CN111174406A - 按需加热器和温度控制系统及相关方法 - Google Patents
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Abstract
一种按需加热器,包括多个加热器组件,所述加热器组件以彼此串联的方式设置在加热器流体入口与加热器流体出口之间;加热器组件中的一个或更多个加热器组件在感测的出口流体温度与分配给所述加热器组件的局部流体温度增量不同时调节其功率,使得以受控的方式实现在加热器流体出口处的总的期望流体温度增量。
Description
优先权声明
本申请要求保护于2018年11月13日提交的美国专利申请No.16/189,250的申请日的权益,所述美国专利申请为“按需加热器和温度控制系统及相关方法”(On-DemandHeater and Temperature Control System and Related Process)。
技术领域
本发明涉及按需流体加热器。更特别地,本发明涉及一种按需加热器,其具有改进的控制系统和用于以受控方式瞬时加热流体的方法。
背景技术
按需加热器(也被称为无水箱的、流通式或即热热水器或水加热器)是众所周知的。这样的加热器不采用存储先前被加热的水的箱或罐。相反,当需要流体时,诸如当流体响应于需要被加热的流体(诸如当打开水龙头等时)而开始流动通过加热器时,水或其它流体被加热。
这些类型的加热器的关键问题在于,要使按需加热器达到其期望的用户温度要求,系统功率必须很高,因为流体在加热器中的停留时间很短。高功率系统因其无法防止由于潜热以及对流量和压力变化响应慢而导致的流量变化或无流动状态下温度过高而产生问题。
在高纯度过程应用中,按需或流通式加热器优于常规热水器,因为它们消除了大存储箱或蓄水箱。当加热高纯度流体(诸如去离子水)时,这尤其重要,因为必须通过消除细菌生长、金属湿润性部件和微粒污染来维持水的纯度。在大存储箱中,将存在水的流动停滞或缓慢的区域,并且细菌可能生长。
现有技术的按需高纯度流体或去离子水加热器依赖于输出温度传感器对加热元件进行功率调节。但是,一旦输出温度已经超出规格,就为时已晚,因为将向用户的过程设备进给超出规格温度的流体,根据使用高纯度流体的制造过程(诸如在半导体等的制造中)的不同,这可能产生问题。
因此,持续需要一种改进的按需热水器,所述按需热水器能够根据需要调节在加热器的流体入口与流体出口之间的被加热的流体的温度,从而在一致和可靠的基础上实现期望的终端流体温度。本发明满足这些需求,并提供了其它相关的优点。
发明内容
本发明涉及一种按需加热器,所述按需加热器具有用于在流体穿过加热器时实时地加热和调节流体温度的改进的控制系统和方法。
按需加热器通常包括加热器流体入口和加热器流体出口。多个加热器组件彼此流体连通,并且以串联的方式设置在加热器流体入口与加热器流体出口之间。温度传感器感测来自每个加热器组件的出口流体的温度。控制器与温度传感器进行电子通信。控制器被配置成基于每个加热器组件的感测的出口流体温度与分配给每个加热器组件的局部流体温度增量的比较,来独立地调节输送到加热器组件中的每个加热器组件的功率,以调节每个加热器组件对流体的加热水平。因此,可控地实现了从加热器流体入口到加热器流体出口的总流体温度增量。
加热器包括用户接口,所述用户接口用于手动地输入在加热器流体出口处期望的流体温度。所述控制器可以包括用于每个加热器组件的专用的温度控制器。控制器被配置成基于确定的加热器流体入口的流体温度和期望的终端流体温度来计算总流体温度增量。控制器被配置成基于总流体温度增量和加热器组件的数量来计算局部流体温度增量并将其分配给每个加热器组件。加热器也可以包括与控制器耦合的流体流量或压力传感器。
流体可以包括超纯水。加热器的流体接触表面包括一种或更多种无污染材料。
根据本发明的方法,确定通过加热器的总流体温度增量。确定进入加热器的流体的温度。通过将进入加热器的流体的温度与加热器的流体出口处的期望的最终流体温度进行比较来确定总流体温度增量。这还可以包括确定通过加热器的流体流量的步骤。
