CN111208323A - 用于测试被测设备的测试插座 - Google Patents

Abstract

提供了一种测试插座，该测试插座将具有多个端子的被测设备电连接到测试装置的测试板。测试插座包括多个插针、针支撑件、弹性导电片、壳体、推动器和锁存设备。多个插针被连接到测试板。针支撑件被设置在测试板上，并且将多个插针保持在垂直定向上。弹性导电片可拆卸地安装在针支撑件的顶部上，而被测设备被安置在弹性导电片上。弹性导电片包括在垂直方向上与多个端子和多个插针接触的多个弹性导电部分。壳体耦合至针支撑件并且容纳弹性导电片。推动器耦合至壳体以便可在垂直方向上移动。锁存设备可操作性地连接到壳体和推动器，并且与推动器的运动互锁而可释放地将被测设备固定到弹性导电片。

Description

用于测试被测设备的测试插座

技术领域

本公开涉及测试插座，该测试插座电连接被测设备和测试装置。

背景技术

测试插座在半导体器件的测试过程中使用。测试插座电连接半导体器件和测试装置。测试插座被安装在测试装置上，并容纳待测试的半导体器件。测试插座与半导体器件和测试装置接触。测试插座将测试装置的测试信号传送到半导体器件，并将半导体器件的回复信号传送到测试装置。

通过在半导体器件的测试之中的老化测试，能够测试半导体芯片的功能。同样，可以检查半导体芯片是否在高温下异常地工作。在老化测试期间，半导体器件在将高温和高电场施加到半导体器件的环境下工作。因此，发生故障的半导体器件在老化测试的过程中不能承受恶劣条件，因此产生故障。已通过老化测试的无缺陷半导体器件能够确保长期使用寿命。韩国专利申请公开第10-2012-0054548号提出了一种可用于此类老化测试的测试插座。

发明内容

由本发明所解决的问题

在用于老化测试的常规测试插座中，金属制的插针直接与半导体器件的端子和测试装置的端子接触，并且插针通过焊接接合到测试装置的端子。根据此类测试插座，由于插针与半导体器件的端子之间的直接接触，因此插针损坏了半导体器件的端子，并且在执行了许多测试之后，插针被损坏。要更换损坏的插针，必须将测试插座与测试装置分离开。由于插针被接合到测试装置，因此有必要将热量施加到测试装置并且然后将插针与测试装置分离开。除此之外，还有必要将未使用的插针接合到测试装置。此外，频繁施加到测试装置的热损伤会缩短测试装置的使用寿命。

用于老化测试的常规测试插座采用相对长的插针，并且进一步采用用于将插针连接到用于老化测试的印刷电路板的连接器结构。因此，半导体器件的端子与测试装置的端子之间的信号传输路径变长，从而导致测试特性的劣化。

这样，用于老化测试的常规测试插座具有与半导体器件直接接触的插针。因此，常规测试插座损坏半导体器件或插针、或者损坏测试装置。同样，常规测试插座增加维护成本并且不确保容易的更换工作。此外，用于老化测试的常规测试插座具有相对长的信号传输路径，并且不保证由此的高度可靠的测试。

本公开的一个实施例提供了一种测试插座，该测试插座不损坏被测设备，并且可通过仅更换部分来重复使用。本公开的一个实施例提供了一种测试插座，该测试插座具有被测设备与测试装置之间的最短信号传输路径。

解决这些问题的手段

本公开的实施例涉及一种测试插座，该测试插座将具有多个端子的被测设备电连接到测试装置的测试板。根据一个实施例的测试插座包括多个插针、针支撑件、弹性导电片、壳体、推动器和锁存设备。多个插针被连接到测试板。针支撑件被设置在测试板上，并且将多个插针保持在垂直定向上。弹性导电片可拆卸地安装在针支撑件的顶部上，而被测设备被安置在弹性导电片上。弹性导电片包括在垂直方向上与多个端子和多个插针接触的多个弹性导电部分。壳体耦合至针支撑件并且容纳弹性导电片。推动器耦合至壳体以便可在垂直方向上移动。锁存设备可操作性地连接到壳体和推动器，并且通过与推动器的运动互锁来将被测设备可释放地固定到弹性导电片。

在一个实施例中，通过在垂直方向上彼此接触的多个弹性导电部分和多个插针，在垂直方向上形成多个端子与测试板之间的信号传输路径。

在一个实施例中，针支撑件包括：针框，其将多个插针保持在垂直定向；以及多个针孔，多个插针分别嵌合到这些针孔，这些针孔从针框的上表面贯穿针框到针框的下表面。

在一个实施例中，针支撑件进一步包括支撑框，该支撑框被安装在测试板上并且支撑针框。壳体被配置成用于容纳弹性导电片和针框，并且可释放地耦合至支撑框。

在一个实施例中，支撑框包括上表面和从上表面突出的多个配合突起。壳体包括：下表面，其通过表面接触而与支撑框的上表面接触；以及多个配合凹槽，其从下表面凹入，并且多个配合突起被嵌合到配合凹槽中。

在一个实施例中，支撑框可包括可释放地耦合至针框的弹性接合部分。支撑框可包括可释放地耦合至壳体的弹性接合部分。壳体可以通过螺栓可释放地耦合至支撑框。

在一个实施例中，弹性导电片包括第一配合部分，并且针支撑件包括可与第一配合部分配合的第二配合部分。因此，通过第一配合部分和第二配合部分的配合，弹性导电片可拆卸地安装在针支撑件上。第一配合部分可包括形成在弹性导电片中的配合孔，并且第二配合部分可包括嵌合到配合孔的配合突起。配合孔可具有圆形、三角形、四边形、五边形、六边形和椭圆形中的一种。

在一个实施例中，弹性导电片包括：弹性绝缘部分，其在水平方向上将多个弹性导电部分间隔开且绝缘，并且由弹性聚合物材料构成；以及框架构件，其支撑弹性绝缘部分。壳体包括从壳体的上表面突出且覆盖框架构件的罩部分。

