵，则沿第一凹部的内表面流动的润滑油的流动会被第二凹部中断。中断的润滑油沿从润滑油刮板往轴承构件越来越浅的第一凹部、或者第二凹部进行移动，并被引导至第二壳体的供给口上。
在上述真空泵，上述第一凹部的内表面可以构成为朝上述凹部的深度方向凸的曲面或者凸的多面。
若是这样的真空泵，则由于第一凹部的内表面由朝深度方向凸的曲面等构成，因此碰触到第一凹部的润滑油变得不易从第一凹部的内表面垂下。
在上述真空泵，上述第二凹部的内表面可以构成为朝所述第二凹部的深度方向凸的曲面或者凸的多面。
若是这样的真空泵，则沿第一凹部的内表面流动的润滑油的流动被第二凹部切实地中断。中断的润滑油沿从润滑油刮板往轴承构件越来越浅的第一凹部、或者第二凹部进行移动，并被引导至第二壳体的供给口上。
在上述真空泵，上述第一凹部的上述内表面可以与上述第二凹部的上述内表面连接设置。在上述第一凹部的上述内表面与上述第二凹部的上述内表面的边界，上述第一凹部的上述内表面与上述第二凹部的上述内表面所形成的角度可以为90度以下。
若是这样的真空泵，则沿第一凹部的内表面流动的润滑油的流动被角度为90度以下的角部切实地中断。中断的润滑油沿从润滑油刮板往轴承构件越来越浅的第一凹部、或者第二凹部进行移动，并被引导至第二壳体的供给口上。
(发明效果)
如上所述，根据本发明，提供一种通过简便的机构高效地将润滑油供给至轴承构件的真空泵。
附图说明
图1是表示本实施方式所涉及的真空泵的概略剖视图。
图2是表示真空泵的壳体的概略立体图。
图3是表示真空泵的壳体的概略剖视图。
图4中(a)是表示真空泵的轴承构件的周边的概略立体图。(b)是表示对设置于壳体的凹部进行透视的概略俯视图。
图5是表示真空泵的动作的示意剖视图。
图6是表示真空泵的动作的示意剖视图。
图7是表示真空泵的动作的示意剖视图。
图8是表示比较例所涉及的真空泵的动作的示意剖视图。
图9是表示凹部的变形例的概略剖视图。
图10是表示凹部的变形例的概略剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图来说明本发明的实施方式。在各图中存在导入XYZ轴座标的情况。例如，X轴方向以及Y轴方向分别示出相互正交的水平方向，Z轴方向示出与这两个方向正交的铅直方向(重力方向)。
图1的(a)以及图1的(b)是表示本实施方式所涉及的真空泵的概略剖视图。图1的(a)是从上观察真空泵1的截面，图1的(b)示出了沿图1的(a)的A1-A2线的截面。
作为图1的(a)、(b)例示的真空泵1，作为一例，示出了机械增压泵。本实施方式所涉及的真空泵不限于机械增压泵，还可以是螺杆泵、旋转泵等。
如图1的(a)所示，真空泵1具备泵主体10、驱动部20和控制组件30。
(泵主体10)
泵主体10具有：壳体131、132、141、142、泵转子11、12、轴承构件151、152、161、162以及润滑油刮板170。
壳体131是筒状的容器，壳体132、141是间隔壁板。壳体132、141分别在X轴方向上固定于壳体131。通过壳体131、132、141来形成泵室P1，泵室P1的气密性得以确保。泵转子11、12收容于泵室P1。
泵转子11、12在Y轴方向上相互对置配置。泵转子11具有与X轴方向平行的转子轴110。泵转子12具有与X轴方向平行的转子轴120。转子轴110的一端部111侧由固定于壳体132的轴承构件151以能旋转的方式进行支承。转子轴110的另一端部112侧由固定于壳体141的轴承构件161以能旋转的方式进行支承。转子轴120的一端部121侧由固定于壳体132的轴承构件152以能旋转的方式进行支承。转子轴120的另一端部122侧由固定于壳体141的轴承构件162以能旋转的方式进行支承。另外，在泵转子11与泵转子12之间、以及在泵转子11、12与泵室P1的内壁之间形成有给定的间隙，分别以非接触地旋转的方式构成。
另外，在一端部111、121与壳体132之间、以及在另一端部112、122与壳体141之间，设置有防油进入机构(未图示)，以使液状的润滑油不会从泵室P1外进入泵室P1。