向每个加热器组件分配局部流体温度增量。这可以通过将总流体温度增量除以多个加热器组件的数量来完成。
感测每个加热器组件处的出口流体温度。调节具有与分配给加热器组件的局部流体温度增量不同的感测的出口流体温度的加热器组件的功率。这可以是:当感测的出口流体温度小于分配给所述加热器组件的局部流体温度增量时,可以增加加热器组件的功率。可替换地,这可以是:当感测的出口流体温度大于分配给所述加热器组件的局部流体温度增量时,可以减少加热器组件的功率。控制器独立地调节一个或更多个加热器组件的功率。以这种方式,在加热器的流体出口处实现了总流体温度增量。除了调节具有与分配给所述加热器组件的局部流体温度增量不同的感测的出口流体温度的加热器组件的功率之外或作为其替代,控制器可以调节具有与分配给加热器组件的局部流体温度增量不同的感测的出口流体温度的加热器组件下游的一个或更多个加热器组件的功率。
通过以下结合附图进行的更详细的描述,本发明的其它特征和优点将变得显而易见,所述附图通过示例的方式示出了本发明的原理。
附图说明
随附附图说明了本发明。在这样的附图中:
图1是实施本发明的加热器的局部剖切的前正视图;
图2是图1的加热器的局部剖切的侧视图;
图3是根据本发明的沿图1的线3-3截取的加热器的截面图,图示了多个串联连接的加热器组件;
图4是流动通过本发明的加热器的各个部件的流体的示意图;
图5是本发明的加热器(包括控制系统)的各个部件的示意图;和
图6是根据本发明使用的控制器和控制系统的示意图。
具体实施方式
如随附附图所示,出于说明的目的,本发明涉及一种按需流体加热器,其通常由附图标记10表示。更特别地,如本文将更充分描述的,本发明涉及一种按需流体加热器10,所述按需流体加热器10具有改进的控制系统,用于对加热器10内的多个加热元件中的每个加热元件进行更期望的功率调控。
更特别地,本发明涉及一种按需流体加热器10,其中预期的是,所述流体将在起始温度(诸如环境温度)下进入加热器,并在期望的温度下离开加热器而无需使用用于加热的流体的中间存储箱。本发明的加热器10包括一种改进的控制系统,所述控制系统用于以串联的方式管连通的多个电加热器组件,以瞬时地加热流体,更特别地,瞬时地加热流动通过加热器10的流体,所述加热可以在每个加热器组件处独立地实时调节。这样,专用的需求响应电路和控制器自动地控制向加热器10的对应的加热器组件的加热元件输送的电功率。
现在参考图1-3,示出了实现本发明的加热器10。加热器10的各种部件容纳在外壳12内。用户接口14(诸如触摸屏或键盘等)安装在外壳壳体12上,以便于用户使用。用户接口14使用户能够手动地输入离开加热器10的流体的期望的温度,这里所述温度可以被称为设定点温度(SP),用户输入的值被提供给加热器10的控制器。用户也可以使用用户接口14来确认正在流动通过加热器10的流体流量是适当的且加热器正在正确地操作,并且用户接口14可以根据需要提供任何误差。
也可以在壳体12外部设置按钮16(诸如可以由LED等点亮的按钮)以供用户使用。例如,可以使用这样的按钮来打开加热器10或开始其操作,或者(诸如通过使用绿色光等)发出加热器10处于操作模式且没有误差的信号。可以提供其它按钮(诸如可以用红色LED点亮的按钮)以指示加热器10处于待机模式,从而暂时地中止加热器10的操作等。将理解,按钮16的点亮是为了方便用户,按钮或开关可能不被点亮。加热器10也可以包括紧急关闭(EMO)开关或按钮18,所述紧急关闭(EMO)开关或按钮18可以用于在紧急情况下在出现需要时中断加热器10的电源并完全关掉加热器10。
外壳壳体12包含电气面板、控制器和加热器组件(或模块)26以及所有必要的管连通部件。电气面板(未示出)用风扇和排气孔20保持冷却。门联锁传感器22可以被并入加热器10中,以检测何时打开了提供访问外壳12内的部件的外壳门,并向加热器10的控制器提供其状态信息以提供安全操作。加热器系统10的输入功率可以经由延伸通过外壳壳体12的电气管道配件24引入。