在一个实施例中，测试插座包括设置在壳体与推动器之间的偏置设备。偏置设备将推动器向上偏置，以将推动被测设备的力施加到锁存设备。

在一个实施例中，锁存设备被配置用于通过与推动器的向上运动互锁而将被测设备朝向弹性导电片推动，并且通过与推动器的向下运动互锁而释放被测设备的推动。

本发明的作用

根据本公开的一个实施例的测试插座具有弹性导电片，该弹性导电片被设置在被测设备与插针之间且与它们两者连接。弹性导电片吸收在被测设备的测试期间产生的外力，从而防止在被测设备的测试期间对插针和测试板的损坏。根据一个实施例中的测试插座，当弹性导电片达到其使用寿命时，可以在测试现场容易地更换弹性导电片。根据一个实施例中的测试插座，在垂直方向上彼此接触的插针和弹性导电部分在垂直方向上形成直线信号传输路径。因此，测试插座设置有被测设备与测试板之间的最短信号传输路径。根据一个实施例中的测试插座，壳体和针支撑件彼此配合且通过可释放的接合耦合彼此耦合。因此，壳体可以以最小高度容纳弹性导电片。因此，根据一个实施例的测试插座可以具有具有减小的高度尺寸的紧凑结构且使得部件能够容易地且精确地被耦合。根据一个实施例中的测试插座，弹性导电片和针支撑件通过配合组件彼此配合，并且因此测试插座实现了弹性导电部分和插针的容易且精确的对准。

附图说明

图1示意性地示出了应用根据一个实施例的测试插座的示例。

图2是根据一个实施例的测试插座的透视图。

图3是沿图2的线3-3所得到的剖视图。

图4是根据一个实施例的测试插座的局部分解透视图。

图5是示出根据一个实施例的弹性导电片和针框的透视图。

图6是示出图5所示的弹性导电片的一部分的放大透视图。

图7是根据一个实施例的测试插座的另一局部透视图。

图8是类似于图3的剖视图并且示出了被测设备被安置在弹性导电片上。

图9是根据进一步实施例的测试插座的分解透视图。

图10A是示出弹性导电片的配合孔的一个示例的透视图。

图10B是示出弹性导电片的配合孔的进一步示例的透视图。

图10C是示出弹性导电片的配合孔的另一个示例的透视图。

图10D是示出弹性导电片的配合孔的另一个示例的透视图。

图10E是示出弹性导电片的配合孔的另一个示例的透视图。

图10F是示出弹性导电片的配合孔的另一个示例的透视图。

具体实施方式

为了解释本公开的技术思想的目的而说明本公开的实施例。根据本公开的权利范围不限于以下呈现的实施例或此类实施例的详细描述。

除非另有限定，本公开中所有技术术语和科学术语包括本领域普通技术人员通常理解的含义或定义。选择本公开中的所有术语是为了更清楚地描述本公开，而不是为了限制本公开的范围。

如本公开中所使用，除非在含有此类表达的短语或句子中另外提及，诸如“包含”“包括”“具有”等之类的表达应理解为具有涵盖其他实施例的可能性的开放式术语。

除非另有说明，本公开中描述的单数表达可以具有复数含义，这也将适用于权利要求中记载的单数表达。

本公开中使用的诸如“第一”、“第二”等之类的表达用于分开多个元件，而不旨在限制元件的顺序或重要性。

在本公开中，应当将一个元件“连接”或“耦合”到另一个元件的描述理解为指示一个元件可以直接连接或耦合到另一个元件，或者一个元件可以经由新元件连接或耦合到另一个元件。

在本公开中使用的方向指示术语“向上”、“上方”等是基于测试插座相对于测试板放置的方向，而方向指示术语“向下”、“下方”等是指与向上或上方相反的方向。在本公开中使用的方向指示术语“垂直方向”可包括向上方向和向下方向，但是应理解为并不是指在向上方向与向下方向之间的一个特定方向。

在下文中，参考附图中所示的示例对实施例进行描述。附图中相同的附图标记表示相同或相应的元件。此外，在实施例的以下描述中，可以省略对相同或相应元件的重复描述。然而，即使省略了元件的描述，不旨在任何实施例中排除此类元件。

下面描述的实施例和附图中示出的示例涉及用于测试装置与被测设备的电连接的测试插座。根据实施例的测试插座在测试被测设备期间可以用于测试装置与被测设备的电连接。作为示例，根据实施例的测试插座可以在用于制造半导体器件的过程的后处理中用于被测设备的老化测试。在老化测试中，在80℃至125℃的高温下将热应力施加到被测设备。在老化测试期间，被测设备在经受高温和高电场的状态下工作。不能承受老化测试的测试条件的被测设备产生故障。因此，可以通过老化测试对能产生初始故障的被测设备进行测试。可以应用实施例的测试插座的测试示例不限于上述老化测试。

图1示出了应用根据一个实施例的测试插座的示例。图1示意性地示出了测试插座、其上设置有测试插座的测试装置以及与测试插座接触的被测设备。图1中所示的测试插座、测试装置和被测设备的形状仅是说明性的。

参考图1，根据一个实施例的测试插座1000被设置在测试装置10与被测设备20之间。为了测试被测设备20，测试插座1000与测试装置10和被测设备20接触，并且将测试装置10和被测设备20彼此电连接。测试插座1000在其中接收被测设备20，并且将被测设备20放置在测试装置10上。被测设备20的测试由测试装置10经由测试插座1000执行。

被测设备20可以是半导体封装，但不限于此。半导体封装是通过使用树脂材料将半导体IC芯片、多个引线框架和多个端子封装成六面体的形式而获得的半导体器件。半导体IC芯片可以是存储器IC芯片或非存储器IC芯片。针或焊球可被用作所述端子。图1中所示的被测设备20在其底侧具有多个半球形端子21。

测试装置10可被配置用于执行被测设备20的老化测试。测试装置10具有测试板11，测试插座1000安装在该测试板11上。测试板11可以具有多个端子，通过这些端子可以输出电测试信号且接收回复信号。被测设备20的端子21通过测试插座1000电连接到测试板11的相应端子。就是说，测试插座1000在垂直方向VD上将被测设备的端子21电连接到测试板11的相应端子，从而在端子21与测试板11之间传送电测试信号和回复信号。