轴承构件151、152经由未图示的密封圈构件通过螺栓拧紧而由罩体153覆盖。另外，轴承构件161、162经由未图示的密封圈构件通过螺栓拧紧而由罩体163覆盖。轴承构件161、162由罩体163覆盖，从而供给口165、166各自的经过空间部S1的路径得以确保。
在真空泵1，例如，轴承构件151、152在推力方向上进行固定，轴承构件161、162配置为能在推力方向上移动。在Z轴方向上，在轴承构件161的上方，设置有能向轴承构件161供给润滑油的供给口165。同样，在轴承构件162的上方，设置有能向轴承构件162供给润滑油的供给口166。供给口165、166分别例如形成于壳体141。供给口165、166分别通向空间部S1的底部。
壳体142在与壳体131相反的一侧安装于壳体141。壳体142与壳体141一起形成贮存润滑油180的空间部S1。润滑油180贮存于空间部S1的底部。转子轴110的另一端部112和转子轴120的另一端部122在壳体141贯通。这些另一端部112、122到达空间部S1。进而，在另一端部112安装润滑油刮板170。润滑油刮板170收容于空间部S1。
如图1的(b)所示，润滑油刮板170的下侧被润滑油180浸渍。在润滑油刮板170设置有多个缺口部171。在润滑油刮板170基于转子轴110的旋转而旋转时，润滑油180通过缺口部171而从油面180s抬起，润滑油180从油面180s向上方刮起。刮起的润滑油180朝空间部S1的上方飞溅。
朝空间部S1的上方飞溅的润滑油180碰触壳体142的内壁。例如，润滑油180碰触位于油面180s上方的内壁上部142wu。而且，在真空泵1，在内壁上部142wu设置有凹部190，通过凹部190，能使润滑油180移动至供给口165、166上。凹部190具有凹部191和在Y轴方向上设置于凹部191的两侧的凹部192a、192b。另外，内壁上部142wu和比内壁上部142wu靠下侧的内壁下部142wd构成为曲面。设置于内壁上部142wu的凹部190的构成、作用的细节将后述。
另外，润滑油刮板170可以安装于转子轴120的另一端部122。进而，润滑油刮板170可以安装于另一端部112、122的两者。在此情况下，安装于另一端部112、122各自的润滑油刮板170被安装为彼此不接触。例如，2个润滑油刮板170被设置为在X轴方向上相互偏离。
另外，在本实施方式中，存在将壳体141作为第一壳体、且将壳体142作为第二壳体的情况。另外，存在将凹部191作为第一凹部、且将凹部192a、192b合起来作为第二凹部的情况。
(驱动部20)
驱动部20具有电动机21、同步齿轮22、23、壳体24和罩体25。
泵转子11的转子轴110的一端部111以及泵转子12的转子轴120的一端部121对壳体132进行贯通。在转子轴110的一端部111固定有电动机21。进而，在一端部111，在电动机21与轴承构件151之间固定有同步齿轮22。在转子轴120的一端部121，固定有与同步齿轮22啮合的同步齿轮23。
电动机21以及同步齿轮22、23收容于壳体24、132内。电动机21与壳体24之间保持着气密性。换言之，真空泵1是所谓的屏蔽电机泵(Canned Motor Pump)。在齿轮室G，收容有用于对同步齿轮22、23以及轴承构件151、161进行润滑的润滑油。润滑油的成分既可以与润滑油180相同，也可以不同。
壳体24的前端由罩体25包覆。在罩体25设置有能与外部气体连通的通孔，能通过与驱动部20相邻配置的未图示的空冷式或者水冷式部件来冷却电动机21。
基于电动机21的驱动，泵转子11、12经由同步齿轮22、23而相互反向旋转。例如，转数为500rpm以上且5000rpm以下。由此，将气体从设置于泵主体10的上侧的吸气口E1向设置于泵主体10的下侧的排气口E2进行移送。与未图示的真空腔的内部连通的吸气管连接于吸气口E1，未图示的排气管或者辅助泵的吸气口与排气口E2连接。
另外，在驱动部20也可以形成用于对轴承构件151、161进行润滑的供给口、在壳体132的内壁上部使润滑油移动至供给口的凹部。在此情况下，同步齿轮22、23兼具刮板的功能。进而，作为刮起润滑油的单元，可以在一端部111、121的至少一个安装润滑油刮板。
(控制组件30)
