CN111139512A - 一种引线框架自动镀银装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种引线框架自动镀银装置，涉及半导体生产自动化设备领域。该装置包括工作平台、机架，机架内自上而下设置有机械手运动机构、镀银槽，镀银槽底部的上水管通过上水过滤器与镀银泵连接，镀银槽包括槽体本身及槽体内设置的进片传送机构、出片传送机构、镀银模座，镀银模座位于进片传送机构和出片传送机构之间，机械手运动机构包括大架及大架下部安装的取片手运动机构、电镀手运动机构，取片手运动机构、电镀手运动机构、进片传送机构、出片传送机构、镀银泵与控制系统连接。本发明能够用于不同宽度的引线框架进行镀银处理，镀银过程平稳安全，形成的电镀银层表面是均匀的结晶，降低废品率和报废成本，零部件更换方便。

Description

一种引线框架自动镀银装置

技术领域

本发明涉及半导体生产自动化设备领域，具体是一种引线框架自动镀银装置。

背景技术

在半导体行业中，引线框架是半导体封装的基础材料，其作为集成电路的芯片载体，借助于键合材料实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接，形成电气回路的关键结构件，起到和外部导线连接的桥梁作用，其主要功能就是为电路连接、散热、机械支撑等作用。银，是银白色的金属，为过渡金属的一种，银的化学性质稳定，导热、导电性能很好，质软，富延展性。其导电性和导热性在所有的金属中都是最高的。电子电器是用银量最大的行业，其使用分为电接触材料、复合材料和焊接材料。引线框架在加工时通常需要进行表面处理，当在引线框架表面电镀银层时，对银层结晶的细致光滑有要求，需保持金属层表面光滑的状态。目前主流的是卷对卷式连续高速局部点镀银技术。

发明内容

本发明的目的在于提供一种引线框架自动镀银装置。该装置能够对引线框架进行连续批量式高速电镀银层处理，形成的电镀银层表面是均匀的结晶。

本发明采用的技术方案是一种引线框架自动镀银装置，包括工作平台及工作平台上安装的机架，机架内自上而下设置有机械手运动机构、镀银槽，镀银槽安装在工作平台上，镀银槽底部的上水管通过上水过滤器与镀银泵连接，镀银槽包括槽体本身及槽体内设置的进片传送机构、出片传送机构、镀银模座，镀银模座位于进片传送机构和出片传送机构之间，机械手运动机构包括大架及大架下部安装的取片手运动机构、电镀手运动机构，电镀手运动机构包括可上下移动的压头，压头、镀银模座与整流器连接，取片手运动机构、电镀手运动机构、进片传送机构、出片传送机构、镀银泵与控制系统连接。

进一步地，所述镀银槽还包括第一进片接近开关、第二进片接近开关、进片挡板、出片接近开关、进片传送电机链条、出片传送电机链条，第一进片接近开关、第二进片接近开关、进片挡板自前向后依次设置于进片传送机构的第一进片转轴、第二进片转轴、第三进片转轴后方，出片接近开关设置于出片传送机构的第二出片转轴和第三出片转轴之间，进片传送机构的第一进片转轴通过进片传送电机链条与进片电机传动连接，出片传送机构的第一出片转轴通过出片传送电机链条与出片电机传动连接，第一进片接近开关、第二进片接近开关、出片接近开关、进片电机、出片电机与控制系统连接。

进一步地，所述取片手运动机构包括直线轴承、取片手上下气缸、取片手开合气缸、第一开合齿条、第一开合齿轮、第一手指夹、第二直线导轨，竖直平行设置的直线轴承之间设有取片手上下气缸，取片手开合气缸设于取片手上下气缸下方，取片手开合气缸连杆下端套设有第一开合齿轮，第一开合齿轮与平行设置的第一开合齿条啮合，平行设置的第一开合齿条分别安装在取片手手指夹两平行支架上，第一手指夹套设于取片手手指夹支架上，取片手手指夹支架上设有与第二直线导轨相匹配的滑槽，第二直线导轨与取片手手指夹支架垂直设置，取片手上下气缸、取片手开合气缸与控制系统连接。