下面参考图2-7描述测试插座的实施例。图2是示出根据一个实施例的测试插座的透视图，而图3是沿图2的线3-3所得到的剖视图。参考图2和3，根据一个实施例的测试插座1000包括多个插针1100、针支撑件1200、弹性导电片1300、壳体1400、推动器1500和锁存设备1600。根据一个实施例的测试插座1000是将上述元件组装到其中的组件。测试插座1000可以可拆卸地安装在测试板11上。

图4是根据一个实施例的测试插座的局部分解透视图。参考图3和4关于根据一个实施例的测试插座1000的插针、针支撑件和弹性导电片。

多个插针1100电连接到测试装置的测试板11。在测试板11中形成多个端子孔12，分别向其中插入多个插针1100。测试板11可以具有连接到各自端子孔12的印刷电路。每个插针1100可以通过焊接电连接到相应端子孔13。

插针1100具有针主体1111、上端部分1112和下端部分1113。针主体1111被嵌合到针支撑件1200，并且通过针支撑件保持在垂直定向上。插针1100的上端部分1112略微从针支撑件1200的上表面突起，并且插针1100的下端部1113被插入到测试板11的端子孔12。插针1100具有圆形横截面形状。作为另一示例，插针1100可以具有正方形或多边形横截面形状。

针支撑件1200可以被设置在测试装置的测试板11上或被安装在测试板11上。针支撑件1200被配置成用于将多个插针1100保持在垂直定向上。就是说，插针1100通过针支撑件1200在垂直方向VD上定位在测试插座1000内。在一个实施例中，针支撑件1200包括可以彼此耦合的针框1210和支撑框1220。在另一个实施例中，可以整体地形成针支撑件1200的针框1210和支撑框1220。在进一步的实施例中，针支撑件1200可仅包括针框1210。在此类情况下，针框1210可以被修改以便执行支撑框1220的功能。

针框1210将插针1100保持在垂直定向。针框1210形成为近似六面体形状，并且因此具有平坦的上表面1211和平坦的下表面1212。多个针孔1213贯穿针框1210，每个插针1100的部分(例如，插针的针主体1111)嵌合到这些针孔1213。针孔1213在垂直方向VD上从针框1210的上表面1211贯穿针框到针框1210的下表面1212，并且插针1100通过针孔1213保持在垂直定向。在图4所示的示例中，针孔1213以一对矩阵的形式布置。

在一个实施例中，针框1210在位于水平方向HD的第一水平方向HD1上的任一端部分处包括配合突起1214。配合突起1214从针框1210的上表面1211突出。此外，针框1210在上表面1211处包括从位于第一水平方向HD1上的任一端向上突出的一对引导突起1215，配合突起1214位于一对引导突起1215之间。配合突起1214和引导突起1215用于将针框1210和弹性导电片1300配合。

在一个实施例中，在垂直方向VD上穿过针框1210形成一对通孔1216，并且针框1210在通孔1216的壁表面上具有面向通孔1216内部的接合部分1217。由于针框1210的接合部分1217可以与支撑框1220的部分接合，因此针框1210可以可拆卸地耦合至支撑框1220。针框1210形成为单件，针孔1213和通孔1216贯穿该单件。就是说，针框1210的内部形成为除了针孔1213和通孔1216之外的实心体。在另一个实施例中，针框1210可不具有上述通孔1216和接合部分1217。在此类示例中，可以彼此嵌合的针和孔可以分别设置在针框1210的下表面1212和支撑框1220的上表面中。

支撑框1220形成为近似六面体形状，并且因此具有平坦的上表面1221和平坦的下表面1222。支撑框1220可以可拆卸地安装在测试装置的测试板11上。支撑框1220具有在下表面1222中向下突出的一对嵌合针1223。嵌合针1223被嵌合到在测试板11中形成的嵌合孔13，并且因此支撑框1220可以安装在测试板11上。

支撑框1220包括多个配合突起1224。配合突起1224位于支撑框1220的各个角处，且从上表面1221向上突出。配合突起1224用于配合且定位支撑框1220和壳体1400。在支撑框1220中形成一对凹槽1225，并且从凹槽1225的底表面到支撑框1220的下表面形成多个通孔1226，插针1100的下端部分1113在垂直方向VD上穿过这些通孔1226。支撑框1220具有在上表面1221中向上突出的一对定位针1227。定位针1227嵌合到定位孔(未示出)，该定位孔在针框1210的下表面1212中向上贯穿，因此用于将针框1210相对于支撑框1220定位。

针框1210和支撑框1220可以可释放地彼此耦合，并且支撑框1220和壳体1400可以可释放地彼此耦合。此类可释放的耦合可以通过接合耦合和螺纹耦合来实现。在一个实施例中，针框1210和支撑框1220通过可释放的接合耦合彼此耦合，并且支撑框1220和壳体1400通过可释放的接合耦合彼此耦合。可以通过将设置在支撑框中的弹性接合部分与设置在针框中的接合部分和设置在壳体中的接合部分进行接合来实现可释放的接合耦合。所述弹性接合部分可包括臂形突出部分，以及设置在此类突出部分的活动端处的楔形接合部分。

在一个实施例中，支撑框1220包括一对第一弹性接合部分1231和两对第二弹性接合部分1232，所有这些弹性接合部分从上表面1221突出。每个弹性接合部分具有向上突出的臂的形状。每个弹性结合部分在其活动端具有执行接合操作的楔形接合楔子1233。第一弹性接合部分1231向上穿过针框1210的通孔1216，并然后在接合楔子1233处与针框1210的接合部分1217可释放地接合。这样，针框1210通过可释放的接合耦合被安装在支撑框1220上。因此，针框1210可以以容易的操作和简单的结构耦合到支撑框1220。第二弹性接合部分1232与壳体1400的部分可释放地接合，因此实现支撑框1220和壳体1400的可释放的接合耦合。