控制组件30利用收容在设置于壳体24的金属制的壳内的电路基板、搭载于其上的各种电子部件而构成。在电路基板，例如配置有逆变器电路等。由控制组件30例如控制泵转子11、12的转数。
壳体131、132、141、24例如由铸铁，不锈钢等铁系材料构成。壳体142例如由铝合金等非铁材料构成。这些壳体经由未图示的密封圈构件且通过螺栓拧紧而相互结合。另外，泵转子11、12通过由铸铁等铁系材料构成的双凸叶转子来构成。
另外，作为润滑油，为了满足真空泵1所要求的泵P1的到达压力，优选其蒸气压力低。例如，80℃的润滑油的蒸气压力优选为1×10-2Pa以下。作为具体的润滑油，应用氟油(运动粘度：97mm2/s(40℃)、13mm2/s(100℃))、矿物油(运动粘度：57mm2/s(40℃)、3mm2/s(100℃))、密度：0.88g/cm3(15℃)、闪点：250℃以上、流动点：-12.5℃以下、总酸值：0.05mgKOH/g)、合成油(ISO粘度等级：100，运动粘度：94.7mm2/s(40℃)、12.6mm2/s(100℃))、ASTM色：L1.0、密度：0.90g/cm3(15℃)、闪点：250℃以上、流动点：-10℃以下、总酸值：0.30mgKOH/g)的任一种。此外，这些润滑油的物理属性值只是一例，不限于这些值。
(壳体142)
图2的(a)以及图2的(b)是表示真空泵的壳体的概略立体图。图3是表示真空泵的壳体的概略剖视图。图2的(a)示出了壳体142内的概略立体图，图2的(b)示出了沿图2的(a)的B1-B2线而以X-Z平面来切断壳体142的剖视立体图。另外，图3示出了将壳体142以Y-Z轴平面切断的切断面。例如，图3示出了沿图2的(b)的D1-D2线的端面。
在壳体142，在与润滑油180的油面180s对置的内壁上部142wu，设置有凹部191。凹部192a、192b分别在与转子轴110(或者，转子轴120)的轴向(X轴方向)正交的方向(Y轴方向)上与凹部191并排。凹部191在Y轴方向上设置于凹部192a、192b之间。凹部192a位于供给口165的上方，凹部192b位于供给口166的上方。
例如，凹部191从与壳体142的端面142e相反的一侧朝着端面142e侧，成为从比空间部S1的顶面142c的高度高的位置起下降至顶面142c的高度的倾斜面。凹部192a、192b分别设置于凹部191的两侧，进而设置于顶面142c的两侧。从空间部S1的里侧延伸的凹部192a、192b分别到达端面142e，将端面142c的一部分切掉。
另外，在壳体142，构成具有凹部191与凹部192a所形成的锐角的前端的角部192ac，并构成具有凹部191与凹部192b所形成的锐角的前端的角部192ab。
凹部191的深度d1从润滑油刮板170往轴承构件161、162而逐渐变浅。凹部191的内表面191w与X轴方向所形成的角度θ1(°)例如被设定为3度(°)以上且20度以下。若角度θ1小于3度，则润滑油180难以沿凹部191移动，润滑油180从内表面191w垂下，因此不优选。另一方面，若角度θ1大于20度，则凹部191在X-Z面中的倾斜变得陡峭，需要将壳体142上部的壁厚构成得更厚，无法实现壳体142的小型化。
凹部191的内表面191w构成为朝凹部191的深度方向凸的曲面。关于内表面191w，从更多地附着润滑油180的观点出发，内表面191w的面积优选设计得更大。例如，内表面191w构成为曲面。例如，在将转子轴110的中心轴与转子轴120的中心轴之间的距离设为L(mm)的情况下，凹部191的内表面191w的Y-Z轴平面的曲率R(半径)被设定为L/2(mm)以上。若曲率R小于L/2(mm)，则需要将壳体142上部的壁厚构成得较厚，因此不优选。另一方面，内表面191w越呈平坦状，则润滑油180越难以沿凹部191移动，润滑油180会从内表面191w垂下，因此不优选。例如，曲率R被设定为300mm以上且350mm以下，但不限于该范围。
凹部192a的内表面192aw构成为朝凹部192a的深度方向凸的曲面。另外，凹部192b的内表面192bw构成为朝凹部192b的深度方向凸的曲面。凹部192a、192b各自沿Y轴方向的宽度小于凹部191沿Y轴方向的宽度。凹部192a与凹部192b例如以B1-B2线为基准而呈线对称。