特别参考图2,加热器10包括流体入口28和流体出口30。出于说明的目的,图2不包括加热器组件26,尽管将理解,加热器组件设置在流体入口28与流体出口30之间。加热器10可以包括压力调节器32(诸如与流体入口28相邻的压力调节器),用于维持通过加热器10的流体流量和压力大致恒定。也可以包括压力换能器34、计量器保护装置36和热电偶组件38,典型地,压力换能器34、计量器保护装置36和热电偶组件38在流体入口28附近。这些部件可以用于监测和调控通过加热器10的流量和压力以及确定输入流体温度。电容性液体液位传感器40和流量传感器42也可以用于这些目的并且用于将这样的信息提供给加热器10的控制器。流量传感器42可以是桨轮等形式。
现在参考图1和图3,如上文提到的,在加热器流体入口28与加热器流体出口30之间串联地设置有多个加热器组件26。如图3图示的,每个加热器组件26可以包括一个或更多个加热器模块44。流体以依次的、串联的方式通过入口28进入,并穿过管46到达每个加热器组件26和每个加热器模块44,直到流体通过加热器出口30离开。因此,当流体穿过加热器组件26的多个模块44时,所述流体以逐步的方式被加热。这样,要被加热的流体将通过入口28进入并穿过第一加热器组件26和所述第一加热器组件26的初始或第一加热器模块44,然后依次地穿过所述第一加热器组件26的每个加热器模块,然后以依次的方式穿过其余的加热器组件26,直到从最终的或最后一个加热器组件26的最终输出加热器模块44离开到达出口30。尽管总共示出了三个加热器组件26,但是每个加热器组件具有三个加热器模块44,将理解,加热器组件和加热器模块的数量可以根据需要调节。
按需加热器10(也可以被称为无水箱的、流通式即热式热水器)在加热器模块44或加热器组件26内采用一个或更多个腔室,所述腔室的容积容量相对较低,并且通常尺寸设计成仅略大于内部加热元件的尺寸。每个腔室的较小的蓄水容积有助于使加热系统能够将流动通过其中的流体几乎瞬时地加热到期望的温度。此外,腔室内的浸没式加热元件配置用于将电能从加热元件快速地传递到流体。
本发明的加热器系统10特别适合于具有改进的温度控制器的按需超纯水(UPW)系统。超纯水是经过纯化或加工成非常严格的规格的水。超纯水被处理到最高纯度水平,并广泛地用于半导体等的制造中。在用于浸没光刻的光学系统中或在某些关键应用中补充冷却流体时,半导体制造公司在应用化学品之后使用UPW冲洗芯片,以稀释化学品本身。由于UPW或去离子水或其它高纯度流体直接与芯片接触,因此必须去除所有杂质以消除损坏。
在高纯度过程应用中,按需或流通式加热器优于常规热水器,因为它们消除了大存储箱或蓄水箱。当加热高纯度去离子水等时,这尤其重要,因为必须通过消除细菌生长、金属湿润性部件和微粒污染来维持水的纯度。在大的存储箱中,将仍存在水或其它流体的流动停滞或缓慢的区域。
本发明的加热器10通过以串联的方式管连通每个加热器组件26和加热器模块44而消除了细菌生长的可能性,从而使每个加热器组件26和加热器模块44具有相同的高流量。此外,加热器腔室设计成这样的方式:随着流体流动通过每个腔室而增加流体湍流,从而消除了管路中的任何“死角”,在所述死角处,纯净流体将停止流动并保持停滞。
本发明可以通过创建具有入口和出口的加热器壳体来消除金属润湿性部件,所述入口和出口均由氟塑料材料(诸如聚偏二氟乙烯(PVDF)和/或全氟烷氧基(PFA))制成。加热器壳体可以包含包封在PFA中的加热元件。加热器传感器也可以嵌入PFA材料中。本发明的加热器可以包括多个加热器模块44,以用全部PDVF或PFA润湿性表面的方式制造所述加热器模块44。优选地,没有金属润湿性表面,从而避免了去离子水或纯净水或其它纯净流体的污染。如上文提到的,加热器模块44设计成在流体流动通过其时有助于更大的流体湍流,从而消除死角。因此,维持通过加热器10的流体的纯度。