当测试被测设备20时(参见图1)，被测设备20被安置在弹性导电片1300上。弹性导电片1300与被测设备的端子21(参见图1)和插针1100两者接触，从而将被测设备的端子21和插针1100电连接。弹性导电片1300可拆卸地耦接至针支撑件1200的顶部(在一个实施例中，针框1210的上表面1211)。图5是示出根据一个实施例的弹性导电片和针框的透视图，而图6是示出弹性导电片的部分的放大透视图。根据一个实施例的弹性导电片的细节参考图3-6。

大部分弹性导电片1300可以由弹性聚合物质构成，并且弹性导电片1300在垂直方向VD和水平方向HD上具有弹性。如果在垂直方向VD上将外力向下施加到弹性导电片1300，则弹性导电片1300可能在向下方向和水平方向HD上变形。由于锁存设备1600将被测设备朝向弹性导电片1300推动，因此可能产生所述外力。由于此类外力，被测设备的端子21可以在垂直方向VD上与弹性导电片1300接触，并且弹性导电片1300可以在垂直方向VD上与插针1100接触。如果移除外力，则弹性导电片1300可以恢复到其原始形状。

弹性导电片1300包括多个弹性导电部分1310。弹性导电部分1310在垂直方向VD上与被测设备的端子和与端子相对应的插针1100两者接触，并且电连接两者。弹性导电部分1310在其上端与被测设备的端子21接触，而在其下端与插针1100的上端接触。因此，弹性导电部分1310在垂直方向上插针1100与对应于弹性导电部分1310的端子21之间执行电传导。相应地，可以通过插针1100和弹性导电部分1310将测试装置的测试信号从测试板11传送到被测设备20，并且被测设备的回复信号可以通过弹性导电部分1310和插针1100从端子21传送到测试板11。弹性导电部分1310可以具有在垂直方向VD上延伸的圆柱形状。在此类圆柱形状中，中间的直径可以小于上端和下端的直径。弹性导电部分1310的平面布置可以取决于被测设备的端子的平面布置而变化。在一个实施例中，弹性导电部分1310可以以一对矩阵的形式布置，但是弹性导电部分的布置不限于此。

在一个实施例中，弹性导电片1300包括弹性绝缘部分1320，该弹性绝缘部分1320在水平方向HD上将多个弹性导电部分1310间隔开且绝缘。此外，弹性导电片1300包括框架构件1330。框架构件1330沿弹性绝缘部分1320的外周边耦合至弹性绝缘部分1320且支撑弹性绝缘部分1320。此外，弹性导电片1300可包括附接到弹性绝缘部分1320的上表面的端子引导构件1340。端子引导构件1340可包括绝缘膜，与每个弹性导电部分1310相对应的引导孔1341在端子引导构件1340中形成。当被测设备被安置在弹性导电片1300上时，被测设备的端子21(参见图1)在被引导孔1341引导的同时可以精确地与弹性导电部分1310的上端接触。根据其他实施例的弹性导电片1300可以不包括上述端子引导构件1340。

弹性绝缘部分1320可以形成弹性导电片1300的矩形弹性区域。多个弹性导电部分1310由弹性绝缘部分1320绝缘且在水平方向HD上由弹性绝缘部分1320等间隔地或不等间隔地彼此间隔开。弹性绝缘部分1320形成为单个弹性体，并且多个弹性导电部分1310在弹性绝缘部分1320的厚度方向(垂直方向VD)上被嵌入在弹性绝缘部分1320中。弹性体构成的弹性绝缘部分1320将弹性导电部分1310保持为弹性导电部分1310的形状。弹性绝缘部分1320由弹性聚合物材料构成，且在垂直方向VD和水平方向HD上具有弹性。

具体地，弹性绝缘部分1320可以由硬化的硅橡胶材料构成。例如，可以通过将液态硅橡胶注射到用于模制测试插座1000的模制模具中然后对液态硅橡胶进行硬化来形成弹性绝缘部1320。作为用于模制弹性绝缘部分1320的液态硅橡胶材料，可以使用添加剂液态硅橡胶、浓缩液态硅橡胶、具有乙烯基自由基或羟基自由基的液态硅橡胶等。作为具体示例，液态硅橡胶材料可包括二甲基硅生橡胶(dimethyl silicone raw rubber)、甲基乙烯基硅生橡胶(methyl vinyl silicone raw rubber)、甲基苯基乙烯基硅生橡胶(methylphenyl vinyl silicone raw rubber)等。此外，可以使用耐热性优异的硅橡胶材料作为构成弹性绝缘部分1320的硅橡胶材料，使得可以将根据一个实施例的测试插座应用于老化测试。

弹性导电部分1310包括众多导电金属颗粒1311，这些导电金属颗粒1311被接触以便在垂直方向VD上导电。可以通过用高导电金属涂覆核颗粒的表面来形成导电金属颗粒1311。核颗粒可以由诸如铁、镍、钴等的金属材料构成，或者可以由具有弹性的树脂材料构成。金、银、铑、铂、铬等可以用作涂覆核颗粒的高导电金属。导电金属颗粒1311形成弹性导电部分1310的导电路径，该导电金属颗粒1311被接触以便在垂直方向上导电。可以通过构成弹性绝缘部分1320的弹性聚合物材料将导电金属颗粒1311保持为弹性导电部分1310的形状。

在一个实施例中，弹性导电片1300可拆卸地安装在针支撑件1200的针框1210的顶部上。根据一个实施例，为了便于弹性导电片1300和针框1210的定位，在弹性导电片1300和针框1210中分别设置有具有互补形状并配成一对的配合部件。就是说，根据一个实施例，弹性导电片1300包括第一配合部分，并且针支撑件的针框1210包括第二配合部分，该第二配合部分具有与第一配合部分互补的形状且可以与第一配合部分配合。由于第一配合部分和第二配合部分的配合，弹性导电片1300可以可拆卸地耦合至针支撑件1200。此外，由于第一配合部分和第二配合部分的配合，可以容易地且准确地执行弹性导电片1300的弹性导电部分1310与插针1100之间的对准。