凹部192a与凹部192b也可以以B1-B2线为基准而非线对称地进行配置。例如，凹部192a以及凹部192b的截面形状可以不同，凹部192a以及凹部192b的各自的曲率可以不同，也可以凹部192a以及凹部192b的截面形状相同，而各自距凹部191中心的距离不同。在本实施方式的图中，作为一例，例示了凹部192a与凹部192b以B1-B2线为基准而呈线对称的构成。
例如，凹部192a、192b的各自的内表面192aw、192bw构成为朝凹部192a、192b的深度方向凸的曲面。例如，内表面192aw、192bw的Y-Z轴平面的曲率R(半径)为4mm以上且6mm以下。内表面192aw、192bw的Y-Z轴平面的曲率R(半径)既可以相同，也可以不同。另外，内表面191aw、191bw与X轴方向所形成的角度与角度θ1(°)既可以相同，也可以不同。内表面191aw与X轴方向所形成的角度和191bw与X轴方向所形成的角度既可以相同，也可以不同。
凹部191的内表面191w与凹部192a的内表面192aw和凹部192b的内表面192bw连接设置。在此，Y-Z平面中的内表面191w与内壁上部142wu之间的宽度W被设定为6mm以上。若Y-Z平面中的内表面191w与内壁上部142wu之间的宽度W比6mm窄，则沿凹部191的内表面191w流动的润滑油180将不会被凹部192a、192b阻止，因此不优选。
进而，在凹部191的内表面191w与凹部192a的内表面192aw的边界，内表面191w与内表面192aw所形成的角度θ21(°)被设定为90°以下。另外，在凹部191的内表面191w与凹部192b的内表面192bw的边界，内表面191w与内表面192bw所形成的角度θ22(°)被设定为90°以下。若角度θ21、θ22分别大于90°，则角度θ21、θ22成为钝角，沿凹部191的内表面191w流动的润滑油180将不会被凹部192a、192b阻止，因此不优选。
(轴承构件161、162的周边的构成)
图4的(a)是表示真空泵的轴承构件的周边的概略立体图。图4的(a)示出了沿图1的(a)的C1-C2线的截面。图4的(b)是对设置于壳体的凹部进行透视的概略俯视图。图4的(b)描述了将设置于壳体142的凹部191、192a、192b从上面进行透视的状态。
如图4的(a)所示，在轴承构件161的上方，设置有狭缝状的供给口165，在轴承构件162的上方，设置有狭缝状的供给口166。
例如，在润滑油180从供给口165的上方向供给口165滴下的情况下，润滑油180因自重而经由供给口165到达轴承构件161。此后，润滑油180浸渍轴承构件161，进而经由配置于轴承构件161的下方的返回口167而返回至空间部S1。
同样，在润滑油180从供给口166的上方向供给口166滴下的情况下，润滑油180因自重而经由供给口166到达轴承构件162，在对轴承构件162进行浸渍后，经由配置于轴承构件162的下方的返回口(未图示的)而返回至空间部S1。
另外，如图4的(b)所示，利用凹部191和凹部192a而构成的角部192ac的一部分位于供给口165的正上方，利用凹部191和凹部192b而构成的角部192bc的一部分位于供给口166的正上方。例如，角部192ac、192bc最低的部分位于供给口165、166的正上方。另外，X轴方向上的润滑油刮板170与凹部191的端之间的距离d2比润滑油刮板170的厚度长。由此，由润滑油刮板170刮起的润滑油180将高效地碰触内表面191。
(真空泵1的动作)
图5的(a)～图6是表示真空泵的动作的示意剖视图。图5的(a)～图6中以箭头示意性地示出了润滑油180移动的方向。
如图5的(a)所示，在润滑油刮板170旋转时，润滑油180通过缺口部171而从油面180s抬起，润滑油180保持给定的运动能量而朝空间部S1的上方飞溅。另外，润滑油180具有给定的粘性，且相对于构成壳体142的金属材料具有给定的润湿性。故而，在空间部S1的内壁(内壁上部142wu、内壁下部142wd)，形成基于润滑油180的油膜，油膜表面(油膜与空间部S1对置的面)保持对入射的油滴的运动能量、油膜表面的表面张力以及基于油膜的自重的位置能量进行调节后的形状。而且，附着于空间部S1的内壁的润滑油180在保持油膜表面的表面张力的同时，以油膜的位置能量为驱动力，沿空间部S1的内壁而向下方流落。