进一步地，所述电镀手运动机构包括电镀手上下气缸、压头上下气缸、电镀手开合气缸、第二开合齿条、第二开合齿轮、压头、第三直线导轨、第二手指夹，电镀手上下气缸的连杆下端连接有电镀手手指夹支架，电镀手手指夹支架上套设多组平行设置的第二手指夹，压头上下气缸位于电镀手上下气缸下方，压头上下气缸的连杆下端连接有压头，电镀手开合气缸的连杆下端套设有第二开合齿轮，第二开合齿轮与平行设置的第二开合齿条啮合，平行设置的第二开合齿条分别安装在电镀手手指夹两平行支架上，第二手指夹套设于电镀手手指夹支架上，电镀手手指夹支架上设有与第三直线导轨相匹配的滑槽，第三直线导轨与电镀手手指夹支架垂直设置，电镀手上下气缸、压头上下气缸、电镀手开合气缸与控制系统连接。

进一步地，所述机械手运动机构的大架底部设有第一直线导轨，取片手运动机构及电镀手运动机构上均设有与第一直线导轨相匹配的滑块。

进一步地，所述机械手运动机构的大架上还安装有更换模具无障碍位移气缸，更换模具无障碍位移气缸的连接杆与电镀手运动机构相连接，更换模具无障碍位移气缸与控制系统连接。

与现有技术相比，本发明的有益技术效果在于：能够用于不同宽度的引线框架进行表面镀银处理，镀银过程平稳安全，形成的电镀银层表面是均匀的结晶，降低废品率和报废成本，零部件更换方便。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是图1中镀银槽的结构示意图。

图3是图1中机械手组成机构的示意图。

图4是图3中取片手运动机构的示意图。

图5是图3中电镀手运动机构的示意图。

附图标记：1-工作平台，2-机架，3-镀银槽，4-进片传送机构，5-出片传送机构， 6-机械手运动机构，7-镀银泵，8-上水过滤器，9-镀银模座，10-第一进片接近开关， 11-第二进片接近开关，12-进片挡板，13-出片接近开关，14-进片传送电机链条，15- 出片传送电机链条，16-前后移动伺服电机，17-取片手运动机构，18-电镀手运动机构，19-第一直线导轨，20-滑块，21-直线轴承，22-取片手上下气缸，23-取片手开合气缸，24-第一开合齿条，25-第一开合齿轮，26-第一手指夹，27-第二直线导轨， 28-电镀手上下气缸，29-压头上下气缸，30-电镀手开合气缸，31-第二开合齿条，32- 第二开合齿轮，33-压头，34-第三直线导轨，35-第二手指夹，36-更换模具无障碍位移气缸。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合具体实施例对本发明作进一步的详细说明。

实施例

一种引线框架自动镀银装置，包括工作平台1及工作平台1上安装的机架2，机架2内自上而下设置有机械手运动机构6、镀银槽3，镀银槽3安装在工作平台1上，镀银槽3底部的上水管通过上水过滤器8与镀银泵7连接，镀银槽3包括槽体本身及槽体内设置的进片传送机构4、出片传送机构5、镀银模座9，镀银模座9位于进片传送机构4和出片传送机构5之间，机械手运动机构6包括大架及大架下部安装的取片手运动机构17、电镀手运动机构18，电镀手运动机构18包括可上下移动的压头 33，压头33、镀银模座9与整流器连接，取片手运动机构17、电镀手运动机构18、进片传送机构4、出片传送机构5、镀银泵7与控制系统连接。