弹性导电片1300的第一配合部分可以设置在弹性导电片1300的框架构件1330中。第一配合部分可包括在垂直方向VD上穿过弹性导电片1300形成的配合孔。与第一配合部分互补的第二配合部分可以设置在针框1210的上表面中。第二配合部分可包括配合突起，该配合突起具有与配合孔互补的形状且被配置成用于嵌合到配合孔。

在一个实施例中，如图4和5所示，第一配合部分的配合孔包括一对配合孔1351。配合孔1351形成为圆形。弹性导电片1300的框架构件1330在第一水平方向HD1上的任一端处具有突出部分1331，配合孔1351在突出部分1331的中间贯穿突出部分1331。此外，在一个实施例中，如图4和5所示，第二配合部分的配合突起包括一对配合突起1214。如上所述，配合突起1214在第一水平方向HD1上形成于针框1210的任一端处。第一水平方向HD1上的配合孔1351之间的距离对应于第一水平方向HD1上的配合突起1214之间的距离。设置突出部分1331的大小和一对引导突起1215之间的间隔，使得框架构件1330的突出部分1331被嵌合在一对引导突起1215之间。此外，配合孔1351和配合突起1214形成为具有微小的公差。

当弹性导电片1300安装在针支撑件1200的顶部(具体地，针框1210的上表面1211)上时，配合突起1214被嵌合到配合孔1351，而框架构件1330的突出部分1331由一对引导突起1215引导。因此，在弹性导电部分1310在垂直方向和水平方向上与插针1100对准的状态下，弹性导电片1300可以被安置在针框1210上。此外，由于弹性导电片1300通过配合孔1351与配合突起1214之间的嵌合而被保持在针框1210上，因此弹性导电片1300可以容易地从针框1210向上拆卸。

在弹性导电片1300安装在针框1210的上表面的状态下，多个弹性导电部分1310分别在垂直方向VD上与相对应的插针1100接触。多个插针1100通过针框1210以垂直定向定位，并且分别与测试板11的相对应的端子孔12直接电连接。此外，如果被测设备20(参见图1)被安置在弹性导电片1300上，被测设备的端子21(参见图1)在垂直方向VD上与弹性导电部分1310接触。因此，在根据一个实施例的测试插座1000中，信号传输路径在垂直方向VD上形成直线形状，该信号传输路径经由弹性导电部分1310和插针1100在被测设备的端子21与测试板11之间形成。此外，将此类在垂直方向VD上的信号传输路径作为测试插座1000内的最短路径。相应地，根据一个实施例的测试插座在被测设备20与测试装置的测试板11之间具有最短的信号传输路径，实现了电测试信号和回复信号的更好的传输。

此外，根据一个实施例的测试插座，被测设备20在被测设备与弹性导电片1300接触的状态下电连接到测试装置的测试板。由于弹性导电片1300的弹性，弹性导电片1300不损坏被测设备20的端子。当通过使用测试插座执行被测设备的大量测试时，重复接触可能损坏测试插座的组件。然而，由于在根据一个实施例的测试插座中仅被测设备和弹性导电片彼此接触，因此弹性导电片1300可以吸收所有的外力且可以防止由重复接触引起的组件(例如，插针、保持插针的针支撑件、测试板等)的损坏。如果弹性导电片1300由于大量测试而损坏，则可以在用于被测设备的测试现场容易地从针框1210移除弹性导电片1300。因此，根据一个实施例的测试插座可以仅通过更换弹性导电片1300而被重复使用，并且可以排除用于将插针1100与测试装置的测试板11分离的分离工作，或者可以排除用于测试板11的返工。

图7是根据一个实施例的测试插座的另一局部透视图。参考图3和图7，下面对根据一个实施例的测试插座的壳体、推动器和锁存设备进行描述。

壳体1400可以形成为在其中容纳弹性导电片1300、针支撑件1200的部分(例如，针框1210)以及锁存设备1600。壳体1400用作支撑推动器1500和锁存设备1600的结构。壳体1400形成为矩形框架的形状。壳体1400具有形成为六面体开口的片容纳部分1411。此外，壳体1400具有围绕片容纳部分1411且平坦的上表面1412和下表面1413。壳体1400的下表面1413可以通过表面接触与支撑框1220的上表面1221接触。针框1210和弹性导电片1300被容纳在片容纳部分1411内。

壳体1400可释放地耦合至针支撑件1200。在一个实施例中，壳体1400可拆卸地安装在针支撑件1200的支撑框1220上。壳体1400在其每个角处包括配合凹槽1421，该配合凹槽1421从壳体的下表面向上凹入。配合凹槽1421被形成，使得支撑框1220的配合突起1224嵌合到配合凹槽1421。配合凹槽1421形成为凹部，凹部从壳体1400的下表面1413向上凹入，并且配合凹槽1421位于壳体1400的每个角处。因此，如图2所示，当壳体1400安装在针支撑件1200上，配合突起1224嵌合到相对应的配合凹槽1421，从而将壳体相对于针支撑件1200定位。由于配合突起1224嵌合到配合凹槽1421，因此可以容易地将壳体1400定位到针支撑件1200。在另一个实施例中，支撑框1220可包括上述配合凹槽，而壳体1400可包括上述配合突起1224。

壳体1400可释放地安装在针支撑件1200上。例如，壳体1400可释放地安装在针支撑件1200的支撑框1220上。在垂直方向VD上打孔的通孔1422形成在壳体1400的每个角的附近，并且壳体1400在通孔1422的壁表面具有面向通孔1422内部的接合部分1423。支撑框的第二弹性接合部分1232向上穿过通孔1422，并且第二弹性接合部分1232的接合楔子1233与壳体1400的接合部分1423接合。因此，壳体1400可以可释放地耦合至支撑框1220。根据一个实施例，由于壳体1400通过接合耦合可释放地安装在支撑框1220上，因此壳体1400和针支撑件1200可以以容易的操作和简单的结构彼此耦合。