例如，关于附着于内壁上部142wu后的润滑油180的移动，划分为Y-Z轴平面与X-Z轴平面进行说明。在本实施方式中，润滑油180在Y-Z轴平面上移动，进而还在X-Z轴平面上移动。
首先，针对润滑油180在Y-Z轴平面上的移动进行说明。图5的(b)示出了空间部S1中的润滑油180在Y-Z轴平面上的移动。
朝空间部S1的上方不断飞溅的润滑油180的油滴例如具有将润滑油刮板170的离心力与作用于润滑油刮板170的旋转方向的力进行合成后的运动能量。故而，附着于空间部S1的右侧的内壁的油膜从上述油滴受到向空间部S1的右侧移动的力(运动能量)，附着于空间部S1的左侧的内壁的油膜从上述油滴受到向空间部S1的左侧移动的力。而且，润滑油180一边接受上述运动能量，一边由油膜表面的表面张力进行支承，同时意图向其位置能量减少的方向移动。
因此，由于内壁上部142wu构成为曲面，故从凹部192a、192b碰触到下侧的内壁上部142wu(空间部S1的横向部分)的润滑油180不会立刻垂下，而是一边保持油膜表面的表面张力一边减少位置能量，从而沿内壁上部142wu流落。进而，由于内壁上部142wu下的内壁上部142wd也构成为曲面，因此润滑油180沿内壁下部142wd流落，并再次返回至空间部S1的底部。
另一方面，从凹部192a、192b碰触到上侧的内壁上部142wu即碰触到凹部191的润滑油180当中的、碰触到比凹部191的中心靠右侧的润滑油180从基于油滴的运动能量中受到向空间部S1的右侧移动的力，碰触到比凹部191的中心靠左侧的润滑油180从基于油滴的运动能量中受到向空间部S1的左侧移动的力。而且，凹部191的内表面191w构成为朝上凸的曲面，因此润滑油180一边保持油膜表面的表面张力一边使自己的位置能量减少，同时不从内表面191w立刻垂下，而是沿内表面191w朝凹部192a或者凹部192b流落。
然而，凹部191的内表面191w因凹部192a、192b的存在而中断，因此润滑油180无法继续沿内壁上部142wu流下，润滑油180的流动在凹部192a、192b中断。
例如，内表面191w与内壁上部142wu基于凹部192a(或者，凹部192b)的存在而在Z-Y平面上隔着6mm以上的宽度W进行配置，内表面191w与内表面192aw所形成的角度θ21(°)以及内表面191w与内表面192bw所形成的角度θ22(°)被设定为90°以下。
由此，即使在润滑油180的粘度因温度上升而变得极低的情况下或者在润滑油刮板170的转数变快而碰触到内表面191w的润滑油180的运动能量变得极高的情况下，也切实地防止附着于内表面191w的润滑油180越过凹部192a(或者，凹部192b)而到达内壁上部142wu的现象。
例如，在内表面191w与内壁上部142wu在Z-Y平面上的宽度W比6mm窄的情况下，或者角度θ21、θ22大于90°的情况下，关于沿内表面191w因其自重而集成于凹部192a、192b的润滑油180，集成引起的油膜的厚度的增大也设想为起因之一，但由于受到基于油滴的运动能量，因此油膜有可能越过间隙(凹部192a、192b)进行连接而移动至内壁上部142wu。因此，无法获得向供给口165、166供给的润滑油180的量。
与之相对，在本实施方式中，将内表面191w与内壁上部142wu在Z-Y平面上的宽度W设定为6mm以上，且将角度θ21、θ22设定为90°以下。由此，沿内表面191w流动的润滑油180的流动会被凹部192a、192b阻止，而在角部192ac的跟前以及角部192ab的跟前停止。换言之，沿内表面191w往下流的润滑油180会在角部192ac、192bc附近被捕捉。
尤其是关于凹部192a、192b的各自的内表面192aw、192bw，内表面192aw、192bw的Y-Z轴平面的曲率R(半径)被设定为4mm以上且6mm以下。也就是，凹部192a、192b具有使润滑油180的流动停止的适当的深度。