现在参考图4,示意图图示了在流体流动通过本发明的加热器10时的流体路径。类似于图3,加热器10图示为具有三个加热器组件26,每个加热器组件包含三个加热器模块44,由HTR1-HTR9标识。加热器组件26和加热器模块44的实际数量可以改变。但是,加热器组件和/或模块以串联的方式管连通,使得每个加热器模块44或加热器组件26将出现流动通过其的最大的流体流量,从而消除了所有的水滞留区域。流体(诸如去离子水或其它超纯水)通过流体入口28进入加热器或系统中,然后流动通过压力调节器(PR)32,所述压力调节器32以即使流体源处于高压状态也可以维持安全的内部压力的方式限制进入系统中的最大许用流体压力。接下来,流体流动通过入口热电偶(T50)38和压力换能器(PT)34,所述入口热电偶(T50)38和压力换能器(PT)34将输入流体温度和压力提供给控制器。优选地,传感器34和传感器38两者都与超纯水流体分开。入口热电偶38可以被封装在PFA材料中。压力换能器34可以包括具有PFA隔膜的计量器保护装置。然后,流体流动通过流量传感器(FS)42,所述流量传感器测量流体的流量并将所述信息提供给控制器。
在图4图示的示例性加热器中,按需加热器具有三个加热器组件,并且第一加热器组件包括加热器模块HTR1-HTR3,第二加热器组件具有加热器模块HTR4-HTR6,第三加热器组件具有模块HTR7-HTR9。呈热电偶(T51-T53)形式的温度传感器51-53与每个加热器组件26的流体输出部或每个加热器组件的最终模块或输出模块相邻。热电偶获取已离开加热器组件的流体温度的读数。因此,例如,温度传感器T51测量离开第一加热器组件的流体温度,温度传感器T52测量离开第二加热器组件的温度,温度传感器T53测量离开第三且最终的加热器组件的温度。来自这些温度传感器或热电偶的温度读数中的每个温度读数都传输到控制器。所述流体在从加热器输出之前可以穿过传感器48(诸如电容性液体液位传感器(LS),以确保通过加热器的流体流量是适当的。
每个加热器模块(HTR1-HTR9)44可以具有热切断装置(TF1-TF9)和与其关联的加热元件过热温度传感器(HL1-HL9)。如果加热器模块中的流体达到预定的不安全温度,则热切断装置将打开电路。加热元件上方的温度传感器测量加热元件的温度并将测量结果提供给控制器。
参考图5,该图示出了流体流动路径以及系统传感器与加热器模块之间的接口以及它们与控制器50的接口。流体(诸如超纯去离子水)流动通过按需加热器10,所述流体在所述按需加热器10处达到期望的温度,然后在按需加热器系统上输出,并在在穿过加热器流体出口之后流动至过程设备。流体进入系统,并且流量和输入流体温度读数被对应的传感器(包括压力换能器(PT)、流量传感器(FS)和温度传感器(Tin))连续不断地获取。来自这些读数的信息被发送到控制器50。然后,所述流体以串联的方式行进通过每个加热器模块和加热器组件,其中将来自一个模块的全部的流体流或流体流量被提供给下一个随后的模块和加热器组件。以这种方式,每个加热器模块和加热器组件将出现系统的全部流量和更高的流量,并消除了可能导致流体停滞的管路区域,从而将细菌生长或颗粒截留的可能性最小化。温度传感器51-53(T1-T3)被放置在每个加热器组件的流体输出部处,以测量这些相应区域处的流体温度。这些温度读数被提供给控制器50。以这种方式,控制器50能够分析和评估加热器组件为达到用户的期望的温度设定点(SP)或离开加热器的最终流体温度而产生的变化。控制器50具有独立的输出信号以独立地控制每个加热器组件的功率,使得如果需要的话,每个加热器组件贡献不同的功率以在流体流动通过加热器时加热所述流体。控制器50将信号发送到加热器组件固态继电器(SSR),然后由其控制每个加热器组件的功率输出。
每个加热器模块44(HTR)包括热切断装置(TCO),也称为热熔断件,其在模块中的流体达到预定的不安全状态时将向控制器50发送信号。每个加热器模块也包括过热温度加热传感器(HL),所述过热温度加热传感器测量加热元件的温度并将信息发送到控制器50,所述控制器50将断开安全继电器57,从而在检测到一个或更多个加热元件的不安全温度时中断来自电源55的电力或功率。如果检测到高压、低流体流量或低流体液位,则控制器50也将断开安全继电器57。输入电源55向按需加热器提供电压以供操作,并且安全继电器57优选地靠近系统的输入电源放置,使得当检测到不安全状态时,控制器50将完全关闭系统的电源。