在一个实施例中，壳体1400包括位于片容纳部分1411中的一对罩部分1430。这一对罩部分1430分别位于在第一水平方向HD1上片容纳部分1411的端处。罩部分1430从壳体1400的上表面1412向上突出，并且朝向片容纳部分1411的内部突出。罩部分1430被形成以便覆盖弹性导电片1300的框架构件1330。此外，在罩部分1430的内边缘中形成有半圆形的切除部分1431。如果壳体1400安装在支撑框1220上以便容纳弹性导电片1300和针框1210，如图2和3所示，则将弹性导电片1300的框架构件1330设置在罩部分1430的下方，并且罩部分1430覆盖框架构件1330。此外，针框1210的配合突起1214被插入到切除部分1431。罩部分1430从壳体1400的上表面向上突出，并且弹性导电片1300的框架构件1330被设置在罩部分1430下方的同时被容纳在罩部分1430中。相应地，测试插座1000包括在垂直方向VD上具有减小的厚度的壳体1400，并且因此可以具有更紧凑的结构。

壳体1400在片容纳部分1411的相对侧具有一对锁存容纳部分1440，这一对锁存容纳部分1440在与第一水平方向HD1正交的第二水平方向HD2上彼此相对。锁存容纳部分1440形成为孔，该孔在垂直方向VD上贯穿壳体1400。推动器1500的部分位于锁存容纳部分1440中，而锁存设备1600的部分被容纳在锁存容纳部分1440中。一对轴孔1441在与锁存容纳部分相邻的壳体1400的部分中在第一水平方向HD1上贯穿壳体1400。锁存设备1600的部分嵌合到轴孔1441。

当弹性导电片1300达到其预定使用寿命时，或者当弹性导电片1300损坏时，可以容易地将弹性导电片1300从测试插座1000移除。例如，如果第二弹性接合部分1232的接合楔子1233与通孔1422的接合部分1423脱离，可以将壳体1400从支撑框1220向上移除。如果壳体1400被移除，弹性导电片1300与针框1210的配合被暴露。因此，弹性导电片1300可以容易地从针框1210卸下。就是说，一个实施例的测试插座1000实现了弹性导电片1300的容易更换。

在壳体1400中形成有在第一水平方向HD1上彼此相对的一对滑轨1451。滑轨1451朝向壳体1400的内部凹入，且在垂直方向VD上从壳体1400的下端延伸到壳体1400的上端。推动器1500的部分可滑动地插入到滑轨1451。止挡器1452从每个滑轨1451的上端向外突出。止挡器1452防止推动器1500与壳体1400向上分开。

推动器1500耦合至壳体1400以便在垂直方向VD上可移动，且致动锁存设备1600。推动器1500具有矩形框架的形状(如图壳体1400的形状)。推动器1500具有与壳体1400的外部尺寸相同的外部尺寸。相应地，推动器1500的侧表面和壳体1400的侧表面中的任何一个都不比另一个突出。

推动器1500包括设备通过部分1510。设备通过部分1510形成为在垂直方向VD上贯穿推动器1500的开口。被测设备可以通过设备通过部分1510安置在弹性导电片1300上，且可以通过设备通过部分1510从弹性导电片1300移除。

推动器1500在第一水平方向HD1上其彼此相对的各个下边缘处包括向下突出的滑动臂1521。滑动臂1521形成为以便嵌合到壳体1400的滑轨1451。滑动臂1521嵌合到滑轨1451且在垂直方向VD上沿滑轨1451滑动。由于滑动臂1521与滑轨1451之间的滑动耦合，推动器1500可以耦合至壳体1400以在垂直方向VD上可移动。滑动臂1521在其活动端具有向内突出的楔形接合部分1522。接合部分1522与止挡器1452接合，防止推动器1500与壳体1400向上分开。

推动器1500在第二水平方向HD2上其彼此相对的各个下边缘处包括向下突出的锁存致动臂1531。锁存致动臂1531被插入到壳体1400的锁存容纳部分1440，且随着推动器1500的向上和向下运动而在锁存容纳部分1440中向上和向下移动。轴孔1532在第一水平方向HD1上贯穿每个锁存致动臂1531。锁存设备1600的部分嵌合到轴孔1532。

锁存设备1600可释放地将被测设备固定到弹性导电片1300。锁存设备1600可操作地连接到壳体1400和推动器1500。就是说，可操作地连接到壳体1400和推动器1500的锁存设备1600与壳体1400和推动器1500的操作互连，从而执行可释放地固定被测设备的操作。

锁存设备1600被配置成与推动器1500的向上运动互连而将被测设备朝向弹性导电片1300推动。锁存设备1600被配置成与推动器1500的向下运动互连而释放被测设备20的推动。在一个实施例中，测试插座1000包括两个锁存设备1600，并且两个锁存设备1600对称地定位。锁存设备1600包括锁存1610、连杆臂1620、第一连杆轴1631、第二连杆轴1632和第三连杆轴1633。

锁存1610与被测设备接触，且将被测设备朝向弹性导电片1300推动，且释放对被测设备的推动。锁存1610具有被施加旋转力的操作部分1611，以及施加由旋转力引起的推力的推动部分1612。操作部分1611位于壳体1400的锁存容纳部分1440的上方。第一轴孔1613和第二轴孔1614在第一水平方向HD1上贯穿操作部分1611。第一轴孔1613位于操作部分1611的内侧，而第二轴孔1614位于比第一轴孔1613的更外侧。推动部分1612相对于操作部分1611是弯曲的。推动部分1612位于壳体1400的片容纳部分1411的区域中。推动部分1612在推动部分1612的活动端处与被测设备的上表面接触。

连杆臂1620将锁存1610连接到壳体1400。第三轴孔1621在第一水平方向HD1上贯穿连杆臂1620的上端，而第四轴孔1622在第一水平方向HD1上贯穿连杆臂1620的下端。