所述镀银槽3还包括第一进片接近开关10、第二进片接近开关11、进片挡板12、出片接近开关13、进片传送电机链条14、出片传送电机链条15，第一进片接近开关 10、第二进片接近开关11、进片挡板12自前向后依次设置于进片传送机构4的第一进片转轴、第二进片转轴、第三进片转轴后方，出片接近开关13设置于出片传送机构5的第二出片转轴和第三出片转轴之间，进片传送机构4的第一进片转轴通过进片传送电机链条14与进片电机传动连接，出片传送机构5的第一出片转轴通过出片传送电机链条15与出片电机传动连接，第一进片接近开关10、第二进片接近开关11、出片接近开关13、进片电机、出片电机与控制系统连接。

所述取片手运动机构17包括直线轴承21、取片手上下气缸22、取片手开合气缸23、第一开合齿条24、第一开合齿轮25、第一手指夹26、第二直线导轨27，竖直平行设置的直线轴承21之间设有取片手上下气缸22，取片手开合气缸23设于取片手上下气缸22下方，取片手开合气缸23连杆下端套设有第一开合齿轮25，第一开合齿轮25与平行设置的第一开合齿条24啮合，平行设置的第一开合齿条24分别安装在取片手手指夹两平行支架上，第一手指夹26套设于取片手手指夹支架上，取片手手指夹支架上设有与第二直线导轨27相匹配的滑槽，第二直线导轨27与取片手手指夹支架垂直设置，取片手上下气缸22、取片手开合气缸23与控制系统连接。

所述电镀手运动机构18包括电镀手上下气缸28、压头33上下气缸29、电镀手开合气缸30、第二开合齿条31、第二开合齿轮32、压头33、第三直线导轨34、第二手指夹35，电镀手上下气缸28的连杆下端连接有电镀手手指夹支架，电镀手手指夹支架上套设多组平行设置的第二手指夹35，压头33上下气缸29位于电镀手上下气缸28下方，压头33上下气缸29的连杆下端连接有压头33，电镀手开合气缸30 的连杆下端套设有第二开合齿轮32，第二开合齿轮32与平行设置的第二开合齿条31 啮合，平行设置的第二开合齿条31分别安装在电镀手手指夹两平行支架上，第二手指夹35套设于电镀手手指夹支架上，电镀手手指夹支架上设有与第三直线导轨34相匹配的滑槽，第三直线导轨34与电镀手手指夹支架垂直设置，电镀手上下气缸28、压头33上下气缸29、电镀手开合气缸30与控制系统连接。

所述机械手运动机构6的大架底部设有第一直线导轨19，取片手运动机构17及电镀手运动机构18上均设有与第一直线导轨19相匹配的滑块20。

所述机械手运动机构6的大架上还安装有更换模具无障碍位移气缸36，更换模具无障碍位移气缸36的连接杆与电镀手运动机构18相连接，更换模具无障碍位移气缸36与控制系统连接。

使用时，低速启动镀银泵7，控制系统控制大架前移，将进片传送机构4传输来的引线框架通过取片手运动机构17取片后转至镀银模座9，取片手运动机构17放片上升而电镀手运动机构18下降压片进行镀银处理，镀银结束后电镀手运动机构18放片上升而取片手运动机构17下降取片，将引线框架转移至出片传送机构5，出片传送机构5将镀银处理的引线框架输送至下一工序设备。

以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出的是，上述优选实施方式不应视为对本发明的限制，本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明的精神和范围内，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种引线框架自动镀银装置，包括工作平台(1)及工作平台(1)上安装的机架(2)，其特征在于：机架(2)内自上而下设置有机械手运动机构(6)、镀银槽(3)，镀银槽(3)安装在工作平台(1)上，镀银槽(3)底部的上水管通过上水过滤器(8)与镀银泵(7)连接，镀银槽(3)包括槽体本身及槽体内设置的进片传送机构(4)、出片传送机构(5)、镀银模座(9)，镀银模座(9)位于进片传送机构(4)和出片传送机构(5)之间，机械手运动机构(6)包括大架及大架下部安装的取片手运动机构(17)、电镀手运动机构(18)，电镀手运动机构(18)包括可上下移动的压头(33)，压头(33)、镀银模座(9)与整流器连接，取片手运动机构(17)、电镀手运动机构(18)、进片传送机构(4)、出片传送机构(5)、镀银泵(7)与控制系统连接。