现有技术的按需热水器依赖于输出温度传感器来对加热器进行功率调节。但是,一旦输出部处的温度超出规格,则为时已晚,因为将向用户的过程设备进给超出规格温度的水。然而,在本发明中,当超纯水、去离子水或其它流体沿其路线通过系统时其温度被感测到。控制器50基于用户终端温度设定点、流量和输入流体温度来计算在每个加热器组件26之后的每个点处应达到什么温度。本发明评估在流体从每个加热器组件26出来时流体温度变化,以确定所述温度是否在其应处于的温度,并且在所述温度不在其应处于的温度时对单个加热器组件进行调节。例如,当来自所述加热器组件的感测的出口流体温度小于分配给所述加热器组件的局部流体温度增量时,可以增加加热器组件的功率。相反地,当来自所述加热器组件的感测的出口流体温度大于分配给所述加热器组件的局部流体温度增量时,可以降低或减少加热器组件的功率。另外或可替代地,当来自上游加热器组件的感测的出口流体温度小于分配给上游加热器组件的局部流体温度增量时,可以增加一个或更多个下游加热器组件的功率;并且相反地,当感测的出口流体温度大于分配给上游加热器组件的局部流体温度增量时,可以减小一个或更多个下游加热器组件的功率。以这种方式,加热器系统的响应更快,并且获得了更准确且一致的流体温度。
现在参考图6,提供了控制系统及其操作的简图。所述控制系统具有用户接口14(诸如触摸屏或按钮等),所述用户接口14使用户能够输入其期望的最终水温(也被称为设定点温度(SP))。这是由用户手动输入的,并且所述值被提供给控制器50。控制器50确定总流体温度增量(也被称为需要的德尔塔温度),必须通过从SP中减去输入温度传感器(Tin)38读数值来设置加热器。所述值是在流体流动通过加热器时为了满足用户的要求,按需加热器需要将流体升高的度数。
控制器50也具有确定要分配给每个加热器组件的局部流体温度增量或德尔塔T的装置。控制器50具有除法器,所述除法器将通过加热器的需要的德尔塔温度或总流体温度增量除以加热器系统中的加热器组件数量。这导致每个加热器组件的德尔塔T(在本文中也被称为局部流体温度增量),其被分配给每个加热器组件。所述值被传输到每个分开且独立的组件温度控制器,所述组件温度控制器将调控其对应的加热器组件的功率。由于示例性说明性加热器包括三个加热器组件,所以在图6中图示三个组件温度控制器54,尽管所述数目将根据加热器组件的数目而变化,但是如在特别优选的实施例中那样,每个加热器组件具有与其关联的独立的组件温度控制器。每个组件温度控制器54将德尔塔T/组件或局部流体温度增量目标与由温度传感器51-53在加热器组件的输出部处得到的流体的温度读数进行比较。每个组件温度控制器54调控每个对应的加热器组件处的流体温度,因此在来自加热器组件的感测的出口流体温度与分配给所述加热器组件的局部流体温度增量或分配给所述加热器组件的德尔塔T不同时,能够更好更快地响应于流量、压力的变化。与现有技术相反,组件温度控制器54响应于每个加热器组件处的瞬时的、局部的状态,并且直到流体处于系统输出部处都没有延迟。
现有技术的按需热水器依赖于输出部温度传感器来对加热器进行功率调节。一旦输出部处的温度已经超出规格,则为时已晚,因为用户的过程设备将接收超出规格温度的流体。本发明提供了用于沿其路线通过系统时感测流体温度的装置,并且控制器基于由用户设定点或最终流体温度与输入流体的温度之差确定的通过加热器的总流体温度增量、和通过加热器的流体流量来计算每个点处应处于的温度。本发明评估在流体从每个加热器组件26出来时流体温度变化,以确定所述温度是否在其应处于的温度,并且在所述温度不在其应处于的温度时可以对单个加热器组件进行调节。以这种方式,加热器系统的响应更快,并且获得了更准确且一致的离开加热器的流体温度。
每个加热器组件26具有与其可操作地耦合的独立的组件温度控制器54,所述组件温度控制器54将加热器组件的流体输出温度读数与分配给所述加热器组件的预期的德尔塔T/组件温度或局部流体温度增量进行比较。如果温度低于预期温度,则组件温度控制器54将调节其到达加热器组件输出部的信号,所述组件温度控制器向控制加热器组件的SSR发送信号。因此,通过增加或减少提供给每个加热器组件的功率,温度调节几乎是实时调节的。