第一连杆轴1631耦合至连杆臂1620的第四轴孔1622。此外，第一连杆轴1631在第一水平方向HD1上耦合至壳体1400的轴孔1454。在第三连杆轴1633耦合至连杆臂1620的第三轴孔1621的状态下，第三连杆轴1633耦合至锁存1610的第一轴孔1613。因此，在操作部分1611被第一连杆轴1631和连杆臂1620支撑的状态下，锁存1610的操作部分1611位于锁存容纳部分1440中。此外，操作部分1611通过第三轴孔1621、第三连杆轴1633和第四轴孔1622可旋转地连接到第一连杆轴1631。第二连杆轴1632可旋转地耦合至第二轴孔1614。此外，第二连杆轴1632在第一水平方向HD1上耦合至轴孔1532，该轴孔1532形成在推动器1500的锁存致动臂1531中。因此，在操作部分1611通过第二连杆轴1632连接到推动器1500的锁存致动臂1531的状态下，锁存1610的操作部分1611位于锁存容纳部分1440中。

壳体1400是固定的。耦合至壳体1400的第一连杆轴1631在垂直方向上不移动，且通过第四轴孔1622支撑锁存1610的操作部分1611。因此，锁存1610可经由第一连杆轴1631绕第四轴孔1622的旋转中心旋转。推动器1500耦合至壳体1400以便可在垂直方向VD上移动。锁存1610的操作部分1611经由第二轴孔1614和第二连杆轴1632连接到推动器1500。第二轴孔1614成为推动器1500将旋转力施加到锁存1610的点。随着推动器1500向上移动，第二连杆轴1632和第二轴孔1614向上移动，并且同时，锁存1610的操作部分1611绕第一轴孔1613和第三轴孔1621向上旋转。随着操作部分的此类向上旋转，锁存1610的推动部分1612朝向壳体1400的中心向下旋转，并且因此可以将被测设备朝向弹性导电片1300推动。随着推动器1500向下移动，第二连杆轴1632和第二轴孔1614向下移动。因此，锁存1610的操作部分1611绕第一轴孔1613和第三轴孔1621朝向壳体1400的外部向下旋转。随着操作部分的此类向下旋转，锁存1610的推动部分1612朝向壳体1400的外部向下旋转，并且因此可以释放对被测设备的推动。这样，根据一个实施例，锁存设备1600的锁存1610可以随着推动器1500的向上运动而将被测设备朝向弹性导电片1300推动，并且锁存1610可以随着推动器1500的向下移动而释放对被测设备的推动。

在一个实施例中，测试插座1000可包括始终将推动器1500向上偏置的偏置设备1700。根据一个实施例，随着推动器1500向上移动，锁存设备1600的锁存1610将被测设备朝向弹性导电片1300推动。偏置设备1700始终将推动器1500向上偏置，并且对被测设备的推力始终可以被施加到锁存设备1600。偏置设备1700可包括压缩螺旋弹簧1710。压缩螺旋弹簧1710可被设置在垂直方向VD上的壳体1400的四个角与与之相对应的推动器1500的四个角之间。作为示例，压缩螺旋弹簧1710以将压缩螺旋弹簧1710的下端部分插入设置在壳体1400中的弹簧孔1461以及将压缩螺旋弹簧1710的上端部分插入设置在推动器1500中的弹簧孔(未示出)的方式而被设置在壳体1400与推动器1500之间。由于压缩螺旋弹簧1710，推动器1500始终向上偏置。因此，在如图2所示的测试插座的自由状态下，锁存1610的推动部分1612位于壳体1400的片容纳部分之上。

图8是类似于图3的剖视图并且示出被测设备被安置在弹性导电片上。下面参考图2和8描述测试插座的操作示例。如图2所示，一对锁存1610位于闭合位置，并且锁存1610的推动部分1612位于片容纳部分1411之上。如果向下推动推动器1500，则锁存1610的推动部分1612随推动器1500的向下运动而朝向壳体1400的外部向上旋转。因此，被测设备20可以通过推动器1500的设备通过部分1510安置在弹性导电片1300上。推动器1500的向下运动可以手动执行，也可以通过设置在测试装置中的适当机制执行。如果在将被测设备安置在弹性导电片1300上之后，施加到推动器1500的外力被移除，则推动器1500通过偏置设备1700向上移动。锁存1610的推动部分1612随着推动器1500的向上运动而朝向壳体1400的内部向下旋转，并且然后锁存1610位于闭合位置。此时，由于偏置设备1700的偏置力，锁存1610的推动部分1612可以将被测设备20朝向弹性导电片1300推动。以此方式，被测设备20被固定在弹性导电片1300上。然后，可以执行对被测设备20的测试。参考图8，在根据一个实施例的测试插座中，被测设备20仅与弹性导电片1300接触，并且弹性导电片1300吸收施加到被测设备20的所有外力。此外，彼此垂直接触的弹性导电部分1310和插针1100形成了最短的信号传输路径，该最短的信号传输路径形成为被测设备20与测试板11之间的直线形。

在前述实施例中，支撑框和壳体通过可释放的接合耦合彼此耦合。支撑框和壳体的可释放的耦合可以通过使用螺栓或螺钉的螺纹耦合来实现。图9是根据进一步的实施例的测试插座的分解透视图，并且示出了其中支撑框和壳体通过使用螺栓耦合的示例。

参考图9，在垂直方向VD上分别在支撑框1220的配合突起1224中形成螺纹孔1228，并且将螺栓1471螺纹耦合至每个螺纹孔1228。通孔1424在与每个螺纹孔1228相对应的位置处在垂直方向VD上贯穿壳体1400。凹槽1511在与每个通孔1424相对应的位置处在垂直方向VD上形成在推动器1500的设备通过部分1510中。螺栓1471可以通过凹槽1511和通孔1424可释放地耦合至支撑框1220的螺纹孔1228。如果螺栓1471与螺纹孔1228分开，可以容易地从支撑框1220移除壳体1400。如果壳体1400被移除，弹性导电片1300可以容易地从针框1210卸下。。