例如，在沿内表面191w流落的润滑油180成为连续体而流至内表面192aw(或者内表面192bw)时，若内表面192aw(或者内表面192bw)的曲率R(半径)小于4mm，则凹部192a(或者凹部192b)的深度构成为浅至8mm以下，因此润滑油180维持连续体的形态还沿内表面192aw(或者内表面192bw)流动，经由内壁上部142wu以及内壁下部142wd而到达空间部S1的底部。
与之相对，在本实施方式中，内表面192aw、192bw构成为具有4mm以上且6mm以下的曲率R(半径)，且凹部192a、192b的深度深至8mm以上且12mm以下。故而，即使润滑油180从内表面191w保持运动能量而将要从内表面192aw(或者内表面192bw)跳起，跳起的运动能量也会与凹部192a(或者凹部192b)处的润滑油180的自重相对抗，该跳起被阻止。即，润滑油180在角部192ac、192bc附近被切实地捕捉。
尤其如图6所示，沿Z轴方向的法线V1与角部192ac的凹部192a侧的切线T1所形成的角度θ构成为大于0度。故而，沿内表面191w流动且将要在凹部192a的内表面192aw回流的润滑油180的运动能量与因自重而沿凹部192a的内表面192aw流落的润滑油180的运动能量相对抗，润滑油180在角部192ac附近被捕捉。
进而，在本实施方式中，在空间部S1，在由润滑油刮板170刮起的润滑油180的量根据左右而不同的情况下，还能将凹部192a以及凹部192b以B1-B2线为基准非线对称地配置，从而均衡地调整沿内表面191w的左右流动的润滑油180的量。
接下来，说明润滑油180在X-Z轴平面的移动。图7的(a)、(b)示出了空间部S1中的润滑油180在Y-Z轴平面的移动。虽然图7的(a)、(b)示出了凹部192a、192b当中的凹部192b侧，但在凹部192a侧也能发生同样的现象。
如图7的(a)所示，由于凹部191朝着轴承构件162斜下地构成，因此在凹部192b的角部192bc附近被捕捉到的润滑油180沿角部192bc的表面朝轴承构件162侧往下流。即，润滑油180在X轴方向上沿凹部191至凹部192b移动，被引导至壳体142的供给口166上。
接下来，到达供给口166上的润滑油180如图7的(b)所示，因自重而垂下至供给口166，对轴承构件162进行浸渍。此后，润滑油180经由轴承构件162下的返回口168而返回至空间部S1的底部。
在真空泵1，重复该一系列的润滑油180的移动，将润滑油180高效地供给至轴承构件161、162。
在此，图8是表示比较例所涉及的真空泵的动作的示意剖视图。
在比较例所涉及的真空泵500的内壁上部142wu，未形成凹部191、192a、192b。在这样的真空泵500，在由润滑油刮板170刮起的润滑油180碰触到内壁上部142wu时，由于与油面180s对置的内壁上部142wu平坦，因此与润滑油180在内壁上部142wu湿润蔓延相比，表面张力占优势从而变得容易因自重而落下。由此，润滑油180不沿内壁上部142wu移动，而从平坦部分142wp立刻垂下至空间部S1的底部。
因此，在比较例中，到达供给口165、166上的润滑油180的量减少，向轴承构件161、162供给润滑油180的效率下降。
与之相对，在本实施方式所涉及的真空泵1，在壳体142的内壁上部142wu设置有用于使润滑油180移动至供给口165、166上的凹部190(凹部191、192a、192b)。由此，由润滑油刮板170刮起的润滑油180碰触到内壁上部142wu后，经由凹部190而高效地被引导至供给口165、166上。其结果是，在真空泵1，向轴承构件161、162高效地供给润滑油180。
尤其在真空泵1，变得无需在供给口165、166上安装用于将润滑油180引导至供给口165、166上的构件(例如，油引导构件)，能通过设置于壳体142的简便的机构(凹部190)来高效地将润滑油180供给至轴承构件161、162。
另外，由于润滑油180高效地被供给至轴承构件161、162，因此基于润滑油180的轴承构件161、162的冷却效果增加。
另外，壳体142若使用专用的模具，则能通过浇铸而形成为一体物。若使用专用的模具，则形成凹部190不需要复杂的加工。即，壳体142能简便地形成。
(凹部191、192a、192b的变形例)