如上文提到的,安全传感器(包括液位传感器、流量传感器、压力换能器、加热器热切断装置(TC01–TC09)和加热元件上的过热温度传感器(HL1-HL9))将其读数发送到安全控制器56,如果检测到不安全状态,则所述安全控制器56将向安全继电器57发出信号以关闭加热器电源。
尽管出于说明的目的已经详细描述了几种实施例,但是在不脱离本发明的范围和精神的情况下可以进行各种修改。因此,本发明不受除所附权利要求书之外的限制。
Claims (18)
1.一种用于按需加热流体的方法,所述方法包括以下步骤:
提供具有多个加热器组件的加热器,所述多个加热器组件串联设置在加热器流体入口与加热器流体出口之间;
确定通过所述加热器的总流体温度增量;
向每个加热器组件分配局部流体温度增量;
感测每个加热器组件处的出口流体温度;和
调节具有下述感测的出口流体温度的加热器组件的功率,所述感测的出口流体温度与分配给该加热器组件的局部流体温度增量不同;
由此在所述加热器的流体出口处实现所述总流体温度增量。
2.根据权利要求1所述的方法,包括确定进入所述加热器的所述流体的温度的步骤。
3.根据权利要求2所述的方法,其中,确定总流体温度增量的步骤包括将进入所述加热器的所述流体的温度与在所述加热器流体出口处的所述流体的期望的最终温度进行比较。
4.根据权利要求3所述的方法,其中,所述确定总流体温度增量的步骤还包括确定通过所述加热器的流体流量。
5.根据权利要求1所述的方法,包括以下步骤:调节位于具有下述感测的出口流体温度的上游加热器组件下游的一个或更多个加热器的功率,所述感测的出口流体温度与分配给该上游加热器组件的局部流体温度增量不同。
6.根据权利要求1所述的方法,其中,调节功率的步骤包括:当所述感测的出口流体温度小于分配给加热器组件的局部流体温度增量时增加所述加热器组件的功率。
7.根据权利要求1所述的方法,其中,调节功率的步骤包括:当所述感测的出口流体温度大于分配给加热器组件的局部流体温度增量时降低所述加热器组件的功率。
8.根据权利要求1所述的方法,其中,分配局部流体温度增量的步骤包括以下步骤:将所述总流体温度增量除以所述多个加热器组件的数量。
9.根据权利要求1所述的方法,包括以下步骤:检测通过所述加热器的流体流量或流体压力。
10.根据权利要求1所述的方法,其中,调节步骤包括以下步骤:由控制器独立地调节一个或更多个加热器组件的功率。
11.根据权利要求1所述的方法,其中,超纯水穿过所述加热器,并且流体接触表面包括一种或更多种无污染材料。
12.一种按需加热器,包括:
加热器流体入口和加热器流体出口;
多个加热器组件,所述多个加热器组件彼此流体连通,并且以串联的方式设置在所述加热器流体入口与所述加热器流体出口之间;
温度传感器,所述温度传感器用于感测来自每个加热器组件的出口流体的温度;和
控制器,所述控制器与所述温度传感器电通信,所述控制器被配置成:基于每个加热器组件的感测的出口流体温度与分配给每个加热器组件的局部流体温度增量的比较,独立地调节输送到所述加热器组件中的每个加热器组件的功率,以调节每个加热器组件对所述流体的加热水平,
其中以可控的方式实现从所述加热器流体入口到所述加热器流体出口的总流体温度增量。
13.根据权利要求12所述的加热器,其中,所述流体包括超纯水,并且所述加热器的流体接触表面包括一种或更多种无污染材料。
14.根据权利要求12所述的加热器,包括与所述控制器耦合的流体流量传感器或流体压力传感器。
15.根据权利要求12所述的加热器,其中,所述控制器包括用于每个加热器组件的专用的温度控制器。
16.根据权利要求12所述的加热器,包括用户接口,所述用户接口用于手动地输入在所述加热器的流体出口处的期望的终端流体温度。
17.根据权利要求16所述的加热器,其中,所述控制器被配置成:基于确定的加热器流体入口的流体温度和所述期望的终端流体温度,计算所述总流体温度增量。
18.根据权利要求17所述的加热器,其中,所述控制器被配置成:基于所述总流体温度增量和加热器组件的数量,计算局部流体温度增量并将局部流体温度增量分配给每个加热器组件。
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