2.根据权利要求1所述引线框架自动镀银装置，其特征在于：所述镀银槽(3)还包括第一进片接近开关(10)、第二进片接近开关(11)、进片挡板(12)、出片接近开关(13)、进片传送电机链条(14)、出片传送电机链条(15)，第一进片接近开关(10)、第二进片接近开关(11)、进片挡板(12)自前向后依次设置于进片传送机构(4)的第一进片转轴、第二进片转轴、第三进片转轴后方，出片接近开关(13)设置于出片传送机构(5)的第二出片转轴和第三出片转轴之间，进片传送机构(4)的第一进片转轴通过进片传送电机链条(14)与进片电机传动连接，出片传送机构(5)的第一出片转轴通过出片传送电机链条(15)与出片电机传动连接，第一进片接近开关(10)、第二进片接近开关(11)、出片接近开关(13)、进片电机、出片电机与控制系统连接。

3.根据权利要求2所述引线框架自动镀银装置，其特征在于：所述取片手运动机构(17)包括直线轴承(21)、取片手上下气缸(22)、取片手开合气缸(23)、第一开合齿条(24)、第一开合齿轮(25)、第一手指夹(26)、第二直线导轨(27)，竖直平行设置的直线轴承(21)之间设有取片手上下气缸(22)，取片手开合气缸(23)设于取片手上下气缸(22)下方，取片手开合气缸(23)连杆下端套设有第一开合齿轮(25)，第一开合齿轮(25)与平行设置的第一开合齿条(24)啮合，平行设置的第一开合齿条(24)分别安装在取片手手指夹两平行支架上，第一手指夹(26)套设于取片手手指夹支架上，取片手手指夹支架上设有与第二直线导轨(27)相匹配的滑槽，第二直线导轨(27)与取片手手指夹支架垂直设置，取片手上下气缸(22)、取片手开合气缸(23)与控制系统连接。

4.根据权利要求3所述引线框架自动镀银装置，其特征在于：所述电镀手运动机构(18)包括电镀手上下气缸(28)、压头(33)上下气缸(29)、电镀手开合气缸(30)、第二开合齿条(31)、第二开合齿轮(32)、压头(33)、第三直线导轨(34)、第二手指夹(35)，电镀手上下气缸(28)的连杆下端连接有电镀手手指夹支架，电镀手手指夹支架上套设多组平行设置的第二手指夹(35)，压头(33)上下气缸(29)位于电镀手上下气缸(28)下方，压头(33)上下气缸(29)的连杆下端连接有压头(33)，电镀手开合气缸(30)的连杆下端套设有第二开合齿轮(32)，第二开合齿轮(32)与平行设置的第二开合齿条(31)啮合，平行设置的第二开合齿条(31)分别安装在电镀手手指夹两平行支架上，第二手指夹(35)套设于电镀手手指夹支架上，电镀手手指夹支架上设有与第三直线导轨(34)相匹配的滑槽，第三直线导轨(34)与电镀手手指夹支架垂直设置，电镀手上下气缸(28)、压头(33)上下气缸(29)、电镀手开合气缸(30)与控制系统连接。

5.根据权利要求4所述引线框架自动镀银装置，其特征在于：所述机械手运动机构(6)的大架底部设有第一直线导轨(19)，取片手运动机构(17)及电镀手运动机构(18)上均设有与第一直线导轨(19)相匹配的滑块(20)。

6.根据权利要求5所述引线框架自动镀银装置，其特征在于：所述机械手运动机构(6)的大架上还安装有更换模具无障碍位移气缸(36)，更换模具无障碍位移气缸(36)的连接杆与电镀手运动机构(18)相连接，更换模具无障碍位移气缸(36)与控制系统连接。

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