针框的配合突起的形状和弹性导电片的配合孔的形状可以进行各种修改。图10A至图10F示出了各种形状的配合孔的示例。参考图10A，配合孔1352可以形成为三角形形状。针框的配合突起1214可以具有与配合孔1352的三角形形状相对应的横截面形状。参考图10B，配合孔1353可以形成为四边形形状。针框的配合突起1214可以具有与配合孔1353的四边形形状相对应的横截面形状。参考图10C，配合孔1354可以形成为五边形形状。针框的配合突起1214可以具有与配合孔1354的五边形形状相对应的横截面形状。参考图10D，配合孔1355可以形成为六边形形状。针框的配合突起1214可以具有与配合孔1355的六边形形状相对应的横截面形状。此外，配合孔可以形成为椭圆形形状，并且可以以排除椭圆形形状的部分的开放形状形成在框架构件1330中。图10E示出了形成为椭圆形形状的配合孔1356，并且配合孔1356可以以排除椭圆形形状的部分的开放形状形成在框架构件1330中。如上所述，第一配合部分的配合孔可具有圆形形状、三角形形状、四边形形状、五边形形状、六边形形状和椭圆形形状中的一种。图10F示出了配合孔和配合突起的另一示例。参考图10F，配合孔1357形成为从框架构件1330的边缘凹入的四边形形状。针框1210的配合突起1214具有四边形形状的横截面形状。此外，在图10F所示的示例中，针框1210在配合突起1214的附近具有一对圆柱形的引导突起1218。同样，通孔1332形成在框架构件1330中，圆柱形的引导突起被插入到该通孔1332。

在这以前已经参考一些实施例和附图中所示的示例描述了本公开的技术思想。然而，应当理解，在不脱离本公开所属技术领域的普通技术人员可以理解的本公开的技术思想和范围的情况下，可以进行各种替换、修改和变更。此外，应当理解此类替换、修改和变更落在所附权利要求的范围内。

附图标记说明

10测试装置、11测试板、20被测设备、21被测设备的端子、1000测试插座、1100插针、1200针支撑件、1210针框、1213针孔、1214配合突起、1220支撑框、1224配合突起、1231第一弹性接合部分、1232第二弹性接合部分、1300弹性导电片、1310弹性导电部分、1311导电金属颗粒、1320弹性绝缘部分、1330框架构件、1351配合孔、1400壳体、1421配合凹槽、1430罩部分、1471螺栓、1500推动器、1600锁存设备、1700偏置设备、VD垂直方向、HD水平方向。

Claims (14)

1.一种用于将具有多个端子的被测设备电连接到测试装置的测试板的测试插座，所述测试插座包括：

多个插针，所述多个插针连接到所述测试板；

针支撑件，所述针支撑件设置在所述测试板上，并且将所述多个插针保持在垂直定向上；

弹性导电片，所述被测设备被安置在所述弹性导电片上，所述弹性导电片可拆卸地安装在所述针支撑件的顶部上并且包括在垂直方向上与所述多个端子和所述多个插针接触的多个弹性导电部分；

壳体，所述壳体耦合至所述针支撑件并且容纳所述弹性导电片；

推动器，所述推动器耦合至所述壳体以便可在所述垂直方向上移动；以及

锁存设备，所述锁存设备可操作性地连接到所述壳体和所述推动器，并且与所述推动器的运动互锁而可释放地将所述被测设备固定到所述弹性导电片。

2.如权利要求1所述的测试插座，其中通过在所述垂直方向上彼此接触的所述多个弹性导电部分和所述多个插针，在所述垂直方向上形成所述多个端子与所述测试板之间的信号传输路径。

3.如权利要求1所述的测试插座，其中所述针支撑件包括针框，所述针框在所述垂直定向处保持所述多个插针，以及

其中，所述多个插针分别嵌合到的多个针孔从所述针框的上表面贯穿针框到所述针框的下表面。

4.如权利要求3所述的测试插座，其中所述针支撑件进一步包括支撑框，所述支撑框被安装在所述测试板上并支撑所述针框，以及

其中所述壳体被配置成用于容纳所述弹性导电片和所述针框，并且可释放地耦合至所述支撑框。

5.如权利要求4所述的测试插座，其中所述支撑框包括上表面和从所述上表面突出的多个配合突起，以及

其中壳体包括：下表面，所述下表面通过表面接触而与所述支撑框的所述上表面接触；以及多个配合凹槽，所述多个配合凹槽从所述下表面凹入，并且所述多个配合突起嵌合到所述多个配合凹槽中。

6.如权利要求4所述的测试插座，其中所述支撑框包括弹性接合部分，所述弹性接合部分可释放地耦合至所述针框。

7.如权利要求4所述的测试插座，其中所述支撑框包括弹性接合部分，所述弹性接合部分可释放地耦合至所述壳体。

8.如权利要求4所述的测试插座，其中所述壳体通过螺栓可释放地耦合至所述支撑框。

9.如权利要求1所述的测试插座，其中所述弹性导电片包括第一配合部分，并且所述针支撑件包括可与所述第一配合部分配合的第二配合部分，以及

其中所述弹性导电片通过所述第一配合部分和所述第二配合部分的配合可拆卸地安装在所述针支撑件上。

10.如权利要求9所述的测试插座，其中所述第一配合部分包括形成在所述弹性导电片中的配合孔，并且所述第二配合部分包括嵌合到所述配合孔的配合突起。

11.如权利要求10所述的测试插座，其中所述配合孔具有圆形形状、三角形形状、四边形形状、五边形形状、六边形形状和椭圆形形状中的一种形状。

12.如权利要求1所述的测试插座，其中所述弹性导电片包括：

弹性绝缘部分，所述弹性绝缘部分在水平方向上将所述多个弹性导电部分间隔开且绝缘，并且由弹性聚合物材料构成；以及

框架构件，所述框架构件支撑所述弹性绝缘部分，

其中所述壳体包括从所述壳体的上表面突出且覆盖所述框架构件的罩部分。

13.如权利要求1所述测试插座，进一步包括偏置设备，所述偏置设备设置在所述壳体与所述推动器之间，并且将所述推动器向上偏置，以将推动所述被测设备的力施加到所述锁存设备。

14.如权利要求13所述的测试插座，其中所述锁存设备被配置成用于：

通过与所述推动器的向上运动互锁而将所述被测设备朝向所述弹性导电片推动；以及

通过与所述推动器的向下运动互锁而释放对所述被测设备的推动。

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