图9的(a)以及图9的(b)是表示凹部的变形例的概略剖视图。
凹部191的内表面191w可以由朝深度方向凸的多边面构成。例如，在图9的(a)所示的真空泵2的例子中，Y-Z轴平面中的内表面191w的截面形状呈三角形状。即使是这样的构成，由于凹部191的内表面191w构成为朝下倾斜，因此润滑油180不会从内表面191w立刻垂下，而是沿内表面191w流落。润滑油180此后向供给口165、166的上方移动。
另外，凹部192a、192b的内表面192aw、192bw可以由朝深度方向凸的多边面构成。例如，在图9的(b)所示的真空泵3的例子中，Y-Z轴平面中的内表面192aw、192bw的截面形状呈矩形形状。即使是这样的构成，角度θ21、θ22也为90°以下，沿凹部191的内表面191w流动的润滑油180将在角部192ac、192bc附近被捕捉。
图10是表示凹部的变形例的概略剖视图。
图10所示的凹部192a具有捕捉润滑油180的捕捉部192t。捕捉部192t与凹部192a同样，以朝供给口165下降的方式倾斜。由此，即使沿凹部191的内表面191w流动的润滑油180回流到凹部192a的内表面192aw而欲流向上部内壁142wu，润滑油180也会被捕捉部192t捕捉。由此，能供给至供给口165的润滑油180的量进一步增加。由于壳体142由铸件构成，因此这样的加工能简便地完成。在凹部192b也可以设置具有同样功能的捕捉部192t。
虽然以上说明了本发明的实施方式，但本发明不仅限于上述实施方式而能施加各种变更，这是不言自明的。各实施方式不限于独立的形态，能在技术上尽量进行复合。
(标号说明)
1、2、3、500 真空泵10 泵主体
11、12 泵转子
20 驱动部
21 电动机
22、23 同步齿轮
24、131、132、141、142 壳体
25 罩体
30 控制组件
110、120 转子轴
111、121 一端部
112、122 另一端部
142c 顶面
142e 端面
142wu 内壁上部
142wd 内壁下部
142wp 平坦部分
151、152、161、162 轴承构件
153、163 罩体
165、166 供给口
167、168 返回口
170 润滑油刮板
171 缺口部
180 润滑油
180s 油面
190、191、192a、192b 凹部
191w、192aw、192bw 内表面
192ac、192bc 角部
192t 捕捉部
S1 空间部
P1 泵室
E1 吸气口
E2 排气口。

Claims (4)

1.一种真空泵，具备：
第一壳体；
第二壳体，其安装于所述第一壳体，并与所述第一壳体一起形成贮存润滑油的空间部；
转子轴，其贯通所述第一壳体；
润滑油刮板，其收容于所述空间部，并安装于所述转子轴；以及
轴承构件，其固定于所述第一壳体，并将所述转子轴以能旋转的方式进行支承，
在所述第一壳体设置有供给口，通过所述供给口，能向所述轴承构件供给所述润滑油，
所述第二壳体具有供由所述润滑油刮板刮起的所述润滑油碰触的内壁上部，在所述内壁上部设置有凹部，通过所述凹部，能使所述润滑油移动至所述供给口上，
所述凹部具有第一凹部和第二凹部，
所述第二凹部在与所述转子轴的轴向正交的第一方向上与所述第一凹部并排，
所述第二凹部沿所述第一方向的宽度小于所述第一凹部沿所述第一方向的宽度，
所述第一凹部的深度构成为从所述润滑油刮板往所述轴承构件而越来越浅。
2.根据权利要求1所述的真空泵，其中，
所述第一凹部的内表面构成为朝所述第一凹部的深度方向凸的曲面或者朝所述深度方向凸的多边面。
3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其中，
所述第二凹部的内表面构成为朝所述第二凹部的深度方向凸的曲面或者朝所述深度方向凸的多边面。
4.根据权利要求1或2所述的真空泵，其中，
所述第一凹部的所述内表面与所述第二凹部的所述内表面连接设置，
在所述第一凹部的所述内表面与所述第二凹部的所述内表面的边界，所述第一凹部的所述内表面与所述第二凹部的所述内表面所形成的角度为90度以下。
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